JP2001287188A - ケーブル処理装置 - Google Patents
ケーブル処理装置Info
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- JP2001287188A JP2001287188A JP2000107162A JP2000107162A JP2001287188A JP 2001287188 A JP2001287188 A JP 2001287188A JP 2000107162 A JP2000107162 A JP 2000107162A JP 2000107162 A JP2000107162 A JP 2000107162A JP 2001287188 A JP2001287188 A JP 2001287188A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来は、アームタイプのロボットが使用さ
れ、ロボットの配線は真空容器外に位置し、真空容器内
に固定された被処理基板保持装置を大気側から動作させ
るようにしており、その構成はシンプルでなく、コスト
も高い。 【解決手段】 真空気密状態を維持できる真空容器１
と、その真空容器１の側面を貫通し真空容器１の真空側
内部と大気側外部に渡って敷設される長手形状の軸３
と、真空容器１の内部に位置する軸３の端末部に固着さ
れた被処理基板保持装置４と、この装置４を大気側外部
から軸３を介して往復運動させる駆動装置６と、真空容
器１か駆動装置６の固定フレームかまたは全て一体に接
合され、往復運動する軸３を支承する軸支持部２とを持
つ装置において、軸３は中空軸を形成し、装置４と軸３
の端末部の結合部3bは気密にし、装置４からの可撓性の
ケーブルおよび冷却水用ホース５が中空軸３を貫通して
制御手段へ接続して構成されたケーブル処理装置であ
る。
れ、ロボットの配線は真空容器外に位置し、真空容器内
に固定された被処理基板保持装置を大気側から動作させ
るようにしており、その構成はシンプルでなく、コスト
も高い。 【解決手段】 真空気密状態を維持できる真空容器１
と、その真空容器１の側面を貫通し真空容器１の真空側
内部と大気側外部に渡って敷設される長手形状の軸３
と、真空容器１の内部に位置する軸３の端末部に固着さ
れた被処理基板保持装置４と、この装置４を大気側外部
から軸３を介して往復運動させる駆動装置６と、真空容
器１か駆動装置６の固定フレームかまたは全て一体に接
合され、往復運動する軸３を支承する軸支持部２とを持
つ装置において、軸３は中空軸を形成し、装置４と軸３
の端末部の結合部3bは気密にし、装置４からの可撓性の
ケーブルおよび冷却水用ホース５が中空軸３を貫通して
制御手段へ接続して構成されたケーブル処理装置であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置に係
り、特に真空容器内へ貫通する中空軸とその軸端に固着
された被処理基板保持装置を大気側から往復運動させる
装置における被処理基板保持装置へのケーブルおよび冷
却水用ホース等の処理装置に関する。
り、特に真空容器内へ貫通する中空軸とその軸端に固着
された被処理基板保持装置を大気側から往復運動させる
装置における被処理基板保持装置へのケーブルおよび冷
却水用ホース等の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空容器内で被処理基板を保持
し、それに搬送動作や基板への処理動作を与える機構と
しては、例えばアームタイプのロボットが使用されてい
る。その場合には、ロボットの配線は真空容器外に位置
することになり、ロボットの動作によってケーブルに屈
曲は生じない。しかし、真空容器内の被処理基板の受け
渡しや基板への処理のための省スペース化や発塵、発ガ
スなどの点から被処理基板を保持し、それに動作を与え
る装置としては、真空容器を貫通する軸とその軸の真空
容器内に固定された被処理基板保持装置を大気側から動
作させるようにしたシンプルな構造の方が望ましい。被
