JP5841065B2 - 電子デバイスを検査する検査システム及び方法 - Google Patents

Description

（原文の対応箇所に記載無し）

[0001] 新しく製造されたデバイスの正確な動作を確かめ、デバイスの動作性能（operating capabilities）を決定したりするように、電子デバイスを検査することは、多くの場合、望ましい。導電性プローブを備えた接触装置（contactor device）は、デバイスの端子と一時的に電気的接続を行うのに用いることができ、検査信号は、デバイスとの間でプローブを介してやり取りされる。デバイスに対して行われる検査は、例えば、デバイスの機能的な動作を検査すること、デバイスの動作パラメータ（例えば、速度）の範囲を決定すること、デバイスの拡張動作をシミュレーションするためにデバイスにストレスを加えること、などを含んでいる。電子デバイスのそのような検査は、こうした電子デバイスの製造コストを増加させ得る。従って、とりわけ、検査を単純化したり、検査の自動化及び／又は並行化を向上させたりすることで、電子デバイスの検査効率を上げることは、有益となる。

[0002] いくつかの実施形態において、ＤＵＴは、アライナと検査セルとを含む検査システムにおいて検査され得る。ＤＵＴは、アライナにおいて、キャリア上のアライメント位置に配置され、固定（clamp）され得る。前記アライメント位置において、ＤＵＴの導電性端子は、キャリアのキャリア・アライメント特徴部（features）に対して所定の位置にあるとし得る。ＤＵＴがアライメント位置においてキャリアに固定される一方で、当該キャリアは、導電性プローブ及び接触器アライメント特徴部を有する接触器（contactor）を含む検査セルへと移動がなされ得る。キャリアのキャリア・アライメント特徴部は、ＤＵＴの端子を接触器のプローブに位置合わせすることができる、当該接触器の接触器アライメント特徴部と、機械的に連結され得る。そして、ＤＵＴは検査セルにて検査され得る。

[0003] 本発明のいくつかの実施形態において、ＤＵＴ検査システムは、アライナ、検査セル、及びムーバを含み得る。アライナは、ＤＵＴの導電性端末がキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置になるアライメント位置において、当該ＤＵＴを当該キャリア上に配置し得る移動機構を含み得る。各検査セルは、導電性プローブ及び接触器アライメント特徴部を有し得る、接触器を含むことができる。キャリアのキャリア・アライメント特徴部を接触器の接触器アライメント特徴部に機械的に連結することは、ＤＵＴの端末を当該接触器のプローブに位置合わせすることを可能にする。移動機構（mover）は、ＤＵＴをアライメント位置で固定された状態で、キャリアをアライナから検査セルの１つへ移動し得るロボット機構を含み得る。

[0004] 図１は、本発明のいくつかの実施形態に係るＤＵＴ検査システムの一例を示す。 [0005] 図２Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムにおいて用いることのできるキャリア及びＤＵＴの上面図を示す。 [0006] 図２Ｂは、図２Ａのキャリア及びＤＵＴの側面図を示す。 [0007] 図３は、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムのアライナの一例を示す。 [0008] 図４Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムの検査セルの一例の側面図を示す。 ４Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムの検査セルの一例の側面図を示す。 [0009] 図５Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る図１のＤＵＴ検査システムのキャリアの一例となりうるパック・キャリアの上面図を示す。 [0010] 図５Ｂは、図５Ａのパック・キャリアの下面図を示す。 [0011] 図５Ｃは、図５Ａのパック・キャリアの断面の側面図を示す。 [0012] 図６Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係るパック・キャリア上でＤＵＴを位置合わせすることができる図１のＤＵＴ検査システムのアライナの一例の上面図を示す。 [0013] 図６Ｂは、図６Ａのアライナの断面の側面図を示す。 [0014]図７Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図５Ａ〜５Ｃのパック・キャリア上のＤＵＴを図６Ａ及び６Ｂのアライナに装入する一例を示す。 図７Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図５Ａ〜５Ｃのパック・キャリア上のＤＵＴを図６Ａ及び６Ｂのアライナに装入する一例を示す。 [0015] 図８Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係るパック・キャリア上のＤＵＴを検査することができる図１のＤＵＴ検査システムの検査セルの一例の上面図を示す。 [0016] 図８Ｂは、図８Ａの検査セルの断面の側面図を示す。 [0017] 図９Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図８Ａ及び８Ｂの検査セルに、図５Ａ〜５Ｃのパック・キャリア上のＤＵＴを装入する一例を示す。 図９Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図８Ａ及び８Ｂの検査セルに、図５Ａ〜５Ｃのパック・キャリア上のＤＵＴを装入する一例を示す。 [0018] 図１０Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムのキャリアの一例となりうる膜キャリアの上面図を示す。 [0019] 図１０Ｂは、図１０Ａの膜キャリアの断面の側面図である。 [0020] 図１１Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、膜キャリア上でＤＵＴを位置合わせすることができる図１のＤＵＴ検査システムのアライナの一例の上面図を示す。 図１１Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、膜キャリア上でＤＵＴを位置合わせすることができる図１のＤＵＴ検査システムのアライナの一例の上面図を示す。 [0021] 図１２Ａは、本発明のいくつかの実施形態に係る、膜キャリア上のＤＵＴを検査することができる図１のＤＵＴ検査システムの検査セルの一例の上面図を示す。 図１２Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、膜キャリア上のＤＵＴを検査することができる図１のＤＵＴ検査システムの検査セルの一例の上面図を示す。 [0022] 図１３は、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムにおいて、ＤＵＴを検査するプロセスの一例を示す。 [0023] 図１４は、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムのアライナにおいて、ＤＵＴをキャリアに位置合わせするプロセスの一例を示す。 [0024] 図１５は、本発明のいくつかの実施形態に係る、図１のＤＵＴ検査システムにおいて、ＤＵＴを検査するプロセスの一例を示す。 [0025] 図１６は、本発明のいくつかの実施形態に係る、ＤＵＴの検査後処理のプロセスの一例を示す。

[0026] この明細書は、本発明の例示的実施形態及び応用例を記載するものである。本発明は、しかしながら、これらの例示的実施形態及び応用例に、又は、当該例示的実施形態及び応用例が機能する又はここで記載される方法に限られるものではない。更に、図面は、簡略化された又は部分的な図を示す場合があり、当該図面の要素の大きさは強調されている、又は、明確性ために比例していない場合がある。加えて、本願明細書において用いられる「〜の上に」「〜にくっつけられる」「〜に連結される」といった用語に関して、ある物体（例えば、材料、層、基板、その他）が、他の物体の上に直接ある、直接くっつけられる、又は直接連結しているかどうかにかかわらず、又は、１以上の介在物が、当該ある物体と当該他の物体の間にあるかにかかわらず、当該ある物体は、当該他の物体「の上に」ある、「くっつけられる」、又は「連結される」ものとする。また、方向（例えば、上で（ａｂｏｖｅ）、下で（below）、上部（top）、下部（bottom）、横へ（side）、上へ（up）、下へ（down）、下に（under）、超えて（over）、上部の（upper）、下部の（lower）、水平の（horizontal）、縦の（vertical）、「ｘ」、「ｙ」、「ｚ」、など）は、もし記載されている場合、相対的なものであり、単に一例として、図示や説明を容易にするために記載されるものであって、限定するためのものではない。加えて、参照符号が要素のリストに付されている場合（例えば、要素ａ、ｂ、ｃ）、そのような参照符号は、それ自体で、リストアップされた要素のいずれか１つ、リストアップされた全ての要素よりも少ない数のいずれかの組合せ、及び／又は、リストアップされた要素の全ての組合せを含むことを意図している。

[0027] 図１は、本発明のいくつかの実施形態に係るＤＵＴ１１２を検査するためのマルチＤＵＴ検査システム１００の一例を示す。図示するように、マルチＤＵＴ検査システム１００は、ローダ１０２、アライナ１０４、ムーバ１０６、及び検査セル１０８を含み得る。検査セル１１０は、検査セル１０８のうちの１つの例である。検査セル１０８は、このように、複数（例えば、２、３、４、５、１０、２０、又はそれ以上）の検査セル１１０を備えることができる。アライナ１０４は１以上のアクセスドア１２２を備えることができ、検査セル１１０は１以上のアクセスドア１２４を含み得る。

[0028] ＤＵＴ１１２（被検査デバイス（Device Under Test）の頭字語）は、ローダ１０２に装入され、キャリア１１６上に配置される。その一例は、図２Ａ及び２Ｂに図示されている。キャリア１１６上のＤＵＴ１１２の位置は、ＤＵＴ１１２の入力及び／又は出力端子１１４が、キャリア１１６上のキャリア・アライメント特徴部１１８（図２Ａ及び２Ｂを参照）に対して位置合わせされるように、アライナ１０４にて調整することができる。キャリア１１６上で位置合わせされたＤＵＴ１１２は、続いて、検査セル１１０に配置される。その一例を図４Ａ及び４Ｂに図示する。検査セル１１０は、導電性プローブ４１０に対する所定の位置にある接触器アライメント特徴部４１２を有する接触器４０８を含み得る。キャリア１１６上のキャリア・アライメント特徴部１１８は、検査セル１１０の接触器アライメント特徴部４１２と機械的に連結することができ、それによって、接触器４０８のプローブ４１０は、プローブ４１０にとって十分に、ＤＵＴ１１２の端子１１４と位置を合わせされ、端子１１４は物理的接触を有することになり、それによって、プローブ４１０と端子１１４の間に電気的接続を確立し得る。続いて、検査信号が、接触器４０８を介して、ＤＵＴ１１２へ／から供給され、ＤＵＴ１１２を検査する。検査されたＤＵＴ１１２は、続いて、検査セル１１０から取り出され、最終的に、例えば、ローダ１０２を介して、マルチＤＵＴ検査システム１００から取り出される。ムーバ１０６は、１以上のロボットアーム１２０を備え、マルチＤＵＴ検査システム１００周辺でＤＵＴ１１２及びＤＵＴ１１２/キャリア１１６の組合せを移動し得る。図示のように、マルチＤＵＴ検査システム１００はまた、制御部１２６及びメモリ１２８を含み得る。

[0029] ＤＵＴ１１２は、入力及び／又は出力電気端子１１４を備えた１以上の電子デバイスとすることができる。例えば、ＤＵＴ１１２は、分離前の半導体ダイからなる半導体ウェーハとし得る。別の例として、ＤＵＴ１１２は、ホルダ上に又はホルダ内に配設された、分離されたダイ（パッケージ化されている又はされていないダイ）を備えていてもよい。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、ホルダ上に又はホルダ内に配設されている他のタイプの電子デバイスとすることができる。図２Ａ及び２Ｂに示すように、ＤＵＴ１１２はまた、端子１１４に対して、既知の位置にある１以上のＤＵＴアライメント特徴部２１２を含み得る。いくつかの実施形態では、ＤＵＴアライメント特徴部２１２は、１以上の端子１１４を備え得る。例えば、ＤＵＴアライメント特徴部２１２は、１以上の端子１１４の１以上の端部又は角を備え得る。図において例示される例では、アライメント特徴部２１２は、端子１１４のうちの１以上に対応しており、したがって、図示されていない異なるアライメント特徴部２１２が存在する。しかしながら、留意されるように、アライメント特徴部２１２は、上記の代わりに、ＤＵＴ１１２、及び／又は、１以上の端子１１４から既知のオフセット位置にあるＤＵＴホルダ（図示せず）の別々のマーク、端部、角及び／又は構造体（図示せず）とし得る。図示のように、実施形態によっては、ＤＵＴ１１２は、方向マーク１３２を有し得る。いくつかの実施形態では、方向マーク１３２は、ＤＵＴ１１２の端部１３０の変則部とし得る。上述のとおり、ＤＵＴ１１２は半導体ウェーハでもよく、方向マーク１３２はウェーハの端部１３０の切り抜き部であり得る。

[0030] 図２Ａ及び２Ｂに図示されるＤＵＴ１１２は一例に過ぎず、ＤＵＴ１１２は、図示されるものとは異なり得る。例えば、ＤＵＴ１１２は、他の形状とし得る。別の実施例として、ＤＵＴ１１２は、図示される全ての特徴部を備える必要はない（例えば、ＤＵＴ１１２は、アライメント特徴部２１２及び／又は方向マーク１３２がなくてもよい）。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、図示のものと異なるアライメントマーク１３２を有してもよく、複数のアライメントマーク１３２を有してもよい。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、図示しない追加の特徴部を有することもできる。さらに別の例としては、図示よりも多い又は少ない端子１１４であってよい。

[0031] ローダ１０２は、ＤＵＴ１１２を受け止めることのできる装置を備え得る。例えば、ＤＵＴ１１２が半導体ダイを備える半導体ウェーハである場合、ローダ１０２はそのようなウェーハを受け止める装置を備え得る。例えば、ローダ１０２は、当該分野で既知のロボット・ウェーハ・ハンドラを備え得る。別の例として、ローダ１０２は、当該分野で既知の１以上のＥＦＥＭｓ（装置フロントエンドモジュール）を備え得る。いずれにせよ、ＤＵＴ１１２はローダ１０２内でキャリア１１６に配置され、ムーバ１０６はローダ１０２からアライナ１０４までＤＵＴ１１２及びキャリア１１６の組合せを移動し、ここで、ＤＵＴ１１２はキャリア１１６に対して位置合わせされる。あるいは、ＤＵＴ１１２は、アライナ１０４でキャリア１１６上に配置され、位置合わせされてもよい。この場合には、ムーバ１０６は、ローダ１０２からアライナ１０４にＤＵＴ１１２を移動し得る。

[0032] ムーバ１０６は、マルチＤＵＴ検査システム１００の周囲に、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、及び、ＤＵＴ１１２とキャリア１１６組合せを移動できる装置を備え得る。例えば、ムーバ１０６は、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、及びＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを移動させるための１以上のコンベヤ（図示せず）及び／又はエレベータ（図示せず）を備え得る。図１に示すように、ムーバ１０６は、さらに、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、及び／又はＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを把持し得る、１以上のロボットアーム１２０を含んでもよく、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、及び／又はＤＵＴ１１２/キャリア１１６の組合せを、ローダ１０２、アライナ１０４、及び／又は検査セル１１０に／から移動させることができる。図示されていないが、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６（本願明細書において開示されるキャリア１１６のいずれの実施形態を含む）は、アーム１２０が把持することのできるハンドル（図示せず）又は他の特徴部を含み得る。

[0033] 本発明のいくつかの実施形態に係るキャリア１１６の一例が、図２Ａ及び２Ｂに示される。図示のように、キャリア１１６は、ＤＵＴ１１２が配置される担持面２０４を有する基板２０２（例えば、材料ブロック）を備え得る。好適なキャリアの非限定的な例には、金属又はセラミック板等が挙げられる。いくつかの実施形態では、基板２０２の厚みＴ_Ｃは、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄより大きくすることができる。例えば、厚みＴ_Ｃを、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄの２、５、８、９、１０倍とすることができる。あるいは、厚みＴ_Ｃを、厚みＴ_Ｄ以下にしてもよい。

[0034] 固定機構２０８は、ＤＵＴ１１２が担持面２０４上に移動されて、固定機構２０８が担持面２０４上の適当な位置にＤＵＴ１１２を選択的に固定できるよう、ＤＵＴ１１２を選択的に解除することができる。このように、固定機構２０８が解除された状態にある間は、ＤＵＴ１１２は担持面２０４上を自由に移動する（又は移動される）ことができるが、固定機構２０８が固定状態にある間は、ＤＵＴ１１２が担持面２０４上で移動する（又は移動される）ことができないように、固定機構２０８はＤＵＴ１１２を担持面２０４の適当な位置に保持（又は固定）する。固定機構２０８は、ＤＵＴ１１２を選択的に固定したり、解除したりすることに適した機構である。固定機構２０８の非限定的な例としては、担持面２０４にある１以上の真空溝（図示せず）、静電機構（例えば、クランプ）（図示せず）、機械的クランプ（図示せず）、などがある。

[0035] キャリア１１６は、キャリア・アライメント特徴部１１８を備え、後述するように、キャリア・アライメント特徴部１１８は、検査セル１１０において対応する接触器アライメント特徴部４１２（図４Ａ及び４Ｂを参照）と（例えば、機械的に）連結し得る。キャリア・アライメント特徴部１１８及び接触器アライメント特徴部４１２が連結している間は、キャリア１１６は、検査セル１１０において、接触器４０８のプローブ４１０に対して所定の方向にある。ＤＵＴ１１２は、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せが検査セル１１０に配置されると、ＤＵＴ１１２の端子１１４が接触器４０８のプローブ４１０に位置合わせされ、それによって、接触器４０８のプローブ４１０と接触して電気的接続をなすように、担持面２０４上に配置される。キャリア１１６のキャリア・アライメント特徴部（例えば、１１８）が接触器４０８の接触器アライメント特徴部４１２に機械的に連結している間（例えば、図４Ｂに示すように）、ＤＵＴ１１２の端子１１４と接触器４０８のプローブ４１０とが十分に位置合わせされて接触し、それによって、端子とプローブ４１０の間に電気的接続を確立するように、ＤＵＴ１１２がキャリア・アライメント特徴部（例えば、キャリア・アライメント特徴部１１８）に対して配置される端子１１４を有するキャリア１１６に配置される場合、本明細書で使用しているように、ＤＵＴ１１２は、キャリア１１６「に位置合わせされる」、キャリア１１６「の上で位置合わせされる」、又はキャリア１１６「の上のアライメント位置」に位置合わせされる。

