JP5849576B2 - 塗布システム - Google Patents
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Description
2 塗布装置
3 上流側移送ロボット(周辺装置)
5 制御ユニット(動作禁止手段)
21 禁止信号出力部(情報出力手段)
22 禁止制御部(禁止制御手段)
Sg2 禁止信号(情報)
S 基板
f 表面
Claims (4)
- 基板の表面に塗布液を塗布する塗布操作を実行する塗布装置と、前記塗布装置の周辺に設置され、前記塗布装置が実行する前記塗布操作に悪影響を与える振動を発する動作であって動作開始から動作終了までの動作期間の途中で中断できない所定動作を行う周辺装置と、前記塗布操作の開始時期よりも前記動作期間以上先行する時期から前記塗布操作が終了する時期までの期間中に前記所定動作の開始を禁止することにより、前記塗布装置による前記塗布操作の実行中に、前記周辺装置による前記所定動作の実行を禁止させる動作禁止手段と、を備える塗布システム。
- 前記動作禁止手段は、前記塗布操作が実行中か否かを判別可能な情報を出力する情報出力手段と、前記塗布操作の実行中に前記所定動作が禁止されるように、前記情報出力手段が出力する前記情報に基づいて前記周辺装置を制御する禁止制御手段と、を有する請求項1に記載の塗布システム。
- 前記情報出力手段は、前記塗布操作の実行中に前記情報として禁止信号を出力し、
前記禁止制御手段は、前記禁止信号が出力されている間に前記所定動作が禁止されるように前記周辺装置を制御する、請求項2に記載の塗布システム。 - 前記情報出力手段は、前記塗布操作の実行中に前記情報として禁止信号を出力し、
前記禁止制御手段は、前記塗布操作の開始時期よりも前記動作期間以上先行する前記時期に開始し前記禁止信号の出力停止に合わせて終了する禁止制御モードを前記所定動作の開始が禁止される前記期間中に設定し、前記禁止制御モードが設定されている間に前記所定動作の開始を禁止する、請求項2に記載の塗布システム。
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JP2011214561A JP5849576B2 (ja) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 塗布システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011214561A JP5849576B2 (ja) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 塗布システム |
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JP2013074267A JP2013074267A (ja) | 2013-04-22 |
JP5849576B2 true JP5849576B2 (ja) | 2016-01-27 |
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Family Applications (1)
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JP2011214561A Active JP5849576B2 (ja) | 2011-09-29 | 2011-09-29 | 塗布システム |
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-
2011
- 2011-09-29 JP JP2011214561A patent/JP5849576B2/ja active Active
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