KR101810081B1 - 전자 장치들을 테스트하기 위한 테스트 시스템들 및 방법들 - Google Patents

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토미 이. 베리
키이스 제이. 브레인링거
에릭 디. 홉스
마크 로렌저
알렉산더 에이취. 슬로컴
아드리안 에스. 윌슨
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Abstract

테스트 대상 장치(DUT : device under test)들은 정렬기 및 테스트 셀들을 포함하는 테스트 시스템에서 테스트될 수 있다. DUT는 정렬기 내의 캐리어 위에서 정렬된 위치로 이동될 수 있고 정렬된 위치에서 체결될 수 있다. 정렬 위치에서, DUT의 전기적 전도성 단자들은 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있을 수 있다. 이에 따라, DUT/캐리어 조합은 정렬기로부터 테스트 셀들 중의 하나로 이동될 수 있고, 여기서, 캐리어의 정렬 특징부들은 테스트 셀 내의 컨택터의 정렬 특징부들과 기계적으로 결합된다. 기계적 결합은 DUT의 단자들을 컨택터의 프로브들과 자동으로 정렬한다. 이와 같이, 프로브들은 DUT의 단자들과 접촉하고 전기적 접속들을 행한다. 다음으로, DUT가 테스트된다. 정렬기 및 테스트 셀들의 각각은 개별적인 그리고 독립적인 장치들일 수 있으므로, DUT는 정렬기에서 정렬될 수 있는 반면, 정렬기에서 캐리어에 이미 정렬되었던 다른 DUT들은 테스트 셀에서 테스트된다.

Description

전자 장치들을 테스트하기 위한 테스트 시스템들 및 방법들{TEST SYSTEMS AND METHODS FOR TESTING ELECTRONIC DEVICES}
장치들의 적절한 동작을 확인하고, 장치들의 동작 성능들을 결정하고, 기타 등등을 위하여 새롭게 제조된 전자 장치들을 테스트하는 것이 종종 바람직하다. 전기적 전도성 프로브(probe)들을 포함하는 컨택터 장치는 장치들의 단자들과의 일시적인 전기적 접속들을 행하기 위해 이용될 수 있고, 테스트 신호들은 프로브들을 통해 장치들에 제공되고 장치들로부터 제공될 수 있다. 장치들에 대해 수행되는 테스트들은 예를 들어, 장치들의 기능적 동작을 테스트하는 것, 장치들의 동작 파라미터(예를 들어, 속도) 범위들을 결정하는 것, 장치의 확장된 동작을 시뮬레이션하기 위하여 장치에 스트레스(stress)를 가하는 것, 등등을 포함할 수 있다. 전자 장치들의 이러한 테스팅(testing)은 이러한 전자 장치들을 생산하는 비용을 추가할 수 있다. 따라서, 무엇보다도 테스팅을 단순화하고, 테스팅을 자동화 및/또는 병렬처리를 증가시키고, 및/또는 기타 등등을 행함으로써 전자 장치들을 테스트하는 효율을 증가시키는 것이 유익할 수 있다.
일부 실시예들에서, DUT들은 정렬기(aligner) 및 테스트 셀들을 포함하는 테스트 시스템에서 테스트될 수 있다. DUT는 정렬기 내의 캐리어(carrier) 위에서 정렬된 위치에 위치될 수 있고 체결(clamp)될 수 있다. 정렬된 위치에서, DUT의 전기적 전도성 단자들은 캐리어의 캐리어 정렬 특징부(carrier alignment feature)에 대하여 미리 결정된 위치에 있을 수 있다. DUT가 정렬된 위치에서 캐리어 위에서 체결되는 동안, 캐리어는 테스트 셀로 이동될 수 있고, 이 테스트 셀은 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 갖는 컨택터를 포함할 수 있다. 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들은 컨택터의 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합될 수 있고, 이것은 DUT의 단자들을 컨택터의 프로브들과 정렬할 수 있다. 다음으로, DUT는 테스트 셀에서 테스트될 수 있다.
발명의 일부 실시예들에서, DUT 테스트 시스템은 정렬기, 테스트 셀들 및 이동기(mover)를 포함할 수 있다. 정렬기는 이동 기구(moving mechanism)를 포함할 수 있고, 이 이동 기구는 DUT의 전기적 전도성 단자들이 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는 정렬된 위치에서 캐리어 위에 DUT를 위치시킬 수 있다. 각각의 테스트 셀은 컨택터를 포함할 수 있고, 이 컨택터는 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 가질 수 있다. 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들을 컨택터의 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합하는 것은 DUT의 단자들을 컨택터의 프로브들과 정렬할 수 있다. 이동기는 정렬된 위치에서 체결된 DUT를 갖는 캐리어를 정렬기로부터 테스트 셀들 중의 하나까지 이동시킬 수 있는 로봇 기구(robotic mechanism)를 포함할 수 있다.
도 1은 발명의 일부 실시예들에 따른 DUT 테스트 시스템의 예를 예시한다.
도 2a는 발명의 일부 실시예들에 따라 도 1의 DUT 테스트 시스템에서 이용될 수 있는 캐리어 및 DUT의 평면도를 도시한다.
도 2b는 도 2a의 캐리어 및 DUT의 측면도를 도시한다.
도 3은 발명의 일부 실시예들에 따른 도 1의 DUT 테스트 시스템의 예시적인 정렬기를 예시한다.
도 4a 및 도 4b는 발명의 일부 실시예들에 따른 도 1의 DUT 테스트 시스템의 예시적인 테스트 셀의 측면도들을 예시한다.
도 5a는 발명의 일부 실시예들에 따른 도 1의 DUT 테스트 시스템의 캐리어의 예일 수 있는 퍽 캐리어(puck carrier)의 평면도를 예시한다.
도 5b는 도 5a의 퍽 캐리어의 저면도를 도시한다.
도 5c는 도 5a의 퍽 캐리어의 측단면도를 도시한다.
도 6a는 발명의 일부 실시예들에 따라, 퍽 캐리어 위에서 DUT를 정렬할 수 있는 도 1의 DUT 테스트 시스템의 정렬기의 예의 평면도를 예시한다.
도 6b는 도 6a의 정렬기의 측단면도를 도시한다.
도 7a 및 도 7b는 발명의 일부 실시예들에 따라, 도 6a 및 도 6b의 정렬기에서 도 5a 내지 도 5c의 퍽 캐리어 위에 DUT를 적재하는 예를 예시한다.
도 8a는 발명의 일부 실시예들에 따라, 퍽 캐리어 위의 DUT를 테스트할 수 있는 도 1의 DUT 테스트 시스템의 테스트 셀의 예의 평면도를 예시한다.
도 8b는 도 8a의 테스트 셀의 측단면도를 도시한다.
도 9a 및 도 9b는 발명의 일부 실시예들에 따라, 도 5a 내지 도 5c의 퍽 캐리어 위의 DUT를 도 8a 및 도 8b의 테스트 셀로 적재하는 예를 예시한다.
도 10a는 발명의 일부 실시예들에 따른 도 1의 DUT 테스트 시스템의 캐리어의 예일 수 있는 멤브레인 캐리어(membrane carrier)의 평면도이다.
도 10b는 도 10a의 멤브레인 캐리어의 측단면도이다.
도 11a 및 도 11b는 발명의 일부 실시예들에 따라 멤브레인 캐리어 위에서 DUT를 정렬할 수 있는 도 1의 DUT 테스트 시스템의 정렬기의 예의 측면도들을 도시한다.
도 12a 및 도 12b는 발명의 일부 실시예들에 따라 멤브레인 캐리어 위에서 DUT를 테스트할 수 있는 도 1의 DUT 테스트 시스템의 테스트 셀의 예의 측면도들을 도시한다.
도 13은 발명의 일부 실시예들에 따라 도 1의 DUT 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하기 위한 프로세스의 예를 예시한다.
도 14는 발명의 일부 실시예들에 따라 도 1의 DUT 테스트 시스템의 정렬기에서 DUT를 캐리어에 정렬하기 위한 프로세스의 예를 예시한다.
도 15는 발명의 일부 실시예들에 따라 도 1의 DUT 테스트 시스템의 테스트 셀에서 DUT를 테스트하기 위한 프로세스의 예를 예시한다.
도 16은 발명의 일부 실시예들에 따른 DUT의 테스트-이후(post-test) 처리의 프로세스의 예를 예시한다.
이 명세서는 발명의 예시적인 실시예들 및 응용들을 설명한다. 그러나, 발명은 이 예시적인 실시예들 및 응용들에 한정되지 않거나, 예시적인 실시예들 및 응용들이 본 명세서에서 동작하거나 본 명세서에서 설명되어 있는 방식에 한정되지 않는다. 또한, 도면들은 단순화된 또는 부분적인 도면들을 도시할 수 있고, 도면들에서의 소자들의 치수들은 명확함을 위해 과장될 수 있거나, 그렇지 않을 경우에는 비례적이지 않을 수 있다. 또한, 용어들 "위", "부착됨", 또는 "결합됨"이 본 명세서에서 이용될 때, 하나의 대상물(예를 들어, 물질, 층, 기판 등)은, 하나의 대상물이 다른 대상물 바로 위에 있거나, 다른 대상물에 부착되거나, 또는 다른 대상물과 결합되는지에 관계없이, 또는 하나의 대상물 및 다른 대상물 사이에 하나 이상의 중간 대상물들이 존재하는지에 관계없이, 또 다른 대상물 "위", 또 다른 대상물에 "부착" 또는 또 다른 대상물에 "결합"될 수 있다. 또한, 방향들이 제공되는 경우, 방향들(예를 들어, 위, 아래, 상단, 하단, 측면, 상, 하, 하부, 상부, 상측, 하측, 수평, 수직, "x", "y", "z" 등)은 상대적이고, 전적으로 예로서 그리고 한정이 아니라 예시 및 논의의 용이함을 위하여 제공된다. 또한, 소자들(예를 들어, 소자들, a, b, c)의 목록에 대해 참조가 행해지는 경우, 이러한 참조는 열거된 소자들의 임의의 하나 자체, 열거된 소자들의 전부보다 작은 임의의 조합, 및/또는 모든 열거된 소자들의 조합을 포함하도록 의도된 것이다.
도 1은 발명의 일부 실시예들에 따라 DUT들(112)을 테스트하기 위한 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 예를 예시한다. 도시된 바와 같이, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)은 테스트 셀들(108) 뿐만 아니라 적재기(loader)(102), 정렬기(aligner)(104), 및 이동기(mover)(106)를 포함할 수 있다. 테스트 셀(100)은 테스트 셀들(108) 중 하나의 테스트 셀의 예일 수 있다. 따라서, 테스트 셀들(108)은 복수(예를 들아, 2개, 3개, 4개, 5개, 10개, 20개, 또는 그보다 많음)의 테스트 셀들(110)을 포함할 수 있다. 정렬기(104)는 하나 이상의 도어(access door)들(122)을 포함할 수 있고, 테스트 셀(110)은 하나 이상의 액세스 도어들(124)을 포함할 수 있다.
테스트 대상 장치(device under test)에 대한 두문자어(acronym)일 수 있는 DUT(112)는 적재기(102)로 적재될 수 있고, 캐리어(116) 위에 위치될 수 있으며, 그 예는 도 2a 및 도 2b에서 예시된다. 캐리어(116) 위에서의 DUT(112)의 위치는 정렬기(104)에서 조절될 수 있으므로, DUT(112)의 입력 및/또는 출력 단자들(114)은 캐리어(116) 위의 캐리어 정렬 특징부(carrier alignment feature)들(118)(도 2a 및 도 2b 참조)에 대해 정렬된다. 따라서, 캐리어(116) 위에 정렬된 DUT(112)는 테스트 셀(110) 내에 위치될 수 있고, 그 예는 도 4a 및 도 4b에서 예시된다. 테스트 셀(110)은 전기적 전도성 프로브들(410)들에 대해 미리 결정된 위치들에 있는 컨택터 정렬 특징부들(412)을 갖는 컨택터(408)를 포함할 수 있다. 캐리어(116) 위의 캐리어 정렬 특징부들(118)은 테스트 셀(110) 내의 컨택터 정렬 특징부들(412)과 기계적으로 결합할 수 있고, 이것은 컨택터(408)의 프로브들(410)이 DUT(112)의 단자들(114)과 충분히 정렬할 수 있게 하여 프로브들(410) 및 단자들(114)이 물리적 접촉을 행할 수 있고, 이에 따라, 프로브들(410) 및 단자들(114) 사이에 전기적 접속들을 수립할 수 있다. 다음으로, 테스트 신호들은 DUT(112)를 테스트하기 위하여 컨택터(408)를 통해 DUT(112)로 그리고 컨택터(408)를 통해 DUT(112)로부터 제공될 수 있다. 다음으로, 테스트된 DUT(112)는 예를 들어, 적재기(102)를 통해, 테스트 셀(110)로부터, 그리고 궁극적으로 멀티-DUT 테스트 시스템(100)으로부터 제거될 수 있다. 하나 이상의 로봇 아암(robotic arm)들(120)을 포함할 수 있는 이동기(106)는 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 주위의 DUT들(112) 및 DUT(112)/캐리어(116) 조합들을 이동시킬 수 있다. 도시된 바와 같이, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)은 제어기(126) 및 메모리(128)를 또한 포함할 수 있다.
DUT(112)는 입력 및/또는 출력 전기 단자들(114)을 포함하는 하나 이상의 전자 장치들일 수 있다. 예를 들어, DUT(112)는 싱귤레이팅되지 않은 반도체 다이(unsingulated semiconductor die)들을 포함하는 반도체 웨이퍼일 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 홀더(holder) 위에 또는 홀더 내에 배치된 싱귤레이팅된 다이(singulated die)(패키징되거나 패키징되지 않음)들을 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 홀더 위에 또는 홀더 내에 배치된 다른 유형들의 전자 장치들일 수 있다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, DUT(112)는 단자들(114)에 대해 알려진 위치들에 있는 하나 이상의 DUT 정렬 특징부들(212)을 또한 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, DUT 정렬 특징부들(212)은 단자들(114)의 하나 이상을 포함할 수 있다. 예를 들어, DUT 정렬 특징부들(212)은 하나 이상의 단자들(114)의 하나 이상의 에지(edge)들 또는 모서리(corner)들을 포함할 수 있다. 도면들에서 예시된 예들에서, 정렬 특징부들(212)은 단자들(114)의 하나 이상에 대응하고, 따라서, 별개의 정렬 특징부들(212)이 예시되지 않는다. 그러나, 언급된 바와 같이, 정렬 특징부들(212)은 대안적으로, 단자들(114)의 하나 이상으로부터 알려진 오프셋 위치(offset position)들 내에 있는 DUT(112) 및/또는 DUT 홀더(도시되지 않음) 위의 분리된 마크(mark)들, 에지들, 모서리들, 및/또는 구조들(도시되지 않음)일 수 있다. 도시된 바와 같이, 일부 실시예들에서, DUT(112)는 방위 마크(orientation mark)(132)를 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 방위 마크(132)는 DUT(112)의 에지(130)의 불규칙적인 부분일 수 있다. 언급된 바와 같이, DUT(112)는 반도체 웨이퍼일 수 있고, 방위 마크(132)는 웨이퍼의 에지(130)의 깍인 부분(clipped portion)일 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 예시된 DUT(112)는 예에 불과하고, DUT(112)는 도시된 것과 상이할 수 있다. 예를 들어, DUT(112)는 다른 형상들일 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 도시된 특징부들의 모두를 포함할 필요는 없다(예를 들어, DUT(112)는 정렬 특징부들(212) 및/또는 방위 마크(132)를 결여할 수 있음). 또 다른 예로서, DUT(112)는 도시된 것과 상이한 정렬 마크(alignment mark)(132)를 가질 수 있고, 하나를 초과하는 정렬 마크(132)를 가질 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 도시되지 않은 추가적인 특징부들을 가질 수 있다. 또 다른 예로서, 도시된 것보다 더 많거나 더 적은 단자들(114)이 있을 수 있다.
적재기(102)는 DUT들(112)을 수용할 수 있는 장비를 포함할 수 있다. 예를 들어, DUT(112)가 반도체 다이들을 포함하는 반도체 웨이퍼일 겨우, 적재기(102)는 이러한 웨이퍼를 수용하기 위한 장비를 포함할 수 있다. 예를 들어, 적재기(102)는 당업계에서 알려져 있는 바와 같은 로봇 웨이퍼 핸들러(robotic wafer handler)를 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 적재기(102)는 당업계에서 알려져 있는 것들과 같은 하나 이상의 EFEM(equipment front end module)들을 포함할 수 있다. 그럼에도 불구하고, DUT(112)는 적재기(102) 내의 캐리어(116) 위에 위치될 수 있고, 이동기(106)는 DUT(112) 및 캐리어(116)의 조합을 적재기(102)로부터 정렬기(104)로 이동시킬 수 있고, DUT(112)는 캐리어(116)에 정렬될 수 있다. 대안적으로, DUT(112)는 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에 위치될 수 있고, 정렬기(104) 내의 캐리어(116)에 정렬될 수 있다. 이러한 경우, 이동기(106)는 DUT(112)를 적재기(102)로부터 정렬기(104)로 이동시킬 수 있다.
이동기(106)는 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 주위의 DUT들(112), 캐리어들(116), 및 DUT(112)/캐리어(116) 조합들을 이동시킬 수 있는 장비를 포함할 수 있다. 예를 들어, 이동기(106)는 DUT들(112), 캐리어들(116), 및 DUT(112)/캐리어(116) 조합들을 이동시키기 위한 하나 이상의 컨베이어(conveyer)들(도시되지 않음) 및/또는 승강기(elevator)들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이동기(106)는 하나 이상의 로봇 아암들(120)을 또한 포함할 수 있고, 그 각각은 DUT(112), 캐리어(116), 및/또는 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 파지할 수 있고, DUT(112), 캐리어(116), 및/또는 DUT(112)/캐리어(116) 조합을, 적재기(102), 정렬기(104), 및/또는 테스트 셀(110)로 또는 적재기(102), 정렬기(104), 및/또는 테스트 셀(110)로부터 이동시킬 수 있다. 도면들에서 도시되지 않았지만, DUT(112) 및/또는 캐리어(116)(본 명세서에 개시된 캐리어(116)의 임의의 실시예를 포함함)는 아암(120)이 파지할 수 있는 핸들(handle)들(도시되지 않음) 또는 다른 특징부들을 포함할 수 있다.
발명의 일부 실시예들에 따른 캐리어(116)의 예는 도 2a 및 도 2b에 예시되어 있다. 도시된 바와 같이, 캐리어(116)는 DUT(112)가 그 위에 위치될 수 있는 운반 표면(carrying surface)(204)을 갖는 기판(202)(예를 들어, 물질의 블록)을 포함할 수 있다. 적당한 캐리어들의 비제한적인 예들은 금속 또는 세라믹 판 등을 포함한다. 일부 실시예들에서, 기판(202)의 두께(TC)는 DUT(112)의 두께(TD)보다 클 수 있다. 예를 들어, 두께(TC)는 DUT(112)의 두께(TD)의 2배, 5배, 8배, 9배, 10배, 또는 그보다 클 수 있다. 대안적으로, 두께(TC)는 두께(TD)와 동일하거나 그보다 작을 수 있다.
체결 기구(clamping mechanism)(208)는 DUT(112)를 선택적으로 해제할 수 있으므로, DUT(112)는 대략 운반 표면(204) 위에서 이동될 수 있고, 체결 기구(208)는 운반 표면(204) 위의 정 위치(in place)에서 DUT(112)를 선택적으로 체결할 수 있다. 따라서, 체결 기구(208)가 해제된 상태에 있는 동안에는, DUT(112)가 운반 표면(204) 위에서 자유롭게 이동하지만(또는 이동됨), 체결 기구(208)가 체결된 상태에 있는 동안에는, 체결 기구(208)는 운반 표면(204) 위의 정 위치에서 DUT(112)를 파지(또는 체결)하므로, DUT(112)는 운반 표면(204) 위에서 이동시킬(또는 이동될) 수 없다. 체결 기구(208)는 DUT(112)를 선택적으로 체결하고 해제하기에 적당한 기구일 수 있다. 체결 기구(208)의 비제한적인 예들은 운반 표면(204) 내의 하나 이상의 진공 홈(vacuum groove)들(도시되지 않음), 정전기 기구(electro-static mechanism)(예를 들어, 클램프)들(도시되지 않음), 기계적 클램프들(도시되지 않음), 등을 포함한다.
