JP5872416B2 - 薄膜太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
ここでは、本発明の実施形態に係る薄膜太陽電池の評価方法の概要について図1〜図3を参照して説明する。薄膜太陽電池の評価方法は、図1(a)に示すような薄膜太陽電池100を対象とした評価方法である。薄膜太陽電池100は、複数(図1(a)では3個)の単位電池10を電気的に直列接続してなる。この薄膜太陽電池100は図2(a)〜図2(h)の概略断面図で示す製造工程によって製造される。なお、薄膜太陽電池100の構造および製造方法の詳細については後記する。
ここでは、本発明の実施形態に係る薄膜太陽電池の評価方法にて対象とする薄膜太陽電池100の構造について図1(a)の断面図を参照して説明する。薄膜太陽電池100は、複数(図1(a)では3個)の単位電池10を電気的に直列接続してなる。単位電池10を並べた方向をX方向、紙面に垂直な方向をY方向、高さ方向をZ方向とする。単位電池10は、主たる構成要素として、第1電極層2と、光吸収層4と、第2電極層7とが、Z方向に積層されてなる。
発電層(第1電極層2から第2電極層7までの各層を合わせたもの)の膜厚は、例えば2〜3μm程度であり、光吸収層4は例えば1μm程度である。
次に、本発明の実施形態に係る薄膜太陽電池の製造方法について図2を参照(適宜図1および図3参照)して説明する。ここで、図2(a)〜図2(f)のように光吸収層4の上に第2電極層7が積層される前の状態においては、図1(a)に示す単位電池10とは構造が異なっているので、この単位電池10に対応する領域のことをセルと呼ぶこととする。また、図2の断面模式図に記載した一方のセルおよび他方のセルは、特許請求の範囲の記載に対応している。
ここでは、本発明の実施形態に係る薄膜太陽電池の評価方法の具体例について図4〜図6を参照して説明する。図4は、本発明の実施形態に係る薄膜太陽電池の評価方法に用いた薄膜太陽電池(以下、サンプルともいう)の表面を可視光カメラ(顕微鏡)で撮影した可視光画像写真を示す図である。図4においてX軸の方向は、図1において単位電池10を並べた方向であるが、都合により、図1とは反対向きに配置した。つまり、図4においてY軸の向きとは、図1において紙面の裏から表への向きに配置されている。具体的には、図4に示すパターニングP2の加工ラインは、図1(a)において2つ図示されたコンタクト電極部6のうちの一方(例えば左側)のコンタクト電極部6に対応している。同様に、図4に示すパターニングP3の加工ラインは、図1(a)において2つ図示された上部スクライブ溝8のうちの一方(例えば左側)の上部スクライブ溝8に対応している。なお、図4の画像においては、パターニングP2の加工ラインよりも右側の位置に、パターニングP1の加工ラインが形成されている。
また、本発明に係る薄膜太陽電池の製造方法によれば、単位電池における短絡を防止しつつ、発電に寄与しないデッドスペースを低減して発電効率を高めることができる。
M<TH1 … 式(1)
TH1<M<TH2 … 式(2)
TH2<M … 式(3)
よって、測定の結果、式(3)を満たす範囲については許容できないものとして不採用とし、式(1)を満たす測定結果により導電率が向上した範囲を特定して作製した薄膜太陽電池を標準品質仕様、式(2)を満たす測定結果により導電率が向上した範囲を特定して作製した薄膜太陽電池を高品質仕様とすることができる。
同様に閾値を3つ設定するときには、それらの最大値を予め定めた許容可能値としておけば、標準品質仕様、第1高品質仕様、第2高品質仕様の薄膜太陽電池とすることができる。閾値を4つ以上設定する場合も同様な仕様で作製することができる。
1 基板
2 第1電極層
3 下部スクライブ溝
4 光吸収層
5 バッファ層
6 コンタクト電極部
7 第2電極層
8 上部スクライブ溝
10 単位電池
Claims (3)
- 第1電極層と光吸収層と第2電極層とが積層された複数の単位電池を電気的に直列接続してなる薄膜太陽電池の製造方法であって、
前記薄膜太陽電池は、隣り合う2つの前記単位電池となる領域であって前記第1電極層が膜面方向に分離された2つの領域である2つのセルのうち一方のセルに含まれる前記第1電極層と、他方のセルに積層される前記第2電極層とを電気的に接続するコンタクト電極部を備え、
前記コンタクト電極部は、前記2つのセルで共有していた前記光吸収層の一部分に対してレーザ光が照射されることで当該部分の光吸収層が改質してその導電率を向上させて形成されたものであり、
前記コンタクト電極部が形成された部分を含む所定領域を狙って外部の光源からの光を走査して前記所定領域のフォトルミネセンスを測定するステップと、
前記測定された発光強度が所定の閾値以下に低下した領域を、前記光吸収層の導電率が向上した領域であるものとして特定するステップと、
を有することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記フォトルミネセンスを測定するステップは、
前記第1電極層を分離するためのパターニングの溝と、前記第2電極層を単位電池毎に分離するためのパターニングの溝の形成予定線またはその形成された溝と、の間の予め定められた領域に亘って前記フォトルミネセンスを測定することを特徴とする請求項1に記載の薄膜太陽電池の製造方法。 - 第1電極層と光吸収層と第2電極層とが積層された複数の単位電池を電気的に直列接続してなる薄膜太陽電池の製造方法であって、
基板上に前記第1電極層を形成するステップと、
前記単位電池となる領域毎に前記第1電極層を膜面方向に分離するステップと、
前記分離された第1電極層に前記光吸収層を積層するステップと、
前記光吸収層の上に前記第2電極層を形成するステップと、
前記第2電極層を形成するステップの前または後において、前記単位電池となる領域であって前記第1電極層が分離されて隣り合う2つのセルの間で共有している前記光吸収層の一部分に対してレーザ光を照射することで当該部分の光吸収層を改質させてその導電率が向上した当該部分をコンタクト電極部として形成することで、前記コンタクト電極部を介して一方のセルの前記第1電極層と他方のセルに積層された前記第2電極層とを電気的に接続させるステップと、
前記コンタクト電極部が形成された部分を含む所定領域を狙って外部の光源からの光を走査して前記所定領域のフォトルミネセンスを測定するステップと、
前記測定された発光強度が所定の閾値以下に低下した領域を、前記光吸収層の導電率が向上した領域であるものとして特定するステップと、
前記特定された導電率が向上した領域が前記一方のセルに対応した前記単位電池に残らないように前記第2電極層を単位電池毎に分離するためのパターニングの溝の形成予定線の位置を決定するステップと、
前記決定された位置で、前記第2電極層を、前記2つのセルの間で共有していた前記光吸収層と共に分離するステップと、
を有することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
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