[0036] キャリア・アライメント特徴部１１８は、機械的受け口であり得る、対応する接触器アライメント特徴部４１２に嵌挿して、このように連結した延設部（extensions）のような機械的特徴部とすることができる。あるいは、接触器アライメント特徴部４１２は、受け口であり得る、対応するキャリア・アライメント特徴部１１８に嵌挿して、このように連結した延設部であってもよい。いずれにしても、図２Ａ及び２Ｂに示されるキャリア・アライメント特徴部１１８の数及び配置は、一例に過ぎず、図２Ａ及び２Ｂに示されるものと、異なる場所及び／又は異なるパターンである、３つより多い又は少ないキャリア・アライメント特徴部１１８とし得る。いくつかの実施形態において、キャリア・アライメント特徴部１１８の数及び配置は、ＤＵＴ１１２の端子１１４に対して概ね平行である平面において、例えば、６つの自由度において、あるいは、３つの自由度において、運動学的にキャリア１１６と接触器４０８とを位置合わせし得る。本明細書で使用しているように、運動学的な位置合わせ手段は、アライメント特徴部対の最小限の数を用いて位置合わせする（各対は、１つのキャリア・アライメント特徴部１１８及び１つの接触器アライメント特徴部４１２である）。例えば、二次元の平面において３つのアライメント特徴部対、及び、三次元空間の６つのアライメント特徴部対である。

[0037] ＤＵＴ１１２は、キャリア・アライメント特徴部１１８と直接に位置合わせされ得る。いくつかの実施形態においては、しかしながら、キャリア１１６は、キャリア・アライメント特徴部１１８に対して既知の位置に配置されるオフセット・アライメント特徴部２０６を含むことができ、ＤＵＴ１１２は、オフセット・アライメント特徴部２０６に直接位置合わせされ、したがって、キャリア・アライメント特徴部１１８に間接的に位置合わせされ得る。オフセット・アライメント特徴部２０６は、位置合わせのために最適化され得る。例えば、オフセット・アライメント特徴部２０６は、担持面２０４の撮像画像にて容易に特定される特徴部とし得る。したがって、いくつかの実施形態では、オフセット・アライメント特徴部２０６は、担持面２０４及びＤＵＴ１１２のデジタル化画像にて容易に特定されるような形状、色、パターン等を備えることができる。

[0038] 図２Ｂに示すように、キャリア１１６は、１以上の温度制御デバイス２１０を備え得る。温度制御デバイス２１０は、ＤＵＴ１１２を、選択的に、可能な温度範囲にて所望の温度にし及び／又は維持し得る。温度制御デバイス２１０は、例えば、１以上の加熱デバイス及び／又は冷却デバイスを備え得る。例えば、温度制御デバイス２１０は、１以上の抵抗式加熱要素（図示せず）、加熱された又は冷却された流体（例えば、液体、ガス等）が循環できる基板２０２内又は基板２０２上の通路（図示せず）を備え得る。いくつかの実施形態では、温度制御デバイス２１０は、キャリア１１６に完備されていてもよい。すなわち、温度制御デバイス２１０は、キャリア１１６及び／又はＤＵＴ１１２上にない又はその一部でない装置に接続することなく、少なくとも一定期間稼働できる。他の実施形態において、温度制御デバイス２１０は、キャリア１１６に完備されておらず、キャリア１１６及び／又はＤＵＴ１１２上にない又はその一部でない装置（例えば、電源、加熱された又は冷却された流体源、等）（図示せず）に接続する。いくつかの実施形態では、基板２０２の材料及び／又は構造は、ＤＵＴ１１２の加熱又は冷却を容易にするよう選択し得る。

[0039] 図２Ａ及び２Ｂで示すキャリア１１６は、一例に過ぎない。したがって、例えば、キャリア１１６が、図２Ａ及び２Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、キャリア１１６は、図２Ａ及び２Ｂに図示されない追加的な特徴又は要素を有し得るし、キャリア１１６は、図２Ａ及び２Ｂに図示されるものと異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、概ね上述したように、キャリア１１６はオフセット・アライメント特徴部２０６を含む必要はない。別の例として、キャリア１１６は、温度制御デバイス２１０を含む必要はない。さらに別の例として、キャリア１１６は、ＤＵＴ１１２周辺に、自己充足的なクリーンルーム環境を提供し得ることができるカバー（図示せず）及び密閉機構（図示せず）を含み得る。さらに別の例として、キャリア１１６の実施形態において、電動、空気式、油圧式及び／又は、真空のコネクタ等、及び／又は、１以上のセンサ、電子制御部、電子記憶装置及び／又は他の電子回路網などのデバイス又は特徴部の１つ以上が含まれていてもよい。

[0040] 本発明のいくつかの実施形態に係るアライナ１０４の一例が図３に示される。図示するように、アライナ１０４は筐体（housing）３０２を含むことができ、当該筐体３０２は、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、及び／又は、ＤＵＴ１１２/キャリア１１６の組合せをアライナ１０４に配置できるようにする、アクセスドア１２２を含み得る。いくつかの実施形態では、筐体３０２は、アクセスドア１２２が閉じると、自己充足的なクリーンルーム・エンクロージャを提供するのに十分密封されている、又は、密封可能にすることができる。アライナ１０４もまた、制御部３０８及びメモリ３１６を含み、又は制御部３０８及びメモリ３１６に接続され得る。制御部３０８は、アライナ１０４の動作の全て又は一部を制御することができ、メモリ３１６に格納されるプログラムコード（下で定義される）に従って動作することができる。上記の代わりに、又は上記に加えて、制御部３０８は、物理的に組み込まれた回路網に従って全体的にあるいは部分的に動作し得る。制御部３０８は、制御部１２６に対して以下で特定される制御部のいずれかのタイプの１つ以上とすることができ、メモリ３１６は、メモリ１２８に関して以下で特定される記憶装置のいずれかのタイプの１つ以上とすることができる。

[0041] 上記したように、ＤＵＴ１１２は、ローダ１０２又はアライナ１０４のキャリア１１６に配置され得る。キャリア１１６は、アライナ１０４の任意の保持機構又は構造体（図示せず）に配設され得る。例えば、キャリア１１６は、図３に示すような筐体３０２の底部、ステージ（図示せず）、などに配設され得る。

[0042] アライナ１０４は、アライナ１０４において特定位置及び／又は方向にキャリア１１６をガイドする機構３１８を含み得る。例えば、ガイド機構３１８はガイドレール、凹部、停止構造など、少なくともアライナ１０４の全般的に起伏の多い位置又は方向にキャリア１１６をガイドするものを備え得る。いくつかの実施形態では、例えば、ガイド機構は、ガイドレール（図示せず）及び停止構造（図示せず）を備え得る。そのようなガイドレール（図示せず）は、キャリアが筐体３０２に装入される時にキャリア１１６をガイドすることができ、停止構造（図示せず）は、キャリア１１６が、筐体３０２の所望の位置及び／又は方向にあるときに、ガイドレールに（図示せず）沿ってキャリア１１６の動きを停止させることができる。

[0043] 図３に示すように、アライナ１０４は、キャリア１１６に対してＤＵＴ１１２を移動させるために起動される移動機構３０６を含み得る。例えば、移動機構３０６は、キャリア１１６を移動させることなく、ＤＵＴ１１２を移動させ、ＤＵＴ１１２を移動させることなくキャリア１１６を移動させ、及び／又は、ＤＵＴ１１２及びキャリア１１６を別々に移動させることができる。キャリア１１６上の固定機構２０８は、移動機構３０６が基板２０２の担持面２０４上のＤＵＴ１１２を移動できるように、ＤＵＴ１１２を解除する。移動機構３０６の非限定的な例としては、１以上のモータ駆動ステージ、圧電ステージ、ピエゾウォーキング・ビームステージ等を含む。移動機構３０６の他の例としては、ＤＵＴ１１２の一部に選択的に噴流を吹きかけてキャリア１１６に対してＤＵＴ１１２を移動する装置、キャリア１１６に対してＤＵＴ１１２を移動する静電荷を選択的に作成する装置、などがある。

[0044] アライナ１０４はまた、１以上のカメラ３０４を含むことができ、カメラ３０４は、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６の１以上の電子（例えば、デジタルの）画像を撮像することができる。それらの画像は、キャリア１１６上のアライメント位置にＤＵＴ１１２を移動させるために用いられ得る。ユーザである人間（図示せず）は、ＤＵＴ１１２がキャリア１１６上のアライメント位置にくるまで、キャリア１１６に対してＤＵＴ１１２が移動するよう移動機構３０６を手動で制御し得る。上記の代わりに、又は、上記に加えて、制御部３０８は、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６の画像を受信して、ムーバ３０６制御し、キャリア１１６上のアライメント位置にＤＵＴ１１２が移動するよう、キャリア１１６（上記のように）に対してＤＵＴを移動させることができる。キャリア１１６上のアライメント位置へＤＵＴ１１２を移動させることは、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６の画像を撮像し、続いてキャリア１１６上のＤＵＴ１１２を移動するという複数の一連の作業を必要とする。移動機構３０６がキャリア１１６上のＤＵＴ１１２を移動するためにどのように起動されるかにかかわらず、一旦ＤＵＴ１１２がキャリア１１６上のアライメント位置になれば、固定機構２０８は、担持面２０４上のアライメント位置でＤＵＴ１１２を固定することができる。

[0045] 図３に示すように、いくつかの実施形態では、アライナ１０４は、キャリア１１６のキャリア・アライメント特徴部１１８又は他のアラインメント特徴部（図示せず）と（例えば、機械的に）連結することのできるカメラ・アラインメント特徴部３１２を有するカメラ架台３１０を含み得る。カメラ３０４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２とキャリア・アライメント特徴部１１８とが図３に示すように連結されている間、カメラ３０４がキャリア・アライメント特徴部１１８に対して既知の（又は調整された）位置にあるように、カメラ・アラインメント特徴部３１２に対して既知の（例えば、調整された）位置のカメラ架台３１０に載置され得る。このような場合、カメラ３０４は、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２の１つ以上の画像を撮像することができ、そのような画像は、キャリア１１６上のアライメント位置にＤＵＴを移動させるために用いられる（例えば、制御部３０８によって）。カメラ３０４は、キャリア・アライメント特徴部１１８又はキャリア１１６の他の特徴部又は要素の画像を撮像する必要はない。例えば、制御部３０８（及び／又は人間の操作者）は、キャリア１１６に対してＤＵＴ１１２をキャリア１１６上のアライメント位置に移動させるように、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２の撮像画像及びキャリア・アライメント特徴部１１８に対するカメラ３０４の既知の位置を利用することができる。移動機構３１４は、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結するように及び連結しないように、カメラ架台３１０を移動させることができる。例えば、カメラ架台３１０は、図３において、カメラ架台３１０（特にカメラ・アラインメント特徴部３１２）がキャリア・アライメント特徴部１１８から連結解除される位置では破線で示されており、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結したカメラ架台３１０は図３において実線で示されている。あるいは、キャリア１１６（したがって、ＤＵＴ１１２）は、又は、カメラ架台３１０及びキャリア１１６は、キャリア・アライメント特徴部１１８及びカメラ・アラインメント特徴部３１２を連結するよう移動がなされ得る。

[0046] 他の実施形態において、アライナ１０４は、カメラ３０４をキャリア・アライメント特徴部１１８に連結する特徴部（例えば、カメラ・アラインメント特徴部３１２）を含む必要はない。例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に、又は、筐体３０２における他の構造体（図示せず）に載置され得る。このような場合、カメラ３０４の位置は、キャリア・アライメント特徴部１１８に対して周知でなくてもよく、カメラ３０４は、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２（例えば、任意の端子１１４）及びキャリア・アライメント特徴部１１８の画像を撮像することができ、それらの画像は、ＤＵＴ１１２をキャリア１１６上のアライメント位置に移動させるよう、制御部３０８（及び／又は人間の操作者）に用いられ得る。別の例として、カメラ３０４は、クランプ（図示せず）、又は、筐体３０２にあるが、カメラ３０４に直接接続しない同様のデバイスのアラインメント特徴部（図示しないが、カメラ・アラインメント特徴部３１２のようなものでありうる）に対する既知の位置とし得る。そうしたアラインメント特徴部（図示せず）は、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結することができ、それによって、キャリア・アライメント特徴部１１８がカメラ３０４に対して既知の位置となる位置に、キャリア１１６を移動することができる。

[0047] カメラ３０４は、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６の画像（例えば、デジタル画像）を撮像する任意のカメラ又は他のデバイスとし得る。図示はしていないが、カメラ３０４を移動する機構は、アライナ１０４に含められ得る。例えば、カメラ３０４は、カメラ架台３１０に移動可能とし得る。

[0048] カメラ・アライメント特徴部３１２は、機械的受け口である、対応するキャリア・アライメント特徴部１１８に嵌挿して、それによって連結した延設部などの機械的特徴部とし得る。あるいは、カメラ・アラインメント特徴部３１２は、対応するキャリア・アライメント特徴部１１８（延設部とすることができる）が嵌合する受け口であり得る。いずれにせよ、図３に示されるカメラ・アラインメント特徴部３１２の数及び配置は一例であり、図示されるよりも多く又は少なくすることができる。さらに、カメラ・アラインメント特徴部３１２は、図３に示されるものとは、異なる場所及び／又は異なるパターンにし得る。いくつかの実施形態において、カメラ・アラインメント特徴部３１２の数及び配置は、例えば、３次元空間で６つの自由度において、あるいは、ＤＵＴ１１２の端子１１４に対して概ね平行である平面で３つの自由度において、キャリア１１６及びカメラ架台３１０を運動学的に位置合わせし得る。

[0049] 図３で示すアライナ１０４は、一例に過ぎない。したがって、例えば、アライナ１０４が、図３において図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、アライナ１０４は、図３に示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、アライナ１０４は、図３に示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、概ね上述したように、アライナ１０４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２、カメラ架台３１０、又は移動機構３１４を含む必要はない（例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に又は筐体３０２の別の構造体又は複数の構造体（図示せず）に載置することができる）。別の実施例として、さらに概ね上述したように、機械的にキャリア・アライメント特徴部１１８と連結して、それによってキャリア１１６をカメラ３０４に対する所定の位置に移動する筐体３０２における機械的連結機構（図示せず）があってもよい。さらに別の例として、１台のカメラ３０４のみであってもよく、又は、図３に示されるように２台のカメラ３０４よりも多く設けることができる。

[0050] 上記のように、図１に図示した検査セル１０８は、検査セル１１０を一例とすることができる２つ以上の検査セルを備え得る。本発明のいくつかの実施形態に係る検査セル１１０の一例は図４Ａ及び４Ｂに示される。

[0051] 図示されるように、検査セル１１０は、筐体４０２を含むことができ、筐体４０２は、ＤＵＴ１１２/キャリア１１６の組合せを検査セル１１０に配置できるようにするアクセスドア１２４を含み得る。いくつかの実施形態では、筐体４０２は、アクセスドア１２２が閉じる時に、自己充足的なクリーンルーム・エンクロージャを提供し得るのに十分密封することができる。検査セル１１０はまた、制御部４１８及びメモリ４２０を含み、又は制御部４１８及びメモリ４２０に接続し得る。制御部４１８は、検査セル１１０の動作の全て又は一部を制御することができ、メモリ４２０に格納されるプログラムコード（下で定義される）に従って動作し得る。上記の代わりに、又は上記に加えて、制御部４１８は、物理的に組み込まれた回路網に従って全体的にあるいは部分的に動作し得る。制御部４１８は、制御部１２６に対して以下で特定される制御部のいずれかのタイプの１つ以上とすることができ、メモリ４２０は、メモリ１２８に対して以下で特定される記憶装置のいずれかのタイプの１つ以上とすることができる。

[0052] さらに図示されるように、検査セル１１０は、導電性プローブ４１０を備え得る接触器を含み得る。プローブ４１０は、ＤＵＴ１１２の端子１１４とするのに好適な任意の構造とすることができ、それによって端子１１４と電気的接続をなし得る。好適なプローブ４１０の例としては、バネ・プローブ、鋲、バンプなどが挙げられる。接触器４０８は、電力及びグランド、制御及び検査信号などを接触器４０８に供給することができる電気接続４０４に電気的に接続することができ、接触器４０８はプローブ４１０への電気接続（図示せず）を含み得る。電力、グランド、制御及び検査信号などは、したがって、接触器４０８を介してＤＵＴ１１２に供給される。同様に、ＤＵＴ１１２からの信号は、接触器４０８を介して電気接続４０４に供給され得る。