캐리어(116)는 알게 되는 바와 같이, 테스트 셀(110) 내의 대응하는 컨택터 정렬 특징부들(412)(도 4a 및 도 4b 참조)과 (예를 들어, 기계적으로) 결합할 수 있는 캐리어 정렬 특징부들(118)을 포함할 수 있다. 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 컨택터 정렬 특징부들(412)이 결합되는 동안, 캐리어(116)는 테스트 셀(110) 내의 컨택터(408)의 프로브들(410)에 대해 미리 결정된 방위에 있다. 이에 따라, DUT(112)/캐리어(116) 조합이 테스트 셀(110) 내에 위치될 때, DUT(112)는 운반 표면(204) 위에 위치될 수 있어서, DUT(112)의 단자들(114)은 컨택터(408)의 프로브들(410)들과 정렬되고, 이에 따라, 이 프로브들(410)과 접촉하고 전기적으로 접속들을 행한다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, DUT(112)가 캐리어 정렬 특징부들(예를 들어, 캐리어 정렬 특징부들(118))에 대해 위치된 단자들(114)을 갖는 캐리어(116) 위에 위치될 때, DUT(112)는 캐리어(116) "에 정렬되고", 캐리어(116) "위에서 정렬되고", 또는 캐리어(116) 위의 "정렬된 위치"에서, DUT(112)의 단자들(114) 및 컨택터(408)의 프로브들(410)은 충분히 정렬되어 접촉을 행하고, 이에 따라, 캐리어(116)의 캐리어 정렬 특징부들(예를 들어, 118)이 (예를 들어, 도 4b에 도시된 바와 같이) 컨택터(408)의 컨택터 정렬 특징부들(412)과 기계적으로 결합되는 동안, 단자들 및 프로브들(410) 사이의 전기적 접속들을 수립한다.
캐리어 정렬 특징부들(118)은 기계적 리셉터클(mechanical receptacle)들일 수 있는 대응하는 컨택터 정렬 특징부들(412)에 끼워져서 이 특징부들과 결합하는 연장부(extension)들과 같은 기계적 특징부들일 수 있다. 대안적으로, 컨택터 정렬 특징부들(412)은 리셉터클들일 수 있는 대응하는 캐리어 정렬 특징부들(118)에 끼워져서 이 특징부들과 결합하는 연장부들일 수 있다. 그럼에도 불구하고, 도 2a 및 도 2b에 도시된 캐리어 정렬 특징부들(118)의 수 및 배치는 예에 불과하고, 도 2a 및 도 2b에 도시된 것과 상이한 장소들 및/또는 상이한 패턴일 수 있는 3개보다 많거나 3개보다 적은 캐리어 정렬 특징부들(118)이 있을 수 있다. 일부 실시예들에서, 캐리어 정렬 특징부들(118)의 수 및 배치는 DUT(112)의 단자들(114)과 전반적으로 평행한 평면에서의 6개의 자유도(degree of freedom)들, 또는 대안적으로 3개의 자유도들에서 캐리어(116) 및 컨택터(408)를 운동학적으로(kinematically) 정렬하는 것과 같은 것일 수 있다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, 운동학적으로 정렬되는 것은 최소의 수의 정렬 특징부 쌍들(각각의 쌍은 하나의 캐리어 정렬 특징부(118) 및 하나의 컨택터 정렬 특징부(412)임)을 이용하여 정렬되는 것을 의미한다. 예를 들어, 2차원 평면에서의 3개의 정렬 특징부 쌍들 및 3차원 공간에서의 6개의 정렬 특징부 쌍들.
DUT(112)는 캐리어 정렬 특징부들(118)에 직접 정렬될 수 있다. 그러나, 일부 실시예들에서, 캐리어(116)는 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려진 위치들에 위치되는 오프셋 정렬 특징부(offset alignment feature)들(206)을 포함할 수 있고, DUT(112)는 오프셋 정렬 특징부들(206)에 대해 직접 정렬될 수 있고, 이에 따라, 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 간접적으로 정렬될 수 있다. 오프셋 정렬 특징부들(206)은 정렬을 위해 최적화될 수 있다. 예를 들어, 오프셋 정렬 특징부들(206)은 운반 표면(204)의 캡처된 이미지(captured image)에서 용이하게 식별되는 특징부들일 수 있다. 따라서, 일부 실시예들에서, 오프셋 정렬 특징부들(206)은 운반 표면(204) 및 DUT(112)의 디지털화된 이미지에서 용이하게 식별되는 형상(shape)들, 컬러(color)들, 패턴(pattern)들, 등을 포함할 수 있다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 캐리어(116)는 하나 이상의 온도 제어 장치들(210)을 포함할 수 있다. 온도 제어 장치(210)는 선택적으로 DUT(112)를 가능한 온도들의 범위 내의 희망하는 온도가 되게 하고, 및/또는 DUT(112)를 가능한 온도들의 범위 내의 희망하는 온도에서 유지할 수 있다. 온도 제어 장치(210)는 예를 들어, 하나 이상의 가열 장치들 및/또는 냉각 장치들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 온도 제어 장치(210)는 하나 이상의 저항성 가열 소자들(도시되지 않음), 가열된 또는 냉각된 유체(예를 들어, 액체, 기체, 등)가 순환될 수 있게 하는 기판(202) 내의 또는 기판(202) 위의 통로들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 온도 제어 장치(210)는 캐리어(116) 위에서 독립적일 수 있다. 즉, 온도 제어 장치(210)는 캐리어(116) 및/또는 DUT(112)의 위에 있거나 그 일부가 아닌 장비에 접속되지 않고도, 적어도 시간 기간 동안에 동작할 수 있다. 다른 실시예들에서, 온도 제어 장치(210)는 캐리어(116) 위에서 독립적인 것이 아니고, 캐리어(116) 및/또는 DUT(112)의 위에 있거나 그 일부가 아닌 장비(예를 들어, 전기 전력 공급 장치, 가열된 또는 냉각된 유체의 소스, 등)(도시되지 않음)에 접속된다. 일부 실시예들에서, 기판(202)의 물질 및/또는 구조는 DUT(112)의 가열 또는 냉각을 용이하게 하도록 선택될 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 캐리어(116)는 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 캐리어(116)는 도 2a 및 도 2b에 예시된 모든 특징부들 또는 소자들을 포함할 필요가 없고, 캐리어(116)는 도 2a 및 도 2b에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 캐리어(116)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 캐리어(116)는 오프셋 정렬 특징부들(206)을 포함할 필요가 없다. 또 다른 예로서, 캐리어(116)는 온도 제어 장치(210)를 포함할 필요가 없다. 또 다른 예로서, 캐리어(116)는 DUT(112) 주위에 독립적인 청정룸(clean-room) 환경을 제공할 수 있는 커버(도시되지 않음) 및 밀봉 기구(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 다음의 장치들 또는 특징부들의 하나 이상, 즉, 전기, 공압(pneumatic), 유압(hydraulic), 및/또는 진공 커넥터들 등; 및/또는 하나 이상의 센서들, 전자 제어기들, 전자 메모리 장치들, 및/또는 다른 전자 회로는 캐리어(116)의 일부 실시예들 내에 포함될 수 있다.
발명의 일부 실시예들에 따른 정렬기(104)의 예는 도 3에 예시되어 있다. 도시된 바와 같이, 정렬기(104)는 액세스 도어(access door)(122)를 포함할 수 있는 하우징(housing)(302)을 포함할 수 있고, DUT(112), 캐리어(116), 및/또는 DUT(112) 및 캐리어(116)의 조합은 액세스 도어(122)를 통해 정렬기(104) 내에 위치될 수 있다. 일부 실시예들에서, 하우징(302)은 액세스 도어(122)가 닫혀 있을 때, 독립적인 청정룸 인클로저(clean room enclosure)를 제공하기 위하여 충분히 밀봉될 수 있거나 밀봉가능할 수 있다. 또한, 정렬기(104)는 제어기(308) 및 메모리(316)를 포함할 수 있거나, 제어기(308) 및 메모리(316)에 접속될 수 있다. 제어기(308)는 정렬기(104)의 동작의 전부 또는 일부를 제어할 수 있고, 메모리(316)에 저장된 (아래에 정의되는 바와 같은) 프로그램 코드에 따라 동작할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 제어기(308)는 하드와이어드 회로에 따라 전체적으로 또는 부분적으로 동작할 수 있다. 제어기(308)는 제어기(126)에 대해 아래에서 식별된 제어기들의 임의의 유형들 중 하나 이상일 수 있고, 메모리(316)는 메모리(128)에 대해 아래에서 식별된 메모리 장치들의 임의의 유형들 중 하나 이상일 수 있다.
위에서 언급된 바와 같이, DUT(112)는 적재기(102) 또는 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에 위치될 수 있다. 캐리어(116)는 정렬기(104) 내의 임의의 파지 기구 또는 구조(도시되지 않음) 위에 배치될 수 있다. 예를 들어, 캐리어(116)는 도 3에 도시된 바와 같은 하우징(302), 스테이지(stage)(도시되지 않음), 등의 하단부 위에 배치될 수 있다.
정렬기(104)는 캐리어(116)를 정렬기(104) 내의 특정한 위치 및/또는 방위로 안내하기 위한 기구(318)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 안내 기구(318)는 안내 캐리어(116)를 정렬기(104) 내의 적어도 전반적으로 개략적인 위치 또는 방위로 안내하는 안내 레일(guide rail)들, 오목부(depression)들, 정지 구조들, 및/또는 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 예를 들어, 안내 기구는 안내 레일들(도시되지 않음) 및 정지 구조들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 이러한 안내 레일들(도시되지 않음)은 캐리어가 하우징(302) 내에 적재될 때에 캐리어(116)를 안내할 수 있고, 캐리어(116)가 하우징(302) 내의 희망하는 위치 및/또는 방위에 있을 때, 정지 구조들(도시되지 않음)은 안내 레일들(도시되지 않음)을 따른 캐리어(116)의 이동을 정지시킬 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 정렬기(104)는 캐리어(116)에 대하여 DUT(112)를 이동시키도록 활성화될 수 있는 이동 기구(moving mechanism)(306)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 이동 기구(306)는 캐리어(116)를 이동시키지 않고 DUT(112)를 이동시킬 수 있고, DUT(112)를 이동시키지 않고 캐리어(116)를 이동시킬 수 있고, 및/또는 DUT(112) 및 캐리어(116)를 독립적으로 이동시킬 수 있다. 캐리어(116) 위의 체결 기구(208)는 DUT(112)를 해제할 수 있으므로, 이동 기구(306)는 기판(202)의 전달 표면(204) 위에서 DUT(112)를 이동시킬 수 있다. 이동 기구(306)의 비제한적인 예들은 하나 이상의 모터 구동 스테이지들, 피에조 스테이지(piezo stage)들, 피에조 워킹 빔 스테이지(piezo walking beam stage)들, 등을 포함한다. 이동 기구(306)의 다른 예들은 캐리어(116)에 대해 DUT(112)를 이동시키기 위하여 에어 제트(air jet)들을 DUT(112)의 부분들에 선택적으로 보내기 위한 장비, 캐리어(116)에 대해 DUT(112)를 이동시키는 정전기 전하(electrostatic charge)들을 선택적으로 생성하기 위한 장비, 등을 포함한다.
또한, 정렬기(104)는 DUT(112) 및/또는 캐리어(116)의 하나 이상의 전자(예를 들어, 디지털) 이미지들을 캡처(capture)할 수 있는 하나 이상의 카메라(camera)들(304)을 포함할 수 있다. 그 이미지들은 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위해 이용될 수 있다. 인간 사용자(도시되지 않음)는 DUT(112)가 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치에 있을 때까지 캐리어(116)에 대하여 DUT(112)를 이동시키기 위하여, 이동 기구(306)를 수동으로 제어할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 제어기(308)는 DUT(112) 및/또는 캐리어(116)의 이미지들을 수신할 수 있고, (위에서 논의된 바와 같이) 캐리어(116)에 대하여 DUT를 이동시켜서 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여 이동기(306)를 제어할 수 있다. DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키는 것은 DUT(112) 및/또는 캐리어(116)의 이미지들을 캡처하고, 그 다음으로 캐리어(116) 위에서 DUT(112)를 이동시키는, 하나를 초과하는 시퀀스(sequence)를 포함할 수 있다. 이동 기구(306)가 캐리어(116) 위에서 DUT(112)를 이동시키기 위하여 어떻게 활성화되는지에 관계없이, 일단 DUT(112)가 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치에 있으면, 체결 기구(208)는 전달 표면(204) 위의 정렬된 위치에서 DUT(112)를 체결할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 일부 실시예들에서는, 정렬기(104)가 캐리어 정렬 특징부들(118) 또는 캐리어(116)의 다른 정렬 특징부들(도시되지 않음)과 (예를 들어, 기계적으로) 결합할 수 있는 카메라 정렬 특징부들(312)을 갖는 카메라 마운트(camera mount)(310)를 포함할 수 있다. 카메라들(304)은 카메라 정렬 특징부들(312)에 대해 알려진(예를 들어, 교정된(calibrated)) 위치들에서 카메라 마운트(310) 위에 장착될 수 있으므로, 카메라들(304)은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려진(또는 교정된) 위치들에 있는 한편, 카메라 정렬 특징부들(312) 및 캐리어 정렬 특징부들(118)은 도 3에 도시된 바와 같이 결합된다. 이러한 경우, 카메라들(304)은 DUT 정렬 특징부들(212)의 하나 이상의 특징부의 이미지를 캡처할 수 있고, 이러한 이미지들은 DUT를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여 (예를 들어, 제어기(308)에 의해) 이용될 수 있다. 카메라들(304)은 캐리어 정렬 특징부들(118) 또는 캐리어(116)의 임의의 다른 특징부 또는 소자의 이미지를 캡처할 필요가 없다. 예를 들어, 제어기(308)(및/또는 인간 조작자)는 캐리어(116)에 대하여 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여, DUT 정렬 특징부들(212)의 캡처된 이미지들 및 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대한 카메라들(304)의 알려진 위치들을 사용할 수 있다. 이동 기구(314)는 캐리어 정렬 특징부들(118)과의 결합부로 그리고 이 결합부로부터 카메라 마운트(310)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 카메라 마운트(310)는 카메라 마운트(310)(구체적으로, 카메라 정렬 특징부들(312))가 캐리어 정렬 특징부들(118)로부터 결합해제되어 있는 위치에서 도 3에 점선들로 도시되어 있고, 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합된 카메라 마운트(310)는 도 3에 실선들로 도시되어 있다. 대안적으로, 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 카메라 정렬 특징부들(312)을 결합하기 위하여, 캐리어(116)(및 이에 따라 DUT(112))가 이동될 수 있거나, 카메라 마운트(310) 및 캐리어(116)가 이동될 수 있다.
다른 실시예들에서, 정렬기(104)는 카메라들(304)을 캐리어 정렬 특징부들(118)에 결합하는 특징부들(예를 들어, 카메라 정렬 특징부들(312))을 포함할 필요가 없다. 예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302) 또는 하우징(302) 내의 다른 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있다. 이러한 경우, 카메라들(304)의 위치들은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려지지 않을 수 있고, 카메라들(304)은 DUT 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114)의 단자들) 및 캐리어 정렬 특징부들(118) 둘 모두의 이미지들을 캡처할 수 있고, 그 이미지들은 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여 제어기(308)(및/또는 인간 조작자)에 의해 이용될 수 있다. 또 다른 예로서, 카메라들(304)은 하우징(302) 내에 있지만 카메라들(304)에 직접 결합되지는 않은 클램프(도시되지 않음) 또는 유사한 장치의 정렬 특징부들(도시되지 않았지만 카메라 정렬 특징부들(312)과 유사할 수 있음)에 대해 알려진 위치들에 있을 수 있다. 그 정렬 특징부들(도시되지 않음)은 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합할 수 있고, 이에 따라, 캐리어 정렬 특징부들(118)이 카메라들(304)에 대해 알려진 위치들에 있는 위치로 캐리어(116)를 이동시킬 수 있다.
카메라들(304)은 DUT(112) 및/또는 캐리어(116)의 이미지들(예를 들어, 디지털 이미지들)을 캡처하기 위한 임의의 카메라 또는 다른 장치일 수 있다. 도시되어 있지는 않지만, 카메라들(304)을 이동시키기 위한 기구들은 정렬기(104) 내에 포함될 수 있다. 예를 들어, 카메라들(304)은 카메라 마운트(310) 위에서 이동가능할 수 있다.
카메라 정렬 특징부들(312)은 기계적 리셉터클들일 수 있는 대응하는 캐리어 정렬 특징부들(118)에 끼워져서 이에 따라, 이 대응하는 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합하는 연장부들과 같은 기계적 특징부들일 수 있다. 대안적으로, 카메라 정렬 특징부들(312)은 (연장부들일 수 있는)대응하는 캐리어 정렬 특징부들(118)이 끼워지는 리셉터클들일 수 있다. 그럼에도 불구하고, 도 3에 도시된 카메라 정렬 특징부들(312)의 수 및 배치는 예이며, 도시된 것보다 더 많거나 더 적을 수 있다. 또한, 카메라 정렬 특징부들(312)은 도 3에서 도시된 것과 상이한 장소들 및/또는 상이한 패턴일 수 있다. 일부 실시예들에서, 카메라 정렬 특징부들(312)의 수 및 배치는 3차원 공간에서 6개의 자유도들 또는 대안적으로, DUT(112)의 단자들(114)과 전반적으로 평행한 평면에서 3개의 자유도들로 캐리어(116) 및 카메라 마운트(310)(및 이에 따라 카메라들(304))를 운동학적으로 정렬하는 것과 같을 수 있다.
도 3에 도시된 것과 같은 정렬기(104)는 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 정렬기(104)는 도 3에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 정렬기(104)는 도 3에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 정렬기(104)는 도 3에 도시된 것과 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라 정렬 특징부들(312), 카메라 마운트(310), 또는 이동 기구(314)를 포함할 필요가 없다(예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302) 또는 하우징(302) 내의 또 다른 구조 또는 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있음). 또 다른 예로서, 또한 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 캐리어 정렬 특징부들(118)과 기계적으로 결합하고 이에 따라, 캐리어(116)를 카메라들(304)에 대해 미리 결정된 위치로 이동시키는 하우징(302) 내의 기계적 결합 기구(도시되지 않음)가 있을 수 있다. 또 다른 예로서, 오직 하나의 카메라(304)가 있을 수 있거나, 도 3에 도시된 2개의 카메라들(304)보다 많을 수 있다.
위에서 논의된 바와 같이, 도 1에 예시된 테스트 셀들(108)은 테스트 셀(110)이 예일 수 있는 2개 이상의 테스트 셀들을 포함할 수 있다. 발명의 일부 실시예들에 따른 예시적인 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 예시된다.
도시된 바와 같이, 테스트 셀(110)은 액세스 도어(124)를 포함할 수 있는 하우징(402)을 포함할 수 있고, DUT(112)/캐리어(116) 조합은 액세스 도어(124)를 통해 테스트 셀(110) 내로 위치될 수 있다. 일부 실시예들에서, 액세스 도어(124)가 닫힐 때, 독립적인 청정룸 인클로저를 제공하기 위하여, 하우징(402)은 충분히 밀봉될 수 있다. 테스트 셀(110)은 제어기(418) 및 메모리(420)를 포함할 수 있거나, 제어기(418) 및 메모리(420)에 접속될 수도 있다. 제어기(418)는 테스트 셀(110)의 동작의 전부 또는 일부를 제어할 수 있고, 메모리(420)에 저장된 (이하에 저장된 바와 같은) 프로그램 코드에 따라 동작할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 제어기(418)는 하드와이어드 회로에 따라 전체적으로 또는 부분적으로 동작할 수 있다. 제어기(418)는 제어기(126)에 대해 이하에서 식별된 제어기들의 임의의 유형들 중의 하나 이상일 수 있고, 메모리(420)는 메모리(128)에 대해 이하에서 식별된 메모리 장치들의 임의의 유형들 중의 하나 이상일 수 있다.
또한 도시된 바와 같이, 테스트 셀(110)은 전기적 전도성 프로브들(410)을 포함할 수 있는 컨택터(408)를 포함할 수 있다. 프로브들(410)은 DUT(112)의 단자들(114)에 접촉하기에 적당한 임의의 구조일 수 있고, 이에 따라, 단자들(114)과 전기적 접속들을 행할 수 있다. 적당한 프로브들(410)의 예들은 스프링 프로브(spring probe)들, 스터드(stud)들, 범프(bump)들, 등을 포함할 수 있다. 컨택터(408)는 전기적 접속부(electrical connection)들(404)에 전기적으로 접속될 수 있고, 이 전기적 접속부들(404)을 통해, 전력 및 접지, 제어 및 테스트 신호들 등이 컨택터(408)에 제공될 수 있고, 이 전기적 접속부들(404)은 프로브들(410)에 대한 전기적 접속부들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 전력, 접지, 제어 및 테스트 신호들 등은 컨택터(408)를 통해 DUT(112)에 제공될 수 있다. 이와 유사하게, DUT(112)로부터의 신호들은 컨택터(408)를 통해 전기적 접속부들(404)에 제공될 수 있다.