処理基板保持装置は、基板を保持するだけでなく、駆動
軸を持つ場合もあり、ケーブルを処理する必要がある。
また、処理が真空内で行われるため、被処理基板を冷却
する必要がある場合に、例えば冷却水を循環させる方法
をとれば、冷却水用ホースも処理する必要がある。それ
らケーブルおよびホースは、真空容器内に配置、処理す
る装置が考えられる。
し、それに搬送動作や基板への処理動作を与える機構と
しては、例えばアームタイプのロボットが使用されてい
る。その場合には、ロボットの配線は真空容器外に位置
することになり、ロボットの動作によってケーブルに屈
曲は生じない。しかし、真空容器内の被処理基板の受け
渡しや基板への処理のための省スペース化や発塵、発ガ
スなどの点から被処理基板を保持し、それに動作を与え
る装置としては、真空容器を貫通する軸とその軸の真空
容器内に固定された被処理基板保持装置を大気側から動
作させるようにしたシンプルな構造の方が望ましい。被
処理基板保持装置は、基板を保持するだけでなく、駆動
軸を持つ場合もあり、ケーブルを処理する必要がある。
また、処理が真空内で行われるため、被処理基板を冷却
する必要がある場合に、例えば冷却水を循環させる方法
をとれば、冷却水用ホースも処理する必要がある。それ
らケーブルおよびホースは、真空容器内に配置、処理す
る装置が考えられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来のケーブ
ルおよびホースを真空容器内に配線・配管する場合に
は、ケーブルおよびホースに耐真空仕様の部材を使用す
るか、若しくはケーブルおよびホースをダクトに入れ、
そのダクトに耐真空仕様の部材を使用する装置が考えら
れる[ 以下、これを「従来例」という] 。そして従来例
については、基板の搬送や基板への処理に影響しないよ
うに、また被処理基板保持装置の動作に伴う屈曲に対し
て、長寿命が期待できるような配線・配管にする必要が
ある。従ってそのような従来例の場合、ケーブルおよび
ホースが耐真空仕様の部材を使用されるため、高価にな
る。真空容器内に配線するため、真空容器内にそのため
のスペースを必要とし、また発塵・発ガスなど真空容器
内への悪影響が大きく、ホースの破損によって水漏れし
た場合には真空容器内およびポンプに大きなダメージを
与える恐れがあるため、十分な対策を施しておく必要が
あり、ケーブル交換が真空容器内の作業になり、真空容
器内を大気にしなければならず、作業性も悪い等の問題
点があった。
ルおよびホースを真空容器内に配線・配管する場合に
は、ケーブルおよびホースに耐真空仕様の部材を使用す
るか、若しくはケーブルおよびホースをダクトに入れ、
そのダクトに耐真空仕様の部材を使用する装置が考えら
れる[ 以下、これを「従来例」という] 。そして従来例
については、基板の搬送や基板への処理に影響しないよ
うに、また被処理基板保持装置の動作に伴う屈曲に対し
て、長寿命が期待できるような配線・配管にする必要が
ある。従ってそのような従来例の場合、ケーブルおよび
ホースが耐真空仕様の部材を使用されるため、高価にな
る。真空容器内に配線するため、真空容器内にそのため
のスペースを必要とし、また発塵・発ガスなど真空容器
内への悪影響が大きく、ホースの破損によって水漏れし
た場合には真空容器内およびポンプに大きなダメージを
与える恐れがあるため、十分な対策を施しておく必要が
あり、ケーブル交換が真空容器内の作業になり、真空容
器内を大気にしなければならず、作業性も悪い等の問題
点があった。
【０００４】さらに参考文献として特開平7-205082号公
報がある。これの目的は「ロボット本体又は移動軸から
のケーブル取出し方向の変更が小型・軽量化した構造で
任意に変更できる支持装置を提供する」であり、その構
成は「ケーブル取出しケースのケーブル取出し穴にホル
ダーを固定し、ホルダーの長手方向端面の溝にエルボ状
アダプタの嵌合部を嵌合して、ホルダーの長手方向中心
線の周りに回転自在に接合し、ビスにより固定する。ア
ダプタに螺着したケーブル保持具により支持されたケー
ブルは、ホルダー側のコネクタとケーブル取出しケース