[0053] 接触器４０８は、プローブ４１０へ／からの電気接続を提供するのに好適な任意の電子デバイスとし得る。例えば、接触器４０８は、プローブ・カード・アセンブリ、プローブヘッド・アセンブリ、膜接触器、ロードボード等を備え得る。いくつかの実施形態では、接触器４０８は、１以上の回路基板、補剛材、プローブヘッド、インターポーザ及び／又はその他の組合せを備え得る。

[0054] 上述のとおり、検査セル１１０はまた検査セル１１０の接触器４０８、筐体４０２又はその他の要素に連結し得る、接触器アライメント特徴部４１２を含み得る。さらに上述したように、プローブ４１０が、プローブ４１０にとって十分に端子１１４に位置合わせして、端子１１４と接触して電気的接続を有するように、接触器アライメント特徴部４１２は、キャリア１１６上の対応するキャリア・アライメント特徴部１１８と機械的に連結し得る。接触器４０８は、かように、キャリア１１６上のキャリア・アライメント特徴部１１８が接触器１１６上の接触器アライメント特徴部４１２に連結する際に、プローブ４１０を端子１１４に位置合わせする接触器アライメント特徴部４１２に対する位置で、筐体４０２内に（又は筐体４０２に対して）載置され得る。

[0055] 検査セル１１０は、検査セル１１０における特定位置及び／又は方向にキャリア１１６をガイドするためのガイド機構４２２を含み得る。例えば、ガイド機構４２２は、ガイドレール、凹部、停止構造など、少なくとも検査セル１１０の全般的に起伏の多い位置又は方向にキャリア１１６をガイドするものを備え得る。いくつかの実施形態では、例えば、ガイド機構４２２は、ガイドレール（図示せず）及び停止構造（図示せず）を備え得る。そのようなガイドレール（図示せず）は、キャリアが筐体４０２に装入される時にキャリア１１６をガイドし、停止構造（図示せず）は、キャリア１１６が、筐体４０２の所望の位置及び／又は方向になると、ガイドレールに（図示せず）沿ってキャリア１１６の動きを停止させ得る。上記所望の位置は、大まかでもよいが、それでもやはり、リフト４０６（後述する）が図４Ｂにて図示したようにキャリア１１６を移動する際に、キャリア・アライメント特徴部１１８と接触器アライメント特徴部４１２とが機械的に連結するように、接触器アライメント特徴部４１２にキャリア・アライメント特徴部１１８を十分に位置合わせされる。

[0056] さらに図４Ａ及び４Ｂに示すように、検査セル１１０はリフト４０６を含み得る。図４Ａに示すように、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せはリフト４０６に配置され、図４Ｂに示すように、キャリア整合特徴部１１８が接触器アライメント特徴部４１２に機械的に連結し、端子１１４がプローブ４１０に接触するように、リフト４０６はＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを移動させ得る。図４Ａ及び４Ｂに示すように、リフト４０６は、「ｚ」方向に移動可能とすることができる。いくつかの実施形態では、リフト４０６は、さらに、「ｘ、ｙ」平面において移動可能とすることができ、さらに「ｘ」、「ｙ」及び／又は「ｚ」軸のうちの１つ以上の軸の周りを回転することができる。本発明はそのように制限されることはないが、図において示される例では、「ｚ」方向又は軸は、キャリア１１６の担持面２０４に対して、概ね垂直であり、「ｘ」及び「ｙ」方向又は軸（したがって、「ｘ、ｙ」平面）は、キャリア１１６の担持面３０４に対して概ね平行である。リフト４０６は、キャリア１１６をサポートして、移動するのに適した任意の機構でありうる。例えば、リフト４０６は、可動ステージとし得る。好適なリフトの例としては、空気式、電動式、又は油圧式駆動ステージが挙げられる。

[0057] 検査セル１１０は、空気圧を調整することができる圧力調節器４１６を含み、又は、これに接続され得る。例えば、圧力調節器４１６は、空気圧を所望のレベルに、選択的に減少及び／又は上昇させることができる。図示するように、１つ以上の気密シール４１４が、接触器４０８とＤＵＴ１１２との間に配設され得る。シール４１４は接触器４０８とＤＵＴ１１２間に気密シールを作り出すことができ、圧力調節器４１６は接触器４０８とＤＵＴ１１２間の空気圧を選択的に所望のレベルに設定し得る。圧力調節器４１６はしたがって、接触器４０８とＤＵＴ１１２間の空間に選択的に真空を作り出すことができ、それによって、例えば、一緒に接触器４０８及びＤＵＴ１１２を引き寄せることができる。圧力調節器４１６はさらに、接触器４０８とＤＵＴ１１２との間の空間の空気圧を選択的に上昇させることができ、それによって、例えば、接触器４０８及びＤＵＴ１１２を引き離すようにすることができる。圧力調節器４１６は、このように、ＤＵＴ１１２の端子１１４に対して、プローブ４１０の力（例えば、全合計の力）を選択的に調整し（例えば、増減する）、それによって、ＤＵＴ１１２の端子１１４と接触器４０８間の合力（圧力）を調整し得る。例えば、圧力調節器４１６は、ＤＵＴの端子１１４及び接触器４０８間の合力を、選択された量（ゼロを含む）にし得る。

[0058] いくつかの実施形態では、リフト４０６は、端子１１４がプローブ４１０に近接して又はプローブ４１０と初めて接触するように、キャリア１１６を移動させることができる。圧力調節器４１６は、続いて、接触器４０８とＤＵＴ１１２間の空間を真空して、端子１１４とプローブ４１０の間に電動接続を確立するのに十分な力で接触器４０８及びＤＵＴ１１２を引き寄せる。

[0059] 図４Ａ及び４Ｂで示す検査セル１１０は、一例に過ぎない。したがって、例えば、検査セル１１０が、図４Ａ及び４Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、検査セル１１０は、図４Ａ及び４Ｂに図示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、検査セル１１０は、図４Ａ及び４Ｂに示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、検査セル１１０は、１以上の電源、制御及び検査信号発生器（アナログ及び／又はデジタル）、温度制御デバイス等（図示せず）を含み得る。そのような電源及び信号発生器（図示せず）は、電気接続４０４を介して接触器４０８に接続し、あるいは、接触器４０８の一部とすることができ、接触器４０８を介してプローブ４１０に接続され得る。別の例として、検査セル１１０は、接触器４０８を取り出して異なる接触器で取って代わることのできる特徴部（図示せず）を含み得る。さらに別の例として、検査セル１１０は、シール４１４又は圧力調節器４１６を含む必要はない。さらに別の例として、検査セル１１０は、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを検査セル１１０に装入し、検査セル１１０からＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを取り出すのを容易にするガイド機構（図示せず）を含み得る。さらに、そのようなガイド機構（図示せず）は、キャリア・アライメント特徴部１１８及び接触器アライメント特徴部４１２がカメラ又は他のそのような機構を用いずに連結するように、リフト４０６がＤＵＴキャリア１１２／キャリア１１６の組合せを移動させることができる、接触器４０８に十分に位置合わせされる位置に、当該ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せをガイドし得る。例えば、そのようなガイド機構には、ガイドレール、凹部、停止構造等（図示せず）が挙げられる。

[0060] 制御部１２６は、マルチＤＵＴ検査システム１００の一部又は全体の動作を制御することができる。例えば、制御部１２６は、ローダ１０２、アライナ１０４、検査セル１０８及び／又はムーバ１０６に通信可能に接続され得る。制御部１２６は、制御信号をローダ１０２、アライナ１０４、検査セル１０８及び／又はムーバ１０６の１つ以上から状況信号を受信し又はそれらへ制御信号を送信し得る。

[0061] 制御部１２６は、デジタルメモリ１２８に格納されるプログラムコードに従って操作することができる１以上のプロセッサ（例えば、マイクロプロセッサ又はマイクロコントローラ）、コンピュータなどを備えることができ、当該デジタルメモリ１２８は、限定されるものではないが、半導体メモリデバイス、磁性メモリデバイス、光メモリデバイスなどを備えているデジタルメモリデバイス又は複数のデジタルメモリデバイス備えることができる。上記の代わりに、又は、上記に加えて、制御部１２６は、物理的に組み込まれた回路網を備えてもよく、制御部１２６はそのような物理的に組み込まれた回路網に従って全体的に又は部分的に動作し得る。本明細書中で使用するように、プログラムコードとは、メモリ１２８に格納することができて、制御部１２６によって実行することができる機械読み取り可読指示を意味する。プログラムコードの非限定的な例としては、ソフトウェア、マイクロコード、ファームウェア、スクリプト等が挙げられる。

[0062] 図１〜４Ｂにおいて、制御部１２６はＤＵＴ検査システム１１０の要素の全てを制御するように示されており、アライナ１０４及び各検査セル１１０は、それぞれ、制御部３０８及び４１８を含む又は制御部３０８及び４１８に接続されるように示されている。上述の構成は一例に過ぎず、変形例も考えられる。例えば、制御部１２６は、全ての又は一部の機能を行うこともでき、制御部３０８及び／又は制御部４１８によって行われる制御を行うことができる。別の例としては、例えば、ローダ１０２及び／又はムーバ１０６を制御する追加的な制御部を含み得る。

[0063] ＤＵＴ１１２、ローダ１０２、アライナ１０４、ムーバ１０６及び検査セル１１０の例と共にマルチＤＵＴ検査システム１００の概要が、図１〜４Ｂに図示され、上記のように説明された。上記説明の全体にわたって留意されるように、図１〜４Ｂにて図示され、上記にて説明した例は一例であって、制限することを目的とするものではない。実際、多数の変形例が可能であり、特にキャリア１１６、アライナ１０４及び検査セル１１０に関する変形例があることに留意されたい。マルチＤＵＴ検査システム１００の多数の他の変形例も考えられる。例えば、１つ以上のローダ１０２、アライナ１０４及び／又はムーバ１０６があってもよい。別の例として、ローダ１０２及びアライナ１０４は個別の要素である必要はない。すなわち、例えば、アライナ１０４は、ローダ１０２の一部とすることができる。別の例として、ローダ１０２はマルチＤＵＴ検査システム１００に含まれる必要はなく、ＤＵＴ１１２は、アライナ１０４を介してシステム１００に装入したり取り出したりすることができる。検査システム１００の変形例のさらに別の例として、検査セル１０８は、複数の場所（例えば、ムーバ１０６周辺）に配設され得る。さらに別の例として、例えば、マルチＤＵＴ検査システム１００は、ＤＵＴ１１２（検査済み又は未検査）、キャリア１１６など保管することができる保管装置（図示せず）などの追加的な要素に含まれ得る。

[0064] 図５Ａ〜１２Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、キャリア１１６の実施形態、アライナ１０４の実施形態、及びそのようなキャリア１１６用の検査セル１１０の追加的な例を示す。図１３〜１５は、本発明のいくつかの実施形態に係るマルチＤＵＴ検査システム１００のＤＵＴ１１２を検査するプロセスの一例を示す。

[0065] 図５Ａ〜５Ｃは、パック・キャリア５００という形でのキャリア１１６の実施形態の一例を示す。図６Ａ〜７Ｂは、パック・キャリア５００に対して構成されるアライナ１０４の実施形態を示しており、図８Ａ〜９Ｂはパック・キャリア５００に対して構成される検査セル１１０の実施形態を示す。

[0066] 上述のとおり、図５Ａ〜５Ｃのパック・キャリア５００は、本発明のいくつかの実施形態に係るキャリア１１６の一例である。パック・キャリア５００は、このように、図１〜４Ｂのいずれかの、また、それらの図について上述した説明におけるキャリア１１６に取って代わり得る。さらに、パック・キャリア５００に関して特に言及されない場合であっても、パック・キャリア５００は、キャリア１１６に対して本願明細書において述べられる特徴又は変形例を含み得る。

[0067] 図示するように、パック・キャリア５００は、ＤＵＴ１１２（図５Ａ及び５Ｃにおいて破線で示される）が配置される担持面５０４を有するパック５０２を備え得る。パック５０２は、基板（例えば、材料ブロック）などを備え得る。例えば、パック５０２は、金属板、セラミック、プレート等を備え得る。いくつかの実施形態では、パック５０２の厚みＴ_Ｐは、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄより大きくし得る。例えば、厚みＴ_Ｐは、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄの２、５、８、９、１０倍とし得る。あるいは、厚みＴ_Ｐは、厚みＴ_Ｄ以下としてもよい。

[0068] １以上の真空溝５０６が、担持面５０４に設けられ得る。機構（図示せず）及び他の装置（図示せず）は、選択的に真空溝５０４における真空を作り出し、保持し、解放するように、提供される。そのような機構（図示せず）は、１以上の接続ノズル（図示せず）及び当該ノズル（図示せず）から真空溝５０４への通路を含み得る。溝５０６における真空は、担持面５０４上の適当な場所にＤＵＴ１１２を固定することができ、さらに、ＤＵＴ１１２が担持面５０４上を移動がなされるように、真空の解除がＤＵＴ１１２を解放し得る。真空溝５０４及び真空を作り出して解除ための関連機構は、このように、図２Ａ及び２Ｂの固定機構２０８の一例とすることができる。パック５０２は、上記の代わりに、異なるタイプの固定機構（例えば、機械的クランプなど）を含み得る。図５Ａ及び５Ｃに示される真空溝５０４の数、形状又はパターンは一例に過ぎず、図示のものと異なるものにし得る。

[0069] 図５Ａ及び５Ｃで分かるように、担持面５０４は、ＤＵＴ１１２が担持面５０４を越えて延在するように、ＤＵＴ１１２より小さくし得る。いくつかの実施形態では、担持面５０４の面積は、ＤＵＴ１１２の領域の３／４以下、２／３以下、１／2以下、１／３以下、１／４以下とし得る。いくつかの実施形態では、担持面５０４の面積は、ＤＵＴ１１２の面積の１／２５以下、１／５０以下又は１／７５以下とし得る。担持面５０４の面積がＤＵＴ１１２の対応する面積より小さいことにより、パック・キャリア５００が、より大きいキャリア１１６と比較して、より少ないサイズ及び／又は熱量を有することができる。このようにパック・キャリア５００より小さくすることで、実施形態によっては、製造コストが低くなり、熱量が減少するなどの利点を得られる。担持面５０４の相対的なサイズとは関係なく、パック５０２は、以下で述べるように、アライナ１０４のチャック６０２及び検査セル１１０のチャック８０２の空胴６０６及び８０６の深さＤにほぼ等しい厚みＴ_Ｐを有し得る。

[0070] パック・アラインメント特徴部５１０は、パック５０２の反対面５０８に配設され得る。例えば、パック・アラインメント特徴部５１０は、反対面５０８から延在する延設部又は反対面５０８内に延在する受け口とし得る。後述するように、パック・アラインメント特徴部５１０は、図６Ａ〜７Ｂに示すアライナ１０４の構成のチャック６０２の空胴（cavity）アラインメント特徴部６１０、及び、図８Ａ〜９Ｂに示す検査セル１１０の構成における同様なチャック８０２の空胴アラインメント特徴部８１０に対応する。パック・アラインメント特徴部５１０は、機械的受け口又は延設部である、対応する空胴アラインメント特徴部６１０及び８１０に嵌挿して、それによって連結する機械的特徴部（例えば、延設部又は受け口）とし得る。

[0071] 図５Ｂ及び５Ｃに示されるパック・アライメント特徴部５１０の数及び配置は、一例に過ぎず、図５Ｂ及び５Ｃに示されるものと異なる場所及び／又は異なるパターンである、３つより多い又は少ないパック・アライメント特徴部５１０とし得る。いくつかの実施形態においては、パック・アラインメント特徴部５１０の数及び配置は、例えば、３次元空間で６つの自由度において、あるいは、パック５０２の担持面５０４に対して概ね平行な平面で３つの自由度において、図６Ａ〜７Ｂに示すアライナ１０４のチャック６０２及び図８Ａ〜９Ｂに示す検査セル１１０のチャック８０２上にパック・キャリア５００を運動学的に位置合わせするようなものにできる。

[0072] 図５Ｂ及び５Ｃに示すように、リフト連結機構５１２は、パック５０２の反対面５０８上に、又は、反対面５０８内に配設され得る。後述するように、リフト連結機構５１２は、図６Ａ〜７Ｂに示すアライナ１０４のリフト６１８及び図８Ａ〜９Ｂに示す検査セル１１０のパック・リフト８１８に連結し得る。リフト連結機構５１２及びリフト６１８は、パック５０２を特定の方向に向ける、同様な咬合変則形状を有し得る。