컨택터(408)는 프로브들(410)에 대한 그리고 프로브들(410)로부터의 전기적 접속들을 제공하기에 적당한 임의의 전자 장치일 수 있다. 예를 들어, 컨택터(408)는 프로브 카드 어셈블리(probe card assembly), 프로브 헤드 어셈블리(probe head assembly), 멤브레인 컨택터(membrane contactor), 적재 보드(load board), 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 컨택터(408)는 하나 이상의 회로 기판들, 보강재(stiffener)들, 프로브 헤드(probe head)들, 인터포저(interposer)들, 등의 조합을 포함할 수 있다.
언급된 바와 같이, 테스트 셀(110)은 테스트 셀(110)의 컨택터(408), 하우징(402), 또는 다른 소자들에 결합될 수 있는 컨택터 정렬 특징부들(412)을 포함할 수도 있다. 또한 위에서 논의된 바와 같이, 컨택터 정렬 특징부들(412)은 캐리어(116) 위의 대응하는 캐리어 정렬 특징부들(118)과 기계적으로 결합할 수 있으므로, 프로브들(410)이 단자들(114)과 접촉하고 전기적 접속들을 행하기에 충분하게 프로브들(410)이 단자들(114)과 정렬된다. 이에 따라, 캐리어(116) 위의 캐리어 정렬 특징부들(118)이 컨택터(116) 위의 컨택터 정렬 특징부들(412)과 결합될 때, 프로브들(410)을 단자들(114)과 정렬하는 컨택터 정렬 특징부들(412)에 대한 위치에서, 컨택터(408)가 하우징(402) 내에(또는 하우징(402)에) 장착될 수 있다.
테스트 셀(110)은 캐리어(116)를 테스트 셀(110) 내의 특정한 위치 및/또는 방위로 안내하기 위한 안내 기구(422)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 안내 기구(422)는 캐리어(116)를 테스트 셀(110) 내의 적어도 전반적으로 개략적인 위치 또는 방위로 안내하는 안내 레일들, 오목부들, 정지 구조들, 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 예를 들어, 안내 기구(422)는 안내 레일들(도시되지 않음) 및 정지 구조들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 이러한 안내 레일들(도시되지 않음)은 캐리어가 하우징(402)으로 적재될 때에 캐리어(116)를 안내할 수 있고, 정지 구조들(도시되지 않음)은 캐리어(116)가 하우징(402) 내의 희망하는 위치 및/또는 방위에 있을 때, 안내 레일들(도시되지 않음)을 따른 캐리어(116)의 이동을 정지시킬 수 있다. (이하에 논의되는) 리프트(lift)(406)가 도 4b에 예시된 바와 같이 캐리어(116)를 이동시킬 때, 캐리어 정렬 특징부들(118)이 컨택터 정렬 특징부들(412)과 기계적으로 결합하기 위하여, 상기 희망하는 위치는 캐리어 정렬 특징부들(118)의 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 개략적이지만, 그럼에도 불구하고 충분한 정렬일 수 있다.
도 4a 및 도 4b에 또한 도시된 바와 같이, 테스트 셀(110)은 리프트(406)를 포함할 수 있다. 도 4a에 도시된 바와 같이, DUT(112)/캐리어(116) 조합은 리프트(406) 위에 위치될 수 있고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 리프트(406)는 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 이동시킬 수 있어서, 캐리어 정렬 특징부들(118)은 컨택터 정렬 특징부들(412)과 기계적으로 결합하고, 단자들(114)은 프로브들(410)과 접촉한다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 리프트(406)는 "z" 방향으로 이동가능할 수 있다. 일부 실시예들에서, 리프트(406)는 "x,y" 평면에서 이동가능할 수도 있고, "x", "y", 및/또는 "z" 축들 중의 하나 이상의 축 주위로 회전할 수도 있다. 발명은 그렇게 한정되지 않지만, 도면들에 예시된 예들에서, "z" 방향 또는 축은 캐리어(116)의 전달 표면(204)에 대해 전반적으로 수직이고, "x" 및 "y" 방향들 또는 축들(및 이에 따라 "x,y" 평면)은 캐리어(116)의 전달 표면(304)과 전반적으로 평행하다. 리프트(406)는 캐리어(116)를 지지하고 이동시키기에 적당한 임의의 기구일 수 있다. 예를 들어, 리프트(406)는 이동가능한 스테이지일 수 있다. 적당한 리프트들의 예들은 공압 모터, 또는 유압 구동 스테이지를 포함한다.
테스트 셀(110)은 공기 압력을 조절할 수 있는 압력 제어기(416)를 포함할 수 있거나, 압력 제어기(416)에 접속될 수 있다. 예를 들어, 압력 제어기(416)는 공기 압력을 희망하는 레벨로 선택적으로 감소 및/또는 증가시킬 수 있다. 도시된 바와 같이, 도시된 바와 같이, 하나 이상의 기밀 밀봉부(air-tight seal)들(414)이 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이에 배치될 수 있다. 밀봉부들(414)은 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이에 기밀 밀봉부를 생성할 수 있고, 압력 제어기(416)는 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공기 압력을 희망하는 레벨로 선택적으로 설정할 수 있다. 이에 따라, 압력 제어기(416)는 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공간에서 진공(vacuum)을 선택적으로 생성할 수 있고, 이것은 예를 들어, 컨택터(408) 및 DUT(112)를 함께 끌어당길 수 있다. 압력 제어기(416)는 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공간에서 공기 압력을 선택적으로 증가시킬 수도 있고, 이것은 예를 들어, 컨택터(408) 및 DUT(112)를 떨어지게 밀어내는 경향이 있을 수 있다. 이에 따라, 압력 제어기(416)는 DUT(112)의 단자들(114)에 대항하여 프로브들(410)의 힘(예를 들어, 전체 총합된 힘(aggregate force))을 선택적으로 조절(예를 들어, 증가 또는 감소)할 수 있고, 이것은 DUT(112) 및 컨택터(408)의 단자들(114) 사이에서 전체 힘(압력)을 조절할 수 있다. 예를 들어, 압력 제어기(416)는 DUT 및 컨택터(408)의 단자들(114) 사이의 전체 힘이 제로(zero)를 포함하는 선택된 양(amount)이 되도록 할 수 있다.
일부 실시예들에서, 리프트(406)는 캐리어(116)를 이동시킬 수 있으므로, 단자들(114)은 프로브들(410)에 근접해 있거나 프로브들(410)과 초기 접촉(initial contact)한다. 다음으로, 압력 제어기(416)는 단자들(114) 및 프로브들(410) 사이에 전기적인 접속들을 생성하기에 충분한 힘으로 컨택터(408) 및 DUT(112)를 함께 끌어당기기 위하여, 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공간에 진공을 생성할 수 있다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같은 테스트 셀(110)은 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 도시된 것과 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 테스트 셀(110)은 하나 이상의 전력 공급 장치들, 제어 및 테스트 신호 발생기들(아날로그 및/또는 디지털), 온도 제어 장치들 등(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 이러한 전력 공급 장치들 및 신호 발생기들(도시되지 않음)은 전기적 접속부들(404)을 통해 컨택터(408)에 접속될 수 있거나, 대안적으로, 컨택터(408)의 일부일 수 있고, 컨택터(408)를 통해 프로브들(410)에 접속될 수 있다. 또 다른 예로서, 테스트 셀(110)은 컨택터(408)가 제거되고 상이한 컨택터로 대체되도록 하는 특징부들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 테스트 셀(110)은 밀봉부들(414) 또는 압력 제어기(416)를 포함할 필요가 없다. 또 다른 예로서, 테스트 셀(110)은 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 테스트 셀(110)로 적재하는 것과, 테스트 셀(110)로부터 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 제거하는 것을 용이하게 하는 안내 기구들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 안내 기구들(도시되지 않음)은 컨택터(408)와 충분히 정렬되는 위치로 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 안내할 수 있고, 리프트(406)는 DUT 캐리어(112)/캐리어(116) 조합을 이동시킬 수 있어서, 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 컨택터 정렬 특징부들(412)은 카메라들 또는 다른 이러한 기구들을 이용하지 않고 결합한다. 예를 들어, 이러한 안내 기구들은 가이드 레일들, 오목부들, 정지 구조들, 및/또는 등(도시되지 않음)을 포함할 수 있다.
제어기(126)는 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 일부 또는 전부의 동작을 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어기(126)는 적재기(102), 정렬기(104), 테스트 셀들(108), 및/또는 이동기(106)에 통신가능하게 접속될 수 있다. 제어기(126)는 적재기(102), 정렬기(104), 테스트 셀들(108), 및/또는 이동기(106) 중의 하나 이상으로부터 상태 신호들을 수신할 수 있고, 제어 신호들을 적재기(102), 정렬기(104), 테스트 셀들(108), 및/또는 이동기(106) 중의 하나 이상에 송신할 수 있다.
제어기(126)는 디지털 메모리(128)에 저장된 프로그램 코드에 따라 동작할 수 있는 하나 이상의 처리기들(예를 들어, 마이크로프로세서 또는 마이크로제어기), 컴퓨터들 등을 포함할 수 있고, 디지털 메모리(128)는 반도체 메모리 장치, 자기 메모리 장치, 광학 메모리 장치 등을 제한 없이 포함하는 임의의 디지털 메모리 장치 또는 장치들을 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 제어기(126)는 하드와이어드 회로를 포함할 수 있고, 제어기(126)는 이러한 하드와이어드 회로에 따라 전체적으로 또는 부분적으로 동작할 수 있다. 본 명세서에서 이용되는 바와 같이, "프로그램 코드"는 메모리(128) 내에 저장될 수 있고 제어기(126)에 의해 실행될 수 있는 기계 판독가능한 명령어(machine readable instruction)들을 나타낸다. 프로그램 코드의 비제한적인 예들은 소프트웨어, 마이크로코드(microcode), 펌웨어(firmware), 스크립트(script)들 등을 포함한다.
도 1 내지 도 4b에서, 제어기(126)는 DUT 테스트 시스템(110)의 모든 소자들을 제어하는 것으로 도시되어 있고, 정렬기(104) 및 각각의 테스트 셀(110)은 제어기들(308 및 418)을 포함하거나 제어기들(308 및 418)에 각각 접속되어 있는 것으로 도시된다. 상기한 구성은 예에 불과하고, 변형들이 고려된다. 예를 들어, 제어기(126)는 제어기(308) 및/또는 제어기(418)에 의해 수행되는 기능들 및 제어의 전부 또는 일부를 수행할 수 있다. 또 다른 예로서, 예를 들어, 적재기(102) 및/또는 이동기(106)를 별개로 제어하는 추가적인 제어기들이 포함될 수 있다.
DUT(112), 적재기(102), 정렬기(104), 이동기(106), 및 테스트 셀(110)의 예들과 함께, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 전반적인 설명은 도 1 내지 도 4b에 예시되어 있고 위에서 논의되어 있다. 상기 논의의 전반에 걸쳐 언급된 바와 같이, 도 1 내지 도 4b에서 예시되고 위에서 논의된 예들은 예이고, 한정하도록 의도된 것이 아니다. 실제로, 다수의 변형들이 가능하고, 그 일부는 캐리어(116), 정렬기(104), 및 테스트 셀(110)에 대해 구체적으로 언급되었다. 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 다수의 다른 변형들이 또한 가능하다. 예를 들어, 하나를 초과하는 적재기(102), 정렬기(104), 및/또는 이동기(106)가 있을 수 있다. 또 다른 예로서, 적재기(102) 및 정렬기(104)는 별개의 소자들일 필요가 없다. 즉, 예를 들어, 정렬기(104)는 적재기(102)의 일부일 수 있다. 또 다른 예로서, 적재기(102)는 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 내에 포함될 필요가 없고, DUT들(112)은 정렬기(104)를 통해 시스템(100)으로 적재될 수 있고 시스템(100)으로부터 인출될 수 있다. 테스트 시스템(100)의 변형의 또 다른 예로서, 테스트 셀들(108)은 다수의 장소들(예를 들어, 이동기(106) 주위)에서 배치될 수 있다. 또 다른 예로서, 추가적인 소자들이 예를 들어, DUT들(112)(테스트되거나 테스트되지 않음), 캐리어들(116) 등을 보관할 수 있는 보관 장치들(도시되지 않음)과 같은 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 내에 포함될 수 있다.
도 5a 내지 도 12b는 발명의 일부 실시예들에 따라, 캐리어(116)의 실시예들의 추가적인 예들과, 그 캐리어들(116)을 위한 정렬기들(104) 및 테스트 셀들(110)의 실시예들을 예시한다. 도 13 내지 도 15는 발명의 일부 실시예들에 따라 멀티-DUT 테스트 시스템(100)에서 DUT들(112)을 테스트하기 위한 프로세스들의 예들을 예시한다.
도 5a 내지 도 5c는 퍽 캐리어(500)의 형태로 캐리어(116)의 실시예의 예를 예시한다. 도 6a 내지 도 7b는 퍽 캐리어(500)를 위해 구성된 정렬기(104)의 실시예를 예시하고, 도 8a 내지 도 9b는 퍽 캐리어(500)를 위해 구성된 테스트 셀(110)의 실시예를 예시한다.
언급된 바와 같이, 도 5a 내지 도 5c의 퍽 캐리어(500)는 발명의 일부 실시예들에 따른 캐리어(116)의 예이다. 이에 따라, 퍽 캐리어(500)는 도 1 내지 도 4b 중의 임의의 도면 그리고 그 도면들의 위의 논의에서의 캐리어(116)를 대체할 수 있다. 또한, 퍽 캐리어(500)에 대해 구체적으로 언급되지 않더라도, 퍽 캐리어(500)는 캐리어(116)에 대해 본 명세서에서 논의된 특징부들 또는 변형들을 포함할 수 있다.
도시된 바와 같이, 퍽 캐리어(500)는 전달 표면(504)을 갖는 퍽(502)을 포함할 수 있고, 전달 표면(504) 위에는, (도 5a 및 도 5c에서 점선들로 도시된) DUT(112)가 위치될 수 있다. 퍽(502)은 기판(예를 들어, 물질의 블록) 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 퍽(502)은 금속 판, 세라믹 판 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 퍽(502)의 두께(TP)는 DUT(112)의 두께(TD)보다 클 수 있다. 예를 들어, 두께(TP)는 DUT(112)의 두께(TD)의 2배 5배, 8배, 9배, 10배, 또는 그보다 큰 배수일 수 있다. 대안적으로, 두께(TP)는 두께(TD)와 동일하거나 그보다 작을 수 있다.
하나 이상의 진공 홈(vacuum groove)들(506)이 전달 표면(504) 내에 제공될 수 있다. 진공 홈들(504) 내에 진공을 생성, 유지 및 해제하기 위하여 기구들(도시되지 않음) 및 다른 장비(도시되지 않음)가 선택적으로 제공될 수 있다. 이러한 기구들(도시되지 않음)은 하나 이상의 접속 노즐들(도시되지 않음)과, 노즐들(도시되지 않음)로부터 진공 홈들(504)까지의 통로들을 포함할 수 있다. 홈들(506) 내의 진공은 전달 표면(504) 위의 정 위치에서 DUT(112)를 체결할 수 있고, 진공의 해제는 DUT(112)를 해제할 수 있으므로, DUT(112)는 전달 표면(504) 위에서 이동될 수 있다. 이에 따라, 진공을 생성하고 해제하기 위한 진공 홈들(504) 및 연관된 기구들은 도 2a 및 도 2b의 체결 기구(208)의 예일 수 있다. 퍽(502)은 기계적 클램프들 등과 같은 상이한 유형의 체결 기구를 대안적으로 포함할 수 있다. 도 5a 및 도 5c에 도시된 진공 홈들(504)의 수, 형상, 및/또는 패턴은 예에 불과하고, 도시된 것과는 상이할 수 있다.
도 5a 및 도 5c에서 볼 수 있는 바와 같이, 전달 표면(504)은 DUT(112)보다 작을 수 있어서, DUT(112)는 전달 표면(504)을 지나 연장된다. 일부 실시예들에서, 전달 표면(504)의 면적은 DUT(112)의 면적의 3/4 이하, 2/3 이하, 1/2 이하, 1/3 이하, 1/4 이하일 수 있다. 일부 실시예들에서, 전달 표면(504)의 면적은 DUT(112)의 면적의 1/25 이하, 1/50 이하, 또는 1/75 이하일 수 있다. 전달 표면(504)의 그 면적이 DUT(112)의 대응하는 면적보다 작다는 것은 퍽 캐리어(500)가 더 큰 캐리어(116)에 비해 더 작은 크기 및/또는 열적 질량(thermal mass)을 가질 수 있도록 할 수 있다. 퍽 캐리어(500)가 이와 같이 작을 수 있는 것은 감소된 제조 비용 및 감소된 열적 질량과 같이, 일부 실시예들에서 장점들을 제공할 수 있다. 전달 표면(504)의 상대적인 크기에 관계없이, 퍽(502)은 두께(Tp)를 가질 수 있고, 이 두께(Tp)는 논의되는 바와 같이, 정렬기(104) 내의 척(chuck)(602) 및 테스트 셀(110) 내의 척(802)의 공동(cavity)들(606 및 806)의 깊이(D)와 대략 동일할 수 있다.
퍽 정렬 특징부들(510)은 퍽(502)의 반대 표면(508) 위에 배치될 수 있다. 예를 들어, 퍽 정렬 특징부들(510)은 반대 표면(508)으로부터 연장되는 연장부들, 또는 반대 표면(508)으로 연장되는 리셉터클들일 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 퍽 정렬 특징부들(510)은 도 6a 내지 도 7b에 예시된 정렬기(104)의 구성에서의 척(602) 내의 공동 정렬 특징부(cavity alignment feature)들(610)과, 도 8a 내지 도 9b에 예시된 테스트 셀(110)의 구성에서의 유사한 척(802) 내의 공동 정렬 특징부들(810)에 대응할 수 있다. 퍽 정렬 특징부들(510)은 기계적 리셉터클들 또는 연장부들일 수 있는, 대응하는 공동 정렬 특징부들(610 및 810)에 끼워져서 이에 따라 이 대응하는 공동 정렬 특징부들(610 및 810)과 결합하는 연장부들 또는 리셉터클들과 같은 기계적인 특징부들일 수 있다.
도 5b 및 도 5c에 도시된 퍽 정렬 특징부들(510)의 수 및 배치는 예에 불과하고, 도 5b 및 도 5c에 도시된 것과 상이한 장소들 및/또는 상이한 패턴일 수 있는 3개보다 많거나 그보다 적은 퍽 정렬 특징부들(510)일 수 있다. 일부 실시예들에서, 퍽 정렬 특징부들(510)의 수 및 배치는 3차원 공간에서 6개의 자유도들, 또는 대안적으로, 퍽(502)의 전달 표면(504)과 전반적으로 평행한 평면에서 3개의 자유도들로, 도 6a 내지 도 7b에 예시된 정렬기(104) 내의 척(602)과, 도 8a 내지 도 9b에 예시된 테스트 셀(110) 내의 척(802) 위에서 퍽 캐리어(500)를 운동학적으로 정렬하는 것과 같을 수 있다.
도 5b 및 도 5c에서 예시된 바와 같이, 리프트 결합 기구(512)가 퍽(502)의 반대 표면(508) 위에 또는 퍽(502)의 반대 표면(508)으로 배치될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 리프트 결합 기구(512)는 도 6a 내지 도 7b에 예시된 정렬기(104) 내의 리프트(618)와, 도 8a 내지 도 9b에 예시된 테스트 셀(110) 내의 퍽 리프트(818)를 결합할 수 있다. 리프트 결합 기구(512) 및 리프트(618)는 퍽(502)을 특정 방위로 향하게 하는 유사하게 연동하는 불규칙적인 형상(interlocking irregular shape)들을 가질 수 있다.
도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같은 퍽 캐리어(500)는 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 퍽 캐리어(500)는 도 5a 내지 도 5c에 예시된 특징들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 퍽 캐리어(500)는 도 5a 내지 도 5c에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 퍽 캐리어(500)는 도 5a 내지 도 5c에 도시된 것과 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 5c에 도시된 바와 같이, 퍽 캐리어(500)는 (위에서 설명되어 있는) 하나 이상의 온도 제어 장치들(210)을 포함할 수 있다. 대안적으로, 퍽 캐리어(500)는 온도 제어 장치(210)를 포함하지 않는다. 또 다른 예로서, 퍽 캐리어(500)는 DUT(112) 주위에 독립적인 청정룸 환경을 제공할 수 있는 커버 및 밀봉 기구(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 예를 들어, 기계적 클램프 등과 같은 다른 유형들의 체결 기구들에 의해 퍽(502)의 전달 표면(504)에 체결될 수 있다. 이에 따라, 진공 홈들(506)은 또 다른 유형의 체결 기구로 대체될 수 있다.