側のコネクタとによりモータと接続される。ケーブルの
取り出し方向はホルダーのアダプタとの接合面を含む平
面内でホルダーの長手方向中心線の周りで変更し、その
位置でビスにより固定する。ホルダーからアダプタを取
外して使用することもできる。」としている。この参考
文献は、ケーブルの取出し部が可動機構を成さず、また
ケーブルを取出すケーブル取出しケースないしホルダ・
アダプタは真空気密手段を不要とし、これらから自ずと
ケーブル支持機構に明白な差異があり、本発明の技術的
範疇か逸れている。
報がある。これの目的は「ロボット本体又は移動軸から
のケーブル取出し方向の変更が小型・軽量化した構造で
任意に変更できる支持装置を提供する」であり、その構
成は「ケーブル取出しケースのケーブル取出し穴にホル
ダーを固定し、ホルダーの長手方向端面の溝にエルボ状
アダプタの嵌合部を嵌合して、ホルダーの長手方向中心
線の周りに回転自在に接合し、ビスにより固定する。ア
ダプタに螺着したケーブル保持具により支持されたケー
ブルは、ホルダー側のコネクタとケーブル取出しケース
側のコネクタとによりモータと接続される。ケーブルの
取り出し方向はホルダーのアダプタとの接合面を含む平
面内でホルダーの長手方向中心線の周りで変更し、その
位置でビスにより固定する。ホルダーからアダプタを取
外して使用することもできる。」としている。この参考
文献は、ケーブルの取出し部が可動機構を成さず、また
ケーブルを取出すケーブル取出しケースないしホルダ・
アダプタは真空気密手段を不要とし、これらから自ずと
ケーブル支持機構に明白な差異があり、本発明の技術的
範疇か逸れている。
【０００５】そこで本発明は、先の従来例の問題点に鑑
み、真空容器を貫通する軸とその軸端に真空容器内で固
着された被処理基板保持装置を大気側から往復運動させ
る装置における被処理基板保持装置のケーブルおよび冷
却水用ホースの処理装置に関して、ケーブルおよび冷却
水用ホースが安価で、軸の往復運動に対して長寿命であ
り、省スペースに配線・配管でき、発塵・発ガスなど真
空容器内への悪影響がなく、真空容器内およびポンプに
大きなダメージを与える恐れもなく、メンテナンス性に
も優れたケーブル処理装置を提供することを目的とす
る。
み、真空容器を貫通する軸とその軸端に真空容器内で固
着された被処理基板保持装置を大気側から往復運動させ
る装置における被処理基板保持装置のケーブルおよび冷
却水用ホースの処理装置に関して、ケーブルおよび冷却
水用ホースが安価で、軸の往復運動に対して長寿命であ
り、省スペースに配線・配管でき、発塵・発ガスなど真
空容器内への悪影響がなく、真空容器内およびポンプに
大きなダメージを与える恐れもなく、メンテナンス性に
も優れたケーブル処理装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１の発明は、半導体製造装置であっ
て、真空気密状態を維持できる真空容器と、その真空容
器の側面を貫通し前記真空容器の真空側内部と大気側外
部に渡って敷設される長手形状の軸と、前記真空容器の
内部に位置する前記軸の端末部に固着された被処理基板
保持装置と、この被処理基板保持装置を前記大気側外部
から前記軸を介して往復運動させる駆動装置と、前記真
空容器か前記駆動装置の固定フレームかまたは全て一体
に接合され、前記往復運動する前記軸を支承する軸支持
部とを持つ装置において、前記軸は中空軸を形成し、前
記被処理基板保持装置と軸の端末部の結合部は気密に
し、前記被処理基板保持装置からの可撓性のケーブルお
よび冷却水用ホースが前記中空軸を貫通して制御手段へ
接続したことを特徴とするケーブル処理装置である。か
くして本発明によれば、ケーブルおよび冷却水用ホース
は軸の中に配線・配管し、大気中に配置するため、ケー
ブルおよび冷却水用ホースを耐真空仕様の部材にする必
要がなく、他部品に比べ比較的寿命の短いケーブルおよ
び冷却水用ホース自体を低コスト化でき、真空容器内に
ケーブル処理のためのスペースをとる必要がない。ま
た、真空容器内にケーブルおよび冷却水用ホースの配線