[0073] 図５Ａ〜５Ｃで示すパック・キャリア５００は、一例に過ぎない。したがって、例えば、パック・キャリア５００が、図５Ａ〜５Ｃにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、パック・キャリア５００は、図５Ａ〜５Ｃに図示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、パック・キャリア５００は、図５Ａ〜５Ｃに示すものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、図５Ｃに示すように、パック・キャリア５００は、１以上の温度制御デバイス２１０（上記されている）を含み得る。あるいは、パック・キャリア５００は、温度制御デバイス２１０を含まない。別の例として、パック・キャリア５００は、ＤＵＴ１１２の周辺に、自己充足的なクリーンルーム環境を提供し得ることができるカバー及び密閉機構（図示せず）を含み得る。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、他のタイプの固定機構（例えば、機械的クランプなど）によって、パック５０２の担持面５０４に固定され得る。真空溝５０６は、このように、別のタイプの固定機構で置き換わられ得る。

[0074] 図６Ａ〜６Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、パック・キャリア５００上にＤＵＴ１１２を位置合わせするために用いることができるアライナ１０４の構成の一例を示す。図６Ａの切り抜き６００は、アライナ１０４の内部の一部を示すものである。図示するように、図３に関して概ね上述したように、図６Ａ及び６Ｂのアライナ１０４は、アクセスドア１２２を有する筐体３０２を含み得る。さらに図３に関して概ね上述したように、アライナ１０４は、１以上のカメラ３０４、カメラ・アラインメント特徴部３１２を有するカメラ架台３１０、及びカメラ架台３１０を移動する移動機構３１４をさらに含み得る。図６Ａ及び６Ｂのアライナ１０４は、また、図３に関して上述したように、さらに制御部４０８及びメモリ３１６を含み得る。しかしながら、図３とは違って、図６Ａ及び６Ｂに示すアライナ１０４の実施形態は、ステージ６１６、リフト６１８、及び可動チャック６０２を含み得る。これらは図３の移動機構３０６の一例である。

[0075] 図６Ａ及び６Ｂに示すように、チャック６０２は上面６０４を有することができ、パック・キャリア５００が配置され得る上面６０４には空胴６０６があってもよい。空胴６０６の下面６０８は、空胴アラインメント特徴部６１０を有することができ、空胴アラインメント特徴部６１０は、上記のように、パック５０２のパック・アラインメント特徴部５１０に対応し得る。空胴６０６は、図７Ｂに概ね図示されるように、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部６１０に連結する間、チャック６０２の上面６０４及びパック５０２の担持面５０４が実質的に（すなわち、およそ）同一平面上となるように、パック５０２の厚みＴ_Ｐにほぼ等しい深さＤを有し得る。上面６０４及び担持面５０４の両方に配設される間、ＤＵＴ１１２がアライナ１０４において位置合わせされる際に、ＤＵＴ１１２が損傷を受けていない又は壊れていない場合、上面６０４及び担持面５０４は実質的に同一平面上となる。あるいは、パック５０２の担持面５０４、チャック６０２の上面６０４、空胴６０６の下面６０８、空胴アラインメント特徴部６１０、及び／又は、パック・アラインメント特徴部５１０の１つ以上が、図中の「ｚ」方向において、十分に対応しており（例えば、可撓性がある）、上面６０４及び担持面５０４が実質的に同一平面上となるように、上面６０４及び／又は担持面５０４の移動を可能にし得る。

[0076] さらに図６Ａ及び６Ｂに示されるように、チャック６０２の上面６０４には、１以上の真空溝６１４があってもよい。機構（図示せず）及び他の装置（図示せず）を設けて、選択的に真空溝６１４の真空を作り出し、保持し、解除し得る。そのような機構（図示せず）は、１以上の接続ノズル（図示せず）及び当該ノズル（図示せず）から真空溝６１４への通路を含み得る。溝６１４の真空は、上面６０４上の適当な場所にＤＵＴ１１２を固定し、ＤＵＴ１１２が上面５０４上に又は上面５０４から離れるように移動できるよう、真空を解除することでＤＵＴ１１２を解放することができる。図６Ａ及び６Ｂに示される真空溝６１４の数、形状又はパターンは一例に過ぎず、図示のものと異なるものにし得る。

[0077] さらに図６Ａ及び６Ｂに図示されるように、チャック６０２は、チャック・アラインメント特徴部６２０を有し、チャック・アラインメント特徴部６２０は、カメラ架台３１０のカメラ・アラインメント特徴部３１２と連結し得る。チャック・アラインメント特徴部６２０は、構造的に及び機能的にキャリア・アライメント特徴部１１８と同じ又は同様とし得る。キャリア・アライメント特徴部１１８については、図３のカメラ・アラインメント特徴部３１２に関して上述した通りである。例えば、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部６１０に連結する間、チャック・アラインメント特徴部６２０がパック５０２に対して既知の位置にあるように、チャック・アラインメント特徴部６２０は、空胴アラインメント特徴部６１０に対してチャック６０２上に配置され得る。そして、カメラ・アラインメント特徴部３１２がチャック・アラインメント特徴部６２０に連結する間、カメラ３０４は、パック５０２（位置及び方向はパック・アラインメント特徴部５１０及び空胴アラインメント特徴部６１０によって定義される）に対して既知の位置にある。

[0078] リフト６１８は、パック５０２を空胴６０６内に及び空胴６０６外に移動させることができる可動機構とし得る。上記のように、パック５０２のリフト連結機構５１２及びリフト６１８は、パック５０２を特定の方向に向ける、同様な咬合変則形状を有し得る。可動ステージであるチャック６０２は、例えば、「ｘ、ｙ」平面で移動可能に、及び、「ｚ」軸に対して回転自在にすることができる。ステージ６１６は、リフト６１８及びチャック６０２を作動及び／又は制御する駆動機構（図示せず）を含み得る。

[0079] 図７Ａ及び７Ｂは、図６Ａ及び６Ｂのアライナ１０４を、アライナ１０４におけるＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せと共に示す。図示するように、パック５０２は、リフト６１８（例えば、リフト６１８は、図示するように、リフト連結機構５１２に連結することができる）上に配設され、リフト６１８は、パック５０２をチャック６０２の空胴６０６内に（図７Ｂ）、及び、空胴６０６外に（図７Ａ）移動させることができる。図示はしていないが、例えば、リフト６１８がパック５０２を空胴６０６内に移動させる際に、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部６１０と大まかに、しかし、十分に位置合わせされて連結するよう、当初の大まかな方向においてパック５０２をアライナ１０４に配置するためにガイド機構（例えば、ガイド機構３１８のようなもの）が設けられ得る。例えば、概ね上記したように、リフト連結機構５１２及びリフト６１８は、パック５０２がリフト６１８に連結するときにパック５０２が、したがって、パック・アラインメント特徴部５１０も、当初の大まかな方向に配置されるように、パック５０２を方向づける同様な咬合変則形状（interlocking irregular shapes）を有し得る。リフト連結機構５１２及びリフト６１８は、このように、図３のガイド機構３１８の一例とすることができる。

[0080] 移動機構３１４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２がチャック・アラインメント特徴部６２０との連結の中（図７Ｂ）及び連結の外（図７Ａ）へ移動するように、カメラ架台３１０を移動させ得る。上記したように、パック・アラインメント特徴部５１０及び空胴アラインメント特徴部６１０が連結され、かつ、カメラ・アラインメント特徴部３１２及びチャック・アラインメント特徴部６２０が連結されている間（図７Ｂに示すように）、カメラ３０４及びパック・アラインメント特徴部５１０は、互いに対して既知の位置にある。

[0081] 上記したように、アライナ１０４は、カメラ３０４をキャリア・アライメント特徴部１１８に連結する特徴部（例えば、カメラ・アラインメント特徴部３１２）を含む必要はない。例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に、又は、筐体３０２における他の構造体（図示せず）に載置され得る。このような場合、カメラ３０４の位置は、キャリア・アライメント特徴部１１８に対して既知でなくてもよく、カメラ３０４は、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２（例えば、任意の端子１１４）及びキャリア・アライメント特徴部１１８の画像を撮像することができ、それらの画像は、ＤＵＴ１１２をキャリア１１６上のアライメント位置に移動させるように、制御部３０８（及び／又は人間の操作者）に用いられ得る。

[0082] 上記したように、真空溝５０６に真空を作り出したり解除したりすることによって、ＤＵＴ１１２は、パック５０２の担持面５０４に固定したり緩めたり（unclamp)され得る。同様に、真空溝６１４の真空を作り出したり解除したりすることによって、ＤＵＴ１１２は、チャック６０２の上面６０４に固定したり緩めたりされ得る。チャック６０２の上面６０４に固定されて、パック５０２の担持面５０４から解放されている間に、チャック６０２は、パック・アラインメント特徴部５１０に対してＤＵＴアラインメント特徴部２１２を配置するように、パック５０２に対してＤＵＴ１１２を移動させ得る。パック・アラインメント特徴部５１０は、図２Ａ及び２Ｂのキャリア・アライメント特徴部１１８と等価物である。チャックは、このように、パック・キャリア５００上のアライメント位置に、ＤＵＴ１１２を移動させ得る。

[0083] 図６Ａ〜７Ｂに示されるアライナ１０４の構成は、一例に過ぎない。したがって、例えば、アライナ１０４が、図６Ａ〜７Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、アライナ１０４は、図６Ａ〜７Ｂに示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、アライナ１０４は、図６Ａ〜７Ｂに示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、図３に関して概ね上述したように、アライナ１０４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２、カメラ架台３１０、又は移動機構３１４を含む必要はない（例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に又は筐体３０２の別の構造体又は複数の構造体（図示せず）に載置され得る）。このような場合には、チャック６０２は、チャック・アラインメント特徴部６２０を含む必要はない。別の例として、２台のカメラ３０４が示されるが、その代わりに、１台のカメラ３０４のみ、又は、２台以上のカメラ３０４とし得る。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２のないパック５０２が、まず空胴６０６に配設され（例えば、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部６１０に連結した状態で）、ＤＵＴ１１２は、その後、アライナ１０４に挿入されて、パック５０２の担持面５０４及びチャック６０２の上面６０４に配置されてもよい。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、他のタイプの固定機構（例えば、機械的クランプや静電クランプなど）によって、チャック６０２の上面６０４に固定されてもよい。真空溝６１４は、このように、別のタイプの固定機構で置き換えられ得る。別の例として、可動リフト１１０２及び／又はステージ１１０４は、膜キャリア１０００に対してＤＵＴ１１２を移動する他のタイプの移動機構で置き換えられ得る。例えば、モータ駆動ステージ又はチャックなどを、可動リフト１１０２及び／又はステージ１１０４に取って代わり得る。別の例として、膜キャリア１０００の担持面１００４上のＤＵＴ１１２を移動させるように、エアージェットをＤＵＴ１１２の一部に選択的に吹きかける装置は、リフト１１０２及び／又はステージ１１０４と入れ替えられ得る。さらに別の例として、担持面１００４上でＤＵＴ１１２を移動させる静電荷を選択的に生じさせる装置は、リフト１１０２及び／又はステージ１１０４に取って代わられうる。リフト１１０２及び／又はステージ１１０４の代わりの上述の例の全ては、図３の移動機構３０６の例とし得る。

[0084] 図８Ａ及び８Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係るＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せを検査するために用いられ得る検査セル１１０の構成例を示す。図８Ａの切り抜き８００は、検査セル１１０の内部の一部を示す。図示するように、図４Ａ及び４Ｂに関して概ね上述したように、図８Ａ及び８Ｂの検査セル１１０はアクセスドア１２４を有する筐体４０２を含み得る。さらに図４Ａ及び４Ｂに関して概ね上述したように、検査セル１１０はまた、電気接続４０４、プローブ４１０を有する接触器４０８、接触器アライメント特徴部４１２、シール４１４、及び、圧力調節器デバイス４１６を含み得る。図８Ａ及び８Ｂの検査セル１１０はまた、図４Ａ及び４Ｂに関して上記したように、制御部４１８及びメモリ４２０をさらに含み得る。しかしながら、図４Ａ及び４Ｂと違って、図８Ａ及び８Ｂにおいて図示される検査セル１１０の実施形態は、チャック８０２、チャック・リフト８１６、及び、パック・リフト８１８を含み得るもので、これらは、図４Ａ及び４Ｂのリフト４０６の一例とし得る。

[0085] チャック８０２は、チャック６０２と同様とすることができ、同様な要素及び特徴部を有し得る。例えば、図示するように、チャック８０２は上面８０４を有し得るし、パック・キャリア５００が配置され得る上面８０４に空胴８０６があってもよい。空胴８０６の下面８０８は、空胴アラインメント特徴部８１０を有することができ、空胴アラインメント特徴部８１０は、パック５０２のパック・アラインメント特徴部５１０に対応し、連結することができる。空胴８０６は、図９Ｂに概ね図示されるように、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０に連結している間、チャック８０２の上面８０４及びパック５０２の担持面５０４が実質的に（すなわち、およそ）同一平面上となるように、パック５０２の厚みＴ_Ｐにほぼ等しい深さＤを有し得る。ＤＵＴ１１２が上面８０４及び担持面５０４の両方に配設されている間、ＤＵＴ１１２がプローブ４１０によって接触される際に、損傷を受けていない又は壊れていない場合、上面８０４及び担持面５０４は実質的に同一平面上となる。

[0086] さらに図８Ａ及び８Ｂに示されるように、チャック８０２の上面８０４には、１以上の真空溝８１４があってもよい。機構（図示せず）及び他の装置（図示せず）は、真空溝８１４に真空を作り出し、保持し、解除するように、選択的に設けられ得る。そのような機構（図示せず）は、１以上の接続ノズル（図示せず）及び当該ノズル（図示せず）から真空溝８１４への通路を含み得る。溝８１４における真空は、上面８０４上の適当な場所でＤＵＴ１１２を固定し、真空を解除することによって、上面８０４からＤＵＴ１１２を緩め得る。図８Ａ及び８Ｂに示される真空溝８１４の数、形状又はパターンは一例に過ぎず、図示のものと異なるものにし得る。

[0087] さらに図８Ａ及び８Ｂにおいて図示されるように、チャック８０２は、接触器アライメント特徴部４１２と連結することができるチャック・アラインメント特徴部８２０を有し得る。チャック・アラインメント特徴部８２０は、図４Ａ及び４Ｂに関して上述したように、構造的及び機能的に、キャリア・アライメント特徴部１１８と同じ又は同様とし得る。例えば、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０に連結する間、チャック・アラインメント特徴部８２０がパック５０２に対して既知の位置にあるように、チャック・アラインメント特徴部８２０は、空胴アラインメント特徴部８１０に対してチャック８０２上に配置され得る。上記したように、プローブ４１０は、接触器アライメント特徴部４１２及び空胴アラインメント特徴部８１０に対して既知の位置とすることができ、ＤＵＴアラインメントマーク２１２は、したがって、ＤＵＴ１１２の端子１１４も、アライナ１０４において、パック・アラインメント特徴部５１０に対して対応する既知の位置に位置合わせされた。このように、接触器アライメント特徴部４１２がチャック・アラインメント特徴部８２０に連結し、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０に連結すると、プローブ４１０は端子１１４と位置が揃う。

[0088] リフト８１８は、パック５０２を空胴８０６内に及び空胴８０６外に移動することができる可動機構とし得る。チャック・リフト８１６は、チャック８０２を、したがって、アラインメント特徴部８０２も、接触器アライメント特徴部４１２と連結するように及び連結しないように、移動させ得る。

[0089] 図９Ａ及び９Ｂは、図８Ａ及び８Ｂにおいて図示される検査セル１１０を、検査セル１１０のＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せと共に示す。リフト８１８は、上記の通り、リフト６１８のようなものとし得る。すなわち、パック５０２は、リフト８１８（例えば、リフト８１８は、図示するように、リフト連結機構５１２に連結することができる）上に配設され、リフト８１８は、チャック８０２における空胴８０６内に（図７Ｂと同様）及び空胴８０６外に（図７Ａと同様）、パック５０２を移動させ得る。図示はしていないが、例えば、リフト８１８がパック５０２を空胴６０６内に移動する際に、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０にと大まかに、しかし、十分に位置合わせされて連結するように、当初の大まかな方向においてパック５０２を検査セル１１０に配置するためのガイド機構（例えば、ガイド機構４２２のようなもの）が設けられ得る。例えば、リフト連結機構５１２及びリフト８１８は、パック５０２がリフト８１８に連結するときに、パック５０２、したがって、パック・アラインメント特徴部５１０も、当初の大まかな方向に配置されるように、パック５０２を方向づける同様な咬合変則形状を有することができる。リフト連結機構５１２及びリフト８１８は、このように、図４のガイド機構４２２の一例とすることができる。そのようなガイド機構（図示せず）の他の例として、ガイドレール（図示せず）などが挙げられる。

[0090] チャック・リフト８１６は、図９Ａに示すように、チャック・アラインメント特徴部８２０が接触器アライメント特徴部４１２との連結から移動するように、チャック８０２を移動させ得る。チャック・リフト８１６は、図９Ｂに示すように、チャック・アラインメント特徴部８２０を移動させて接触器アライメント特徴部４１２と連結するように、チャック８０２を移動させ得る。上記のように、圧力調節器４１６は、接触器４０８とＤＵＴ１１２との間の空気圧を上昇させたり減少させたりし得る。