도 6a 내지 도 6b는 발명의 일부 실시예들에 따라 퍽 캐리어(500) 위에서 DUT(112)를 정렬하기 위해 이용될 수 있는 정렬기(104)의 구성의 예를 예시한다. 도 6a의 절개부(cutout)(600)는 정렬기(104)의 내부의 일부를 도시한다. 도시된 바와 같이, 도 6a 및 도 6b의 정렬기(104)는 도 3에 대하여 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이 액세스 도어(122)를 갖는 하우징(302)을 포함할 수 있다. 또한, 정렬기(104)는 도 3에 대하여 위에서 전반적으로 또한 논의된 바와 같이, 하나 이상의 카메라들(304), 카메라 정렬 특징부들(312)을 갖는 카메라 마운트(310), 및 카메라 마운트(310)를 이동시키기 위한 이동 기구(314)를 포함할 수 있다. 또한, 도 6a 및 도 6b의 정렬기(104)는 도 3에 대하여 위에서 또한 논의된 바와 같이 제어기(408) 및 메모리(316)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 3과 상이하게, 도 6a 및 도 6b에 예시된 정렬기(104)의 실시예는 도 3의 이동 기구(306)의 예들일 수 있는 스테이지(616), 리프트(618), 및 이동가능한 척(602)을 포함할 수 있다.
도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 척(602)은 상측 표면(604)을 가질 수 있고, 퍽 캐리어(500)가 위치될 수 있는 상측 표면(604)에는 공동(606)이 있을 수 있다. 공동(606)의 하측 표면(608)은 공동 정렬 특징부들(610)을 가질 수 있고, 이 공동 정렬 특징부들(610)은 위에서 논의된 바와 같이, 퍽(502)의 퍽 정렬 특징부들(510)에 대응할 수 있다. 공동(606)은 퍽(502)의 두께(TP)와 대략 동일한 깊이(D)를 가질 수 있으므로, 도 7b에 전반적으로 예시된 바와 같이, 퍽 정렬 특징부들(510)이 공동 정렬 특징부들(610)과 결합되는 동안, 척(602)의 상측 표면(604) 및 퍽(502)의 전달 표면(504)은 실질적으로(즉, 대략) 동일 평면이다. DUT(112)가 상측 표면(604) 및 전달 표면(504)의 둘 모두 위에 배치되지만, 정렬기(104)에서 정렬되는 동안에 손상 또는 파손되지 않는 경우, 상측 표면(604) 및 전달 표면(504)은 실질적으로 동일 평면이다. 대안적으로, 퍽(502)의 전달 표면(504), 척(602)의 상측 표면(604), 공동(606)의 하측 표면(608), 공동 정렬 특징부들(610), 및/또는 퍽 정렬 특징부들(510)의 하나 이상은 상측 표면(604) 및/또는 전달 표면(504)의 이동을 가능하게 하기 위하여 도면들의 "z" 방향에서 충분히 유연성(예를 들어, 신축성)이 있을 수 있으므로, 상측 표면(604) 및 전달 표면(504)은 실질적으로 동일 평면이다.
또한, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 척(602)의 상측 표면(604)에는 하나 이상의 진공 홈들(614)이 있을 수 있다. 기구들(도시되지 않음) 및 다른 장비(도시되지 않음)는 진공 홈들(614)에서 진공을 생성, 유지 및 해제하기 위해 선택적으로 제공될 수 있다. 이러한 기구들(도시되지 않음)은 하나 이상의 접속 노즐들(도시되지 않음) 및 노즐들(도시되지 않음)로부터 진공 홈들(614)까지의 통로들을 포함할 수 있다. 홈들(614)에서의 진공은 상측 표면(604) 위의 정 위치에서 DUT(112)를 체결할 수 있고, 진공의 해제는 DUT(112)를 해제할 수 있으므로, DUT(112)는 상측 표면(604) 위에서 이동될 수 있거나, 상측 표면(604)으로부터 멀어지도록 이동될 수 있다. 도 6a 및 도 6b에 도시된 진공 홈들(614)의 수, 형상 및 패턴은 예에 불과하고, 도시된 것과는 상이할 수 있다.
또한, 도 6a 및 도 6b에 예시된 바와 같이, 척(602)은 카메라 마운트(310)의 카메라 정렬 특징부들(312)과 결합할 수 있는 척 정렬 특징부들(620)을 가질 수 있다. 캐리어 정렬 특징부들(118)이 도 3에서 카메라 정렬 특징부들(312)에 대해 위에서 설명되는 바와 같이, 척 정렬 특징부들(620)은 구조적으로 그리고 기능적으로 캐리어 정렬 특징부들(118)과 동일하거나 이와 유사할 수 있다. 예를 들어, 척 정렬 특징부들(620)은 공동 정렬 특징부들(610)에 대해 척(602) 위에 위치될 수 있어서, 척 정렬 특징부들(620)은 퍽(502)에 대해 알려진 위치들에 있는 한편, 퍽 정렬 특징부들(510)은 공동 정렬 특징부들(610)과 결합된다. 그 다음으로, 카메라 정렬 특징부들(312)이 척 정렬 특징부들(620)과 결합되는 동안, 카메라들(304)은 퍽(502)에 대해 알려진 위치들에 있고, 위치 및 방위는 퍽 정렬 특징부들(510) 및 공동 정렬 특징부들(610)에 의해 정의될 수 있다.
리프트(618)는 퍽(502)을 공동(606)으로 그리고 퍽(502)을 공동(606)으로부터 이동시킬 수 있는 이동 기구일 수 있다. 언급된 바와 같이, 퍽(502) 및 리프트(618) 내의 리프트 결합 기구(512)는 퍽(502)을 특정한 방위로 향하게 하는 유사하게 연동하는 불규칙적인 형상들을 가질 수 있다. 이동가능한 스테이지일 수 있는 척(602)은 예를 들어, "x,y" 평면에서 이동가능할 수 있고, "z" 축 주위로 회전가능할 수 있다. 스테이지(616)는 리프트(618) 및 척(602)을 활성화 및/또는 제어하기 위한 구동 기구들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 정렬기(104) 내의 DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합을 갖는 도 6a 및 도 6b의 정렬기(104)를 예시한다. 도시된 바와 같이, 퍽(502)은 리프트(618) 위에 배치될 수 있고(예를 들어, 리프트(618)는 도시된 바와 같이 리프트 결합 기구(512)와 결합될 수 있음), 리프트(618)는 퍽(502)을 척(602) 내의 공동(606)으로 이동시킬 수 있고(도 7b), 퍽(502)을 척(602) 내의 공동(606)으로부터 이동시킬 수 있다(도 7a). 도시되어 있지 않지만, (예를 들어, 안내 기구(318)와 같은) 안내 기구들은 초기의 개략적인 방위로 정렬기(104)에서 퍽(502)을 위치시키기 위해 제공될 수 있으므로, 예를 들어, 퍽 정렬 특징부들(510)은 리프트(618)가 퍽(502)을 공동(606)으로 이동시킬 때에 결합하기 위하여 공동 정렬 특징부들(610)과 개략적으로 그러나 충분히 정렬된다. 예를 들어, 위에서 전반적으로 언급된 바와 같이, 리프트 결합 기구(512) 및 리프트(618)는 퍽(502)을 향하게 하는 유사하게 연동하는 불규칙적인 형상들을 가질 수 있으므로, 퍽(502)이 리프트(618)에 결합될 때, 퍽(502) 및 이에 따라, 퍽 정렬 특징부들(510)은 개략적인 초기 방위에서 위치된다. 이에 따라, 리프트 결합 기구들(512) 및 리프트(618)는 도 3의 안내 기구(318)의 예일 수 있다.
이동 기구(314)는 카메라 마운트(310)를 이동시킬 수 있어서, 카메라 정렬 특징부들(312)은 척 정렬 특징부들(620)과의 결합부로 이동되고(도 7b), 이 결합부로부터 이동된다(도 7a). 위에서 언급된 바와 같이, 퍽 정렬 특징부들(510) 및 공동 정렬 특징부들(610)이 결합되고, (도 7b에 도시된 바와 같이) 카메라 정렬 특징부들(312) 및 척 정렬 특징부들(620)이 결합되는 동안, 카메라들(304) 및 퍽 정렬 특징부들(510)은 서로에 대해 알려진 위치들에 있다.
위에서 언급된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라들(304)을 캐리어 정렬 특징부들(118)에 결합하는 특징부들(예를 들어, 카메라 정렬 특징부들(312))을 포함할 필요가 없다. 예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302)에 장착될 수 있거나, 하우징(302) 내의 다른 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있다. 이러한 경우, 카메라들(304)의 위치들은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려지지 않을 수 있고, 카메라들(304)은 DUT 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114)의 단자들) 및 캐리어 정렬 특징부들(118)의 둘 모두의 이미지들을 캡처할 수 있고, 그 이미지들은 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동하기 위하여 제어기(308)(및/또는 인간 조작자)에 의해 이용될 수 있다.
위에서 언급된 바와 같이, 진공 홈들(506)에서 진공을 생성 또는 해제함으로써, DUT(112)는 퍽(502)의 전달 표면(504)에 체결될 수 있고, 퍽(502)의 전달 표면(504)으로부터 체결해제될 수 있다. 진공 홈들(614)에서 진공을 생성 또는 해제함으로써, DUT(112)는 유사하게 척(602)의 상측 표면(604)에 체결될 수 있고, 척(602)의 상측 표면(604)으로부터 체결해제될 수 있다. 척(602)의 상측 표면(604)에 체결되고 퍽(502)의 전달 표면으로부터 해제되는 동안, 척(602)은 DUT 정렬 특징부들(212)을 퍽 정렬 특징부들(510)에 대해 위치시키기 위하여 DUT(112)를 퍽(502)에 대해 이동시킬 수 있고, 퍽 정렬 특징부들(510)은 도 2a 및 도 2b의 캐리어 정렬 특징부들(118)과 동등할 수 있다. 이에 따라, 척은 DUT(112)를 퍽 캐리어(500) 위에서 정렬된 위치로 이동시킬 수 있다.
도 6a 내지 도 7b에 도시된 정렬기(104)의 구성은 예에 불과하다. 이에 따라, 예를 들어, 정렬기(104)는 도 6a 내지 도 7b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 정렬기(104)는 도 6a 내지 도 7b에 도시되지 않은 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 정렬기(104)는 도 6a 내지 도 7b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 3에 대해 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라 정렬 특징부들(312), 카메라 마운트(310), 또는 이동 기구(314)를 포함할 필요가 없다(예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302)에 장착될 수 있거나, 하우징(302) 내의 다른 구조 또는 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있음). 이러한 경우, 척(602)은 척 정렬 특징부들(620)을 포함할 필요가 없다. 또 다른 예로서, 2개의 카메라들(304)이 도시되어 있지만, 대안적으로, 오직 하나의 카메라(304) 또는 2개를 초과하는 카메라들(304)이 있을 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)를 갖지 않는 퍽(502)은 (예를 들어, 공동 정렬 특징부들(610)에 결합된 퍽 정렬 특징부들(510)을 갖는) 공동(606) 내에 초기에 배치될 수 있고, 그 후, DUT(112)는 정렬기(104)로 삽입될 수 있고, 퍽(502)의 전달 표면(504) 및 척(602)의 상측 표면(604) 위에 위치될 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 예를 들어, 기계적 클램프(mechanical clamp), 정전기 클램프(electro-static clamp), 등과 같은 다른 유형들의 체결 기구들에 의해 척(602)의 상측 표면(604)에 체결될 수 있다. 이에 따라, 진공 홈들(614)은 또 다른 유형의 체결 기구에 의해 대체될 수 있다. 또 다른 예로서, 이동가능한 리프트들(1102) 및/또는 스테이지(1104)는 멤브레인 캐리어(1000)에 대해 DUT(112)를 이동시키기 위한 다른 유형들의 이동 기구들로 대체될 수 있다. 예를 들어, 모터 구동 스테이지 또는 척 등은 이동가능한 리프트들(1102) 및/또는 스테이지(1104)를 대체할 수 있다. 또 다른 예로서, 멤브레인 캐리어(1000)의 전달 표면(1004) 위에서 DUT(112)를 이동시키기 위하여, 에어 제트들을 DUT(112)의 부분들에 선택적으로 보내기 위한 장비는 리프트들(1102) 및/또는 스테이지(1104)를 대체할 수 있다. 또 다른 예로서, 전달 표면(1004) 위에서 DUT(112)를 이동시키는 정전기 전하들을 선택적으로 생성하기 위한 장비는 리프트들(1102) 및/또는 스테이지(1104)를 대체할 수 있다. 리프트들(1102) 및/또는 스테이지(1104)를 위한 대체물들의 상기한 예들의 전부는 도 3의 이동 기구(306)의 예들일 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 발명의 일부 실시예들에 따라 DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합을 테스트하기 위해 이용될 수 있는 테스트 셀(110)의 구성의 예를 예시한다. 도 8a의 절개부(800)는 테스트 셀(110)의 내부의 일부를 도시한다. 도시된 바와 같이, 도 8a 및 도 8b의 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 전반적으로 설명된 바와 같이, 액세스 도어(124)를 갖는 하우징(402)을 포함할 수 있다. 또한, 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 전기적 접속부들(404), 프로브들(410)을 갖는 컨택터(408), 컨택터 정렬 특징부들(412), 밀봉부들(414), 및 압력 제어기 장치(416)를 포함할 수 있다. 또한, 도 8a 및 도 8b의 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 또한 논의된 바와 같이, 제어기(418) 및 메모리(420)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 4a 및 도 4b와 상이하게, 도 8a 및 도 8b에 예시된 테스트 셀(110)의 실시예는 도 4a 및 도 4b의 리프트(406)의 예들일 수 있는 척(802), 척 리프트(816), 및 퍽 리프트(818)을 포함할 수 있다.
척(802)은 척(602)과 유사할 수 있고, 유사한 소자들 및 특징부들을 가질 수 있다. 예를 들어, 도시된 바와 같이, 척(802)은 상측 표면(804)을 가질 수 있고, 퍽 캐리어(500)가 위치될 수 있는 상측 표면(804) 내에는 공동(806)이 있을 수 있다. 공동(806)의 하측 표면(808)은 공동 정렬 특징부들(810)을 가질 수 있고, 이 공동 정렬 특징부들(810)은 퍽(502)의 퍽 정렬 특징부들(510)에 대응할 수 있고 이것과 결합할 수 있다. 공동(806)은 퍽(502)의 두께(TP)와 대략 동일한 깊이(D)를 가질 수 있으므로, 도 9b에서 전반적으로 예씨된 바와 같이, 척(802)의 상측 표면(804) 및 퍽(502)의 전달 표면(504)은 퍽 정렬 특징부들(510)이 공동 정렬 특징부들(810)과 결합되는 동안에 실질적으로(즉, 대략) 동일 평면이다. DUT(112)가 상측 표면(804) 및 전달 표면(504)의 둘 모두 위에 배치되지만, 프로브들(410)에 의해 접촉되는 동안에 손상 또는 파손되지 않는 경우, 상측 표면(804) 및 전달 표면(504)은 실질적으로 동일 평면이다.
또한, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 척(802)의 상측 표면(804)에는 하나 이상의 진공 홈들(814)이 있을 수 있다. 기구들(도시되지 않음) 및 다른 장비(도시되지 않음)는 진공 홈들(814)에서 진공을 생성, 유지, 및 해제하기 위해 선택적으로 제공될 수 있다. 이러한 기구들(도시되지 않음)은 하나 이상의 접속 노즐들(도시되지 않음) 및 노즐들(도시되지 않음)로부터 진공 홈들(814)까지의 통로들을 포함할 수 있다. 홈들(814)에서의 진공은 상층 표면(804) 위의 정 위치에서 DUT(112)를 체결할 수 있고, 진공의 해제는 상측 표면(804)으로부터 DUT(112)를 체결해제할 수 있다. 도 8a 및 도 8b에 도시된 진공 홈들(814)의 수, 형상 및 패턴은 예에 불과하고, 도시된 것과는 상이할 수 있다.
또한, 도 8a 및 도 8b에 예시된 바와 같이, 척(802)은 척 정렬 특징부들(820)을 가질 수 있고, 이 척 정렬 특징부들(820)은 컨택터 정렬 특징부들(412)과 결합할 수 있다. 척 정렬 특징부들(820)은 도 4a 및 도 4b에 대하여 위에서 설명된 바와 같이, 캐리어 정렬 특징부들(118)과 구조적으로 그리고 기능적으로 동일하거나 유사할 수 있다. 예를 들어, 척 정렬 특징부들(820)은 공동 정렬 특징부들(810)에 대해 척(802) 위에 위치될 수 있어서, 퍽 정렬 특징부들(510)이 공동 정렬 특징부들(810)과 결합되는 동안, 척 정렬 특징부들(820)은 퍽(502)에 대해 알려진 위치들에 있다. 위에서 언급된 바와 같이, 프로브들(410)은 컨택터 정렬 특징부들(412) 및 공동 정렬 특징부들(810)에 대해 알려진 위치들에 있을 수 있고, DUT 정렬 마크들(212), 및 이에 따라, DUT(112)의 단자들(114)은 정렬기(104)에서 퍽 정렬 특징부들(510)에 대한 대응하는 알려진 위치들에 정렬되었다. 따라서, 컨택터 정렬 특징부들(412)이 척 정렬 특징부들(820)과 결합되고 퍽 정렬 특징부들(510)이 공동 정렬 특징부들(810)과 결합되는 동안, 프로브들(410)은 단자들(114)과 정렬된다.
리프트(818)는 퍽(502)을 공동(806)으로 이동시킬 수 있고 퍽(502)을 공동(806)으로부터 이동시킬 수 있는 이동 기구일 수 있다. 척 리프트(816)는 척(802) 및 이에 따라, 척 정렬 특징부들(802)을 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 결합부로 그리고 이 결합부로부터 이동시킬 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 테스트 셀(110)에서 DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합을 갖는 도 8a 및 도 8b에 예시된 테스트 셀(110)을 예시한다. 리프트(818)는 위에서 설명된 바와 같은 리프트(618)와 같을 수 있다. 즉, 퍽(502)은 리프트(818) 위에 배치될 수 있고(예를 들어, 리프트(818)는 도시된 바와 같이 리프트 결합 기구(512)와 결합될 수 있음), 리프트(818)는 퍽(502)을 척(802) 내의 공동(806)으로 이동시킬 수 있고(도 7b와 유사함), 퍽(502)을 척(802) 내의 공동(806)으로부터 이동시킬 수 있다(도 7a와 유사함). 도시되어 있지 않지만, (예를 들어, 안내 기구(422)와 같은) 안내 기구들은 초기의 개략적인 방위로 테스트 셀(110)에서 퍽(502)을 위치시키기 위해 제공될 수 있으므로, 예를 들어, 퍽 정렬 특징부들(510)은 리프트(818)가 퍽(502)을 공동(806)으로 이동시킬 때에 결합하기 위하여 공동 정렬 특징부들(810)과 개략적으로 그러나 충분히 정렬된다. 예를 들어, 리프트 결합 기구(512) 및 리프트(818)는 퍽(502)을 향하게 하는 유사하게 연동하는 불규칙적인 형상들을 가질 수 있으므로, 퍽(502)이 리프트(818)에 결합될 때, 퍽(502) 및 이에 따라, 퍽 정렬 특징부들(510)은 개략적인 초기 방위에서 위치된다. 이에 따라, 리프트 결합 기구들(512) 및 리프트(818)는 도 4의 안내 기구(422)의 예일 수 있다. 이러한 안내 기구들(도시되지 않음)의 다른 예들은 안내 레일들(도시되지 않음) 등을 포함할 수 있다.
척 리프트(816)는 척(802)을 이동시킬 수 있어서, 척 정렬 특징부들(820)은 도 9a에 도시된 바와 같이, 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 결합부로부터 이동된다. 또한, 척 리프트(816)는 척(802)을 이동시킬 수 있어서, 척 정렬 특징부들(820)은 도 9b에 도시된 바와 같이, 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 결합부로 이동된다. 위에서 논의된 바와 같이, 압력 제어기(416)는 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공기 압력을 증가 또는 감소시킬 수 있다.
위에서 언급된 바와 같이, 진공 홈들(506)에서 진공을 생성 또는 해제함으로써, DUT(112)는 퍽(502)의 전달 표면(504)에 체결될 수 있고 퍽(502)의 전달 표면(504)으로부터 체결해제될 수 있다. 진공 홈들(814)에서 진공을 생성 또는 해제함으로써, DUT(112)는 척(802)의 상측 표면(804)에 유사하게 체결될 수 있고, 척(802)의 상측 표면(804)으로부터 체결해제될 수 있다.
도 8a 내지 도 9b에 예시된 테스트 셀(110)의 구성은 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 테스트 셀(110)은 도 8a 내지 도 9b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 테스트 셀(110)은 도 8a 내지 도 9b에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 테스트 셀(110)은 도 8a 내지 도 9b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, DUT(112)는 예를 들어, 기계적 클램프 등과 같은 다른 유형들의 체결 기구들에 의해 척(802)의 상측 표면(804)에 체결될 수 있다. 이에 따라, 진공 홈들(814)은 또 다른 유형의 체결 기구로 대체될 수 있다. 또 다른 예로서, 테스트 셀(110)은 압력 제어기(416) 또는 밀봉부들(414)을 포함할 필요가 없다.