・配管がないため、真空容器内の発塵・発ガスなど真空
容器内への悪影響がなく、冷却水用ホースの損傷による
水漏れで真空容器内およびポンプに大きなダメージを与
える恐れがない。さらに、被処理基板保持装置から軸の
中を通って、ケーブルサポータまでのケーブル・ホース
は軸の往復運動に伴って屈曲がなく、長寿命が期待でき
る一方、ケーブルサポータからコネクタボックスまでの
ケーブル・ホースは、軸の往復運動に伴って屈曲を繰り
返すが、ケーブルサポータ上でコネクタ・配管金具を用
いて接続するようにしたので、ケーブル交換に関して
は、ケーブルサポータからコネクタボックス間のケーブ
ルを交換すればよく、大気側での作業となり比較的容易
にできる。さらにまた、ケーブルおよび冷却水用ホース
の寿命に関して、破損の可能性の高いのはクランプ部と
屈曲部であるが、ケーブルサポータ上のクランプ部とフ
レーム上のクランプ部が傾動可能となっているため、ク
ランプ部での破損に対する寿命を延ばすことができる。
に、本発明の請求項１の発明は、半導体製造装置であっ
て、真空気密状態を維持できる真空容器と、その真空容
器の側面を貫通し前記真空容器の真空側内部と大気側外
部に渡って敷設される長手形状の軸と、前記真空容器の
内部に位置する前記軸の端末部に固着された被処理基板
保持装置と、この被処理基板保持装置を前記大気側外部
から前記軸を介して往復運動させる駆動装置と、前記真
空容器か前記駆動装置の固定フレームかまたは全て一体
に接合され、前記往復運動する前記軸を支承する軸支持
部とを持つ装置において、前記軸は中空軸を形成し、前
記被処理基板保持装置と軸の端末部の結合部は気密に
し、前記被処理基板保持装置からの可撓性のケーブルお
よび冷却水用ホースが前記中空軸を貫通して制御手段へ
接続したことを特徴とするケーブル処理装置である。か
くして本発明によれば、ケーブルおよび冷却水用ホース
は軸の中に配線・配管し、大気中に配置するため、ケー
ブルおよび冷却水用ホースを耐真空仕様の部材にする必
要がなく、他部品に比べ比較的寿命の短いケーブルおよ
び冷却水用ホース自体を低コスト化でき、真空容器内に
ケーブル処理のためのスペースをとる必要がない。ま
た、真空容器内にケーブルおよび冷却水用ホースの配線
・配管がないため、真空容器内の発塵・発ガスなど真空
容器内への悪影響がなく、冷却水用ホースの損傷による
水漏れで真空容器内およびポンプに大きなダメージを与
える恐れがない。さらに、被処理基板保持装置から軸の
中を通って、ケーブルサポータまでのケーブル・ホース
は軸の往復運動に伴って屈曲がなく、長寿命が期待でき
る一方、ケーブルサポータからコネクタボックスまでの
ケーブル・ホースは、軸の往復運動に伴って屈曲を繰り
返すが、ケーブルサポータ上でコネクタ・配管金具を用
いて接続するようにしたので、ケーブル交換に関して
は、ケーブルサポータからコネクタボックス間のケーブ
ルを交換すればよく、大気側での作業となり比較的容易
にできる。さらにまた、ケーブルおよび冷却水用ホース
の寿命に関して、破損の可能性の高いのはクランプ部と
屈曲部であるが、ケーブルサポータ上のクランプ部とフ
レーム上のクランプ部が傾動可能となっているため、ク
ランプ部での破損に対する寿命を延ばすことができる。
【０００７】本発明の請求項２の発明は、前記中空軸の
大気側外部にある前記可撓性のケーブルおよび冷却水用
ホースにケーブルサポータを設け、前記ケーブルサポー
タ上に前記可撓性のケーブルおよび冷却水用ホースを中
継するコネクタ・配管金具と第１のクランプを備え、前
記第１のクランプからの前記可撓性のケーブルおよび冷
却水用ホースを前記駆動装置の固定フレームに設けられ
た第２のクランプ部で固定し、前記第１のクランプ及び
前記第２のクランプは、それぞれ幅方向の両側から固定
する手段を具備したことを特徴とする請求項１に記載の
ケーブル処理装置である。
大気側外部にある前記可撓性のケーブルおよび冷却水用
ホースにケーブルサポータを設け、前記ケーブルサポー
タ上に前記可撓性のケーブルおよび冷却水用ホースを中
継するコネクタ・配管金具と第１のクランプを備え、前