[0091] 上記したように、真空溝５０６に真空を作り出したり解除したりすることによって、ＤＵＴ１１２は、パック５０２の担持面５０４に固定されたり緩めたりされ得る。同様に、真空溝８１４に真空を作り出し解除したりすることによって、ＤＵＴ１１２は、チャック８０２の上面８０４に固定されたり緩められたりされ得る。

[0092] 図８Ａ〜９Ｂにおいて図示した検査セル１１０の構成は、一例に過ぎない。したがって、例えば、検査セル１１０が、図８Ａ〜９Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、検査セル１１０は、図８Ａ〜９Ｂに図示されない追加的な特徴部又は要素を有したり、検査セル１１０は、図８Ａ〜９Ｂに示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、ＤＵＴ１１２は、他のタイプの固定機構（例えば、機械的クランプなど）によって、チャック８０２の上面８０４に固定され得る。真空溝８１４は、このように、別のタイプの固定機構で置き換えられ得る。別の例として、検査セル１１０は、圧力調節器４１６又はシール４１４を含む必要はない。

[0093] 図１０Ａ及び１０Ｂは、膜キャリア１０００の形でのキャリア１１６の実施形態の一例を示す。図１１Ａ及び１１Ｂは、膜キャリア１０００のために構成されるアライナ１０４の実施形態を図示し、図１２Ａ及び１２Ｂは、膜キャリア１０００のために構成される検査セル１１０の実施形態を図示する。

[0094] 上述のとおり、図１０Ａ及び１０Ｂの膜キャリア１０００は、本発明のいくつかの実施形態に係るキャリア１１６の一例である。膜キャリア１０００は、このように、図１〜４Ｂのいずれかの、また、それらの図について上述した説明におけるキャリア１１６に取って代わり得る。さらに、膜キャリア１０００に関して特に言及されない場合であっても、膜キャリア１０００はキャリア１１６に関して本願明細書において述べられる特徴又は変形例を含み得る。

[0095] 図示するように、膜キャリア１０００は、ＤＵＴ１１２（図１０Ａ及び１０Ｂにおいて破線で示される）が配置される担持面１００４を有する膜基板１００２を備え得る。膜基板１００２は、基板（例えば、材料ブロック）などを備え得る。例えば、膜基板１００２は、金属板、セラミック板などを備えることができる。いくつかの実施形態では、膜基板１００２の厚みＴ_Ｍは、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄ以下とし得る。例えば、厚みＴ_Ｍは、ＤＵＴ１１２の厚みＴ_Ｄの９０パーセント、８０パーセント、７０パーセント、６０パーセント、５０パーセント、４０パーセント以下とし得る。あるいは、厚みＴ_Ｍは厚みＴ_Ｄの異なるパーセンテージとすることができ、厚みＴ_ＭはＴ_Ｄ以上とすることができる。膜基板１００２の厚みＴ_Ｍが比較的小さいことは、膜キャリア５００を、より大きいキャリア１１６と比較して、より少ないサイズ及び／又は熱量を有することができるようになる。このように膜キャリア１０００より小さくできることで、実施形態によっては、製造コストを低くしたり、熱量が減少したりするなどの利点を得られる。

[0096] １以上の真空溝１００６は、担持面１００４に設けられ得る。機構（図示せず）及び他の装置（図示せず）は、真空溝１００４において真空を作り出し、保持し、解除するように、選択的に設けられ得る。そのような機構（図示せず）は、１以上の接続ノズル（図示せず）及び当該ノズル（図示せず）から真空溝１００６への通路を含み得る。溝１００６の真空は、担持面１００４上の適当な場所にＤＵＴ１１２を固定し、ＤＵＴ１１２が担持面１００４上を移動できるように、真空を解除することでＤＵＴ１１２を解放し得る。真空溝１００６及び真空を作り出して解除関連機構は、このように、図２Ａ及び２Ｂの固定機構２０８の一例とすることができる。膜基板１００２は、上記の代わりに、異なるタイプの固定機構（例えば、機械的クランプなど）を含み得る。図１０Ａ及び１０Ｂに示される真空溝１００６の数、形状又はパターンは一例に過ぎず、図示のものと異なるものにすることができる。

[0097] 図示するように、膜基板１００２の担持面１００４は、ＤＵＴ１１２のサイズよりも大きくし得る。さらに図示されるように、膜基板１００２は、上記したようなキャリア・アライメント特徴部１１８を含み得る。アラインメント特徴１１８は、ＤＵＴ１１２が配設され得る担持面１００４上の領域外に配設され得る。膜基板１００２はまた、リフト・ホール１００８を含むことができ、このリフト・ホール１００８は、ＤＵＴ１１２が配設され得る担持面１００４上の領域内にある膜基板１００２に配設され得る。後述するように、リフト・ホール１００８は、可動リフト１１０２（図１１Ａ及び１１Ｂを参照）が膜基板１００２を通過したり、ＤＵＴ１１２を膜基板１００２の担持面１１０４から持ち上げたりすることを可能にする。さらに後述するように、リフト・ホール１００８は、可動リフト１１０２より大きくすることができ、それによって、可動リフト１１０２は、したがって、ＤＵＴ１１２も、「ｘ、ｙ」平面を移動、及び／又は、膜基板１００２に対する「ｚ」軸の周りを回転することができる。当然、リフト・ホール１００８と可動リフト１１０２のサイズの違いが大きいほど、可動リフト１１０２が膜キャリア１００２に対して移動することができる距離は大きくなる。いくつかの実施形態では、各リフト・ホール１００８は、可動リフト１１０２の大きさの１．２５、１．５、１．７５、２．８倍以上とすることができる。

[0098] 図１０Ａ及び１０Ｂに示す膜キャリア１０００は、一例に過ぎない。したがって、例えば、膜キャリア１０００が、図１０Ａ及び１０Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを備える必要はなく、膜キャリア１０００は、図１０Ａ及び１０Ｂに図示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、膜キャリア１０００は、図１０Ａ及び１０Ｂに図示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、図１０Ｂに示すように、膜キャリア１０００は、１以上の温度制御デバイス２１０（上記されている）を含み得る。あるいは、膜キャリア１０００は、温度制御デバイス２１０を含まない。別の例として、膜キャリア１０００は、ＤＵＴ１１２周辺に、自己充足的なクリーンルーム環境を提供することができるカバー及び密閉機構（図示せず）を含み得る。さらに別の例として、ＤＵＴ１１２は、例えば、機械的クランプなどのような他のタイプの固定機構によって、膜基板１００２の担持面１００４に固定され得る。真空溝１００６は、このように、別のタイプの固定機構で置き換えられ得る。さらに別の例として、リフト・ホール１００８及び／又はキャリア・アライメント特徴部１１８の数、配置、及びパターンは、図１０Ａ及び１０Ｂに示されるものと異なるものとし得る。

[0099] 図１１Ａ及び１１Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係る、膜キャリア１０００上にＤＵＴ１１２を位置合わせするために用られ得るアライナ１０４の構成の一例を示す。図示するように、図３に関して概ね上述したように、図１１Ａ及び１１Ｂのアライナ１０４は、アクセスドア１２２を有する筐体３０２を含み得る。さらに図３に関して概ね上述したように、アライナ１０４は、さらに、１以上のカメラ３０４、カメラ・アラインメント特徴部３１２を有するカメラ架台３１０、及びカメラ架台３１０を移動する移動機構３１４を含み得る。図１１Ａ及び１１Ｂのアライナ１０４はまた、図３に関して上述したように、制御部３０８及びメモリ３１６を含み得る。しかしながら、図３とは違って、図１１Ａ及び１１Ｂに示すアライナ１０４の実施形態は、図３の移動機構３０６の一例であるステージ１１０４及び可動リフト１１０２を含み得る。

[00100] 図１１Ａ及び１１Ｂに示すように、ステージ１１０４は、膜キャリア１０００を保持し得る。膜キャリア１０００は、それゆえ、可動リフト１１０２が、図１１Ａに示すようなステージ１１０４から膜キャリア１０００のリフト・ホール１００８内に又はリフト・ホール１００８を介して延在するように、図１１Ａに示すようなステージ１１０４に配置され得る。（図１１Ａ及び１１Ｂに示される図におけるリフト・ホール１００８は膜基板１００２の内部にあり得るので、図１１Ａにおいて、リフト・ホール１００８は破線で示される。リフト・ホール１００８内部にある可動リフト１１０２の一部も破線で示される。）上記したように、ＤＵＴ１１２は、真空溝１００６に真空を作り出し解除したりすることによって、膜基板１００２の担持面１００４に固定され、緩められ得る。

[00101] ステージ１１０４は、可動リフト１１０２を「ｚ」軸（図示されるように、膜基板１００２の担持面１００４に垂直にし得る）に沿って移動し、それによって、図１１Ｂに示すように、ＤＵＴ１１２を担持面１１０４から持ち上げる機構（図示せず）を含み得る。ステージ１１０４は、さらに、可動リフト１１０２を「ｘ、ｙ」平面（図示されるように、膜基板１００２の担持面１００４と平行にし得る）で移動させ、及び／又は、可動リフト１１０２を「ｚ」軸の周りで回転させる機構（図示せず）を含み得る。上記のように、膜基板１００２におけるリフト・ホール１００８が、可動リフト１１０２より大きい限り、ステージ１１０４は、かように、ＤＵＴ１１２を、「ｘ、ｙ」平面で移動させ、及び／又は、ＤＵＴ１１２を膜基板１００２に対する「ｚ」軸の周りで回転させ得る。以下のことを２回以上繰り返すことによって、ＤＵＴ１１２は、膜基板１００２に対して、リフト・ホール１００８及び可動リフト１１０２のサイズの差よりも大きい距離を移動させられ得る。すなわち、リフト・ホール１００８内の第１の位置における可動リフト１１０２によって、ＤＵＴ１１２を膜基板１００２の担持面１００４から持ち上げ、膜基板１００２に対して可動リフト１１０２（したがって、ＤＵＴ１１２）を移動させ、ＤＵＴ１１２を担持面１００４へ下ろし、可動リフト１１０２をリフト・ホール１００８内の第１の位置へと戻すこと、である。このように、真空溝１００６が真空状態でなく、したがって、ＤＵＴ１１２が膜基板１００２の担持面１００４から緩められている間、ステージ１１０４は、可動リフト１１０２を移動させることによって、膜基板１００２の担持面１００４上で、アラインメント特徴１１８に対するアライメント位置にＤＵＴ１１２を移動させ得る。

[00102] 図１１Ａ及び１１Ｂに示すように、移動機構３１４は、カメラ架台３１０のカメラ・アラインメント特徴部３１２を移動させ、キャリア・アライメント特徴部１１８と機械的に連結し、連結を外すといったことをし得る。概ね上述したように、カメラ３０４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２及びキャリア・アライメント特徴部１１８が連結されている間、カメラ・アラインメント特徴部３１２に対する、したがって、キャリア・アライメント特徴部１１８にも対する既知の位置にあり得る。カメラ３０４によって取得されたＤＵＴアラインメント特徴部２１２の画像（上記のように端子１１４の一部でありうる）は、かように、膜基板１００２の担持面１００４上のアライメント位置にＤＵＴ１１２を移動させるのに用いられ得る。

[00103] 上述のように、アライナ１０４は、カメラ３０４をキャリア・アライメント特徴部１１８に連結する特徴部（例えば、カメラ・アラインメント特徴部３１２）を含む必要はない。例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に、又は、筐体３０２における他の構造体（図示せず）に載置され得る。この場合、カメラ３０４の位置は、キャリア・アライメント特徴部１１８に対して既知でなくてもよく、カメラ３０４は、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２（例えば、任意の端子１１４）及びキャリア・アライメント特徴部１１８の画像を撮像し、それらの画像を制御部３０８（及び／又は人間の操作者）に用いることによって、ＤＵＴ１１２をキャリア１１６上のアライメント位置に移動させ得る。別の例として、カメラ３０４は、アライメント特徴部１１８、及び、クランプ（図示せず）又は筐体３０２にあるが、カメラ３０４に直接連結しない同様のデバイスのアラインメント特徴部（図示しないが、カメラ・アラインメント特徴部３１２のようなものでありうる）に対する既知の位置にあってもよい。クランプや他のデバイス（図示せず）のそうしたアラインメント特徴部（図示せず）は、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結し、それによって、キャリア・アライメント特徴部１１８がカメラ３０４に対する既知の位置となる位置に、膜キャリア１０００を移動させ得る。

[00104] 図１１Ａ及び１１Ｂに示されるアライナ１０４の構成は、一例に過ぎない。したがって、例えば、アライナ１０４が、図１１Ａ及び１１Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、アライナ１０４は、図１１Ａ及び１１Ｂに示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、アライナ１０４は、図１１Ａ及び１１Ｂに示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。例えば、図３に関して概ね上述した様に、アライナ１０４は、カメラ・アラインメント特徴部３１２、カメラ架台３１０、又は移動機構３１４を含む必要はない（例えば、カメラ３０４は、筐体３０２に又は筐体３０２の別の構造又は構造（図示せず）に載置され得る）。別の例としては、上記したように、機械的にキャリア・アライメント特徴部１１８と連結して、それによって膜キャリア１０００をカメラ３０４に対する所定の位置にさせる筐体３０２における機械的連結機構（図示せず）があってもよい。別の例として、２台のカメラ３０４が示されるが、その代わりに、１台のカメラ３０４のみ、又は、２台以上のカメラ３０４とし得る。さらに別の例として、図１１Ａ及び１１Ｂに示される可動リフト１１０２よりも多く又は少なくすることができ、可動リフト１１０２は、図１１Ａ及び１１Ｂに示されるものとは違う位置又はパターンに配置され得る。

[00105] 図１２Ａ及び１２Ｂは、本発明のいくつかの実施形態に係るＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００の組合せを検査するために用られ得る検査セル１１０の構成例を示す。図示するように、図４Ａ及び４Ｂに関して概ね上述したように、図１２Ａ及び１２Ｂの検査セル１１０は、アクセスドア１２４を有する筐体４０２を含み得る。さらに図４Ａ及び４Ｂに関して概ね上述したように、検査セル１１０は、電気接続４０４、プローブ４１０を有する接触器４０８、接触器アライメント特徴部４１２、シール４１４、及び、圧力調節器デバイス４１６を更に含み得る。図１２Ａ及び１２Ｂの検査セル１１０は、また、図４Ａ及び４Ｂに関して上記したように、更に制御部４１８及びメモリ４２０を含み得る。しかしながら、図４Ａ及び４Ｂとは違って、図１２Ａ及び１２Ｂにおいて図示される検査セル１１０の実施形態は、チャック１２０２及びチャック・リフト１２０４を含み得る。これらは、図４Ａ及び４Ｂのリフト４０６の一例とすることができる。図１２Ａ及び１２Ｂに示すように、ステージ１１０４は、図１１Ａ及び１１Ｂに示されるアライナ１０４の膜基板１００２の担持面１００４上におけるアライメント位置に移動して、固定されたＤＵＴと共に、ＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００の組合せを保持することができる。ＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００は、したがって、図１１Ａに示すように、ステージ１１０４に配置され得る。

[00106] 図示はしていないが、例えば、キャリア・アライメント特徴部１１８が接触器アライメント特徴部４１２に大まかに、しかし、十分に位置合わせされるように、ガイド機構は、当初の大まかな方向において検査セル１１０におけるＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００をガイドするために、筐体４０３に設けられ得る。そのようなガイド機構（図示せず）の例としては、ガイドレール、停止構造など（図示せず）が挙げられる。

[00107] 図示するように、チャック・リフト１２０４は、図１２Ａに示すように、キャリア・アラインメント特徴部１１８が接触器アライメント特徴部４１２との連結を外すように、チャック１２０２を移動させ得る。チャック・リフト１２０４は、また、図１２Ｂに示すように、キャリア・アラインメント特徴部１１８が移動して接触器アライメント特徴部４１２と連結するように、チャック１２０２を移動させ得る。上記のように、圧力調節器４１６は、接触器４０８とＤＵＴ１１２との間の空気圧を上げたり下げたりし得る。

[00108] 図１２Ａ及び１２Ｂにおいて図示する検査セル１１０の構成は、一例に過ぎない。したがって、例えば、検査セル１１０が、図１２Ａ及び１２Ｂにおいて図示される特徴部又は要素の全てを含む必要はなく、検査セル１１０は、図１２Ａ及び１２Ｂに図示されない追加的な特徴部又は要素を有し得るし、検査セル１１０は、図１２Ａ及び１２Ｂに示されるものとは異なる特徴部又は要素を有し得る。別の例として、検査セル１１０は、圧力調節器４１６又はシール４１４を含む必要はない。

[00109] 本発明のいくつかの実施形態に係るマルチＤＵＴ検査システム１００の例及びマルチＤＵＴ検査システム１００の要素の実施形態の様々な例が、上記のように図示され、説明された。次に、マルチＤＵＴ検査システム１００のＤＵＴ１１２を検査するプロセスの例が、図１３〜１５に関して説明される。しかしながら、マルチＤＵＴ検査システム１００は、説明のために提供されている図１３〜１５において図示されるプロセスに従った動作に限られるものではない。