도 10a 및 도 10b는 멤브레인 캐리어(1000) 형태인 캐리어(116)의 실시예의 예를 예시한다. 도 11a 및 도 11b는 멤브레인 캐리어(1000)를 위해 구성된 정렬기(104)의 실시예를 예시하고, 도 12a 및 도 12b는 멤브레인 캐리어(1000)를 위해 구성된 테스트 셀(110)의 실시예를 예시한다.
언급된 바와 같이, 도 10a 및 도 10b의 멤브레인 캐리어(1000)는 발명의 일부 실시예들에 따른 캐리어(116)의 예이다. 이에 따라, 멤브레인 캐리어(1000)는 도 1 내지 도 4b의 임의의 도면 및 그 도면들의 상기 논의된 내용에서 캐리어(116)를 대체할 수 있다. 또한, 멤브레인 캐리어(1000)에 대해 구체적으로 언급되지 않더라도, 멤브레인 캐리어(1000)는 캐리어(116)에 대해 본 명세서에서 논의된 특징부들 또는 변형들을 포함할 수 있다.
도시된 바와 같이, 멤브레인 캐리어(1000)는 전달 표면(1004)을 갖는 멤브레인 기판(1002)을 포함할 수 있고, 이 전달 표면(1004) 위에는, (도 10a 및 도 10b에서 점선들로 도시된) DUT(112)가 위치될 수 있다. 멤브레인 기판(1002)은 기판(예를 들어, 물질의 블록) 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 멤브레인 기판(1002)은 금속 판, 또는 세라믹 판 등을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 멤브레인 기판(1002)의 두께(TM)는 DUT(112)의 두께(TD)와 동일하거나 그보다 작을 수 있다. 예를 들어, 두께(TM)는 DUT(112)의 두께(TD)의 90 퍼센트(percent), 80 퍼센트, 70 퍼센트, 60 퍼센트, 50 퍼센트, 40 퍼센트, 또는 그보다 작을 수 있다. 대안적으로, 두께(TM)는 두께(TD)의 상이한 백분율(percentage)일 수 있거나, 두께(TM)는 TD와 동일하거나 그보다 클 수 있다. 멤브레인 기판(1002)의 두께(TM)가 상대적으로 작을 수 있는 것은 멤브레인 캐리어(500)가 더 큰 캐리어(116)에 비해 더 작은 크기 및/또는 열 질량을 가지도록 할 수 있다. 이에 따라, 멤브레인 캐리어(1000)가 더 작을 수 있는 것은 일부 실싱예들에서, 감소된 제조 비용 및 감소된 열 질량과 같은 장점들을 제공할 수 있다.
하나 이상의 진공 홈들(1006)은 전달 표면(1004)에서 제공될 수 있다. 기구들(도시되지 않음) 및 다른 장비(도시되지 않음)는 진공 홈들(1004)에서 진공을 생성, 유지 및 해제하기 위하여 선택적으로 제공될 수 있다. 이러한 기구들(도시되지 않음)은 하나 이상의 접속 노즐들(도시되지 않음) 및 노즐들(도시되지 않음)로부터 진공 홈들(1006)까지의 통로들을 포함할 수 있다. 홈들(1006)에서의 진공은 전달 표면(1004) 위의 정 위치에서 DUT(112)를 체결할 수 있고, 진공의 해제는 DUT(112)를 해제할 수 있으므로, DUT(112)는 전달 표면(1004) 위에서 이동될 수 있다. 이에 따라, 진공을 생성하고 해제하기 위한 진공 홈들(1006) 및 연관된 기구들은 도 2a 및 도 2b의 체결 기구(208)의 예일 수 있다. 멤브레인 기판(1002)은 기계적 클램프들 등과 같은 상이한 유형의 체결 기구를 대안적으로 포함할 수 있다. 도 10a 및 도 10b에 도시된 진공 홈들(1006)의 수, 형상 및 패턴은 예에 불과하고, 도시된 것과는 상이할 수 있다.
도시된 바와 같이, 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)은 DUT(112)의 크기보다 클 수 있다. 또한, 도시된 바와 같이, 멤브레인 기판(1002)은 위에서 논의된 바와 같은 캐리어 정렬 특징부들(118)을 포함할 수 있다. 정렬 특징부들(118)은 전달 표면(1004) 위의 영역의 외부에 배치될 수 있고, 전달 표면(1004) 위에는, DUT(112)가 배치될 수 있다. 또한, 멤브레인 기판(1002)은 리프트 구멍(lift hole)들(1008)을 포함할 수 있고, 이 리프트 구멍들(1008)은 전달 표면(1004) 위의 영역 내의 맴브레인 기판(1002)에서 배치될 수 있고, 전달 표면(1004) 위에는, DUT(112)가 배치될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 리프트 구멍들(1008)은 이동가능한 리프트(moveable lift)들(1102)(도 11a 및 도 11b 참조)이 멤브레인 기판(1002)을 통과하고 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1104)으로부터 DUT(112)를 들어올리도록 할 수 있다. 또한, 알 수 있는 바와 같이, 리프트 구멍들(1008)은 이동가능한 리프트들(1102)보다 클 수 있고, 이것은 이동가능한 리프트들(1102) 및 이에 따라, DUT(112)가 "x,y" 평면에서 이동하고 및/또는 멤브레인 기판(1002)에 대해 "z" 축 주위로 회전하도록 할 수 있다. 물론, 리프트 구멍들(1008) 및 이동가능한 리프트들(1102)의 크기 사이의 차이가 클수록, 이동가능한 리프트들(1102)이 멤브레인 캐리어(1002)에 대해 이동할 수 있는 거리가 커진다. 일부 실시예들에서, 각각의 리프트 구멍들(1008)은 이동가능한 리프트(1102)의 크기의 1.25배, 1.5배, 1.75배, 2.8배, 또는 그보다 큰 배수일 수 있다.
도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같은 멤브레인 캐리어(1000)는 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 멤브레인 캐리어(1000)는 도 10a 및 도 10b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 멤브레인 캐리어(1000)는 도 10a 및 도 10b에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 멤브레인 캐리어(1000)는 도 10a 및 도 10b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 10b에 도시된 바와 같이, 멤브레인 캐리어(1000)는 (위에서 설명되는) 하나 이상의 온도 제어 장치(210)를 포함할 수 있다. 대안적으로, 멤브레인 캐리어(1000)는 온도 제어 장치(210)를 포함하지 않는다. 또 다른 예로서, 멤브레인 캐리어(1000)는 DUT(112) 주위에 독립적인 청정룸 환경을 제공할 수 있는 커버 및 밀봉 기구(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, DUT(112)는 예를 들어, 기계적 클램프 등과 같은 다른 유형들의 체결 기구들에 의해 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)에 체결될 수 있다. 이에 따라, 진공 홈들(1006)은 또 다른 유형의 체결 기구로 대체될 수 있다. 또 다른 예로서, 리프트 구멍들(1008) 및/또는 캐리어 정렬 특징부들(118)의 수, 배치, 및 패턴은 도 10a 및 도 10b에 도시된 것과는 상이할 수 있다.
도 11a 및 도 11b는 발명의 일부 실시예들에 따라 멤브레인 캐리어(1000) 위에서 DUT(112)를 정렬하기 위해 이용될 수 있는 정렬기(104)의 구성의 예를 예시한다. 도시된 바와 같이, 도 11a 및 도 11b의 정렬기(104)는 도 3에 대하여 위에서 전반적으로 논의된 바와 같은 액세스 도어(122)를 갖는 하우징(302)을 포함할 수 있다. 또한, 정렬기(104)는 하나 이상의 카메라들(304), 카메라 정렬 특징부들(312)을 갖는 카메라 마운트(310), 및 도 3에 대하여 위에서 전반적으로 또한 논의된 바와 같이 카메라 마운트(310)를 이동시키기 위한 이동 기구(314)를 포함할 수 있다. 또한, 도 11a 및 도 11b의 정렬기(104)는 도 3에 대하여 위에서 또한 논의된 바와 같이 제어기(308) 및 메모리(316)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 3과 상이하게, 도 11a 및 도 11b에 예시된 정렬기(104)의 실시예는 도 3의 이동 기구(306)의 예들일 수 있는 스테이지(1104) 및 이동가능한 리프트들(1102)을 포함할 수 있다.
도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 스테이지(1104)는 멤브레인 캐리어(1000)를 지탱할 수 있다. 이에 따라, 멤브레인 캐리어(1000)는 도 11a에 도시된 바와 같이 스테이지(1104) 위에 위치될 수 있어서, 이동가능한 리프트들(1102)은 도 11a에 도시된 바와 같이, 스테이지(1104)로부터 멤브레인 캐리어(1000) 내의 리프트 구멍들(1008)로 연장되거나, 멤브레인 캐리어(1000) 내의 리프트 구멍들(1008)을 통해 연장된다. (도 11a에서, 리프트 구멍들(1008)은 도 11a 및 도 11b에 도시된 도면의 멤브레인 기판(1002) 내부에 있을 수 있으므로, 리프트 구멍들(1008)은 점선들로 도시되어 있고, 리프트 구멍들(1008)의 내부에 있는 이동가능한 리프트들(1102)의 부분들도 점선들로 도시되어 있다.) 위에서 언급된 바와 같이, 진공 홈들(1006)에서 진공을 생성 또는 해제함으로써, DUT(112)는 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)에 체결될 수 있고, 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)으로부터 체결해제될 수 있다.
스테이지(1104)는 (도시된 바와 같은 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)에 수직일 수 있는) "z" 축을 따라 이동가능한 리프트들(1102)을 이동시키기 위한 기구들(도시되지 않음)을 포함할 수 있고, 이에 따라, 도 11b에 도시된 바와 같이, 전달 표면(1004)으로부터 DUT(112)를 들어올릴 수 있다. 또한, 스테이지(1104)는 (도시된 바와 같은 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)에 대해 평행할 수 있는) "x,y" 평면에서 이동가능한 리프트들(1102)을 이동시키고 및/또는 "z" 축 주위로 이동가능한 리프트들(1102)을 회전시키기 위한 기구들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 위에서 논의된 바와 같이, 멤브레인 기판(1002) 내의 리프트 구멍들(1008)이 이동가능한 리프트들(1102)보다 더 클 정도까지, 스테이지(1104)는 DUT(112)를 "x,y" 평면에서 이와 같이 이동시킬 수 있고, 및/또는 멤브레인 기판(1002)에 대하여 "z" 축 주위로 DUT(112)를 회전시킬 수 있다. 다음 동작을 2회 이상 반복함으로써, DUT(112)는 리프트 구멍들(1008) 및 이동가능한 리프트들(1102)의 크기 차이보다 더 큰 거리만큼 멤브레인 기판(1002)에 대해 이동될 수 있다: 리프트 구멍들(1008) 내의 제 1 위치의 이동가능한 리프트들(1102)에 의해, 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)으로부터 DUT(112)를 들어올리는 동작, 이동가능한 리프트들(1102)(및 이에 따라, DUT(112))을 멤브레인 기판(1002)에 대해 이동시키는 동작, DUT(112)를 다시 전달 표면(1004) 위로 낮추는 동작, 및 이동가능한 리프트들(1102)을 리프트 구멍들(1008) 내의 제 1 위치로 다시 이동시키는 동작. 따라서, 진공 홈들(1006)에서 진공이 없고, 이에 따라, DUT(112)는 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)으로부터 체결해제되지만, 스테이지(1104)는 이동가능한 리프트들(1102)을 이동시킴으로써 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004) 위에서 정렬 특징부들(118)에 대해 정렬된 위치로 DUT(112)를 이동시킬 수 있다.
도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 이동 기구(314)는 캐리어 정렬 특징부들(118)과의 기계적 결합부로 그리고 캐리어 정렬 특징부들(118)과의 기계적 결합부로부터 카메라 마운트(310)의 카메라 정렬 특징부들(312)을 이동시킬 수 있다. 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 카메라 정렬 특징부들(312) 및 캐리어 정렬 특징부들(118)이 결합되는 동안, 카메라들(304)은 카메라 정렬 특징부들(312) 및, 이에 따라, 또한, 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려진 위치들에 있을 수 있다. 따라서, 카메라들(304)에 의해 얻어지는 (위에서 논의된 바와 같이, 단자들(114)의 일부들일 수 있는) DUT 정렬 특징부들(212)의 이미지들은 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004) 위에서 정렬된 위치로 DUT(112)를 이동시키기 위해 이용될 수 있다.
위에서 언급된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라들(304)을 캐리어 정렬 특징부들(118)에 결합하는 특징부들(예를 들어, 카메라 정렬 특징부들(312))을 포함할 필요가 없다. 예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302) 또는 하우징(302) 내의 다른 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있다. 이러한 경우, 카메라들(304)의 위치들은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려지지 않을 수 있고, 카메라들(304)은 DUT 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114)의 단자들) 및 캐리어 정렬 특징부들(118) 둘 모두의 이미지들을 캡처할 수 있고, 그 이미지들은 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여 제어기(308)(및/또는 인간 조작자)에 의해 이용될 수 있다. 또 다른 예로서, 카메라들(304)은 정렬 특징부들(118)에 대해, 그리고 하우징(302) 내에 있지만 카메라들(304)에 직접 결합되지 않은 클램프(도시되지 않음) 또는 유사한 장치의 정렬 특징부들(도시되지 않지만, 카메라 정렬 특징부들(312)과 유사할 수 있음)에 대해 알려진 위치들에 있을 수 있다. 클램프 또는 다른 장치(도시되지 않음)의 그 정렬 특징부들(도시되지 않음)은 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합할 수 있고, 이에 따라, 캐리어 정렬 특징부들(18)이 카메라들(304)에 대해 알려진 위치들에 있는 위치로 멤브레인 캐리어(1000)를 이동시킬 수 있다.
도 11a 및 도 11b에 도시된 정렬기(104)의 구성은 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 정렬기(104)는 도 11a 및 도 11b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 정렬기(104)는 도 11a 및 도 11b에 도시된 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 정렬기(104)는 도 11a 및 도 11b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 3에 대해 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라 정렬 특징부들(312), 카메라 마운트(310), 또는 이동 기구(314)를 포함할 필요가 없다(예를 들어, 카메라들(304)은 하우징(302) 또는 하우징(302) 내의 또 다른 구조 또는 구조들(도시되지 않음)에 장착될 수 있음). 또 다른 예로서, 위에서 논의된 바와 같이, 캐리어 정렬 특징부들(118)과 기계적으로 결합하고 이에 따라, 멤브레인 캐리어(1000)를 카메라들(304)에 대해 미리 결정된 위치로 이동시키는 하우징(302) 내의 기계적 결합 기구(도시되지 않음)가 있을 수 있다. 또 다른 예로서, 2개의 카메라들(304)이 도시되어 있지만, 대안적으로, 오직 하나의 카메라(304) 또는 2개를 초과하는 카메라들(304)일 수 있다. 또 다른 예로서, 도 11a 및 도 11b에 도시된 것보다 더 많거나 더 적은 이동가능한 리프트들(1102)이 있을 수 있고, 이동가능한 리프트들(1102)은 도 11a 및 도 11b에 도시된 것과는 상이한 위치들 또는 패턴들로 배치될 수 있다.
도 12a 및 도 12b는 발명의 일부 실시예들에 따라 DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000) 조합을 테스트하기 위해 이용될 수 있는 테스트 셀(110)의 구성의 예를 예시한다. 도시된 바와 같이, 도 12a 및 도 12b의 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 전반적으로 논의된 바와 같이 액세스 도어(124)를 갖는 하우징(402)을 포함할 수 있다. 또한, 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 일반적으로 또한 논의된 바와 같이, 전기적 접속부들(404), 프로브들(410)을 갖는 컨택터(408), 컨택터 정렬 특징부들(412), 밀봉부들(414), 및 압력 제어기 장치(416)를 포함할 수 있다. 또한, 도 12a 및 도 12b의 테스트 셀(110)은 도 4a 및 도 4b에 대해 위에서 또한 논의된 바와 같이, 제어기(418) 및 메모리(420)를 포함할 수 있다. 그러나, 도 4a 및 도 4b와 상이하게, 도 12a 및 도 12b에 예시된 테스트 셀(110)의 실시예는 도 4a 및 도 4b의 리프트(406)의 예들일 수 있는 척(1202) 및 척 리프트(1204)를 포함할 수 있다. 도 12a 및 도 12b에 도시된 바와 같이, 스테이지(1104)는 DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000) 조합을 지탱할 수 있고, DUT는 도 11a 및 도 11b에 도시된 정렬기(104)에서 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004) 위에서 정렬된 위치로 이동되었고 이 정렬된 위치에서 체결되었다. 따라서, DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000)는 도 11a에 도시된 바와 같이 스테이지(1104) 위에 위치될 수 있다.
도시되지 않지만, 초기의 개략적인 방위로 테스트 셀(110)에서 DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000)를 안내하기 위한 안내 기구들이 하우징(403) 내에 제공될 수 있으므로, 예를 들어, 캐리어 정렬 특징부들(118)은 컨택터 정렬 특징부들(412)과 개략적으로 그러나 충분히 정렬된다. 이러한 안내 기구들(도시되지 않음)의 예들은 안내 레일들, 정지 구조들 등(도시되지 않음)을 포함할 수 있다.
도시된 바와 같이, 척 리프트(1204)는 척(1202)을 이동시킬 수 있어서, 캐리어 정렬 특징부들(118)은 도 12a에 도시된 바와 같이 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 결합부로부터 이동된다. 또한, 척 리프트(1204)는 척(1202)을 이동시킬 수 있어서, 캐리어 정렬 특징부들(118)은 도 12b에 도시된 바와 같이 컨택터 정렬 특징부들(412)과의 결합부로 이동된다. 위에서 논의된 바와 같이, 압력 제어기(416)는 컨택터(408) 및 DUT(112) 사이의 공기 압력을 증가 또는 감소시킬 수 있다.
도 12a 및 도 12b에 예시된 테스트 셀(110)의 구성은 예에 불과하다. 따라서, 예를 들어, 테스트 셀(110)은 도 12a 및 도 12b에 예시된 특징부들 또는 소자들의 전부를 포함할 필요가 없고, 테스트 셀(110)은 도 12a 및 도 12b에 도시되지 않은 추가적인 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있고, 테스트 셀(110)은 도 12a 및 도 12b에 도시된 것과는 상이한 특징부들 또는 소자들을 가질 수 있다. 또 다른 예로서, 테스트 셀(110)은 압력 제어기(416) 또는 밀봉부들(414)을 포함할 필요가 없다.
발명의 일부 실시예들에 따른 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 예와, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)의 소자들의 실시예들의 다양한 예들은 위에서 예시되고 설명되었다. 멀티-DUT 테스트 시스템(100)에서 DUT들(112)을 테스트하기 위한 프로세스들의 예들은 도 13 내지 도 15와 관련하여 지금부터 논의될 것이다. 그러나, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)은 예시의 목적들을 위해 제공되는 도 13 내지 도 15에서 예시된 프로세스들에 따른 동작으로 한정되지 않는다.
위에서 전반적으로 논의된 바와 같이, 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 DUT(112)를 정렬하고, 그 다음으로, DUT(112)가 테스트되는 테스트 셀(110)로 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 적재함으로써, 다수의 DUT들(112)이 멀티-DUT 테스트 시스템(100)에서 테스트될 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)은 다수의 DUT들(112)을 직렬로 테스트하는 것으로 한정되지 않는다. 오히려, 멀티-DUT 테스트 시스템(100)은 다수의 DUT들(112)을 병렬로 테스트할 수 있다.
도 13은 발명의 일부 실시예들에 따라 도 1의 멀티-DUT 테스트 시스템(100)을 동작시키기 위한 프로세스(1300)를 예시한다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1300)는 제어기(126) 상에서 실행될 수 있다. 예를 들어, 메모리(128) 및/또는 하드와이어드 회로(도시되지 않음)에 따라 동작할 때, 제어기(126)는 프로세스(1300)를 구현할 수 있다. 따라서, 프로세스(1300)는 메모리(128) 내에 저장된 프로그램 코드로서 전체적으로 또는 부분적으로 구체화될 수 있다. 대안적으로, 프로세스(1300)는 도 1에 도시되지 않은 다른 장비 상에서 실행될 수 있다. 또 다른 대안으로서, 프로세스(1300)는 인간 조작자에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 수행될 수 있다.
