JP5866492B2 - 太陽電池およびその製造方法 - Google Patents
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Description
n型半導体層
p型半導体層
p側電極層
n側電極層、および
ZnO透明電極層、ここで
前記n型半導体層は前記p型半導体層に接しており、
前記p型半導体層は、前記p側電極層および前記n型半導体層の間に挟まれており、
前記n型半導体層は、前記n側電極層および前記p型半導体層の間に挟まれており、
前記n側電極層は、前記n型半導体層の上面の一部を被覆しており、
前記n側電極層は、AgxAu1−xからなり、
xは0.1以上0.5以下の値を表し、
前記ZnO透明電極層は、前記n側電極層の上面に形成されており、
前記ZnO透明電極層は、複数のZnO柱状粒子から構成されており、
前記各ZnO柱状粒子は、前記ZnO透明電極層の法線方向に実質的に平行な長手方向を有しており、そして
前記長手方向に垂直に前記ZnO柱状粒子を切断することにより現れる各前記ZnO柱状粒子の断面積は、前記n側電極層の上面から前記ZnO透明電極層の上面に向けて増加している。
図1Aは、本実施形態による太陽電池装置の断面図を示す。
実施例1では、図1Aに示される太陽電池装置が、図2A〜図2Hに示される方法によって作製された。
Ag0.5Au0.5からなるn側電極層109が、1:1のAg:Auのモル比を有するターゲットを用いて形成されたこと以外は、実施例1と同様に太陽電池102が作製された。
図4に示されるように、ZnO透明導電層108が形成されなかったこと以外は、実施例2と同様に太陽電池102が作製された。
Auからなるn側電極層109が、Auのみからなるターゲットを用いて形成されたこと以外は、実施例1と同様に太陽電池102が作製された。いうまでもないが、このn側電極層109は銀を含有しなかった。CBD法が行われた後、Auからなるn側電極層109にZnO粒子は堆積されなかった。
Ag0.8Au0.2からなるn側電極層109が、4:1のAg:Auのモル比を有するターゲットを用いて形成されたこと以外は、実施例1と同様に太陽電池102が作製された。
ZnO透明導電層108がパルスレーザ堆積法(以下、「PLD法」という)により形成されたこと以外は、実施例2と同様に太陽電池102が作製された。比較例4では、柱状粒子ではなく、球状ZnO粒子が形成された。
ZnO透明電極層108が、10mM Zn(NO3)2および10mM ヘキサメチレンテトラミンの混合液に積層体を70℃で3時間、含浸させることによって形成したこと以外は、実施例2と同様に太陽電池が作製された。比較例5においては、混合液の濃度は実施例2のそれよりずっと高い(100倍)ことに留意せよ。
ZnO透明電極層108が、70℃の1mM Zn(NO3)2および1mM ヘキサメチレンテトラミンの混合液に積層体を3時間、含浸させることによって形成したこと以外は、実施例2と同様の実験を行った。比較例6においては、混合液の濃度は実施例2よりも高い(10倍)ことに留意せよ。比較例6による太陽電池のR2/R1は1.8であった。
(1)n側電極層109がAgxAu1−x層であること(xは0.1以上0.5以下の値を表す)、および
(2)R2/R1の比が1.1以上1.5以下であること
102 太陽電池
103 放熱板
104 絶縁層
105 スペーサ
106 配線部
107 反射防止膜
108 ZnO透明導電層
109 n側電極層
110 n側バス電極層
111 n側接続部
112 発電層
113 絶縁層
114 p側バス電極層
115 p側接続部
116 グリッド電極
117 表面電極
118 裏面電極
119 n側コンタクト層
120 n側窓層
121 n型エミッタ層
122 p型ベース層
123 p側窓層
124 p側コンタクト層
201 GaAs基板
202 犠性層
203 第1のマスク
204 第2のマスク
205 支持基板
Claims (6)
- 太陽電池であって、以下を具備する:
n型半導体層
p型半導体層
p側電極層
n側電極層、および
ZnO透明電極層、ここで
前記n型半導体層は前記p型半導体層に接しており、
前記p型半導体層は、前記p側電極層および前記n型半導体層の間に挟まれており、
前記n型半導体層は、前記n側電極層および前記p型半導体層の間に挟まれており、
前記n側電極層は、前記n型半導体層の上面の一部を被覆しており、
前記n側電極層は、AgxAu1-xからなり、
xは0.1以上0.5以下の値を表し、
前記ZnO透明電極層は、前記n側電極層の上面に形成されており、
前記ZnO透明電極層は、複数のZnO柱状粒子から構成されており、
前記各ZnO柱状粒子は、前記ZnO透明電極層の法線方向に実質的に平行な長手方向を有しており、そして
前記長手方向に垂直に前記ZnO柱状粒子を切断することにより現れる各前記ZnO柱状粒子の断面積は、前記n側電極層の上面から前記ZnO透明電極層の上面に向けて増加しており、
S2/S1の比は1.21以上2.25以下である。
ここで、
S1は、前記n側電極層の上面に接する前記ZnO柱状粒子の下端での断面積であり、そして
S2は、前記ZnO透明電極層の上面に位置する前記ZnO柱状粒子の上端の断面積である。 - 請求項1に記載の太陽電池であって、
さらに反射防止膜を具備し、
前記反射防止膜は、前記n型半導体層の上面の残りの部分を被覆している。 - 太陽電池を用いて電気を発生させる方法であって、以下の工程を具備する:
請求項1に記載されている太陽電池を用意する工程(a)、および
前記ZnO透明電極層を介して太陽光を前記n型半導体層および前記p型半導体層に照射し、前記p側電極層および前記n側電極層の間に電圧差を生じさせる工程(b)。 - 太陽電池を製造する方法であって、以下の工程を具備する:
n型半導体層、p型半導体層、およびp側電極層を具備する発電素子を用意する工程(a)、ここで
前記n型半導体層は前記p型半導体層に接しており、そして
前記p型半導体層は、前記p側電極層および前記n型半導体層の間に挟まれており、
AgxAu1-xからなるn側電極層を前記n型半導体層の上面に形成する工程(b)、ここで
xは0.1以上0.5以下の値を表し、
前記n側電極層は、前記n型半導体層の上面の一部を被覆しており、そして
前記n側電極層の上面に、化学浴析出法によりZnO透明電極層を形成する工程(c)、ここで、
ZnO透明電極層は、複数のZnO柱状粒子から構成されており、
前記各ZnO柱状粒子は、前記ZnO透明電極層の法線方向に実質的に平行な長手方向を有しており、そして
前記長手方向に垂直に切断することにより現れる各前記ZnO柱状粒子の断面積は、前記n側電極層の上面から前記ZnO透明電極層の上面に向けて増加しており、
S2/S1は1.21以上2.25以下である。
ここで、
S1は、前記n側電極層の上面に接する前記ZnO柱状粒子の下端部分の断面積であり、
S2は、前記ZnO透明電極層の上面における前記ZnO柱状粒子の上端部分の断面積である。 - 請求項4に記載の方法であって、
工程(c)において、0.1mM Zn(NO3)2および0.1mM ヘキサメチレンテトラミンの混合液に前記n側電極層の上面が接触される。 - 請求項4に記載の方法であって、さらに以下の工程を具備する:
工程(c)の後に、前記n型半導体層の上面の残りの部分に反射防止膜を形成する工程(d)。
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