[00110] 概ね上述したように、複数のＤＵＴ１１２は、アライナ１０４でキャリア１１６上にＤＵＴ１１２を位置合わせして、続いて、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを、ＤＵＴ１１２が検査される検査セル１１０に装入することによって、マルチＤＵＴ検査システム１００にて検査され得る。後述するように、マルチＤＵＴ検査システム１００は、複数のＤＵＴ１１２を連続して検査されることに限られない。むしろ、マルチＤＵＴ検査システム１００は、複数のＤＵＴ１１２を並行して検査さえ得る。

[00111] 図１３は、本発明のいくつかの実施形態に係る図１のマルチＤＵＴ検査システム１００を運用するプロセス１３００を示す。いくつかの実施形態では、プロセス１３００は、制御部１２６上で実行し得る。例えば、メモリ１２８及び／又は物理的に組み込まれた回路（図示せず）に格納されたプログラムコードに従って動作しながら、制御部１２６は、プロセス１３００を実行し得る。このように、プロセス１３００は、メモリ１２８に格納されるプログラムコードとして、全体的に又は部分的に具現化され得る。あるいは、プロセス１３００は、図１に示されない他の装置で実行することができる。さらに別の変形例として、プロセス１３００は、操作者たる人間によって全体的に又は部分的に実施され得る。

[00112] 複数のＤＵＴ１１２（例えば、２、３、５、１０、２０個以上）は、所定時間にマルチＤＵＴ検査システム１００に置かれ、当該ＤＵＴ１１２はシステム１００内の異なるポイントに置かれ得る。図１３を参照すると、プロセス１３００は、プロセス１３００が、１以上のＤＵＴ１１２がマルチＤＵＴ検査システム１００における特定のポイント（ＤＵＴ１１２が違うポイントへ移動する準備が整ったポイント）にあることを示す指示を待つ、ループ又は同様の動作上の特徴（例えば、割込み駆動動作特徴）を含み得る。そのような３つのポイントの例が、図１３に示される。ステップ１３０２では、プロセス１３００は、１以上の新しいＤＵＴ１１２があるかどうかを判定し得る。新しいＤＵＴ１１２は、例えば、ローダ１０２に装入されるＤＵＴ１１２とし得る。ステップ１３０６では、プロセス１３００は、１以上のＤＵＴ１１２がアライナ１０４においてキャリア１１６上に位置合わせされたかどうか判定し、ステップ１３１０では、プロセス１３００は、１以上のＤＵＴ１１２が検査セル１１０での検査を全て終えたかどうか判定し得る。

[00113] ステップ１３０２では、プロセス１３００は、検査準備の整った新しいＤＵＴ１１２（又は複数のＤＵＴ１１２）があるかどうか判定し得る。新しいＤＵＴ１１２がローダ１０２に装入されると、ローダ１０２は信号、メッセージなどを制御部１２６に送信し得る。ステップ１３０２は、このように、例えば、そのような信号かメッセージをローダ１０２から受信したかどうかを判定することによって実行され得る。別の例として、プロセス１３００は、１以上の新しいＤＵＴ１１２があるかどうか判定するために、ステップ１３０２でローダ１０２を問い合わせ得る。プロセスがステップ１３０２で検査準備のできた新しいＤＵＴ１１２があると判定すれば、プロセス１３００は、アライナ１０４にて、キャリア１１６上に新しいＤＵＴ１１２を位置合わせするプロセスをステップ１３０４にて開始し得る。後述するように、図１４のプロセス１４００はＤＵＴ１１２をアライナ１０４で位置合わせするプロセスの一例であり、プロセス１３００は、ステップ１３０４で、プロセス１４００を開始し得る。

[00114] ステップ１３０６で、プロセス１３００は、アライナ１０４内に、キャリア１１６上のアライメント位置に移動されたＤＵＴ１１２があるかどうか判定し得る。アライナ１０４がＤＵＴ１１２をキャリア１１６上で位置合わせするプロセスを完了すると、アライナ１０４は、信号、メッセージなどを制御部１２６に送信し得る。ステップ１３０６は、このように、例えば、そのような信号かメッセージをアライナ１０４から受信したかどうかを判定することによって実行し得る。別の例として、プロセス１３００は、ステップ１３０６にて、ＤＵＴ１１２が、アライナ１０４において、キャリア１１６上のアライメント位置にあるかどうか判定するために、ステップ１３０６でアライナ１０４に問い合わせ得る。プロセスが、ステップ１３０６にて、ＤＵＴ１１２がアライナ１０４においてキャリア１１６上のアライメント位置にあると判定すると、プロセス１３００は、ステップ１３０８にて、検査セル１１０にて位置合わせされたＤＵＴ１１２を検査するプロセスを開始し得る。後述するように、図１５のプロセス１５００は、検査セル１１０のＤＵＴ１１２を検査するプロセスの一例であり、プロセス１３００は、ステップ１３０８で、プロセス１５００を開始し得る。

[00115] ステップ１３１０で、プロセス１３００は、検査が完了したＤＵＴ１１２が検査セル１１０にあるかどうかを判定し得る。検査セル１１０がＤＵＴを検査するプロセスを完了すると、検査セル１１０は、信号、メッセージなどを制御部１２６に送信し得る。ステップ１３１０は、このように、例えば、そのような信号かメッセージを検査セル１１０から受信したかどうかを判定することによって実行し得る。別の例として、プロセス１３００は、ステップ１３１０にて、検査セル１１０において検査が完了したかどうかを判定するために、検査セル１１０に問い合わせ得る。プロセスが、ステップ１３１０にて、検査されたＤＵＴ１１２が検査セル１１０にあると判定すると、プロセス１３００は、ステップ１３１２にて、検査されたＤＵＴの検査後処理を開始し得る。検査後処理は、検査システム１００から検査されたＤＵＴ１１２を取り出すといった程度の簡単なものか、又は、ＤＵＴ１１２に関する情報を得るといったものが挙げられる。後述するように、図１６のプロセス１６００は、検査されたＤＵＴ１１２の検査後処理のためのプロセスの一例であり、プロセス１３００は、ステップ１３１２で、プロセス１６００を開始し得る。

[00116] さらに図１３を参照すると、図示するように、プロセス１３００は、ＤＵＴ１１２の温度を設定するステップ１３１４を含み得る。温度は、例えば、ＤＵＴ１１２が検査セル１１０で検査される温度とし得る。ステップ１３１４は、プロセス１３００の間、いつでも実行することができるので、ステップ１３１４は図３では浮動の状態で示されている。例えば、ステップ１３１４は、ＤＵＴ１１２が検査セル１１０で検査される温度におおよそなるように、ＤＵＴ１１２がキャリア１１６に配置された後ＤＵＴ１１２がキャリア１１６に位置合わせされる前に、実行され得る。別の例として、ステップ１３１４は、ＤＵＴ１１２がキャリア１１６に位置合わせされた後（例えば、ステップ１３０４での開始時）、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せが検査セル１１０に装入される前（例えば、ステップ１３０８での開始時）のいつでも実行され得る。いつ行われるかにかかわらず、ステップ１３１４は、ＤＵＴ１１２を所望の温度（例えば、ＤＵＴ１１２が検査セル１１０で検査される温度）にするために、温度制御デバイス２１０（図３、５Ａ、５Ｂ及び１０を参照）を起動させることを備え得る。いくつかの実施形態では、プロセス１３００はステップ１３１４を含む必要はない、又は、ステップ１３１４は、プロセス１３００の所与の実行時に行われる必要はない。

[00117] プロセス１３００は、マルチＤＵＴ検査システム１００でＤＵＴ１１２を検査するプロセスの実施形態の一例に過ぎない。例えば、プロセス１３００は、図１３に示されない追加的なステップを有し得るし、プロセス１３００は、図１３に示されるステップの全てを有する必要はなく、プロセス１３００は、図１３に示すものとは異なるステップを有してもよく、及び／又は、図１３００に示されるステップの順序は違っていてもよい。

[00118] 上述のとおり、図１４は、アライナ１０４においてキャリア１１６上でＤＵＴ１１２を位置合わせするプロセス１４００の一例を示すものであり、プロセス１４００は、プロセス１３００のステップ１３０４で開始し得る。いくつかの実施形態では、プロセス１４００は、アライナ１０４の制御部３０８及び／又は検査システム１００の制御部１２６によって実行される。例えば、ステップ１４０２は制御部１２６によって実行され、ステップ１４０４〜１４１０は制御部３０８によって実行され得る。いくつかの実施形態では、プロセス１４００は、メモリ３１６、メモリ１２８及び／又は物理的に組み込まれた回路（図示せず）に格納されたプログラムコードに従って動作する制御部３０８及び／又は制御部１２６によって、実行され得る。このように、プロセス１４００は、メモリ３１６及び／又は１２８に格納されるプログラムコードとして、全体的に又は部分的に実施され得る。あるいは、プロセス１４００は、図に示されない他の装置で実行され得る。さらに別の変形例として、プロセス１４００は、操作者たる人間によって全体的に又は部分的に実施され得る。

[00119] 上述のとおり、プロセス１４００は、プロセス１３００が検査される新しいＤＵＴがあるとステップ１３０２で判定した後、ステップ１３０４でプロセス１３００によって開始される。図１４に示すように、ステップ１４０２にて、新しいＤＵＴ１１２は、アライナ１０４に装入され得る。新しいＤＵＴ１１２は、上記したいずれの方法で、アライナ１０４に装入され得る。例えば、新しいＤＵＴ１１２は、アライナ１０４の（例えば、ローダ１０２の）外でキャリア１１６上に配置され、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せがアライナ１０４に装入され得る。あるいは、新しいＤＵＴ１１２はアライナ１０４に装入され、アライナ１０４にすでにあるキャリア１１６に配置され得る。いずれにせよ、ロボットアーム１２０を含んでいるムーバ１０６は、ローダ１０２からアライナ１０４へ、新しいＤＵＴ１１２又はＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを移動させ得る。その結果、図３にて図示したような、アライナ１０４内にあるＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せとなり得る。すなわち、図７Ｂに示すように、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部に連結した状態で、パック５０２が空胴６０６に配設されている、ＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せ、又は、図１１Ａに示すように、膜基板１００２がステージ１１０４に配置されているＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００組合せ、である。

[00120] アライナ１０４が利用できない（例えば、別のＤＵＴがアライナ１０４にある）場合、アライナ１０４が利用可能になるまで、プロセス１４００は、新しいＤＵＴ１１２を保持場所（図示せず）へ移動させ、又は、ＤＵＴ１１２をローダ１０２に残すよう構成され得る。上記したように、マルチＤＵＴ検査システム１００は、１つ以上のアライナ１０４であってもよい。

[00121] 上記のように図３に関して上述したように、アライナ１０４は、移動機構３１４及びカメラ・アラインメント特徴部３１２を備えるカメラ架台３１０に連結する１以上のカメラ３０４から成るカメラシステムを含み得る。ステップ１４０４で、プロセス１４００は、カメラ３０４がキャリア１１６に対する既知の位置になるように、カメラシステムをドッキングさせ得る。例えば、図３に示されるアライナ１０４の実施形態において、移動機構３１４は、カメラ・アライメント特徴部３１２が、図３に示すように、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結するように、カメラ架台３１０を移動させ得る。上記のように、カメラ３０４は、続いて、キャリア・アライメント特徴部１１８に対する既知の位置になる。別の例としては、図６Ａ及び６Ｂ（図５Ａ〜５Ｃに図示されるパック・キャリア５００を利用する）に示されるアライナ１０４の実施形態において、図７Ｂに示すように、カメラ・アラインメント特徴部３１２がチャック・アラインメントに特徴６２０と連結するように、移動機構３１４は、カメラ架台３１０を移動させ得る。上記のように、カメラ３０４は、続いて、チャック・アライメント特徴部６２０に対する既知の位置になる。さらに別の例として、図１１Ａ及び１１Ｂ（図１０Ａ及び１０Ｂに図示される膜キャリア１００００を利用する）に示されるアライナ１０４の実施形態において、図１１Ａ及び１１Ｂに示すように、カメラ・アラインメント特徴部３１２がキャリア・アラインメントに特徴１１８と連結するように、移動機構３１４は、カメラ架台３１０を移動させ得る。そして、上記のように、カメラ３０４は、キャリア・アライメント特徴部１１８に対する既知の位置になる。

[00122] あるいは、ステップ１４０４は、上記のように、アライナ１０４においてクランプ又は他のデバイス（図示せず）の連結機構（図示せず）を移動させて、キャリア・アライメント特徴部１１８と連結することによって行われ得る。そのような連結機構（図示せず）は、カメラ３０４に対して既知の位置にあり、キャリア・アライメント特徴部１１８との連結によって、キャリア・アライメント特徴部１１８を、したがって、キャリア１１６を（例えばパック・キャリア５００及び膜キャリア１０００など、本願明細書において開示したキャリア１１６のいずれの実施形態も含む）を、カメラ３０４に対する既知の位置に移動させ得る。

[00123] しかしながら、上記のように、アライナ１０４のいくつかの実施形態は、ドッキング機能のないカメラシステムを持たない。例えば、アライナ１０４のそのような実施形態では、筐体３０２又はカメラ・アラインメント特徴部３１２のないアライナ１０４の別の構造体に載置された１以上のカメラ３０４を備え得る。ステップ１４０４は、アライナ１０４のそのような実施形態に対し、プロセス１４００から省略又は取り去ることができる。

[00124] 図１４のステップ１４０６で、プロセス１４００は、キャリア１１６上でＤＵＴ１１２を位置合わせするために、必要に応じて、ＤＵＴ１１２及び／又はキャリア１１６の全て又は一部の画像（例えば、デジタル画像）を取得し得る。アライナ１０４のカメラシステムがステップ１４０４に関して上記したようなドッキング機能を有する場合、プロセス１４００はＤＵＴアラインメント特徴部２１２の画像だけを取得し得る。（上記したように、図においては、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２は、ＤＵＴ１１２の１以上の端子１１４の全て又は一部であるが、アラインメント特徴部２１２は、１以上の端子１１４から既知のオフセットを有する、異なった構造、形状、マークなどとし得る。）カメラ３０４はキャリア１１６に対する既知の場所にあるので、ＤＵＴ１１２は、アラインメント特徴部２１２の画像だけを用いて、キャリア１１２上で位置合わせされ得る。

[00125] 一方で、アライナ１０４がステップ１４０４に関して上述したドッキング機能を有していない場合、プロセス１４００は、ステップ１４０６で、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２及びキャリア１１６上のアラインメント特徴部の画像を取得し得る。例えば、図３に示されるアライナ１０４の実施形態がカメラ・アラインメント特徴部３１２を含んでいない場合、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２及びキャリア・アライメント特徴部１１８の画像を、ステップ１４０６で取得し得る。別の例として、図６Ａ及び６Ｂに示されるアライナ１０４の実施形態がカメラ・アラインメント特徴部３１２を含んでいない場合、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２及びチャック・アライメント特徴部６２０の画像を、ステップ１４０６で取得し得る。さらに別の例として、図１１Ａ及び１Ｂに示されるアライナ１０４の実施形態がカメラ・アラインメント特徴部３１２を含んでいない場合、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２及びキャリア・アライメント特徴部１１８の画像を、ステップ１４０６で取得し得る。

[00126] ステップ１４０６がどのように行われるかにかかわらず、いくつかの実施形態では、カメラ３０４によって撮像される画像は、ＤＵＴ１１２の端部１３０の全体又は一部を含み得る。例えば、当該画像は、端部１３０の全て又は方向マーク１３２を含む端部１３０の一部を含み得る。上記のような、方向マーク１３２は、端部１３０の変則部であり得る。そのような実施形態において、ステップ１４０６は、ＤＵＴ１１２の端部１３０の一部又は全てに対してＤＵＴ１１２のアラインメント特徴部２１２（例えば、端子１１４）の位置を特定することを含み得る。例えば、ステップ１４０６は、方向特徴部１３２（例えば、端部１３０の変則部）に対する、ＤＵＴ１１２のアラインメント特徴部２１２（例えば、端子１１４）の位置を特定することを含み得る。また、ステップ１４０６の一部として、それらの特定された位置は、アライナ１０４において位置合わせされるＤＵＴ１１２のアラインメント特徴部２１２（例えば、端子１１４）を見つけるように、メモリ（例えば、メモリ３１６及び／又はメモリ１２８に格納され、プロセス１４００の今後の実行に利用され得る。例えば、プロセス１４００は、カメラ３０４で撮像された画像中において、ＤＵＴ１１２の端部１３０又は端部１３０の一部（例えば、方向マーク１３２）を見つけ、そして、前回のＤＵＴ１１２の端部１３０又は端部１３０の一部（例えば、方向マーク１３２）に関するアラインメント特徴部２１２の格納した位置を利用してアラインメント特徴部２１２の位置を特定することによって、アライナ１０４にて位置合わせされる次のＤＵＴ１１２のアラインメント特徴部２１２（例えば、端子１１４）を見つけ得る。