다수의 DUT들(112)(예를 들어, 2개, 3개, 5개, 10개, 20개, 또는 그보다 많음)은 임의의 주어진 시간에서 멀티-DUT 테스트 시스템(100)일 수 있고, DUT들(112)은 시스템(100)에서 상이한 지점들에 있을 수 있다. 도 13을 참조하면, 프로세스(1300)는 루프(loop) 또는 유사한 동작 특징부(예를 들어, 인터럽트로 구동되는 동작 특징부)를 포함할 수 있고, 이 루프 또는 유사한 동작 특징부에서, 프로세스(1300)는 DUT(112)가 상이한 지점으로 이동할 준비가 되어 있는 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 내의 특정한 지점에 하나 이상의 DUT들(112)이 있다는 표시를 대기한다. 3개의 이러한 지점들의 예들이 도 13에 예시되어 있다. 단계(1302)에서, 프로세스(1300)는 하나 이상의 새로운 DUT들(112)이 있는지를 결정할 수 있다. 새로운 DUT(112)는 예를 들어, 적재기(102)로 적재되는 DUT(112)일 수 있다. 단계(1306)에서, 프로세스(1300)는 하나 이상의 DUT들(112)이 정렬기(104) 내의 캐리어(116)에 정렬되었는지를 결정할 수 있고, 단계(1310)에서, 프로세스(1300)는 하나 이상의 DUT들(112)이 테스트 셀(110)에서 테스팅을 완료하였는지를 결정할 수 있다.
단계(1302)에서, 프로세스(1300)는 테스트될 준비가 되어 있는 새로운 DUT(112)(또는 DUT들(112))이 있는지를 결정할 수 있다. 새로운 DUT(112)가 적재기(102)로 적재될 때, 적재기(102)는 신호, 메시지 등을 제어기(126)로 송신할 수 있다. 이에 따라, 단계(1302)는 예를 들어, 이러한 신호 또는 메시지가 적재기(102)로부터 수신되었는지를 결정함으로써 구현될 수 있다. 또 다른 예로서, 프로세스(1300)는 하나 이상의 새로운 DUT들(112)이 있는지를 결정하기 위하여, 단계(1302)에서 적재기(102)에 질의할 수 있다. 프로세스가 단계(1302)에서, 테스트될 준비가 되어 있는 새로운 DUT(112)가 있다고 결정하는 경우, 프로세스(1300)는 단계(1304)에서, 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 새로운 DUT(112)를 정렬하는 프로세스를 시작할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 도 14의 프로세스(1400)는 정렬기(104) 내의 DUT(112)를 정렬하기 위한 프로세스의 예이고, 프로세스(1300)는 단계(1304)에서, 프로세스(1400)를 시작할 수 있다.
단계(1306)에서, 프로세스(1300)는 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동된 정렬기(104) 내의 DUT(112)가 있는지를 결정할 수 있다. 정렬기(104)가 DUT(112)를 캐리어(116)에 정렬하는 프로세스를 완료할 때, 정렬기(104)는 신호, 메시지 등을 제어기(126)로 송신할 수 있다. 이에 따라, 단계(1306)는 예를 들어, 이러한 신호 또는 메시지가 정렬기(104)로부터 수신되었는지를 결정함으로써 구현될 수 있다. 또 다른 예로서, 프로세스(1300)는 단계(1306)에서, 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위의 정렬된 위치에 DUT(112)가 있는지를 결정하기 위하여 정렬기(104)에 질의할 수 있다. 프로세스가 단계(1306)에서, 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위의 정렬된 위치에 DUT(112)가 있다고 결정하는 경우, 프로세스(1300)는 단계(1308)에서, 테스트 셀(110)에서 정렬된 DUT(112)를 테스트하는 프로세스를 시작할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 도 15의 프로세스(1500)는 테스트 셀(110)에서 DUT(112)를 테스트하기 위한 프로세스의 예이고, 프로세스(1300)는 단계(1308)에서, 프로세스(1500)를 시작할 수 있다.
단계(1310)에서, 프로세스(1300)는 테스팅이 완료된 테스트 셀(110) 내의 DUT(112)가 있는지를 결정할 수 있다. 테스트 셀(110)이 DUT를 테스트하는 프로세스를 완료할 때, 테스트 셀(110)은 신호, 메시지 등을 제어기(126)로 송신할 수 있다. 이에 따라, 단계(1310)는 예를 들어, 이러한 신호 또는 메시지가 테스트 셀(110)로부터 수신되었는지를 결정함으로써 구현될 수 있다. 또 다른 예로서, 프로세스(1300)는 단계(1310)에서, 테스팅이 테스트 셀(110)에서 완료되었는지를 결정하기 위하여 테스트 셀들(110)에 질의할 수 있다. 프로세스가 단계(1310)에서, 테스트 셀(110) 내에 테스트된 DUT(112)가 있다고 결정하는 경우, 프로세스(1300)는 단계(1312)에서, 테스트된 DUT의 테스트-이후 처리를 시작할 수 있고, 이 테스트-이후 처리는 테스트 시스템(100)으로부터 테스트된 DUT(112)를 제거하는 것만큼 간단할 수 있거나, DUT(112)에 대한 정보를 얻는 것을 포함할 수 있다. 알 수 있는 바와 같이, 도 16의 프로세스(1600)는 테스트된 DUT(112)의 테스트-이후 처리를 위한 프로세스의 예이고, 프로세스(1300)는 단계(1312)에서 프로세스(1600)를 시작할 수 있다.
도 13을 더욱 참조하면, 도시된 바와 같이, 프로세스(1300)는 DUT(112)에 대한 온도를 설정하는 단계(1314)를 포함할 수 있다. 온도는 예를 들어, DUT(112)가 테스트 셀(110)에서 테스트될 온도일 수 있다. 단계(1314)는 프로세스(1300) 동안의 임의의 시간에 실행될 수 있기 때문에, 도 3에서 유동적인 것으로 도시되어 있다. 예를 들어, DUT(112)가 캐리어(116) 위에 위치된 이후이지만, DUT(112)가 캐리어(116) 위에서 정렬되기 이전에, 단계(1314)가 실행될 수 있으므로, DUT(112)는 테스트 셀(110)에서 DUT(112)가 테스트될 대략적인 온도에 있다. 또 다른 예로서, (예를 들어, 단계(1304)에서 시작되는 바와 같이) DUT(112)가 캐리어(116)에 정렬된 이후이지만, (예를 들어, 단계(1308)에서 시작되는 바와 같이) DUT(112)/캐리어(116) 조합이 테스트 셀(110)로 적재되기 이전의 임의의 시간에, 단계(1314)가 실행될 수 있다. 언제 실행되는지에 관계없이, 단계(1314)는 DUT(112)를 희망하는 온도(예를 들어, 테스트 셀(110)에서 DUT(112)가 테스트될 온도)로 하기 위하여 온도 제어 장치(210)(도 3, 도 5a, 도 5b 및 도 10 참조)를 활성화하는 것을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1300)는 단계(1314)를 포함할 필요가 없거나, 단계(1314)는 프로세스(1300)의 주어진 실행 동안에 수행될 필요가 있다.
프로세스(1300)는 멀티-DUT 테스트 시스템(100)에서 DUT들(112)을 테스트하기 위한 프로세스의 실시예의 예에 불과하다. 예를 들어, 프로세스(1300)는 도 13에 도시되지 않은 추가적인 단계들을 가질 수 있고, 프로세스(1300)는 도 13에 도시된 단계들의 전부를 가질 필요가 없고, 프로세스(1300)는 도 13에 도시된 것들과 상이한 단계들을 가질 수 있고, 및/또는 도 13에서 도시된 단계들의 순서는 상이할 수 있다.
언급된 바와 같이, 도 14는 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 DUT(112)를 정렬하기 위한 프로세스(1400)의 예를 예시하고, 프로세스(1400)는 프로세스(1300)의 단계(1304)에서 시작될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1400)는 정렬기(104)의 제어기(308) 및/또는 테스트 시스템(100)의 제어기(126)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어, 단계(1402)는 제어기(126)에 의해 구현될 수 있고, 단계들(1404 내지 1410)은 제어기(308)에 의해 구현될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1400)는 메모리(316), 메모리(128), 및/또는 하드와이어드 회로(도시되지 않음) 내에 저장된 프로그램 코드에 따라 동작하는 제어기(308) 및/또는 제어기(126)에 의해 구현될 수 있다. 따라서, 프로세스(1400)는 메모리(316 및/또는 128) 내에 저장된 프로그램 코드로서 전체적으로 또는 부분적으로 구체화될 수 있다. 대안적으로, 프로세스(1400)는 도면들에서 도시되지 않은 다른 장비 상에서 실행될 수 있다. 또 다른 대안으로서, 프로세스(1400)는 인간 조작자에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 수행될 수 있다.
언급된 바와 같이, 프로세스(1300)가 단계(1302)에서 테스트되어야 할 새로운 DUT가 있다고 결정한 후, 프로세스(1400)는 단계(1304)에서 프로세스(1300)에 의해 시작될 수 있다. 도 14에 도시된 바와 같이, 단계(1402)에서, 새로운 DUT(112)가 정렬기(104)로 적재될 수 있다. 새로운 DUT(112)는 위에서 설명된 임의의 방식으로 정렬기(104)로 적재될 수 있다. 예를 들어, 새로운 DUT(112)는 정렬기(104)의 외부의(예를 들어, 적재기(102) 내의) 캐리어(116) 위에 위치될 수 있고, DUT(112)/캐리어(116) 조합이 정렬기(104)로 적재될 수 있다. 대안적으로, 새로운 DUT(112)가 정렬기(104)로 적재될 수 있고, 이미 정렬기(104) 내에 있는 캐리어(116) 위에 위치될 수 있다. 그럼에도 불구하고, 로봇 아암(120)을 포함하는 이동기(106)는 새로운 DUT(112) 또는 DUT(112)/캐리어(116)의 조합을 적재기(102)로부터 정렬기(104)로 이동시킬 수 있다. 그 결과는 도 3에 예시된 바와 같은, 정렬기(104) 내의 DUT(112)/캐리어(116) 조합; 도 7b에 도시된 바와 같은, 공동 정렬 특징부들에 결합된 퍽 정렬 특징부들(510)을 갖는 공동(606) 내에 퍽(502)이 배치되는 DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합; 또는 도 11a에 도시된 바와 같은, 멤브레인 기판(1002)이 스테이지(1104) 위에 배치되는 DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000) 조합일 수 있다.
정렬기(104)가 이용가능하지 않을 경우(예를 들어, 정렬기(104) 내에 또 다른 DUT가 있을 경우), 정렬기(104)가 이용가능하게 될 때까지, 프로세스(1400)는 새로운 DUT(112)를 대기 장소(도시되지 않음)로 이동시키거나, DUT(112)를 적재기(102) 내에 남겨두도록 구성될 수 있다. 위에서 언급된 바와 같이, 멀티-DUT 테스트 시스템(100) 내에 하나를 초과하는 정렬기(104)가 있을 수 있다.
도 3에 대하여 위에서 논의된 바와 같이, 정렬기(104)는 카메라 시스템을 포함할 수 있고, 이 카메라 시스템은 이동 기구(314)와, 카메라 정렬 특징부들(312)을 가지는 카메라 마운트(310)에 결합된 하나 이상의 카메라들(304)을 포함한다. 단계(1404)에서, 프로세스(1400)는 카메라 시스템을 도킹(docking)할 수 있으므로, 카메라들(304)은 캐리어(116)에 대해 알려진 위치들에 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 정렬기(104)의 실시예에서, 이동 기구(314)는 카메라 마운트(310)를 이동시킬 수 있어서, 카메라 정렬 특징부들(312)은 도 3에 도시된 바와 같이 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합한다. 이에 따라, 위에서 논의된 바와 같이, 카메라들(304)은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려진 위치들에 있다. 또 다른 예로서, (도 5a 내지 도 5c에 예시된 퍽 캐리어(500)를 사용하는) 도 6a 및 도 6b에 도시된 정렬기(104)의 실시예에서, 이동 기구(314)는 카메라 마운트(310)를 이동시킬 수 있어서, 카메라 정렬 특징부들(312)은 도 7b에 도시된 바와 같이 척 정렬 특징부들(620)과 결합한다. 이에 따라, 위에서 논의된 바와 같이, 카메라들(304)은 척 정렬 특징부들(620)에 대해 알려진 위치들에 있다. 또 다른 예로서, (도 10a 및 도 10b에 예시된 멤브레인 캐리어(10000)를 사용하는) 도 11a 및 도 11b에 도시된 정렬기(104)의 실시예에서, 이동 기구(314)는 카메라 마운트(310)를 이동시킬 수 있어서, 카메라 정렬 특징부들(312)은 도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이 캐리어 정렬 특징부들(118)과 결합한다. 이에 따라, 위에서 논의된 바와 같이, 카메라들(304)은 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 알려진 위치들에 있다.
단계(1404)는 위에서 논의된 바와 같이, 클램프들의 결합 기구들(도시되지 않음) 또는 정렬기(104) 내의 다른 장치들(도시되지 않음)을 캐리어 정렬 특징부들(118)과의 결합부로 이동시킴으로써 대안적으로 수행될 수 있다. 이러한 결합 기구들(도시되지 않음)은 카메라들(304)에 대해 알려진 위치들에 있을 수 있고, 캐리어 정렬 특징부들(118)과의 결합부는 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 이에 따라, 캐리어(116)(퍽 캐리어(500) 및 멤브레인 캐리어(1000)와 같이 본 명세서에서 논의된 캐리어(116)의 임의의 조합을 포함함)를 카메라들(304)에 대해 알려진 위치들로 이동시킬 수 있다.
그러나, 위에서 논의된 바와 같이, 정렬기(104)의 일부 실시예들은 도킹 능력을 결여한 카메라 시스템을 가질 수 있다. 예를 들어, 정렬기(104)의 이러한 실시예들은 하우징(302) 또는 정렬기(104)의 또 다른 구조에 장착된 하나 이상의 카메라들(304)을 포함할 수 있지만, 카메라 정렬 특징부들(312)을 결여할 수 있다. 단계(1404)는 누락될 수 있거나, 정렬기(104)의 이러한 실시예들에 대한 프로세스(1400)로부터 남겨질 수 있다.
도 14의 단계(1406)에서, 프로세스(1400)는 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬할 필요가 있을 때, DUT(112) 및/또는 캐리어(116)의 전부 또는 일부의 이미지들(예를 들어, 디지털 이미지들)을 얻을 수 있다. 정렬기(104) 내의 카메라 시스템이 단계(1404)에 대해 위에서 논의된 바와 같은 도킹 능력을 가지는 경우, 프로세스(1400)는 DUT 정렬 특징부들(212)의 이미지들만을 얻을 수 있다. (위에서 논의된 바와 같이, 도면들에서, DUT 정렬 특징부들(212)은 DUT(112)의 단자들(114)의 하나 이상의 단자들의 전부 또는 일부이지만, 정렬 특징부들(212)은 단자들(114)의 하나 이상으로부터의 알려진 오프셋들을 갖는 개별적인 구조들, 형상들, 마킹(marking)들, 등일 수 있다.) 카메라들(304)은 캐리어(116)에 대해 알려진 위치들에 있으므로, DUT(112)는 정렬 특징부들(212)의 이미지들만을 이용하여 캐리어(112) 위에 정렬될 수 있다.
다른 한편으로, 정렬기(104)가 단계(1404)에 대해 위에서 논의된 도킹 능력을 결여하는 경우, 프로세스(1400)는 단계(1406)에서, 캐리어(116) 위의 DUT 정렬 특징부들(212) 및 정렬 특징부들의 이미지들을 얻을 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 정렬기(104)의 실시예가 카메라 정렬 특징부들(312)을 포함하지 않는 경우, DUT 정렬 특징부들(212) 및 캐리어 정렬 특징부들(118)의 이미지들은 단계(1406)에서 얻어질 수 있다. 또 다른 예로서, 도 6a 및 도 6b에 도시된 정렬기(104)의 실시예가 카메라 정렬 특징부들(312)을 포함하지 않는 경우, DUT 정렬 특징부들(212) 및 척 정렬 특징부들(620)의 이미지들은 단계(1406)에서 얻어질 수 있다. 또 다른 예로서, 도 11a 및 도 11b에 도시된 정렬기(104)의 실시예가 카메라 정렬 특징부들(312)을 포함하지 않는 경우, DUT 정렬 특징부들(212) 및 캐리어 정렬 특징부들(118)의 이미지들은 단계(1406)에서 얻어질 수 있다.
단계(1406)가 어떻게 수행되는지에 관계없이, 일부 실시예들에서, 카메라들(304)에 의해 캡처된 이미지들은 DUT(112)의 에지(edge)(130)의 전부 또는 일부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 이미지들은 위에서 논의된 바와 같이, 에지(130)의 불규칙적인 부분일 수 있는 방위 마크(132)를 포함하는 에지(130)의 전부 또는 에지(130)의 일부를 포함할 수 있다. 이러한 실시예에서, 단계(1406)는 DUT(112)의 에지(130)의 일부 또는 전부에 대해 DUT(112)의 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114))의 위치들을 식별하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 단계(1406)는 방위 특징부(132)(예를 들어, 에지(130)의 불규칙적인 부분)에 대해 DUT(112)의 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114))의 위치들을 식별하는 것을 포함할 수 있다. 또한, 단계(1406)의 일부로서, 그 식별된 위치들은 예를 들어, 메모리(예를 들어, 메모리(316) 및/또는 메모리(128)) 내에 저장될 수 있고, 정렬기(104)에서 정렬되는 추후의 DUT(112)의 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114))을 찾기 위하여 프로세스(1400)의 추후의 실행 시에 사용될 수 있다. 예를 들어, 카메라들(304)에 의해 캡처된 이미지들에서 DUT(112)의 에지(130) 또는 에지(130)의 일부(예를 들어, 방위 마크(132))를 찾고, 그 다음으로, 이전의 DUT(112)의 에지(130) 또는 에지(130)의 일부(예를 들어, 방위 마크(132))에 대해 정렬 특징부들(212)의 저장된 위치들을 사용하여 정렬 특징부들(212)을 위치시킴으로써, 프로세스(1400)는 정렬기(104)에서 정렬되는 다음 DUT(112) 위에서 정렬 특징부들(212)(예를 들어, 단자들(114))을 찾을 수 있다.
도 14의 단계(1408)에서, 프로세스(1400)는 DUT(112)를 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키기 위하여, 단계(1406)에서 얻어진 이미지들을 사용할 수 있다. 도 3에 예시된 정렬기(104)의 실시예에서, 단계(1406)는 다음과 같이 달성될 수 있다. 체결 기구(208)는 DUT(112)를 해제할 수 있으므로, DUT(112)는 캐리어(116)의 전달 표면(204) 위에서 자유롭게 이동한다. 그 다음으로, DUT가 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치에 있을 때까지, 이동 기구(306)는 캐리어(116)에 대해 DUT(112)를 이동시킬 수 있다. 위에서 논의된 바와 같이, 이동 기구(306)는 DUT(112), 캐리어(116), 또는 DUT(112) 및 캐리어(116)의 둘 모두를 실제로 이동시킬 수 있다. 일단 DUT(112)가 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치에 있으면, 체결 기구(208)는 캐리어(116) 위의 정렬된 위치에서 DUT(112)를 체결하도록 계합(engage)될 수 있다.
퍽 캐리어(500)에 있어서 이용하기 위하여 도 6a 및 도 6b에서 예시된 정렬기(104)의 실시예에서, 단계(1408)는 다음과 같이 달성될 수 있다. 도 7b를 참조하면, 퍽(502)의 전달 표면(504)에서의 진공 홈들(506) 내의 진공이 해제될 수 있으므로, DUT(112)는 전달 표면(504) 위에서 자유롭게 이동할 수 있고, 척(602)의 상측 표면(604) 내의 진공 홈들(614)에서 진공이 생성될 수 있으므로, DUT(112)는 상측 표면(604)에 체결된다. 그 다음으로, DUT가 퍽 캐리어(500) 위에서 정렬된 위치에 있을 때까지, 척(602)은 퍽(502)에 대해 DUT(112)를 이동시킬 수 있다. 일단 DUT(112)가 퍽 캐리어(500) 위에서 정렬된 위치에 있으면, 진공 홈들(506)에서 진공을 생성함으로써, DUT(112)는 퍽(502)의 전달 표면(504)에 체결될 수 있다. 진공 홈들(614)에서의 진공은 해제될 수 있고, 이것은 척(602)의 상측 표면(604)으로부터 DUT(112)를 해제한다. 위에서 언급된 바와 같이, 진공 홈들(506) 및/또는 진공 홈들(614)은 기계적 클램프들 등과 같은 또 다른 유형의 체결 기구로 대체될 수 있다.
멤브레인 캐리어(1000)에 있어서 이용하기 위하여 도 10a 및 도 10b에서 예시된 정렬기(104)의 실시예에서, 단계(1408)는 다음과 같이 달성될 수 있다. 도 11a를 참조하면, 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)에서의 진공 홈들(1006) 내의 진공이 해제될 수 있으므로, DUT(112)는 전달 표면(1004) 위에서 자유롭게 이동한다. 다음으로, 이동가능한 리프트들(1102)은 도 11b에 도시된 바와 같이 멤브레인 기판(1002)의 전달 표면(1004)으로부터 DUT(112)를 들어올릴 수 있다. DUT가 멤브레인 캐리어(1000) 위에서 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 정렬된 위치에 있을 때까지, 스테이지(1104)는 이동가능한 리프트들(1102) 및 이에 따라, DUT(112)를 캐리어 정렬 특징부들(118)에 대해 이동시킬 수 있다. 그 다음으로, 이동가능한 리프트들(1102)은 DUT(112)를 멤브레인 기판(1102)의 전달 표면(1004) 위로 다시 낮출 수 있다. DUT(112)가 멤브레인 캐리어(1000) 위에서 정렬된 위치에 있을 때까지, 상기 동작은 필요에 따라 반복될 수 있다. 그 다음으로, 진공 홈들(1006)에서 진공을 생성함으로써, DUT(112)는 정렬된 위치에서 전달 표면(1004)에 체결될 수 있다. 위에서 언급된 바와 같이, 진공 홈들(1006)은 기계적 클램프들 등과 같은 또 다른 유형의 체결 기구로 대체될 수 있다.