記第１のクランプからの前記可撓性のケーブルおよび冷
却水用ホースを前記駆動装置の固定フレームに設けられ
た第２のクランプ部で固定し、前記第１のクランプ及び
前記第２のクランプは、それぞれ幅方向の両側から固定
する手段を具備したことを特徴とする請求項１に記載の
ケーブル処理装置である。
【０００８】本発明の請求項３の発明は、前記中空軸が
前記軸支持部で支承される部位にはベアリングかブッシ
ュが設けられ、前記真空容器と前記中空軸の気密部位の
シールにはＯリングか、パッキンか、磁性流体か、ベロ
ーズを備えることを特徴とする請求項２に記載のケーブ
ル処理装置である。
前記軸支持部で支承される部位にはベアリングかブッシ
ュが設けられ、前記真空容器と前記中空軸の気密部位の
シールにはＯリングか、パッキンか、磁性流体か、ベロ
ーズを備えることを特徴とする請求項２に記載のケーブ
ル処理装置である。
【０００９】本発明の請求項４の発明は、傾動可能にし
た前記第１のクランプ及び前記第２のクランプにはそれ
ぞれ、上下２つ割りにしたクランプ部に前記ケーブルお
よび冷却水用ホースを幅方向両側から挟み込み、そのク
ランプ部の両側にクランプ部を回動自在に保持するホル
ダを配置し、ホルダの中心には先端部にネジ付を切った
シャフトを備え、このシャフト先端のネジで前記クラン
プ部を両側から保持固定し、前記シャフトはその外周部
をベアリングにて支承され、前記ホルダの高さは前記中
空軸の往復運動に伴う前記ケーブルおよび冷却水用ホー
スの屈曲によるクランプ部の傾きを自在に行えるように
設定されたことを特徴とする請求項２に記載のケーブル
処理装置である。
た前記第１のクランプ及び前記第２のクランプにはそれ
ぞれ、上下２つ割りにしたクランプ部に前記ケーブルお
よび冷却水用ホースを幅方向両側から挟み込み、そのク
ランプ部の両側にクランプ部を回動自在に保持するホル
ダを配置し、ホルダの中心には先端部にネジ付を切った
シャフトを備え、このシャフト先端のネジで前記クラン
プ部を両側から保持固定し、前記シャフトはその外周部
をベアリングにて支承され、前記ホルダの高さは前記中
空軸の往復運動に伴う前記ケーブルおよび冷却水用ホー
スの屈曲によるクランプ部の傾きを自在に行えるように
設定されたことを特徴とする請求項２に記載のケーブル
処理装置である。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の
全体を表す平面図である。図２は、図１のクランプの詳
細を示しその一部を切り欠いた平面図である。図１にお
いて、真空容器１に軸支持部２が固定されている。軸支
持部２の中には、図示しないベアリング若しくはブッシ
ュが組み込まれており、それで軸３を支持する。また、
図示しないシールが組み込まれて、これで真空をシール
3aする。真空シール方法は、Ｏリング、パキング、磁性
流体、ベローズなどを使う。真空容器１の内部にある軸
３には、被処理基板保持装置４がその軸端に固定されて
いる。これは基板を保持するのみでなく、駆動軸を持つ
場合もあり、また基板冷却のために、例えば冷却水を循
環させる場合もある。従って、ケーブルおよび冷却水用
ホースの配管が必要となるが、被処理基板保持装置４か
らのケーブル・ホース５は、中空になっている軸３と被
処理基板保持装置４の結合部は、真空シール3bをする。
大気側には、軸３と被処理基板保持装置４を駆動するた
めの駆動装置６を、真空容器１あるいは軸支持部２に固
定する。駆動手段としては、リニアモータ、モータとボ
ールネジ、エアシリンダ等が適用される。駆動装置６内
の可動部と軸３の大気側の軸端を連結材７によって固定
し、軸３とその軸端に設けた被処理基板保持装置４に直
線往復の動作をさせる。この連結材７の下側つまり軸３
のケーブル出口付近にケーブルサポータ８を配置して、
その上にコネクタ・配管金具９を配置し、中継する。
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の
全体を表す平面図である。図２は、図１のクランプの詳
細を示しその一部を切り欠いた平面図である。図１にお