[00127] 図１４のステップ１４０８で、プロセス１４００は、キャリア１１６上のアライメント位置にＤＵＴ１１２を移動させるために、ステップ１４０６で得られた画像を利用し得る。図３に図示されるアライナ１０４の実施形態において、ステップ１４０６は、以下の通りに成し遂げられる。すなわち、固定機構２０８は、ＤＵＴ１１２がキャリア１１６の担持面２０４上を自由に移動するように、ＤＵＴ１１２を解放し得る。移動機構３０６は、続いて、ＤＵＴがキャリア１１６上のアライメント位置になるまで、キャリア１１６対してＤＵＴ１１２を移動させ得る。上記のように、移動機構３０６は、実際のところ、ＤＵＴ１１２、キャリア１１６、又はＤＵＴ１１２及びキャリア１１６の両方を移動させ得る。一旦ＤＵＴ１１２がキャリア１１６上のアライメント位置になると、固定機構２０８は、キャリア１１６上のアライメント位置にあるＤＵＴ１１２を固定するために、係合され得る。

[00128] パック・キャリア５００用の図６Ａ及び６Ｂに図示されるアライナ１０４の実施形態において、ステップ１４０８は、以下の通りに成し遂げられる。図７Ｂを参照すると、パック５０２の担持面５０４の真空溝５０６の真空は、ＤＵＴ１１２が担持面５０４上を自由に移動するように、解除され、真空は、ＤＵＴ１１２が上面６０４に固定されるように、チャック６０２の上面６０４の真空溝６１４において作り出され得る。チャック６０２は、続いて、ＤＵＴがパック・キャリア５００上のアライメント位置になるまで、パック５０２対してＤＵＴ１１２を移動させ得る。一旦ＤＵＴ１１２がパック・キャリア５００上のアライメント位置にあると、ＤＵＴ１１２は、真空溝５０６に真空を作り出すことによって、パック５０２の担持面５０４に固定され得る。真空溝６１４の真空は解除され、それによって、チャック６０２の上面６０４からＤＵＴ１１２が解放される。上記したように、真空溝５０６及び／又は真空溝６１４は、別のタイプの固定機構（例えば、機械的クランプなど）で置き換えられ得る。

[00129] 膜キャリア１０００の使用に対する図１０Ａ及び１０Ｂに図示されるアライナ１０４の実施形態において、ステップ１４０８は、以下の通りに成し遂げられる。すなわち、図１１Ａを参照すると、膜基板１００２の担持面１００４の真空溝１００６の真空は、ＤＵＴ１１２が担持面１００４上を自由に移動するように、解除され得る。可動リフト１１０２は、続いて、図１１Ｂに示すように、膜基板１００２の担持面１００４からＤＵＴ１１２を持ち上げ得る。ステージ１１０４は、可動リフト１１０２を、したがってＤＵＴ１１２を、ＤＵＴが膜キャリア１０００上のキャリア・アライメント特徴部１１８に対するアライメント位置になるまで、キャリア・アライメント特徴部１１８に対して移動させ得る。可動リフト１１０２は、続いて、ＤＵＴ１１２を下降させ、膜基板１１０２の担持面１００４へ戻し得る。上記は、ＤＵＴ１１２が膜キャリア１０００上のアライメント位置になるまで、必要に応じて繰り返し得る。続いて、真空溝１００６に真空を作り出すことによって、ＤＵＴ１１２は、アライメント位置にて担持面１００４に固定され得る。上記したように、真空溝１００６は、例えば機械的クランプなどのような別のタイプの固定機構で置き換えられ得る。

[00130] ステップ１４０８の後、ＤＵＴ１１２は、アライメント位置にてキャリア１１６に固定される。上記したように、「位置合わせされる」又は「アライメント位置」とは、ＤＵＴ１１２の端子１１４が、端子１１４及びプローブ４１０が接触することによって電気接続を確立するよう、接触器４０８のプローブ４１０に十分に位置合わせされるように、ＤＵＴ１１２は、検査セル１１０の対応する接触器アライメント特徴部（例えば、接触器アライメント特徴部４１２又は空胴アラインメント特徴部８１０）にドッキングするキャリアのアラインメント特徴部（例えば、キャリア・アライメント特徴部１１８又はパック・アラインメント特徴部５１０）に対して、キャリア１１６（又は、パック・キャリア５００及び膜キャリア１０００を含む、本願明細書において記載されているキャリア１１６のいずれの実施形態）上に配置される、ことを意味する。

[00131] ステップ１４１０で、プロセス１４００は、アラインメントが完了したという信号又はメッセージを送信し得る。例えば、プロセス１４００は、制御部１２６にそのような信号又はメッセージを送信し、これによって、図１３のプロセス１３００にステップ１３０６の次の実行で肯定的決定をさせ、ステップ１３０８に分岐させ、キャリア１１６／ＤＵＴの組合せを検査セル１１０に装入させ得る。

[00132] プロセス１４００は、しかし、アライナ１０４においてキャリア１１６上にＤＵＴ１１２を位置合わせするプロセスの実施形態の一例に過ぎない。例えば、プロセス１４００は、図１４に示されない追加的なステップを有し得るし、プロセス１４００は、図１４に示されるステップの全てを有する必要はなく、プロセス１４００は、図１３に示すものとは異なるステップを有してもよく、及び／又は、図１４００に示されるステップの順序は違っていてもよい。例えば、ステップ１４０６及び１４０８は、プロセス１４００の実行中、必要に応じて繰り返し得る。例えば、プロセス１４００の実行中に、ステップ１４０６で、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２の画像を撮像し、ステップ１４０８で、ＤＵＴ１１２をキャリア１１６上に移動させ、ステップ１４０６を繰り返すことによって、ＤＵＴアラインメント特徴部２１２の新しい画像を撮像し得る。ステップ１４０８、続いて１４０６は、ステップ１４０６で取得したＤＵＴアラインメント特徴部２１２の新しい画像に示されるように、ＤＵＴ１１２がキャリア１１６上のアライメント位置になるまで、繰り返えされ得る。

[00133] 上述のとおり、図１５は、キャリア１１６上に位置合わせしたＤＵＴ１１２を検査セル１１０で検査するプロセス１５００の一例を示す。いくつかの実施形態では、プロセス１５００は、検査セル１１０の制御部４１８及び／又は検査システム１００の制御部１２６によって行われ得る。例えば、ステップ１５０２は制御部１２６によって実行され、ステップ１５０４〜１５１０は制御部４１８によって実行され得る。いくつかの実施形態では、プロセス１５００は、メモリ４２０、メモリ１２８及び／又は物理的に組み込まれた回路（図示せず）に格納されたプログラムコードに従って動作する制御部４１８及び／又は制御部１２６によって、実行され得る。このように、プロセス１５００は、メモリ４２０及び／又はメモリ１２８に格納されるプログラムコードとして、全体的に又は部分的に実施され得る。あるいは、プロセス１５００は、図に示されない他の装置で実行され得る。さらに別の変形例として、プロセス１５００は、操作者たる人間によって全体的に又は部分的に実施され得る。

[00134] 上述のとおり、プロセス１５００は、プロセス１３００がステップ１３０６にてＤＵＴ１１２がアライナ１０４のキャリア１１６に位置合わせされたと判定すると、ステップ１３０８にて、プロセス１３００により開始され得る。図１５に示すように、アライナ１０４によって位置合わせしたＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せは、ステップ１５０２にて、アライナ１０４から取り出され、検査セル１１０に装入され得る。ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せは、上記したいずれかの方法で、アライナ１０４から取り出され、検査セル１１０に装入され得る。例えば、１以上のロボットアーム１２０を含むムーバ１０６は、アライナ１０４からＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを取り出し、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを検査セル１１０に装入し得る。その結果、図４にて図示したような、検査セル１１０におけるＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せとなり得る。すなわち、図９Ｂに示すようにパック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０に連結した状態で、パック５０２が空胴８０６に配設されている、ＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せ、又は、図１２Ｂに示すように、キャリア・アライメント特徴部１１８が接触器アライメント特徴部５１２と連結した状態で、膜基板１０２がチャック１２０２に配設された、ＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００の組合せ、である。

[00135] 検査セル１１０が利用できない（例えば、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せが、全ての検査セル１１０に入っている）場合、プロセス１５００は、検査セル１１０が利用可能になるまで、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せをアライナ１０４から保持場所（図示せず）に移動させ、又は、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せをアライナ１０４に残すように構成され得る。

[00136] ステップ１５０４で、プロセス１５００は、ＤＵＴの端子１１４が接触器４０８のプローブ４１０に位置合わせされるように、キャリア１１６（キャリア１１６上でアライメント位置に固定されたＤＵＴ１１２と共に）を検査セル１１０にドッキングし得る。図４Ａ及び４Ｂにおいて図示した検査セル１１０の実施形態において、ステップ１５０４は、図４Ｂに示されるように、キャリア・アライメント特徴部１１８が接触器アライメント特徴部４１２に連結するように、可動キャリア１１６を移動させることによって、成し遂げられる。上記したように、キャリア・アライメント特徴部１１８と接触器アライメント特徴部４１２との連結が、端子１１４とプローブ４１０とを位置合わせするように、ＤＵＴ１１２はキャリア１１６に対して位置合わせされた。

[00137] 図８Ａ及び８Ｂにおいて図示した検査セル１１０の実施形態において、ステップ１５０４は、図９Ｂに示すように、チャック・アライメント特徴部８２０が接触器アライメント特徴部４１２に連結するように、チャック・リフト８１６によって、チャック８０２を、したがって、ＤＵＴ１１２／パック・キャリア５００の組合せを移動させることによって、成し遂げられる。上記したように、パック・アラインメント特徴部５１０が検査セル１１０において空胴アラインメント特徴部８１０に連結すると、端子１１４及びプローブ４１０が位置合わせするように、チャック・アラインメント特徴部８２０及びチャック・アラインメント特徴部６２０は、パック・アラインメント特徴部５１０に対して同じ位置であり得る。あるいは、チャック・アラインメント特徴部８２０は、チャック・アラインメント特徴部６２０に比べて、パック・アラインメント特徴部５１０に対して既知のオフセット位置であり得る。パック・キャリア５００用に構成される検査セル１１０のいくつかの実施形態において（図８Ａ及び８Ｂを参照）、接触器４０８は、パック・アラインメント特徴部５１０が空胴アラインメント特徴部８１０と連結されると、端子１１４及びプローブ４１０が位置合わせされる位置で、検査セルに連結され得る。このような実施形態では、チャック・アラインメント特徴部８２０及び接触器アライメント特徴部４１２は、検査セル１１０で用いる必要はないか、又は、検査セル１１０に含まれる必要はない。

[00138] 図１２Ａ及び１２Ｂにおいて図示した検査セル１１０の実施形態において、ステップ１５０４は、図１２Ｂに示すように、キャリア・アライメント特徴部１１８が接触器アライメント特徴部４１２に連結するように、チャック・リフト１２０４によって、チャック１２０２を、したがって、ＤＵＴ１１２／膜キャリア１０００の組合せを移動させることによって、成し遂げられる。上記したように、ＤＵＴ１１２は、キャリア・アライメント特徴部１１８と接触器アライメント特徴部４１２との連結が端子１１４とプローブ４１０とを位置合わせするように、膜キャリア１０００に対して位置合わせされた。

[00139] ステップ１５０６で、端子１１４とプローブ４１０間の接触は、必要に応じて又は所望に応じて調整され得る。例えば、十分な導電性を有する電気接続が端子１１４とプローブ４１０の間に生じて、適切にＤＵＴ１１２を検査することを確実にするよう、接触を調整（adjust）又は調節（regulate）され得る。別の例として、端子１１４及び／又はプローブ４１０に掛かる力が、端子１１４、ＤＵＴ１１２、又はプローブ４１０にダメージを与えない範囲で維持されるように、接触を調整又は調節され得る。上記したように、検査セル１１０は、接触器４０８とＤＵＴ１１０の間に気密シール４１４を含むことができ、圧力調節器４１６デバイスは、接触器４０８とＤＵＴ１１０間の空間における空気圧を選択的に制御して、接触器４０８及びＤＵＴ１１０を選択的に近くしたり、遠くしたりするよう移動させ、それによって、端子１１４とプローブ４１０の間の接触力を変え得る。

[00140] ステップ１５０８にて、ＤＵＴ１１０は検査され得る。例えば、上記のように、検査信号は、プローブ４１０を介してＤＵＴ１１０に供給され、当該検査信号に応答してＤＵＴで発生する応答信号は、プローブ４１０を介して、ＤＵＴ１１０から取得しうる。検査信号（例えば、電力、グランド、制御信号、データ信号、などを含む）は、接触器４０８上の回路（図示せず）によって精鋭、及び／又は、接触器４０８への電気接続４０４を介して、他の装置（図示せず）から供給され得る。応答信号は、ＤＵＴ１１０が接触器４０８上の回路網（図示せず）によって予想通りに動作しているか、及び／又は電気接続４０４を介して他の装置（図示せず）に供給されたかどうか判定するために評価され得る。

[00141] ステップ１５１０で、プロセス１５００は、検査が完了したという信号又はメッセージを送信し得る。例えば、プロセス１５００は、制御部１２６にそのような信号又はメッセージを送信し、これによって、図１３のプロセス１３００にステップ１３１０の次の実行で肯定的に決定をさせ、ステップ１３１２に分岐させ、検査したＤＵＴ１１２とキャリア１１６を検査セル１１０から取り出させる。

[00142] プロセス１５００は、しかし、検査セル１１０でＤＵＴ１１２を検査するプロセスの実施形態の一例に過ぎない。例えば、プロセス１５００は、図１５に示されない追加的なステップを有し得るし、プロセス１５００は、図１５に示されるステップの全てを有する必要はなく、プロセス１５００は、図１５に示すものとは異なるステップを有してもよく、及び／又は、図１５に示されるステップの順序は違っていてもよい。

[00143] 上述のように、図１６は、ＤＵＴ１１２の検査後処理のプロセス１６００の一例を示す。いくつかの実施形態では、プロセス１６００は、検査システム１００の制御部１２６、アライナ１０４の制御部３０８、及び／又は、検査セル１１０の制御部４１８によって実施され得る。いくつかの実施形態では、プロセス１６００は、メモリ１２８、メモリ３１６、メモリ４２０及び／又は物理的に組み込まれた回路（図示せず）に格納されたプログラムコードに従って動作する、制御部１２６、制御部３０８、及び／又は制御部４１８によって、実行され得る。このように、プロセス１６００は、メモリ１２８、メモリ３１６、及び／又はメモリ４２０に格納されるプログラムコードとして、全体的に又は部分的に具現化され得る。あるいは、プロセス１６００は、図に示されない他の装置で実行され得る。さらに別の変形例として、プロセス１６００は、操作者たる人間によって全体的に又は部分的に実施され得る。

[00144] 上述のとおり、プロセス１６００は、プロセス１３００が、ステップ１３１０にて、検査セル１１０においてＤＵＴ１１２の検査が完了したと判定した後、ステップ１３１２にてプロセス１３００により開始され得る。図１６に示すように、データは、検査に関して、ステップ１６０２にて取得され得る。例えば、ＤＵＴ１１２を検査した結果を示すデータは、ステップ１６０２にて取得され得る。別の例として、プローブ４１０との接触によって生じるＤＵＴ１１２の端子１１４のスクラブマークの位置を示すデータが、ステップ１４０２で取得され得る。いくつかの実施形態では、これは、検査セル１１０からＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せを取り出して、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せをアライナ１０４に装入することによって、成し遂げられる。アライナ１０４のカメラ３０４は、続いて、端子１１４の画像を撮像するのに利用され得る。端子１１４上のスクラブマーク（図示せず）は、撮影画像から取得され、端子１１４上のスクラブマークの位置は（例えば、デジタルメモリに）格納され得る。端子１１４上のスクラブマークの位置は、アライナ１０４においてキャリア１１６上に新しいＤＵＴ１１２を位置合わせするプロセス（例えば、プロセス１４００）を調整するために利用され得る。例えば、スクラブマーク（図示せず）が検査されたＤＵＴ１１２の端子１１４上の所望の位置にない場合、ＤＵＴ１１２の端子に作成されたスクラブマークが所望の位置になるように、アライナ１０４において次のＤＵＴ１１２がキャリア１１６上に移動されるアラインメント位置が調整され得る。

[00145] ステップ１６０４で、検査されたＤＵＴ１１２は、キャリア１１６から、続いて、検査システム１００から取り出され得る。例えば、検査されたＤＵＴ１１２は、検査セル１１０において、アライナ１０４において、ローダ１０２において、ムーバ１０６上で、又は、検査システム１００の他の場所において、キャリア１１６上から取り外され得る。ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せ及び／又はＤＵＴ１１２は（ＤＵＴ１１２は検査されたＤＵＴ１１２である）、上記したいずれかの方法によって、検査システム１００の周囲を移動させられ得る。例えば、１以上のロボットアーム１２０を備えているムーバ１０６によって、ＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せ及び／又はＤＵＴ１１２は、検査システム１００の周囲を移動させられ得る。