단계(1408) 이후에, DUT(112)는 정렬된 위치에서 캐리어(116)에 체결된다. 위에서 언급된 바와 같이, "정렬된" 또는 "정렬된 위치"는, 테스트 셀(110) 내의 대응하는 컨택터 정렬 특징부들(예를 들어, 컨택터 정렬 특징부들(412) 또는 공동 정렬 특징부들(810))과 도킹할 캐리어의 정렬 특징부들(예를 들어, 캐리어 정렬 특징부들(118) 또는 퍽 정렬 특징부들(510))에 대해 DUT(112)가 캐리어(116)(또는 퍽 캐리어(500) 및 멤브레인 캐리어(1000)를 포함하는 본 명세서에서 설명된 캐리어(116)의 임의의 실시예) 위에 위치되는 것을 의미하여, DUT(112)의 단자들(114)이 컨택터(408)의 프로브들(410)과 충분히 정렬되어, 단자들(114) 및 프로브들(410)이 접촉을 행하고 이에 따라, 전기적 접속들을 수립한다.
단계(1410)에서, 프로세스(1400)는 정렬이 완료되었다는 신호 또는 메시지를 송신할 수 있다. 예를 들어, 프로세스(1400)는 이러한 신호 또는 메시지를 제어기(126)로 송신할 수 있고, 그 다음으로, 이것은 도 13의 프로세스(1300)가 단계(1306)의 다음 실행에서 긍정적인 결정을 행하도록 하고, 캐리어(116)/DUT 조합을 테스트 셀(110)로 적재하기 위하여 단계(1308)로 분기하도록 할 수 있다.
프로세스(1400)는 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 DUT(112)를 정렬하기 위한 프로세스의 실시예의 예에 불과하다. 예를 들어, 프로세스(1400)는 도 14에 도시되지 않은 추가적인 단계들을 가질 수 있고, 프로세스(1400)는 도 14에 도시된 단계들의 전부를 가질 필요가 없고, 프로세스(1400)는 도 13에 도시된 것과 상이한 단계들을 가질 수 있고, 및/또는 도 14에서 도시된 단계들의 순서는 상이할 수 있다. 예를 들어, 단계들(1406 및 1408)은 프로세스(1400) 실행 동안에 필요에 따라 반복될 수 있다. 예를 들어, 프로세스(1400)의 실행 동안, DUT 정렬 특징부들(212)의 이미지들은 단계(1406)에서 캡처될 수 있고, DUT(112)는 단계(1408)에서 캐리어(116) 위에서 이동될 수 있고, DUT 정렬 특징부들(212)의 새로운 이미지들은 단계(1406)를 반복함으로써 캡처된다. 단계(1406)에서 얻어진 DUT 정렬 특징부들(212)의 새로운 이미지들에 의해 표시되는 바와 같이, DUT(112)가 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치에 있을 때까지, 단계들(1408 및 그 다음으로 1406)은 반복될 수 있다.
언급된 바와 같이, 도 15는 테스트 셀(110)에서 캐리어(116) 위의 정렬된 DUT(112)를 테스트하기 위한 프로세스(1500)의 예를 예시한다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1500)는 테스트 셀(110)의 제어기(418) 및/또는 테스트 시스템(100)의 제어기(126)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어, 단계(1502)는 제어기(126)에 의해 구현될 수 있고, 단계들(1504-1510)은 제어기(418)에 의해 구현될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1500)는 메모리(420), 메모리(128), 및/또는 하드와이어드 회로(도시되지 않음)에 저장된 프로그램 코드에 따라 동작하는 제어기(418) 및/또는 제어기(126)에 의해 구현될 수 있다. 따라서, 프로세스(1500)는 메모리(420) 및/또는 메모리(128)에 저장된 프로그램 코드로서 전체적으로 또는 부분적으로 구체화될 수 있다. 대안적으로, 프로세스(1500)는 도면에서 도시되지 않은 다른 장비 상에서 실행될 수 있다. 또 다른 대안으로서, 프로세스(1500)는 인간 조작자에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 수행될 수 있다.
언급된 바와 같이, 프로세스(1300)가 단계(1306)에서, 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 DUT(112)가 정렬되었다고 결정한 이후에, 프로세스(1500)는 단계(1308)에서 프로세스(1300)에 의해 시작될 수 있다. 도 15에 도시된 바와 같이, 정렬기(104)에 의해 정렬된 DUT(112)/캐리어(116) 조합은 정렬기(104)로부터 제거될 수 있고, 단계(1502)에서 테스트 셀(110)로 적재될 수 있다. DUT(112)/캐리어(116) 조합은 위에서 설명된 임의의 방식으로 정렬기(104)로부터 제거될 수 있고 테스트 셀(110)로 적재될 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 로봇 아암들(120)을 포함하는 이동기(106)는 정렬기(104)로부터 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 제거할 수 있고, DUT(112)/캐리어(116) 조합을 테스트 셀(110)로 적재할 수 있다. 그 결과는 도 4a에 예시된 바와 같은, 테스트 셀(110) 내의 DUT(112)/캐리어(116) 조합; 도 9b에 도시된 바와 같은, 공동 정렬 특징부들(810)에 결합된 퍽 정렬 특징부들(510)을 갖는 공동(806) 내에 퍽(502)이 배치되는 DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합; 또는 도 12b에 도시된 바와 같은, 컨택터 정렬 특징부들(512)에 결합된 캐리어 정렬 특징부들(118)을 갖는 척(1202) 위에 배치된 멤브레인 기판(102)을 갖는 DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000) 조합일 수 있다.
테스트 셀(110)이 이용가능하지 않은 경우(예를 들어, 모든 테스트 셀들(110) 내에 DUT(112)/캐리어(116) 조합들이 있을 경우), 테스트 셀(110)이 이용가능하게 될 때까지, 프로세스(1500)는 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 정렬기(104)로부터 대기 장소(도시되지 않음)로 이동시키거나, DUT(112)/캐리어(116) 조합을 정렬기(104) 내에 남겨두도록 구성될 수 있다.
단계(1504)에서, 프로세스(1500)는 테스트 셀(110) 내의 캐리어(116)를 (캐리어(116) 위의 정렬된 위치에서 체결된 DUT(112)와) 도킹할 수 있으므로, DUT의 단자들(114)은 컨택터(408)의 프로브들(410)과 정렬된다. 도 4a 및 도 4b에 예시된 테스트 셀(110)의 실시예에서, 단계(1504)는 캐리어(116)를 이동시킴으로써 달성될 수 있어서, 캐리어 정렬 특징부들(118)은 도 4b에 도시된 바와 같이 컨택터 정렬 특징부들(412)과 결합한다. 위에서 언급된 바와 같이, DUT(112)는 캐리어(116)에 정렬되었으므로, 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 컨택터 정렬 특징부들(412)의 결합은 단자들(114) 및 프로브들(410)을 정렬한다.
도 8a 및 도 8b에 예시된 테스트 셀(110)의 실시예에서, 척 리프트(816)가 척(802) 및 이에 따라, DUT(112)/퍽 캐리어(500) 조합을 이동시키도록 하여, 척 정렬 특징부들(820)이 도 9b에 도시된 바와 같이 컨택터 정렬 특징부들(412)과 결합함으로써, 단계(1504)가 달성될 수 있다. 위에서 언급된 바와 같이, 척 정렬 특징부들(820)은 퍽 정렬 특징부들(510)에 대해 척 정렬 특징부들(620)과 동일한 위치들에 있을 수 있으므로, 퍽 정렬 특징부들(510)이 테스트 셀(110) 내의 공동 정렬 특징부들(810)과 결합될 때, 단자들(114) 및 프로브들(410)은 정렬된다. 대안적으로, 정렬 특징부들(820)은 척 정렬 특징부들(620)에 비해 퍽 정렬 특징부들(510)에 대해 알려진 오프셋 위치들에 있을 수 있다. 퍽 캐리어(500)에 있어서 이용하기 위하여 구성된 테스트 셀(110)의 일부 실시예들에서(도 8a 및 도 8b 참조), 퍽 정렬 특징부들(510)이 공동 정렬 특징부들(810)과 결합되는 동안에 단자들(114) 및 프로브들(410)이 정렬되는 위치에서, 컨택터(408)가 테스트 셀에 결합될 수 있다. 이러한 실시예들에서, 척 정렬 특징부들(820) 및 컨택터 정렬 특징부들(412)은 테스트 셀(110)에서 이용되거나 테스트 셀(110) 내에 포함될 필요가 없다.
도 12a 및 도 12b에 예시된 테스트 셀(110)의 실시예에서, 척 리프트(1204)가 척(1202) 및 이에 따라, DUT(112)/멤브레인 캐리어(1000) 조합을 이동시키도록 하여, 캐리어 정렬 특징부들(118)이 도 12b에 도시된 바와 같이 컨택터 정렬 특징부들(412)과 결합함으로써, 단계(1504)가 달성될 수 있다. 위에서 언급된 바와 같이, DUT(112)는 멤브레인 캐리어(1000)에 정렬되었으므로, 캐리어 정렬 특징부들(118) 및 컨택터 정렬 특징부들(412)의 결합은 단자들(114) 및 프로브들(410)을 정렬한다.
단계(1506)에서, 단자들(114) 및 프로브들(410) 사이의 접촉은 필요에 따라 또는 희망하는 바에 따라 조절될 수 있다. 예를 들어, DUT(112)를 적절하게 테스트하기 위해 단자들(114) 및 프로브들(410) 사이에 충분한 전도성의 전기적 접속들이 생성되는 것을 보장하기 위하여, 접촉이 조절 또는 조정될 수 있다. 또 다른 예로서, 접촉이 조절 또는 조정될 수 있으므로, 단자들(114) 및/또는 프로브들(410) 상의 힘(force)들은 단자들(114), DUT(112), 또는 프로브들(410)을 손상시키지 않을 것 같은 범위들 내에서 유지된다. 위에서 논의된 바와 같이, 테스트 셀(110)은 컨택터(408) 및 DUT(110) 사이에 기밀 밀봉부들(414)을 포함할 수 있고, 압력 제어기(416) 장치는 컨택터(408) 및 DUT(110)를 서로 근접하도록 또는 더욱 멀어지도록 선택적으로 이동시키기 위하여 컨택터(408) 및 DUT(110) 사이의 공간에서 공기 압력을 선택적으로 제어할 수 있고, 이것은 단자들(114) 및 프로브들(410) 사이의 접촉의 힘을 변화시킬 수 있다.
단계(1508)에서, DUT(110)가 테스트될 수 있다. 예를 들어, 위에서 논의된 바와 같이, 테스트 신호들은 프로브들(410)을 통해 DUT(110)로 제공될 수 있고, 테스트 신호들에 응답하여 DUT에 의해 생성된 응답 신호들은 프로브들(410)을 통해 DUT(110)로부터 얻어질 수 있다. (예를 들어, 전력 및 접지, 제어 신호들, 데이터 신호들, 등을 포함하는) 테스트 신호들은 컨택터(408) 위의 회로(도시되지 않음)에 의해 발생될 수 있고, 및/또는 다른 장비(도시되지 않음)로부터 전기적 접속부들(404)을 통해 컨택터(408)로 제공될 수 있다. 응답 신호들은 컨택터(408) 위의 회로(도시되지 않음)에 의해 예상되는 바와 같이 DUT(110)가 동작하는지를 결정하기 위하여 평가될 수 있고, 및/또는 전기적 접속부들(404)을 통해 다른 장비(도시되지 않음)로 제공될 수 있다.
단계(1510)에서, 프로세스(1500)는 테스팅이 완료되었는다는 신호 또는 메시지를 송신할 수 있다. 예를 들어, 프로세스(1500)는 이러한 신호 또는 메시지를 제어기(126)로 송신할 수 있고, 그 다음으로, 이것은 도 13의 프로세스(1300)가 단계(1310)의 다음 실행에서 긍정적인 결정을 행하도록 하고, 테스트 셀(110)로부터 테스트된 DUT(112) 및 캐리어(116)를 제거하기 위하여 단계(1312)로 분기하도록 할 수 있다.
프로세스(1500)는 테스트 셀(110)에서 DUT(112)를 테스트하기 위한 프로세스의 실시예의 예에 불과하다. 예를 들어, 프로세스(1500)는 도 15에 도시되지 않은 추가적인 단계들을 가질 수 있고, 프로세스(1500)는 도 15에 도시된 단계들의 전부를 가질 필요가 없고, 프로세스(1500)는 도 15에 도시된 것과 상이한 단계들을 가질 수 있고, 및/또는 도 15에 도시된 단계들의 순서는 상이할 수 있다.
언급된 바와 같이, 도 16은 DUT(112)의 테스트-이후 처리를 위한 프로세스(1600)의 예를 예시한다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1600)는 테스트 시스템(100)의 제어기(126), 정렬기(104)의 제어기(308), 및/또는 테스트 셀(110)의 제어기(418)에 의해 수행될 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세스(1600)는 메모리(128), 메모리(316), 메모리(420), 및/또는 하드와이어드 회로(도시되지 않음)에 저장된 프로그램 코드에 따라 동작하는 제어기(126), 제어기(308), 및/또는 제어기(418)에 의해 구현될 수 있다. 따라서, 프로세스(1600)는 메모리(128), 메모리(316), 및/또는 메모리(420)에 저장된 프로그램 코드로서 전체적으로 또는 부분적으로 구체화될 수 있다. 대안적으로, 프로세스(1600)는 도면들에서 도시되지 않은 다른 장비 상에서 실행될 수 있다. 또 다른 대안으로서, 프로세스(1600)는 인간 조작자에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 수행될 수 있다.
언급된 바와 같이, 프로세스(1300)가 단계(1310)에서, DUT(112)의 테스팅이 테스트 셀(110)에서 완료되었다고 결정한 이후에, 프로세스(1600)는 단계(1312)에서 프로세스(1300)에 의해 시작될 수 있다. 도 16에 도시된 바와 같이, 테스팅에 관한 데이터는 단계(1602)에서 얻어질 수 있다. 예를 들어, DUT(112)를 테스트한 결과들을 나타내는 데이터는 단계(1602)에서 얻어질 수 있다. 또 다른 예로서, 프로브들(410)과의 접촉에 의해 생성되는 DUT(112)의 단자들(114) 위의 스크럽 마크(scrub mark)들의 위치들을 나타내는 데이터는 단계(1402)에서 얻어질 수 있다. 일부 실시예들에서, 이것은 테스트 셀(110)로부터 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 제거하고 DUT(112)/캐리어(116) 조합을 정렬기(104)로 적재함으로써 달성될 수 있다. 그 다음으로, 정렬기(104) 내의 카메라들(304)은 단자들(114)의 이미지들을 캡처하기 위해 사용될 수 있다. 단자들(114) 위의 스크럽 마크들(도시되지 않음)은 캡처된 이미지들로부터 얻어질 수 있고, 단자들(114) 위의 스크럽 마크들의 위치들은 (예를 들어, 디지털 메모리에) 저장될 수 있다. 단자들(114) 위의 스크럽 마크들의 위치들은 정렬기(104) 내의 캐리어(116) 위에서 새로운 DUT들(112)을 정렬하는 프로세스(예를 들어, 프로세스(1400))를 조절하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들어, 스크럽 마크들(도시되지 않음)이 테스트된 DUT(112)의 단자들(114) 위의 희망하는 위치에 있지 않을 경우, 추후의 DUT들(112)이 정렬기(104) 내의 캐리어들(116) 위에서 이용되는 정렬 위치는 조절될 수 있으므로, 그 DUT들(112)의 단자들 위에서 행해진 스크럽 마크들은 희망하는 위치에 있다.
단계(1604)에서, 테스트된 DUT(112)는 캐리어(116)로부터 그리고 그 다음으로, 테스트 시스템(100)으로부터 제거될 수 있다. 예를 들어, 테스트된 DUT(112)는 테스트 셀(110) 내의, 정렬기(104) 내의, 적재기(102) 내의, 이동기(106) 위의, 또는 테스트 시스템(100)의 또 다른 장소 내의 캐리어(116)로부터 제거될 수 있다. DUT(112)가 테스트된 테스트된 DUT(112)인, DUT(112)/캐리어(116) 조합 및/또는 DUT(112)는 위에서 설명된 임의의 방식으로 테스트 시스템(100) 주위에서 이동될 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 로봇 아암들(120)을 포함하는 이동기(106)는 테스트 시스템(100) 주위에서 DUT(112)/캐리어(116) 조합 및/또는 DUT(112)를 이동시킬 수 있다.
프로세스(1600)는 테스트된 DUT(112)의 테스트-이후 처리를 위한 프로세스의 실시예의 예에 불과하다. 예를 들어, 프로세스(1600)는 도 16에 도시되지 않은 추가적인 단계들을 가질 수 있고, 프로세스(1600)는 도 16에 도시된 단계들의 전부를 가질 필요가 없고, 프로세스(1600)는 도 16에 도시된 것과 상이한 단계들을 가질 수 있고, 및/또는 도 16에 도시된 단계들의 순서는 상이할 수 있다.
프로세스들(1300, 1400, 1500 및 1600)을 구현할 때, 단계(1304)에서, 제 1 DUT(112)는 정렬기(104)로 적재될 수 있고, 제 1 DUT(112)는 정렬기(104)에서, 예를 들어, 프로세스(1400)에 의해 제 1 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동될 수 있다. 그 다음으로, 단계(1308)에서, 제 1 DUT(112)/제 1 캐리어(116)의 조합은 제 1 테스트 셀(110)로 적재될 수 있고, 여기서, 제 1 DUT(112)는 예를 들어, 프로세스(1500)에 의해 테스트될 수 있다. 단계(1304)에서, (예를 들어, 제 1 DUT/제 1 캐리어(116)가 정렬기로부터 제거된 이후에) 제 2 DUT(112)는 정렬기(104)로 적재될 수 있고, 제 2 DUT(112)는 정렬기(104)에서, 예를 들어, 프로세스(1400)에 의해 제 2 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동될 수 있다. 단계(1304)에서 제 2 DUT(112)를 정렬기(104)로 적재하는 것은 제 1 테스트 셀(110)에서의 제 1 DUT의 테스팅이 (예를 들어, 프로세스(1500)에 의해) 완료되기 전에 발생할 수 있다. 실제로, (예를 들어, 프로세스(1400)에 의해) 제 2 DUT(112)를 제 2 캐리어(116) 위에서 정렬된 위치로 이동시키는 것은 (예를 들어, 프로세스(1500)에 의해) 제 1 테스트 셀(110)에서 제 1 DUT를 테스트하는 것이 완료되기 전에 발생할 수 있다. 단계(1308)에서, 제 2 DUT(112)/제 2 캐리어(116)의 조합은 제 2 테스트 셀(110)로 적재될 수 있고, 여기서, 제 2 DUT(112)는 예를 들어, 프로세스(1500)에 의해 테스트될 수 있다. 제 2 테스트 셀(110)에서의 (예를 들어, 프로세스(1500)에 의한) 제 2 DUT(112)의 테스팅은 제 1 테스트 셀(110)에서의 (예를 들어, 프로세스(1500)에 의한) 제 1 DUT(112)의 테스팅이 완료되기 전에 시작될 수 있다. 프로세스(1300)는 프로세스들(1400, 1500 및 1600)의 다수의 사례들을 시작할 수 있어서, 임의의 주어진 시간에 테스트 시스템(100) 내의 다양한 장소들에서 다수의 DUT들(112) 및 DUT(112)/캐리어(116) 조합들이 있을 수 있다. 예를 들어, 정렬기(104)가 DUT(112)를 정렬기(104) 내의 캐리어(116)에 정렬하는 동안, 상이한 테스트 셀들(110)에서 테스트되는 다수의 DUT(112)/캐리어 조합들이 있을 수 있다.
발명의 특정 실시예들 및 응용들이 이 명세서에서 설명되었지만, 이 실시예들 및 응용들은 예시적인 것에 불과하고 여러 변형들이 가능하다.