いて、真空容器１に軸支持部２が固定されている。軸支
持部２の中には、図示しないベアリング若しくはブッシ
ュが組み込まれており、それで軸３を支持する。また、
図示しないシールが組み込まれて、これで真空をシール
3aする。真空シール方法は、Ｏリング、パキング、磁性
流体、ベローズなどを使う。真空容器１の内部にある軸
３には、被処理基板保持装置４がその軸端に固定されて
いる。これは基板を保持するのみでなく、駆動軸を持つ
場合もあり、また基板冷却のために、例えば冷却水を循
環させる場合もある。従って、ケーブルおよび冷却水用
ホースの配管が必要となるが、被処理基板保持装置４か
らのケーブル・ホース５は、中空になっている軸３と被
処理基板保持装置４の結合部は、真空シール3bをする。
大気側には、軸３と被処理基板保持装置４を駆動するた
めの駆動装置６を、真空容器１あるいは軸支持部２に固
定する。駆動手段としては、リニアモータ、モータとボ
ールネジ、エアシリンダ等が適用される。駆動装置６内
の可動部と軸３の大気側の軸端を連結材７によって固定
し、軸３とその軸端に設けた被処理基板保持装置４に直
線往復の動作をさせる。この連結材７の下側つまり軸３
のケーブル出口付近にケーブルサポータ８を配置して、
その上にコネクタ・配管金具９を配置し、中継する。
【００１１】それから先のケーブル・ホース５は、ケー
ブルサポータ８上のクランプＡ・10で固定し、そこから
駆動装置6 のフレームの上部に設けたクランプＢ・11ま
で導き、そこで固定する。このとき軸３の上下運動に伴
って、適度にケーブル・ホース５が屈曲するような長さ
にケーブル・ホース５を固定する。また、クランプＡ・
10、クランプＢ・11は、傾動可能にする。例えばクラン
プ部10a の構造に関して図２に図示するように、２つ割
りになっているクランプＡ・10によって、ケーブル・ホ
ース５を両側から挟み込み、そのクランプＡ・10の両側
にホルダ13を配置し、中にベアリング14を固定する。こ
のベアリング14の中にネジ付きシャフト15を通し、ネジ
付きシャフト15のネジ部15a でクランプＡ・10を両側か
ら固定する。このとき軸３の往復運動に伴うケーブル・
ホース５の屈曲によるクランプＡ・10の傾きを阻害しな
いように、ホルダ13の高さを決める。
ブルサポータ８上のクランプＡ・10で固定し、そこから
駆動装置6 のフレームの上部に設けたクランプＢ・11ま
で導き、そこで固定する。このとき軸３の上下運動に伴
って、適度にケーブル・ホース５が屈曲するような長さ
にケーブル・ホース５を固定する。また、クランプＡ・
10、クランプＢ・11は、傾動可能にする。例えばクラン
プ部10a の構造に関して図２に図示するように、２つ割
りになっているクランプＡ・10によって、ケーブル・ホ
ース５を両側から挟み込み、そのクランプＡ・10の両側
にホルダ13を配置し、中にベアリング14を固定する。こ
のベアリング14の中にネジ付きシャフト15を通し、ネジ
付きシャフト15のネジ部15a でクランプＡ・10を両側か
ら固定する。このとき軸３の往復運動に伴うケーブル・
ホース５の屈曲によるクランプＡ・10の傾きを阻害しな
いように、ホルダ13の高さを決める。
【００１２】このようなクランプ部10a の構造により、
クランプ部10a は軸３の往復運動に伴うケーブル・ホー
ス５の屈曲によるクランプＡ・10の傾き以上に傾動可能
となるため、クランプ部10a でケーブル・ホース５に局
部的な力がかかることによる寿命の低下を防ぐ。クラン
プＢ・11で固定されたケーブル・ホース５は駆動装置６
のフレームの下部に設けたコネクタボックス12まで導
き、そこにコネクタ・配管金具９で固定する。そこから
ケーブル・ホース５はコントローラ等に接続される。ケ
ーブルサポータ８上とコネクタボックス12にコネクタ・
配管金具９を用いて中継したのは、軸３の上下運動に伴
うケーブル・ホース５の屈曲部分の寿命が短いと予測さ
れることから、ケーブル交換を容易にするためである。
もし、コントローラを駆動装置６の近くに配置するので
あれば、クランプＢ・11はから直接コントローラへ接続