[00146] プロセス１６００は、しかし、検査されたＤＵＴ１１２の検査後処理のプロセスの実施形態の一例に過ぎない。例えば、プロセス１６００は、図１６に示されない追加的なステップを有し得るし、プロセス１６００は、図１６に示されるステップの全てを有する必要はなく、プロセス１６００は、図１６に示すものとは異なるステップを有してもよく、及び／又は、図１６に示されるステップの順序は違っていてもよい。

[00147] プロセス１３００、１４００、１５００、及び１６００を実施する際、第１のＤＵＴ１１２は、ステップ１３０４にてアライナ１０４に装入され、当該第１のＤＵＴ１１２は、アライナ１０４において、例えば、プロセス１４００によって、第１のキャリア１１６上のアライメント位置に移動させられ得る。第１のＤＵＴ１１２／第１のキャリア１１６の組合せは、続いて、例えば、ステップ１３０８にて、第１の検査セルに装入され、ここで、第１のＤＵＴ１１２が、例えば、プロセス１５００によって検査される。第２のＤＵＴ１１２は、ステップ１３０４（例えば、第１のＤＵＴ／第１のキャリア１１６がアライナから取り出された後）で、アライナ１０４に装入することができ、当該第２のＤＵＴ１１２は、アライナ１０４において、例えば、プロセス１４００によって、第２のキャリア１１６上のアライメント位置に移動させられ得る。ステップ１３０４におけるアライナ１０４への第２のＤＵＴ１１２の装入は、第１の検査セルにおいて第１のＤＵＴの検査が完了する（例えば、プロセス１５００による）前に生じ得る。実際、第２のキャリア１１６上のアライメント位置への第２のＤＵＴ１１２を移動（例えば、プロセス１４００による）は、第１の検査セル１１０にて第１のＤＵＴへの検査が完了する（例えば、１５００のプロセスによる）前に生じ得る。第２のＤＵＴ１１２／第２のキのャリア１１６の組合せは、ステップ１３０８にて、第２の検査セル１１０に装入することができ、ここで、第２のＤＵＴ１１２は、例えば、プロセス１５００によって検査され得る。第２の検査セル１１０における第２のＤＵＴ１１２の検査（例えば、プロセス１５００による）は、第１の検査セルにおいて第１のＤＵＴ１１２の検査（例えば、プロセス１５００による）を完了する前に開始し得る。プロセス１３００は、複数のＤＵＴ１１２及びＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せが、所定時間に、検査システム１００の異なる場所に存在するように、プロセス１４００、１５００、及び１６００の複数の事例を開始し得る。例えば、アライナ１０４がアライナ１０４にてキャリア１１６上にＤＵＴ１１２を位置合わせする一方で、異なる検査セル１１０には複数のＤＵＴ１１２／キャリア１１６の組合せが検査されていてもよい。

[00148] この明細書において、本発明の具体的な実施形態及び応用例を説明したが、これらの実施形態及び応用例は一例にすぎず、多数の変形例が考えられる。

Claims (35)

1. アライナと検査セルとを備える検査システムにおいてＤＵＴを検査する方法であって、
   前記アライナにおいて、第１のＤＵＴの導電性端末が第１のキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置になるアライメント位置にて前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することと、
   前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定することと、
   前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定する一方で、前記検査セルのうちの第１の検査セルの筐体に前記第１のキャリアを装入することと、
   前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定し、前記第１のキャリアは前記第１の検査セルの前記筐体内にある一方で、前記第１のキャリアの前記キャリア・アライメント特徴部を、導電性プローブを備える第１の接触器の接触器アライメント特徴部に機械的に連結することであって、当該連結が、前記第１のＤＵＴの端子を前記第１の接触器の前記プローブに位置合わせすることと、
   前記第１の接触器を介して前記ＤＵＴへ／から信号を提供することによって、前記第１の検査セルにおいて前記第１のＤＵＴを検査することと、を含み、
   前記筐体内のガイド機構は、所定位置に前記第１のキャリアを導き、前記所定位置は、前記キャリア・アライメント特徴部は前記接触器アライメント特徴部と連結されていないが位置合わせされている位置である、
   方法。
2. 前記第１のＤＵＴの前記検査を完了する前に、前記アライナにおいて、第２のＤＵＴの導電性端末が第２のキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置にあるアライメント位置における前記第２のキャリア上に前記第２のＤＵＴを配置するステップと、を更に含む請求項１の方法。
3. 前記アライメント位置において、前記第２のＤＵＴを前記第２のキャリア上に固定することと、
   前記アライメント位置において前記第２のＤＵＴが前記第２のキャリア上に固定される一方で、前記検査セルのうちの、導電性プローブと接触器アライメント特徴部とを備える第２の接触器を備える第２の検査セルに前記第２のキャリアを移動させることと、
   前記アライメント位置において、前記第２のＤＵＴが前記第２のキャリア上に固定される一方で、前記第２のキャリアの前記キャリア・アライメント特徴部を、前記第２の接触器の前記接触器アライメント特徴部に機械的にドッキングし、前記第２のＤＵＴの端子を前記第２の接触器の前記プローブに位置合わせすることと、
   前記第２の接触器を介して前記第２のＤＵＴへ／から信号を提供することによって、前記第２の検査セルにおいて前記第２のＤＵＴを検査することと、を更に含む、
   請求項２の方法。
4. 前記第２のキャリアを移動させること及び前記第２のキャリアをドッキングすることは、前記第１のＤＵＴを検査するステップを完了する前に生じる、請求項３の方法。
5. 前記第２のＤＵＴを検査するステップは、前記第１のＤＵＴを検査するステップを完了する前に開始する、請求項４の方法。
6. カメラシステムを前記第１のキャリアの前記キャリア・アライメント特徴部に機械的に連結することであって、前記カメラシステムのカメラは、前記カメラシステム及び前記キャリア・アライメント特徴部が連結している間、前記キャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置にあること、
   前記カメラによって、前記第１のＤＵＴ上のＤＵＴアラインメント特徴部の画像を撮像することと、を更に含み、
   前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することは、前記ＤＵＴアラインメント特徴部が前記キャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置になるまで前記第１のＤＵＴを移動させるために、前記画像を利用することを含む、
   請求項１の方法。
7. 前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することは、
   前記アライナにおいて、前記第１のＤＵＴが固定された前記第１のキャリアをチャック上に配設することと、
   前記第１のキャリアから前記第１のＤＵＴを緩めることと、
   前記第１のＤＵＴを前記チャックに固定することと、
   前記第１のキャリアに対して、前記チャック及び前記第１のＤＵＴを移動させることと、を含む、
   請求項１の方法。
8. 前記第１のキャリアは、前記第１のＤＵＴよりも小さい担持面を有するパックを備えており、
   前記第１のキャリアを前記チャック上に配設することは、前記チャックの表面にある空胴に前記パックを配設することを含み、前記第１のＤＵＴは、前記パックの前記担持面の一部及び前記チャックの前記表面の一部に配置される、
   請求項７の方法。
9. 前記キャリア・アライメント特徴部は、延設部又は受け口のうちの一方を備え、
   前記接触器アライメント特徴部は、延設部又は受け口の他方を備え、
   前記キャリア・アライメント特徴部を前記接触器アライメント特徴部に機械的に連結することは、前記延設部を前記受け口に挿入することを含み、それによって前記端末を前記プローブに機械的に位置合わせする、
   請求項１の方法。
10. 前記延設部を前記受け口に挿入するステップは、前記第１のＤＵＴの前記端子を前記プローブに運動学的に位置合わせする、請求項９の方法。
11. 前記第１のＤＵＴを所定の温度にするために、前記第１のキャリア上の温度制御デバイスを起動すること、を更に含み、前記第１のＤＵＴは、前記第１の検査セルに前記第１のキャリアを移動させることの前に、前記温度である、請求項１の方法。
12. 前記第１のＤＵＴは、分離前の半導体ダイを備える半導体ウェーハである、請求項１の方法。
13. 前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することは、前記アライナに配設されているカメラによって、前記半導体ウェーハ上のＤＵＴアラインメント特徴部の画像を撮像することを含み、前記方法は、前記半導体ウェーハの端部の少なくとも一部に対する前記ＤＵＴアラインメント特徴部の位置を、デジタルメモリデバイスに格納すること、を更に含む、請求項１２の方法。
14. 前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することは、
    前記アライナにおいて、前記第１のＤＵＴが固定された前記第１のキャリアをステージに配設することと、
    前記第１のキャリアから前記第１のＤＵＴを緩めることと、
    前記第１のキャリアの空孔を介して前記ステージから延在する可動リフトによって、前記第１のキャリアの担持面から前記ＤＵＴを持ち上げることと、
    前記担持面と略平行な平面において、前記可動リフトを前記第１のキャリアに対して移動させ、それによって、前記平面において、前記ＤＵＴを前記アライメント位置に移動させることと、
    前記可動リフトによって、前記第１のＤＵＴを、前記キャリアの前記担持面上の前記アライメント位置に下げることと、を含む、請求項１の方法。
15. 前記検査の後、前記プローブとの接触によって生じる前記第１のＤＵＴの前記端子上のスクラブマークの位置を判定することと、
    更なるＤＵＴに対する前記方法を次に繰り返すのにあたって、前記アライメント位置を変更することと、を更に含む、
    請求項１の方法。
16. ＤＵＴの導電性端末がキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置にあるアライメント位置にて、前記ＤＵＴを前記キャリア上に配置する移動機構を備えるアライナと、
    それぞれ筐体、前記筐体内に配置されるガイド機構および接触器を備える検査セルであって、前記接触器が導電性プローブ及び接触器アライメント特徴部を備え、前記キャリアの前記キャリア・アライメント特徴部を前記接触器の前記接触器アライメント特徴部に機械的に連結することが、前記ＤＵＴの端子を前記接触器の前記プローブと位置合わせする、検査セルと、
    前記ＤＵＴを前記アライメント位置に固定した状態で、前記キャリアを前記アライナから前記検査セルの１つに取り出すように構成されるロボット機構を備えるムーバと、を備え、
    前記筐体内のガイド機構は、所定位置に前記キャリアを導き、前記所定位置は、前記キャリア・アライメント特徴部は前記接触器アライメント特徴部と連結されていないが位置合わせされている位置である、
    ＤＵＴ検査システム。
17. 前記アライナは、前記検査セルの各々とは別のものであり、独立して作動する、請求項１６の検査システム。
18. 前記アライナの前記移動機構は、第２の前記ＤＵＴを有する第２の前記キャリアが前記検査セルの１つにある間、第１の前記ＤＵＴを第１の前記キャリアに配置し得る、請求項１７の検査システム。
19. 前記キャリアは、選択的に前記キャリア上の適当な位置に前記ＤＵＴを固定し、前記ＤＵＴが前記キャリアに対して移動させることができるように前記キャリアから前記ＤＵＴを解放するように構成される固定機構を備える、請求項１６の検査システム。
20. 前記キャリアは、前記ＤＵＴよりも小さい担持面を有するパックを備え、
    前記アライナは、第１の可動チャックを更に備え、当該第１の可動チャックは、
    第１の面と、
    前記第１の面における第１の空胴と、を備え、前記第１の空胴は、前記パックを受け止めるように構成されており、前記パックが、前記第１の空胴に配置される一方で、前記担持面に配置されているＤＵＴも、前記第１のチャックの前記第１の面に配置される、
    請求項１６の検査システム。
21. 前記第１の空胴は、前記担持面と反対にある前記パックの表面において、対応するアライメント特徴部と機械的に連結するように構成されるアラインメント特徴部を備える、請求項２０の検査システム。
22. 前記可動チャックは、選択的に、前記ＤＵＴを前記チャックの前記第１の面に固定し、緩めるように構成される、前記第１の面における真空溝を備える、請求項２１の検査システム。
23. 各検査セルは、第２の可動チャックを更に備え、当該第２の可動チャックは、
    第２の面と、
    前記第２の面における第２の空胴と、を備えており、前記第２の空胴は、前記パックを受け止めるように構成されており、前記パックが前記第２の空胴に配置される一方で、前記担持面に配置されているＤＵＴも、前記第２のチャックの前記第２の面に配置される、請求項２１の検査システム。
24. 前記第２の空胴は、前記担持面と反対にある前記パックの表面において、前記アライメント特徴部と機械的に連結するように構成されるアラインメント特徴部を備える、請求項２３の検査システム。
25. 前記キャリア・アライメント特徴部は、延設部又は受け口のうちの一方を備え、
    前記接触器アライメント特徴部は、延設部又は受け口のもう一方を備え、
    前記延設部を前記受け口に挿入することによって、前記端子を前記プローブに機械的に位置合わせする、
    請求項１６の検査システム。
26. 前記延設部を前記受け口に挿入することによって、前記端子を前記プローブに運動学的に位置合わせする、請求項２５の検査システム。
27. 前記アライナは、カメラシステムを更に備えており、
    当該カメラシステムは、
    前記キャリア・アライメント特徴部に機械的に連結することができるカメラ・アライメント特徴部と、
    前記カメラ・アラインメント特徴部に対して所定の位置に配設されるカメラと、を備える、
    請求項１６の検査システム。
28. 前記キャリアが、更に、温度制御デバイスを備える、請求項１６の検査システム。
29. 前記ＤＵＴは、分離前の半導体ダイを備える半導体ウェーハである、請求項１６の検査システム。
30. 前記アライナの前記移動機構は、
    前記ＤＵＴを前記キャリアに配設した状態で、前記キャリアを保持するように構成されるステージと、
    前記ステージから延在し、前記キャリアが前記ステージに配設されると、前記キャリアの担持面から前記ＤＵＴを持ち上げるように構成される可動リフトであって、前記ＤＵＴが前記ステージに配設されると、前記担持面と概ね平行な平面において移動可能である可動リフトと、を備える、
    請求項１６の検査システム。
31. 前記キャリアは、前記ＤＵＴよりも少なくとも５０パーセント小さい担持面を有するパックを備える、請求項１６の検査システム。
32. 前記キャリアは、前記ＤＵＴの厚みより小さい厚みを有する膜基板を備える、請求項１６の検査システム。
33. 前記検査セルの少なくとも４つを更に備える請求項１６の検査システム。
34. アライナと検査セルとを備える検査システムにおいてＤＵＴを検査する方法であって、
    前記アライナにおいて、第１のＤＵＴの導電性端末が第１のキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置になるアライメント位置にて前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することと、
    前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定することと、
    前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定する一方で、前記検査セルのうちの、導電性プローブと接触器アライメント特徴部とを備える第１の接触器を備える、第１の検査セルに前記第１のキャリアを移動させることと、
    前記アライメント位置において、前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に固定する一方で、前記第１のキャリアの前記キャリア・アライメント特徴部を、前記第１の接触器の前記接触器アライメント特徴部に機械的に連結することであって、当該連結が、前記第１のＤＵＴの端子を前記第１の接触器の前記プローブに位置合わせすることと、
    前記第１の接触器を介して前記ＤＵＴへ／から信号を提供することによって、前記第１の検査セルにおいて前記第１のＤＵＴを検査することと、を含み、
    前記第１のＤＵＴを前記第１のキャリア上に配置することは、前記アライナにおいて、前記第１のＤＵＴが固定された前記第１のキャリアをチャック上に配設することを含み、
    前記第１のキャリアは、前記第１のＤＵＴよりも小さい担持面を有するパックを備えており、
    前記第１のキャリアを前記チャック上に配設することは、前記チャックの表面にある空胴に前記パックを配設することを含み、前記第１のＤＵＴは、前記パックの前記担持面の一部及び前記チャックの前記表面の一部に配置される、
    方法。
35. ＤＵＴの導電性端末がキャリアのキャリア・アライメント特徴部に対して所定の位置にあるアライメント位置にて、前記ＤＵＴを前記キャリア上に配置する移動機構を備えるアライナと、
    それぞれ接触器を備える検査セルであって、前記接触器が導電性プローブ及び接触器アライメント特徴部を備え、前記キャリアの前記キャリア・アライメント特徴部を前記接触器の前記接触器アライメント特徴部に機械的に連結することが、前記ＤＵＴの端子を前記接触器の前記プローブと位置合わせする、検査セルと、
    前記ＤＵＴを前記アライメント位置に固定した状態で、前記キャリアを前記アライナから前記検査セルの１つに取り出すように構成されるロボット機構を備えるムーバと、を備え、
    前記キャリアは、前記ＤＵＴよりも小さい担持面を有するパックを備え、
    前記アライナは、第１の可動チャックを更に備え、当該第１の可動チャックは、
    第１の面と、
    前記第１の面における第１の空胴と、を備え、前記第１の空胴は、前記パックを受け止めるように構成されており、前記パックが、前記第１の空胴に配置される一方で、前記担持面に配置されているＤＵＴも、前記第１のチャックの前記第１の面に配置される、
    検査システム。

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