Claims (35)

  1. 정렬기(aligner) 및 테스트 셀(test cell)들을 포함하는 테스트 시스템에서 DUT(Device Under Test)들을 테스트하는 방법으로서,
    상기 정렬기에서 제 1 캐리어 위에 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계로서, 상기 제 1 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 제 1 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 상기 정렬된 위치에 체결시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 제 1 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 1 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 1 테스트 셀의 하우징으로, 상기 제 1 캐리어를 최초 위치(initial position)로 - 상기 캐리어 정렬 특징부들이 전기적 전도성 프로브들을 포함하는 제 1 컨택터의 컨택터 정렬 특징부들과 전반적으로 정렬되지만 결합되지 않은 - 안내하는 상기 하우징내 안내 기구(guide mechanism)로 로딩(loading)시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 정렬된 위치에 상기 제 1 캐리어 위에서 체결되어 있고 상기 제 1 캐리어가 상기 제 1 테스트 셀의 상기 하우징내 상기 최초 위치에 있는 동안, 상기 제 1 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 제 1 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 단계로서, 상기 결합은 상기 제 1 DUT의 단자들을 상기 제 1 컨택터의 프로브들과 정렬시키는, 상기 기계적으로 결합시키는 단계; 및
    상기 제 1 컨택터를 통해 상기 DUT로 그리고 상기 DUT로부터 신호들을 제공함으로써 상기 제 1 테스트 셀에서 상기 제 1 DUT를 테스트하는 단계를 포함하되,
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 위치시키는 단계는,
    상기 제 1 DUT가 체결된 상기 제 1 캐리어를 상기 정렬기 내의 척 위에 배치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어로부터 상기 제 1 DUT를 체결 해제시키는(unclamping) 단계;
    상기 제 1 DUT를 상기 척에 체결시키는 단계; 및
    상기 척 및 상기 제 1 DUT를 이동시키는 단계를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 DUT의 상기 테스트하는 단계를 완료하기 전에, 상기 정렬기에서 제 2 캐리어 위에 제 2 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계로서, 상기 제 2 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 제 2 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 제 2 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계를 더 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 2 DUT를 상기 제 2 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결시키는 단계;
    상기 제 2 DUT가 상기 제 2 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 2 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 2 테스트 셀로 이동시키는 단계로서, 상기 제 2 테스트 셀은 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하는 제 2 컨택터를 포함하는, 상기 제 2 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 2 테스트 셀에 이동시키는 단계;
    상기 제 2 DUT가 상기 제 2 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 2 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 제 2 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 단계로서, 상기 결합은 상기 제 2 DUT의 단자들을 상기 제 2 컨택터의 프로브들과 정렬시키는, 상기 기계적으로 결합시키는 단계; 및
    상기 제 2 컨택터를 통해 상기 제 2 DUT로 그리고 상기 제 2 DUT로부터 신호들을 제공함으로써 상기 제 2 테스트 셀에서 상기 제 2 DUT를 테스트하는 단계를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제 2 캐리어를 이동시키는 단계 및 상기 제 2 캐리어를 결합시키는 단계는 상기 제 1 DUT의 상기 테스트하는 단계를 완료하기 전에 발생하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 2 DUT를 상기 테스트하는 단계는 상기 제 1 DUT의 상기 테스트하는 단계를 완료하기 전에 시작되는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  6. 정렬기(aligner) 및 테스트 셀(test cell)들을 포함하는 테스트 시스템에서 DUT(Device Under Test)들을 테스트하는 방법으로서,
    상기 정렬기에서 제 1 캐리어 위에 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계로서, 상기 제 1 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 제 1 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 상기 정렬된 위치에 체결시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 제 1 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 1 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 1 테스트 셀로 이동시키는 단계로서, 상기 제 1 테스트 셀은 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하는 제 1 컨택터(contactor)를 포함하는, 상기 제 1 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 1 테스트 셀로 이동시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 제 1 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 1 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 제 1 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 단계로서, 상기 결합은 상기 제 1 DUT의 단자들을 상기 제 1 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 기계적으로 결합시키는 단계;
    상기 제 1 컨택터를 통해 상기 DUT로 그리고 상기 DUT로부터 신호들을 제공함으로써 상기 제 1 테스트 셀에서 상기 제 1 DUT를 테스트하는 단계;
    카메라 시스템을 상기 제 1 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들에 기계적으로 결합시키는 단계로서, 상기 카메라 시스템의 카메라들은 상기 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치들에 있고 상기 카메라 시스템 및 상기 캐리어 정렬 특징부들이 결합되어 있는, 상기 카메라 시스템을 기계적으로 결합시키는 단계; 및
    상기 제 1 DUT 위에 DUT 정렬 특징부들의 이미지들을 상기 카메라들로 캡처하는 단계를 포함하되,
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 위치시키는 단계는, 상기 DUT 정렬 특징부들이 상기 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있을 때까지 상기 제 1 DUT를 이동시키기 위하여 상기 이미지들을 사용하는 것을 포함하되,
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 위치시키는 단계는,
    상기 제 1 DUT가 체결된 상기 제 1 캐리어를 상기 정렬기 내의 척 위에 배치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어로부터 상기 제 1 DUT를 체결 해제시키는(unclamping) 단계;
    상기 제 1 DUT를 상기 척에 체결시키는 단계; 및
    상기 척 및 상기 제 1 DUT를 이동시키는 단계를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  7. 삭제
  8. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 제 1 캐리어는 상기 제 1 DUT보다 작은 전달 표면(carrying surface)을 갖는 퍽(puck)을 포함하고,
    상기 제 1 캐리어를 상기 척 위에 배치시키는 단계는, 상기 퍽을 상기 척의 표면내 공동(cavity)에 배치하는 단계를 포함하고, 상기 제 1 DUT는 부분적으로 상기 퍽의 상기 전달 표면 위에 배치되고 그리고 부분적으로 상기 척의 표면 위에 배치되는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 정렬 특징부들은 연장부(extension)들 또는 리셉터클(receptacle)들 중의 하나를 포함하고,
    상기 컨택터 정렬 특징부들은 연장부 또는 리셉터클들 중의 다른 하나를 포함하고,
    상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 단계는 상기 연장부들을 상기 리셉터클들로 삽입시키는 단계 - 상기 단자들을 상기 프로브들에 기계적으로 정렬시키는 - 를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 연장부들을 상기 리셉터클들로 삽입하는 단계는 상기 단자들을 상기 프로브들에 운동학적으로(kinematically) 정렬시키는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 DUT를 미리 결정된 온도로 하기 위하여 상기 제 1 캐리어 위에 온도 제어 장치를 활성화시키는 단계를 더 포함하고, 상기 제 1 캐리어를 상기 제 1 테스트 셀로 이동시키기 전에 상기 제 1 DUT는 상기 온도에 있는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 DUT는 싱귤레이팅되지 않은 반도체 다이(unsingulated semiconductor die)들을 포함하는 반도체 웨이퍼인, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 위치시키는 단계는 상기 반도체 웨이퍼 위의 DUT 정렬 특징부들의 이미지들을 상기 정렬기 내에 배치된 카메라들로 캡처하는 것을 포함하고, 상기 방법은 상기 반도체 웨이퍼의 에지의 적어도 일부분에 대하여 상기 DUT 정렬 특징부들의 위치들을 디지털 메모리 장치에 저장하는 단계를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  14. 삭제
  15. 정렬기(aligner) 및 테스트 셀(test cell)들을 포함하는 테스트 시스템에서 DUT(Device Under Test)들을 테스트하는 방법으로서,
    상기 정렬기에서 제 1 캐리어 위에 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계로서, 상기 제 1 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 제 1 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 제 1 DUT를 정렬된 위치에 위치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 상기 정렬된 위치에 체결시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 제 1 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 1 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 1 테스트 셀로 이동시키는 단계로서, 상기 제 1 테스트 셀은 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하는 제 1 컨택터(contactor)를 포함하는, 상기 제 1 캐리어를 상기 테스트 셀들의 제 1 테스트 셀로 이동시키는 단계;
    상기 제 1 DUT가 상기 제 1 캐리어 위에 상기 정렬된 위치에 체결되어 있는 동안, 상기 제 1 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 제 1 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 단계로서, 상기 결합은 상기 제 1 DUT의 단자들을 상기 제 1 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 기계적으로 결합시키는 단계; 및
    상기 제 1 컨택터를 통해 상기 DUT로 그리고 상기 DUT로부터 신호들을 제공함으로써 상기 제 1 테스트 셀에서 상기 제 1 DUT를 테스트하는 단계;
    상기 테스트하는 단계 이후에, 상기 프로브들과의 접촉에 의해 야기되는 상기 제 1 DUT의 단자들 위의 스크럽 마크(scrub mark)들의 위치들을 결정하는 단계; 및
    추가적인 DUT들에 대하여 상기 방법의 후속 반복들을 위해 상기 정렬된 위치를 변화시키는 단계를 더 포함하되,
    상기 제 1 캐리어 위에 상기 제 1 DUT를 위치시키는 단계는,
    상기 제 1 DUT가 체결된 상기 제 1 캐리어를 상기 정렬기 내의 척 위에 배치시키는 단계;
    상기 제 1 캐리어로부터 상기 제 1 DUT를 체결 해제시키는(unclamping) 단계;
    상기 제 1 DUT를 상기 척에 체결시키는 단계; 및
    상기 척 및 상기 제 1 DUT를 이동시키는 단계를 포함하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 로딩시키는 단계는 액세스 도어를 통하여 상기 하우징내로 상기 제 1 캐리어를 로딩시키고 그런 다음 상기 액세스 도어를 닫는 단계; 및
    상기 하우징 및 상기 액세스 도어는 충분히 밀봉되어 상기 액세스 도어가 닫혀있는 동안, 상기 하우징 내부에 독립적인(self-contained) 청정룸 인클로저(clean room enclosure)를 제공하는, 테스트 시스템에서 DUT들을 테스트하는 방법.
  17. DUT 테스트 시스템에 있어서,
    캐리어 위에 DUT를 정렬된 위치에 위치시키도록 구성된 이동 기구(moving mechanism)를 포함하는 정렬기(aligner)로서, 상기 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 정렬기;
    테스트 셀들로서, 각각의 상기 테스트 셀은 하우징, 안내 기구(guide mechanism) 및 상기 하우징 내부에 배치된 컨택터(contactor)를 포함하고, 상기 컨택터는 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하고, 상기 안내 기구는 상기 캐리어를 최초 위치(initial position)로 - 상기 캐리어 정렬 특징부들이 상기 컨택터 정렬 특징부들과 전반적으로 정렬되지만 결합되지 않은 - 안내하고, 상기 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 것은 상기 DUT의 상기 단자들을 상기 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 테스트 셀들; 및
    상기 정렬된 위치에 체결된 상기 DUT를 갖는 상기 캐리어를 상기 정렬기로부터 상기 테스트 셀들 중의 하나로 제거하도록 구성된 로봇 기구를 포함하는 이동기(mover)를 포함하되,
    상기 캐리어는 상기 DUT보다 작은 전달 표면(carrying surface)을 갖는 퍽(puck)을 포함하고,
    상기 정렬기는 제 1 이동가능한 척(chuck)을 더 포함하고,
    상기 제 1 이동가능한 척은,
    제 1 표면; 및
    상기 제 1 표면 내의 제 1 공동(cavity)을 포함하고, 상기 제 1 공동은 상기 퍽을 수용하도록 구성되고, 상기 퍽이 상기 제 1 공동 내에 배치되어 있는 동안, 상기 전달 표면 위에 배치된 DUT도 상기 제 1 척의 상기 제 1 표면 위에 배치되는, DUT 테스트 시스템.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 정렬기는 상기 테스트 셀들의 각각과 별개이고, 상기 테스트 셀들의 각각에 독립적으로 동작하는, DUT 테스트 시스템.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 정렬기의 상기 이동 기구는 제 1 상기 캐리어 위에 제 1 상기 DUT를 위치시킬 수 있는 한편, 제 2 DUT를 갖는 제 2 상기 캐리어는 상기 테스트 셀들 중의 하나 내에 있게 하는, DUT 테스트 시스템.
  20. 청구항 17에 있어서,
    상기 캐리어는 체결 기구(clamping mechanism)를 포함하고, 상기 체결 기구는 상기 DUT를 선택적으로 상기 캐리어 위의 위치에 체결시키고, 상기 캐리어로부터 상기 DUT를 해제하여 상기 DUT가 상기 캐리어에 대해 이동될 수 있도록 구성되는, DUT 테스트 시스템.
  21. DUT 테스트 시스템에 있어서,
    캐리어 위에 DUT를 정렬된 위치에 위치시키도록 구성된 이동 기구(moving mechanism)를 포함하는 정렬기(aligner)로서, 상기 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 정렬기;
    테스트 셀들로서, 각각의 상기 테스트 셀은 컨택터(contactor)를 포함하고, 상기 컨택터는 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하고, 상기 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 것은 상기 DUT의 상기 단자들을 상기 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 테스트 셀들; 및
    상기 정렬된 위치에 체결된 상기 DUT를 갖는 상기 캐리어를 상기 정렬기로부터 상기 테스트 셀들 중의 하나로 제거하도록 구성된 로봇 기구를 포함하는 이동기(mover)를 포함하되,
    상기 캐리어는 상기 DUT보다 작은 전달 표면(carrying surface)을 갖는 퍽(puck)을 포함하고,
    상기 정렬기는 제 1 이동가능한 척(chuck)을 더 포함하고,
    상기 제 1 이동가능한 척은,
    제 1 표면; 및
    상기 제 1 표면 내의 제 1 공동(cavity)을 포함하고, 상기 제 1 공동은 상기 퍽을 수용하도록 구성되고, 상기 퍽이 상기 제 1 공동 내에 배치되어 있는 동안, 상기 전달 표면 위에 배치된 DUT도 상기 제 1 척의 상기 제 1 표면 위에 배치되는, DUT 테스트 시스템.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 제 1 공동은 상기 전달 표면에 대향하는 상기 퍽의 표면 위에 대응하는 정렬 특징부들과 기계적으로 결합하도록 구성된 정렬 특징부들을 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  23. 청구항 22에 있어서,
    상기 이동가능한 척은 상기 DUT를 상기 척의 상기 제 1 표면에 선택적으로 체결 및 체결 해제하도록 구성된 상기 제 1 표면 내의 진공 홈(vacuum groove)들을 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  24. 청구항 22에 있어서,
    각각의 테스트 셀은 제 2 이동가능한 척을 더 포함하고,
    제 2 이동가능한 척은,
    제 2 표면; 및
    상기 제 2 표면 내의 제 2 공동을 포함하고, 상기 제 2 공동은 상기 퍽을 수용하도록 구성되고, 상기 퍽이 상기 제 2 공동 내에 배치되는 동안, 상기 전달 표면 위에 배치된 DUT도 상기 제 2 척의 상기 제 2 표면 위에 배치되는, DUT 테스트 시스템.
  25. 청구항 24에 있어서,
    상기 제 2 공동은 상기 전달 표면에 대향하는 상기 퍽의 상기 표면 위의 상기 정렬 특징부들과 기계적으로 결합하도록 구성된 정렬 특징부들을 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  26. 청구항 17에 있어서,
    상기 캐리어 정렬 특징부들은 연장부들 또는 리셉터클들 중의 하나를 포함하고,
    상기 컨택터 정렬 특징부들은 연장부 또는 리셉터클들 중의 다른 하나를 포함하고,
    상기 연장부들을 상기 리셉터클들로 삽입하는 단계는 상기 단자들을 상기 프로브들에 기계적으로 정렬시키는, DUT 테스트 시스템.
  27. 청구항 26에 있어서,
    상기 연장부들을 상기 리셉터클들로 삽입하는 단계는 상기 단자들을 상기 프로브들에 운동학적으로 정렬시키는, DUT 테스트 시스템.
  28. DUT 테스트 시스템에 있어서,
    캐리어 위에 DUT를 정렬된 위치에 위치시키도록 구성된 이동 기구(moving mechanism)를 포함하는 정렬기(aligner)로서, 상기 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 정렬기;
    테스트 셀들로서, 각각의 상기 테스트 셀은 컨택터(contactor)를 포함하고, 상기 컨택터는 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하고, 상기 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 것은 상기 DUT의 상기 단자들을 상기 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 테스트 셀들; 및
    상기 정렬된 위치에 체결된 상기 DUT를 갖는 상기 캐리어를 상기 정렬기로부터 상기 테스트 셀들 중의 하나로 제거하도록 구성된 로봇 기구를 포함하는 이동기(mover)를 포함하되,
    상기 정렬기는 카메라 시스템을 더 포함하고,
    상기 카메라 시스템은,
    상기 캐리어 정렬 특징부들과 기계적으로 결합할 수 있는 카메라 정렬 특징부들; 및
    상기 카메라 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치들에 배치된 카메라들을 포함하되,
    상기 캐리어는 상기 DUT보다 작은 전달 표면(carrying surface)을 갖는 퍽(puck)을 포함하고,
    상기 정렬기는 제 1 이동가능한 척(chuck)을 더 포함하고,
    상기 제 1 이동가능한 척은,
    제 1 표면; 및
    상기 제 1 표면 내의 제 1 공동(cavity)을 포함하고, 상기 제 1 공동은 상기 퍽을 수용하도록 구성되고, 상기 퍽이 상기 제 1 공동 내에 배치되어 있는 동안, 상기 전달 표면 위에 배치된 DUT도 상기 제 1 척의 상기 제 1 표면 위에 배치되는, DUT 테스트 시스템.
  29. 청구항 17에 있어서,
    상기 캐리어는 온도 제어 장치를 더 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  30. 청구항 17에 있어서,
    상기 DUT는 싱귤레이팅되지 않은 반도체 다이들을 포함하는 반도체 웨이퍼인, DUT 테스트 시스템.
  31. DUT 테스트 시스템에 있어서,
    캐리어 위에 DUT를 정렬된 위치에 위치시키도록 구성된 이동 기구(moving mechanism)를 포함하는 정렬기(aligner)로서, 상기 DUT의 전기적 전도성 단자들은 상기 캐리어의 캐리어 정렬 특징부들에 대해 미리 결정된 위치에 있는, 상기 정렬기;
    테스트 셀들로서, 각각의 상기 테스트 셀은 컨택터(contactor)를 포함하고, 상기 컨택터는 전기적 전도성 프로브들 및 컨택터 정렬 특징부들을 포함하고, 상기 캐리어의 상기 캐리어 정렬 특징부들을 상기 컨택터의 상기 컨택터 정렬 특징부들과 기계적으로 결합시키는 것은 상기 DUT의 상기 단자들을 상기 컨택터의 상기 프로브들과 정렬시키는, 상기 테스트 셀들; 및
    상기 정렬된 위치에 체결된 상기 DUT를 갖는 상기 캐리어를 상기 정렬기로부터 상기 테스트 셀들 중의 하나로 제거하도록 구성된 로봇 기구를 포함하는 이동기(mover)를 포함하되,
    상기 정렬기의 상기 이동 기구는,
    상기 캐리어 위에 배치된 상기 DUT를 갖는 상기 캐리어를 지지하도록 구성된 스테이지(stage); 및
    상기 스테이지로부터 연장되고, 상기 캐리어가 상기 스테이지 위에 배치되어 있는 동안에 상기 캐리어의 전달 표면으로부터 상기 DUT를 들어올리도록 구성된 이동가능한 리프트(lift)들을 포함하되, 상기 이동가능한 리프트들은 상기 DUT가 상기 스테이지 위에 배치되어 있는 동안에 상기 전달 표면과 전반적으로 평행한 평면에서 이동가능하고,
    상기 캐리어는 상기 DUT보다 작은 전달 표면(carrying surface)을 갖는 퍽(puck)을 포함하고,
    상기 정렬기는 제 1 이동가능한 척(chuck)을 더 포함하고,
    상기 제 1 이동가능한 척은,
    제 1 표면; 및
    상기 제 1 표면 내의 제 1 공동(cavity)을 포함하고, 상기 제 1 공동은 상기 퍽을 수용하도록 구성되고, 상기 퍽이 상기 제 1 공동 내에 배치되어 있는 동안, 상기 전달 표면 위에 배치된 DUT도 상기 제 1 척의 상기 제 1 표면 위에 배치되는, DUT 테스트 시스템.
  32. 청구항 17에 있어서,
    상기 퍽의 상기 전달 표면은 상기 DUT보다 적어도 50 퍼센트(percent) 작은, DUT 테스트 시스템.
  33. 청구항 17에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 DUT의 두께보다 작은 두께를 갖는 멤브레인 기판을 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  34. 청구항 17에 있어서,
    상기 테스트 셀들 중의 적어도 4개를 더 포함하는, DUT 테스트 시스템.
  35. 청구항 17에 있어서,
    각각의 상기 테스트 셀은 액세스 도어를 더 포함하고, 상기 하우징 및 상기 액세스 도어는 충분히 밀봉되어 상기 액세스 도어가 닫혀있는 동안, 상기 하우징 내부에 독립적인(self-contained) 청정룸 인클로저(clean room enclosure)를 제공하는, DUT 테스트 시스템.
KR1020127019747A 2009-12-31 2010-12-28 전자 장치들을 테스트하기 위한 테스트 시스템들 및 방법들 KR101810081B1 (ko)

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