してもよい。
クランプ部10a は軸３の往復運動に伴うケーブル・ホー
ス５の屈曲によるクランプＡ・10の傾き以上に傾動可能
となるため、クランプ部10a でケーブル・ホース５に局
部的な力がかかることによる寿命の低下を防ぐ。クラン
プＢ・11で固定されたケーブル・ホース５は駆動装置６
のフレームの下部に設けたコネクタボックス12まで導
き、そこにコネクタ・配管金具９で固定する。そこから
ケーブル・ホース５はコントローラ等に接続される。ケ
ーブルサポータ８上とコネクタボックス12にコネクタ・
配管金具９を用いて中継したのは、軸３の上下運動に伴
うケーブル・ホース５の屈曲部分の寿命が短いと予測さ
れることから、ケーブル交換を容易にするためである。
もし、コントローラを駆動装置６の近くに配置するので
あれば、クランプＢ・11はから直接コントローラへ接続
してもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ケ
ーブルおよび冷却水用ホースは軸の中に配線・配管し、
大気中に配置するため、ケーブルおよび冷却水用ホース
を耐真空仕様の部材にする必要がなく、他部品に比べ比
較的寿命の短いケーブルおよび冷却水用ホース自体を低
コスト化でき、真空容器内にケーブル処理のためのスペ
ースをとる必要がないという特段の効果を奏する。ま
た、真空容器内にケーブルおよび冷却水用ホースの配線
・配管がないため、真空容器内の発塵・発ガスなど真空
容器内への悪影響がなく、冷却水用ホースの損傷による
水漏れで真空容器内およびポンプに大きなダメージを与
える恐れがないと言う顕著な効果を発揮できる。さら
に、被処理基板保持装置から軸の中を通って、ケーブル
サポータまでのケーブル・ホースは軸の往復運動に伴っ
て屈曲がなく、長寿命が期待できる一方、ケーブルサポ
ータからコネクタボックスまでのケーブル・ホースは、
軸の往復運動に伴って屈曲を繰り返すが、ケーブルサポ
ータ上でコネクタ・配管金具を用いて接続するようにし
たので、ケーブル交換に関しては、ケーブルサポータか
らコネクタボックス間のケーブルを交換すればよく、大
気側での作業となり比較的容易にでき、実用的効果は大
きい。さらにまた、ケーブルおよび冷却水用ホースの寿
命に関して、破損の可能性の高いのはクランプ部と屈曲
部であるが、ケーブルサポータ上のクランプ部とフレー
ム上のクランプ部が傾動可能となっているため、クラン
プ部での破損に対する寿命を延ばすことができ、その有
用性が一段と向上する。
ーブルおよび冷却水用ホースは軸の中に配線・配管し、
大気中に配置するため、ケーブルおよび冷却水用ホース
を耐真空仕様の部材にする必要がなく、他部品に比べ比
較的寿命の短いケーブルおよび冷却水用ホース自体を低
コスト化でき、真空容器内にケーブル処理のためのスペ
ースをとる必要がないという特段の効果を奏する。ま
た、真空容器内にケーブルおよび冷却水用ホースの配線
・配管がないため、真空容器内の発塵・発ガスなど真空
容器内への悪影響がなく、冷却水用ホースの損傷による
水漏れで真空容器内およびポンプに大きなダメージを与
える恐れがないと言う顕著な効果を発揮できる。さら
に、被処理基板保持装置から軸の中を通って、ケーブル
サポータまでのケーブル・ホースは軸の往復運動に伴っ
て屈曲がなく、長寿命が期待できる一方、ケーブルサポ
ータからコネクタボックスまでのケーブル・ホースは、
軸の往復運動に伴って屈曲を繰り返すが、ケーブルサポ
ータ上でコネクタ・配管金具を用いて接続するようにし
たので、ケーブル交換に関しては、ケーブルサポータか
らコネクタボックス間のケーブルを交換すればよく、大
気側での作業となり比較的容易にでき、実用的効果は大
きい。さらにまた、ケーブルおよび冷却水用ホースの寿
命に関して、破損の可能性の高いのはクランプ部と屈曲
部であるが、ケーブルサポータ上のクランプ部とフレー
ム上のクランプ部が傾動可能となっているため、クラン
プ部での破損に対する寿命を延ばすことができ、その有
用性が一段と向上する。
【図１】本発明の一実施の形態における全体の構成を示
す平面図
