JP5865256B2 - 第1および第2のシートを積層するための装置および方法 - Google Patents
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Description
−第1の平面に延在する第1の担持体表面に第1のシートを貼り付ける工程と、
−ドラム形担持体の外面によって形成された第2の担持体表面に第2のシートを貼り付ける工程であって、ドラム形担持体は第1の平面から離れた位置に配置された回転軸を有する、工程と、
−第2のシートの第1の位置合わせマークが第1のシートに面する回転位置にドラム形担持体がその回転軸を中心としてある状態で、第1のシートの第1の位置合わせマークが第2のシートの第1の位置合わせマークに面するまで、第1の担持体表面とドラム形担持体との間の相対移動を加え、その後に前記第2の位置合わせマーク同士が一致するまで、前記第1のシートの前記第1の位置合わせマークを通る軸を中心として前記第1の担持体表面を回転させる工程と、
−第2のシートの第2の位置合わせマークが第1のシートに面する回転位置にドラム形担持体がその回転軸を中心としてある状態で、第1のシートの第2の位置合わせマークが第2のシートの第2の位置合わせマークに面するまで、第1の担持体表面とドラム形担持体との間の相対移動を加える工程と、
−ドラム形担持体を第1の担持体表面の方向に移動させる工程と、
−第1および第2のシートを互いに積層するために、ドラム形担持体を第1の担持体表面上で転動させる工程と、
を含む。
おいて、第2の位置合わせマーク1b、2bの相対位置が求められる。第2の位置合わせマーク1b、2bが一致するまで、第1のシートの第1の位置合わせマーク1aを通る軸を中心に第1の担持体表面12が回転される。
Claims (9)
- 第1および第2の位置合わせマークをそれぞれ有する第1および第2のシート(1、2)を積層するための装置であって、前記装置は、
−前記第1のシート(1)を担持するために第1の平面上に延在する第1の担持体表面(12)を有する平板状担持体(10)と、
−前記第2のシート(2)を担持するために円筒状ドラム形担持体(20)の外面によって形成された第2の担持体表面(22)であって、前記ドラム形担持体(20)は前記第1の平面と位置合わせされた第1の方向(X)に配置された回転軸(24)を有する、第2の担持体表面(22)と、
−前記第1の平面と位置合わせされた前記回転軸に対して前記第1の担持体表面を前記第1の方向(X)に直角な第2の方向(Y)に並進させるための第1の並進設備(14)と、
−前記ドラム形担持体を前記回転軸を中心に回転させるための回転設備(26)と、
−前記第1の担持体表面(12)に対して前記ドラム形担持体(20)を前記第1の平面に直角な第3の方向(Z)に並進させるための第2の並進設備(28)と、を備え、
−前記装置は、前記ドラム形担持体(20)が前記第1の担持体表面(12)から前記第3の方向(Z)に離れた位置にある第1主動作モードと、前記第1および前記第2のシート(1、2)を互いに接触させるために前記ドラム形担持体(20)が第1の担持体表面に近い位置にある第2主動作モードとを有し、
−前記第1主動作モードは第1および第2サブモードを有し、前記第1サブモードにおいて、前記ドラム形担持体(20)の前記回転軸(24)は、前記第1の担持体表面に対して前記第2の方向(Y)に第1の位置(y1)を有し、前記ドラム形担持体はその回転軸(24)を中心として第1の回転角(α1)を有し、前記第2サブモードにおいて、前記ドラム形担持体(20)の前記回転軸(24)は、前記第1の担持体表面に対して前記第2の方向(Y)に第2の位置(y2)を有し、前記ドラム形担持体(20)はその回転軸(24)を中心として、前記第1の回転角とは異なる第2の回転角(α2)を有し、前記第1および前記第2の位置間の相対距離は前記回転角の差によって画定された前記ドラム形担持体の角度範囲の外周に対応し、
前記装置は、
−前記ドラム形担持体(20)を固定位置に維持した状態で、前記第1の担持体表面(12)を前記第1の平面内で並進および回転させるための位置合わせ設備(16)と、
−前記第1主動作モードの前記第1および前記第2サブモードにおいて、前記第2のシート(2)の前記第1の位置合わせマーク(2a)に対する前記第1のシート(1)の前記第1の位置合わせマーク(1a)の第1の相対位置を求め、前記第2のシート(2)の前記第2の位置合わせマーク(2b)に対する前記第1のシート(1b)の前記第2の位置合わせマークの第2の相対位置を求めるための感知システム(30)と、
−前記第1および前記第2の相対位置の示度を受信して前記示度に基づき前記位置合わせ設備(16)を制御するための制御設備(40)と、
を備え、
