JP5841382B2 - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Description
なお、以下の説明では、各図面に示した矢印方向に基づいて前後方向、左右方向、及び上下方向を規定する。
ワーク搬送装置1は、主として、ワーク搬送機構20と、ベース部材10と、真空シールユニット100と、により構成される。
内側スライダ41及び外側スライダ42・42は、図示せぬベルト等の駆動伝達機構を介して前記本体部駆動ユニットに接続される。内側スライダ41及び外側スライダ42・42は、前記駆動伝達機構を介して伝達された前記本体部駆動ユニットの駆動力によって、前後方向に往復移動可能に構成される。
なお、真空シールユニット100の構成についての詳細な説明は後述する。
なお、図3から図5に示した矢印は、冷却媒体の流れを示すものである。
なお、図6においては、第三シールリング133から冷却媒体が漏れた場合を想定している。
つまり、旋回軸110は、本発明に係る「旋回軸」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。また、支持部120は、本発明に係る「支持部」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。また、第一・第二・第三・第四シールリング131・132・133・134は、本発明に係る「複数の円環状シール部材」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。また、冷却流路140は、本発明に係る「冷却流路」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。また、第一・第二・第三空間1・152・153は、本発明に係る「第一・第二・第三空間」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。また、リリーフ流路163は、本発明に係る「第二冷却流路」の一実施形態であって、この構成に限定するものではない。
なお、図7において、真空シールユニット100の構成と同一の箇所については、同一の符号を付することでその説明を省略する。
なお、図8において、真空シールユニット100の構成と同一の箇所については、同一の符号を付することでその説明を省略する。
なお、図9において、真空シールユニット100の構成と同一の箇所については、同一の符号を付することでその説明を省略する。
本発明に係る一実施形態であるワーク搬送装置1は、
真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構20と、
前記真空室の外部から前記ワーク搬送機構20を旋回させるベース部材10と、
前記ワーク搬送機構20と前記ベース部材10との間をシールする真空シールユニット100と、
を具備するワーク搬送装置であって、
前記真空シールユニット100は、
前記ワーク搬送機構20と前記ベース部材10とを連結する旋回軸110と、
前記旋回軸110を軸心回りに回転可能に支持する支持部120と、
前記旋回軸110と前記支持部120との間に介在される第一・第二・第三・第四シールリング131・132・133・134(複数の円環状シール部材)と、
前記旋回軸110の内部及び前記ワーク搬送機構20を循環するように形成されて冷却媒体が流れる冷却流路140と、
を具備し、
前記第一・第二・第三・第四シールリング131・132・133・134(複数の円環状シール部材)のうち離間して隣り合うシールリングと、前記旋回軸110とによって、相互に独立した空間である第一空間151及び第二空間152を当該旋回軸110の周囲を囲うように区画形成し、
前記第一空間151を区画形成している旋回軸110の外周面に前記冷却流路140の一端部を連通させ、
前記第二空間152を区画形成している旋回軸110の外周面に前記冷却流路140の他端部を連通させ、
前記旋回軸110が軸心回りに回転している間であっても、前記第二空間152に供給された冷却媒体が、前記冷却流路140を流れて前記第一空間151に供給可能であるものである。
前記第一・第二・第三・第四シールリング131・132・133・134(複数の円環状シール部材)のうち離間して隣り合うリールリングと、前記旋回軸110とによって、前記第一空間151及び前記第二空間152から相互に独立した空間である第三空間153を、当該旋回軸110の周囲を囲うように区画形成し、
前記第三空間153の内部と外部とを連通するリリーフ流路163(第二冷却流路)を具備し、
前記第三空間153は、前記第二空間152を区画形成している第三シールリング133から漏れた冷却媒体を導入可能として、前記旋回軸110が軸心回りに回転している間であっても、当該導入された冷却媒体がリリーフ流路163(第二冷却流路)を流れて外部に排出可能であるものである。
10 ベース部材
20 ワーク搬送機構
100 真空シールユニット
110 旋回軸
120 支持部
130 シールユニット
131 第一シールユニット
132 第二シールユニット
133 第三シールユニット
134 第四シールユニット
140 冷却流路
151 第一空間
152 第二空間
153 第三空間
163 リリーフ流路
Claims (2)
- 真空室の内部でワークを搬送するワーク搬送機構と、
前記真空室の外部から前記ワーク搬送機構を旋回させるベース部材と、
前記ワーク搬送機構と前記ベース部材との間をシールする真空シールユニットと、
を具備するワーク搬送装置であって、
前記真空シールユニットは、
前記ワーク搬送機構と前記ベース部材とを連結する旋回軸と、
前記旋回軸を軸心回りに回転可能に支持する支持部と、
前記旋回軸と前記支持部との間に介在される複数の円環状シール部材と、
前記旋回軸の内部及び前記ワーク搬送機構を循環するように形成されて冷却媒体が流れる冷却流路と、
を具備し、
前記冷却流路は、前記旋回軸の内部を貫通した貫通孔及び中空のパイプ部材によって構成され、
前記複数の円環状シール部材のうち離間して隣り合う円環状シール部材と、前記旋回軸とによって、相互に独立した空間である第一空間及び第二空間を当該旋回軸の周囲を囲うように区画形成し、
前記第一空間を区画形成している旋回軸の外周面に前記冷却流路の一端部を連通させ、
前記第二空間を区画形成している旋回軸の外周面に前記冷却流路の他端部を連通させ、
前記旋回軸が軸心回りに回転している間であっても、前記第二空間に供給された冷却媒体が、前記冷却流路を流れて前記第一空間に供給可能である、
ことを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記複数の円環状シール部材のうち離間して隣り合う円環状シール部材と、前記旋回軸とによって、前記第一空間及び前記第二空間から相互に独立した空間である第三空間を、当該旋回軸の周囲を囲うように区画形成し、
前記第三空間の内部と外部とを連通する第二冷却流路を具備し、
前記第三空間は、前記第一空間及び前記第二空間を区画形成している円環状シール部材から漏れた冷却媒体を導入可能として、前記旋回軸が軸心回りに回転している間であっても、当該導入された冷却媒体が前記第二冷却流路を流れて外部に排出可能である、
ことを特徴とする請求項1に記載されたワーク搬送装置。
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