す平面図
【図２】図１のクランプの詳細を示しその一部を切り欠
いた平面図
いた平面図
１ 真空容器 ２ 軸支持部 ３ 軸 3a シール部 3b 結合部 ４ 被処理基板保持装置 ５ ケーブル・ホース ６ 駆動装置 ７ 連結材 ８ ケーブルサポータ ９ コネクタ・配管金具 10 クランプＡ 10a クランプ部 11 クランプＢ 12 コネクタボックス 13 ホルダ 14 ベアリング 15 ネジ付きシャフト 15a ネジ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 義昭 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 Ｆターム(参考） 3F060 AA07 HA01 HA06 HA15 HA32 HA35 5F031 CA02 HA38 LA18 NA18 NA20
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体製造装置であって、 真空気密状態を維持できる真空容器と、 その真空容器の側面を貫通し前記真空容器の真空側内部
と大気側外部に渡って敷設される長手形状の軸と、 前記真空容器の内部に位置する前記軸の端末部に固着さ
れた被処理基板保持装置と、 この被処理基板保持装置を前記大気側外部から前記軸を
介して往復運動させる駆動装置と、 前記真空容器か前記駆動装置の固定フレームかまたは全
て一体に接合され、前記往復運動する前記軸を支承する
軸支持部とを持つ装置において、 前記軸は中空軸を形成し、 前記被処理基板保持装置と軸の端末部の結合部は気密に
し、 前記被処理基板保持装置からの可撓性のケーブルおよび
冷却水用ホースが前記中空軸を貫通して制御手段へ接続
したことを特徴とするケーブル処理装置。 - 【請求項２】 前記中空軸の大気側外部にある前記可撓
性のケーブルおよび冷却水用ホースにケーブルサポータ
を設け、 前記ケーブルサポータ上に前記可撓性のケーブルおよび
冷却水用ホースを中継するコネクタ・配管金具と第１の
クランプを備え、 前記第１のクランプからの前記可撓性のケーブルおよび
冷却水用ホースを前記駆動装置の固定フレームに設けら
れた第２のクランプ部で固定し、 前記第１のクランプ及び前記第２のクランプは、それぞ
れ幅方向の両側から固定する手段を具備したことを特徴
とする請求項１に記載のケーブル処理装置。 - 【請求項３】 前記中空軸が前記軸支持部で支承される
部位にはベアリングかブッシュが設けられ、 前記真空容器と前記中空軸の気密部位のシールにはＯリ
ングか、パッキンか、磁性流体か、ベローズを備えるこ
とを特徴とする請求項２に記載のケーブル処理装置。 - 【請求項４】 傾動可能にした前記第１のクランプ及び
前記第２のクランプにはそれぞれ、 上下２つ割りにしたクランプ部に前記ケーブルおよび冷
却水用ホースを幅方向両側から挟み込み、 そのクランプ部の両側にクランプ部を回動自在に保持す
るホルダを配置し、 ホルダの中心には先端部にネジ付を切ったシャフトを備
え、 このシャフト先端のネジで前記クランプ部を両側から保
持固定し、 前記シャフトはその外周部をベアリングにて支承され、 前記ホルダの高さは前記中空軸の往復運動に伴う前記ケ
ーブルおよび冷却水用ホースの屈曲によるクランプ部の
傾きを自在に行えるように設定されたことを特徴とする
請求項２に記載のケーブル処理装置。
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| WO2022051377A1 (en) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | Applied Materials, Inc. | Dynamic electrical and fluid delivery system with indexing motion for batch processing chambers |
-
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