−前記制御設備(40)は前記第1主動作モードの前記第1サブモードにおいて、前記第1および前記第2のシートの前記第1の位置合わせマーク(1a,2a)を互いに位置合わせし、前記第1主動作モードの前記第2サブモードにおいて、前記第1および前記第2のシートの前記第2の位置合わせマーク(1b,2b)を互いに位置合わせするために前記位置合わせ設備を制御し、
前記制御設備(40)は、前記第2主動作モードにおいて、前記ドラム形担持体に前記第1の担持体表面上で回転運動またはこれと等価な運動を行わせるために、前記並進設備(14)と前記回転設備(26)とを制御する、装置。 - 前記ドラム形担持体(20)の前記回転軸(24)は固定位置を有し、前記第1の並進設備(14)は前記第1の担持体表面(12)を前記第2の方向(Y)に並進させるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記感知システムは視覚的検出設備(30)を備え、前記平板状担持体は第1開口部(17a)と第2開口部(17b)とを画成し、前記円筒状ドラム形担持体(20)は第1開口部(27a)と第2開口部(27b)とを画成し、前記第1主動作モードの前記第1サブモードにおいて前記平板状担持体(10)および前記ドラム形担持体(20)の前記第1開口部(17a、27a)は互いに向かい合わせに位置付けられ、前記視覚的検出設備(30)は前記第1開口部(17a、27a)の一方(17a)から前記第1開口部の他方(27a)への方向に対応する視線を有し、前記第1主動作モードの前記第2サブモードにおいて前記平板状担持体(10)および前記ドラム形担持体(20)の前記第2開口部(17b、27b)は互いに向かい合わせに位置付けられ、前記視覚的検出設備は前記第2開口部(17b、27b)の一方(17b)から前記第2開口部の他方(27b)への方向に視線を有する、請求項2に記載の装置。
- 前記視覚的検出設備(30)は前記平板状担持体(10)の前記ドラム形担持体(20)とは反対の側に面して配置される、請求項3に記載の装置。
- 前記視覚的検出設備の前記視線に配置された光子放射源(34)を備える、請求項3または4に記載の装置。
- 前記平板状担持体(10)は前記第1の並進設備(14)とは独立に制御可能な微細位置決め手段(16)を備える、請求項3に記載の装置。
- 前記平板状担持体は、前記第1の並進設備(14)によって前記第2の方向(Y)に移動可能な第1のテーブル(11)と、前記位置合わせ設備(16)によって前記第1のテーブル(11)に対して前記第1の平面内で移動可能な前記第1の担持体表面(12)を
画成する第2のテーブル(15)とを備える、請求項6に記載の装置。 - 前記第1のシート(1)を前記第1の担持体表面(12)に能動的に一時的に取り付け、前記第2のシート(2)を前記第2の担持体表面(22)に能動的に一時的に取り付けるための取り付け設備(50)をさらに備える、請求項4に記載の装置。
- 第1および第2の位置合わせマークをそれぞれ有する第1および第2のシートを積層する方法であって、
−第1の平面に延在する第1の担持体表面に前記第1のシートを貼り付ける工程(S1A)と、
−ドラム形担持体の外面によって形成された第2の担持体表面に前記第2のシートを貼り付ける工程であって、前記ドラム形担持体は前記第1の平面から離れた位置に配置された回転軸を有する、工程(S1B)と、
−前記ドラム形担持体をその回転軸を中心に第1の回転位置まで回転させる工程であって、前記第2のシートの前記第1の位置合わせマークが前記第1のシートに面する、工程と、
−前記ドラム形担持体が前記第1の回転位置にある状態で、前記第1のシートの前記第1の位置合わせマーク(1a)が前記第2のシートの前記第1の位置合わせマーク(2a)に面するまで、前記第1の担持体表面と前記ドラム形担持体との間の相対運動を加える工程(S2)と、
−前記ドラム形担持体をその回転軸を中心に第2の回転位置まで回転させ、さらに前記第1および前記第2の回転位置の間の回転角の差によって画定される前記ドラム形担持体の角度範囲の外周に対応する相対距離にわたって前記回転軸を並進させる工程と、
−前記ドラム形担持体が前記第2の回転位置にある状態で、前記第1のシートの前記第2の位置合わせマーク(1b)が前記第2のシートの前記第2の位置合わせマーク(2b)に面するまで、前記第1の担持体表面と前記ドラム形担持体との間の相対運動を加え、その後に前記第2の位置合わせマーク同士が一致するまで、前記第1のシートの前記第1の位置合わせマークを通る軸を中心として前記第1の担持体表面を回転させる工程(S3)と、
−前記ドラム形担持体を前記第1の担持体表面に向かって移動させる工程(S4)と、
−前記第1および前記第2のシートを互いに貼り合わせるために前記ドラム形担持体を前記第1の担持体表面上で転動させる工程(S5)と、を含む方法。
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