JP5866889B2 - 貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係る光伝送路固定部材は、基板と、基板の厚さ方向に沿って穿設され、側壁に導電材が配設された中空構造の貫通電極と、基板の厚さ方向に沿って穿設された光伝送路固定用の貫通孔と、基板の片側に配置され貫通電極と電気的に接続する配線部と、を備える。
光モジュールは、基板の厚さ方向沿って形成された貫通電極及び光伝送路固定用の複数の貫通孔を備え、基板の両側に貫通電極と電気的に接続された配線部を有する光伝送路固定部材と、基板の片側に複数の光電変換素子及び配線部を備えた光電変換素子アレイ部材とが積層して構成され、光伝送路の配線部と光電変換素子アレイ部材の配線部とがバンプを介して電気的に接続されており、複数の貫通孔は複数の光電変換素子に対応する位置に配置するものである。複数の貫通孔にはそれぞれ光伝送路が挿入される。
上述した本発明の一実施形態に係る光伝送路固定部材100の製造方法について以下に説明する。本発明の光伝送路固定部材の製造には、公知の半導体製造方法及び材料を用いることができる。特にMEMSの製造方法及び材料を好適に用いることができる。図3〜図6は、光伝送路固定部材100の製造方法を説明する模式図である。
〔エッチング条件〕
ガス流量:500sccm
処理圧力:2〜3Pa
RF電源:600W
処理時間:15分
参考例として、実施例と同様の条件で、エッチングの処理時間を5分間行った。参考例の光伝送路固定部材900のSEM像であり、(a)は貫通孔930のテーパー部931を斜め上方から撮影した写真であり、(b)は光伝送路固定部材900の断面写真である。実施例と比べると、参考例においては、エッチングを行ったエッチング面は異方性エッチングに類似した加工面が現れており、第1領域931aはエッチングにより角部を有するような形状となり、第1領域931aと第2領域931bとの境界にはエッジ931cが観察される。また、第2領域231bでは、孔径は同程度であり、徐々に拡径する部位が顕著には観察されない。
Claims (5)
- 第1貫通孔と、第2貫通孔とが厚さ方向に沿って形成された基板を準備する工程と、
前記第2貫通孔の片側の開口部の径が前記基板内部の前記第2貫通孔の径よりも徐々に拡径する部位を含み、かつ前記基板の外側に凸状の曲面となるテーパー部を形成する工程と、
前記第2貫通孔の両側の開口部を塞いだ状態で、前記第1貫通孔の側壁に電解めっきにより導電材を配設して貫通電極を形成する電解めっき工程と、
前記基板の少なくとも片側に電解めっきにより導電材を配設して、前記貫通電極に電気的に接続する配線部を形成する工程と、
を備え、
前記テーパー部を形成する工程は、等方性のエッチングガスを用い、イオンを異方性に照射するドライエッチングを行うことを特徴とする貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法。 - 前記基板の両側に開口部を有する中空構造となるように、前記導電材が前記第1貫通孔の側壁に沿って配設されることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法。
- 前記第1貫通孔の側壁に配設された導電材と、前記基板の片側に配設された導電材とは、同時に形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法。
- 前記導電材は、前記第1貫通孔の側壁に薄膜状に形成されることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載の貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法。
- 前記第2貫通孔の径を、配設する光伝送路の径の110%とし、
前記開口部のテーパー部を、前記第2貫通孔の径の150%〜300%となるように形成することを特徴とする請求項1乃至4の何れか一に記載の貫通電極を備えた光伝送路固定部材の製造方法。
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