JP2010157538A - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを搬送するためのハンド機構と、ハンド機構の駆動源となるスライド用駆動モータ82C,82Dとを備えたワーク搬送装置であって、スライド用駆動モータ82C,82Dを収容した状態で隔壁蓋82Bにより開口が閉じられる密閉ボックス82を備え、隔壁蓋82Bは、外板部材821と内板部材822とを重ね合わせて接合された構造からなり、これら外板部材821と内板部材822との接合面部分に冷媒循環用の流路Rが形成されている。
【選択図】 図6
Description
J1,J3,J4 スイベルジョイント(回転継手)
R 流路
S1,S2,S3 気密シール
2 台座
3 貫通配管
4 シザースリフト機構
40 ステージ
40H 貫通接続配管
41 第1のシザースリンク
410,411 交差アーム
42 第2のシザースリンク
420,421 交差アーム
43 リフト用駆動モータ
5 上部配管
6 中間配管
7 下部配管
8 ハンド機構
80 ハンド
82 密閉ボックス
82A ボックス本体
82B 隔壁蓋
821 外板部材
821A 凹溝
822 内板部材
822C 凹溝
820A ボックス本体の底面
820B 凹溝
90 板状部材
Claims (12)
- ワークを搬送するためのワーク搬送機構と、上記ワーク搬送機構の駆動源となる駆動手段とを備えたワーク搬送装置であって、
上記駆動手段を収容した状態で隔壁蓋により開口が閉じられる密閉ボックスを備え、
上記隔壁蓋は、外板部材と内板部材とを重ね合わせて接合された構造からなり、これら外板部材と内板部材との接合面部分に冷媒循環用の流路が形成されていることを特徴とする、ワーク搬送装置。 - 上記隔壁蓋は、上記密閉ボックスの開口周縁部と上記外板部材との間に気密シールを挟み込んだ状態で、かつ、上記内板部材全体を上記密閉ボックスの内部に没入させた状態で取り付けられる、請求項1に記載のワーク搬送装置。
- 上記外板部材および内板部材は、上記流路と流路との間に気密シールを配置した状態で互いに接合されている、請求項1または2に記載のワーク搬送装置。
- 上記流路は、上記外板部材および内板部材の少なくともいずれか一方の接合面部分に形成された凹溝からなる、請求項1ないし3のいずれかに記載のワーク搬送装置。
- ワークを搬送するためのワーク搬送機構と、上記ワーク搬送機構の駆動源となる駆動手段とを備えたワーク搬送装置であって、
上記駆動手段を収容した状態で密閉される密閉ボックスを備え、
上記密閉ボックスの内面には、板状部材が重ね合わせて接合されており、これら内面と板状部材との接合面部分に冷媒循環用の流路が形成されていることを特徴とする、ワーク搬送装置。 - 上記内面と板状部材とは、上記流路と流路との間に気密シールを配置した状態で互いに接合されている、請求項5に記載のワーク搬送装置。
- 上記流路は、上記内面および板状部材の少なくともいずれか一方の接合面部分に形成された凹溝からなる、請求項5または6に記載のワーク搬送装置。
- 上記ワーク搬送機構としては、上記ワークを保持するためのハンドを水平方向に往復移動させるハンド機構を備え、かつ、
上記ハンド機構を搭載した状態でこれを鉛直方向に昇降させるシザースリフト機構と、
上記シザースリフト機構を搭載する台座と、
上記台座を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、
をさらに備えている、請求項1ないし7のいずれかに記載のワーク搬送装置。 - 上記ハンド機構は、
上記ワークを保持するハンドと、
上記ハンドを支持するとともに、このハンドをスライド動作あるいはリンク動作によって水平方向に往復直線運動させる往復動作機構と、
上記駆動手段として上記往復動作機構を動作させる往復動作用駆動手段と、
上記密閉ボックスとを有しており、
上記シザースリフト機構は、
上記往復動作機構および往復動作用駆動手段を搭載するステージと、
互いに中間部で交差しつつ水平軸周りに回動可能に連結され、一方の上端部が上記ステージに対して水平方向に滑り移動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平軸周りに回動可能に連結されているとともに、他方の上端部が上記ステージに対して水平軸周りに回動可能でかつ下端部が上記台座に対して水平方向に滑り移動可能に連結された一対の交差アームからなる第1のシザースリンクと、
上記第1のシザースリンクと同じ連結形態の一対の交差アームからなり、この第1のシザースリンクに対して平行に配置された第2のシザースリンクと、
上記台座に搭載され、この台座に対して滑り移動可能に連結された上記第1および第2のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を滑り移動させるリフト用駆動手段とを有している、請求項8に記載のワーク搬送装置。 - 上記台座に対して回動可能に連結された上記第1のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部から中間部にかけては、下部配管が付設されているとともに、上記ステージに対して回動可能に連結された上記第2のシザースリンクにおける上記交差アームの上端部から中間部にかけては、上部配管が付設されており、かつ、上記第1および第2のシザースリンクにおける上記交差アームの中間部同士の間には、上記下部配管および上部配管に連通するように中間配管が接続されている、請求項9に記載のワーク搬送装置。
- 上記台座には、貫通配管が設けられており、この貫通配管は、上記第1のシザースリンクにおける上記交差アームの下端部を経由して上記下部配管に連通しているとともに、上記上部配管は、接続配管を介して上記密閉ボックスに接続されている、請求項10に記載のワーク搬送装置。
- 上記貫通配管から上記下部配管へと連通し、さらに上記中間配管を通って上記上部配管および接続配管へと連通する管路全体には、上記密閉ボックスの流路に接続される冷媒循環用のパイプが収容されている、請求項11に記載のワーク搬送装置。
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