JP5839672B2 - 低真空軟x線実験装置 - Google Patents
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Description
超高真空下で軟X線が試料に照射されると光電効果により電子が飛び出し、その結果試料は正に帯電する。試料が導体の場合、帯電はアースからの電子が流れ込むことにより中和される。試料の抵抗値が0.1Ωm以下の半導体、または絶縁体の場合はこの効果が望めないため試料の帯電は中和されず、仕事関数が増大するため最終的に電子は試料の外に脱出できなくなり、測定が不能になる。このため、半導体、絶縁体の軟X線照射実験を行うためには電子銃による帯電の緩和等の操作を要する。
XPS等一般の軟X線実験は水分を多く含む試料、活性炭などのガス放出量の多い試料、蒸気圧の高い試料は超高真空に導入することができないため測定ができない。しかし、本実施例に係る低真空軟X線実験装置の実験槽では比較的圧力を高く保てるため、水分の蒸発や脱ガス等を押さえることができ、上記のような試料の軟X線実験も可能になる。
具体的な実験槽としてはアクリル等の透明プラスチック製グローブボックスにCF規格或いはKF規格の真空対応ポートを設置したものが考えられ、通常のステンレス製超高真空実験槽に比べて安価で製作可能という効果も生じる。
例えば、実験槽の真空度(PeX)が10Torrのとき、第3のオレフィス6と第2のオレフィス4で挟まれた領域(差動排気室2)の真空度は0.1Torr〜0.001Torr程度、第2のオレフィス4と第1のオレフィス2で挟まれた領域(差動排気室1)の真空度は0.001Torr〜0.00001Torr程度、ビームライン1の真空度(Pbl)は0.0000001Torr以下程度になる。
(1)圧力が1×10-7Torr以下の放射光のビームラインに接続される差動排気室と、
前記差動排気室に接続され、圧力が1×10-2Torr以上で使用される実験槽と、を備え、
前記実験槽に最も近い最終段のオレフィスが円錐管の先端に設置されていることを特徴とする低真空軟X線実験装置。
(2)シンクロトロン放射光源から放出された放射光のビームラインに接続される差動排気室と、
前記差動排気室に接続され、圧力が1×10-2Torr以下で使用され、その構成部材として透明部材を含む実験槽と、
前記放射光が前記実験槽内に配置される試料に照射されることにより前記試料から放射される光子または電子を分析する分析器と、を備えることを特徴とする低真空軟X線実験装置。
2…オレフィス1、
3…差動排気室1、
4…オレフィス2、
5…差動排気室2、
6…オレフィス3(円錐管)、
7…試料、
8…実験槽、
9…XYステージまたはベロー管、
10…X線光路、
11…(低真空用)電子分光装置(電子エネルギー分析器)、
20…手袋(グローブ)、
21…実験槽の柱、骨組み。
Claims (12)
- 圧力が1×10-7Torr以下の放射光のビームラインに接続される差動排気室と、
前記差動排気室に接続され、圧力が1×10-2Torr以上で使用される実験槽と、
を備え、
前記ビームラインと前記差動排気室は第1のオレフィスで接続され、
前記差動排気室と前記実験槽は、最終段のオレフィスで接続され、
前記放射光は、前記ビームラインおよび前記差動排気室を通過して前記実験槽に入射するように構成され、
前記第1及び最終段のオレフィスは同時に前記放射光の光路となり、前記ビームライン内を通過してくる前記放射光が、それぞれのオレフィス中央を通過できるよう調整機構として、それぞれのオレフィスの前にはベローズ管、或いはXYステージが設置されており、
前記実験槽に最も近い最終段のオレフィスが円錐管の先端に設置されており、
前記放射光が前記実験槽内に配置される試料に照射されることにより前記試料から放射される光子または電子を分光して分析する低真空軟X線実験装置。 - 前記差動排気室と前記実験槽との間には、更に1つ以上の差動排気室が備えられていることを特徴とする請求項1記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記最終段のオレフィスが先端に設けられている前記円錐管は、前記実験槽内部にせり出していることを特徴とする請求項1記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記最終段のオレフィスは、前記実験槽に設置される試料との距離が短くなるように配置されることを特徴とする請求項3記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記実験槽は、低真空に保つ為に、ロータリーポンプまたはスクロールポンプで排気されることを特徴とする請求項1記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記実験槽は、内部の視認性を有するプラスチックまたはガラスを構成要素として含むことを特徴とする請求項1記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記プラスチックは、アクリルまたはポリカーボネートであることを特徴とする請求項6記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記実験槽は、補強部材として金属を含むことを特徴とする請求項6記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記金属は、ステンレスであることを特徴とする請求項8記載の低真空軟X線実験装置。
- 前記差動排気室と前記差動排気室内を排気する差動排気部とは、コンフラットフランジまたはKFフランジを介して接続されることを特徴とする請求項1記載の低真空軟X線実験装置。
- シンクロトロン放射光源から放出された放射光のビームラインに接続される差動排気室と、
前記差動排気室に接続され、圧力が1×10-2Torr以下で使用され、その構成部材として透明部材を含む実験槽と、
前記ビームラインと前記差動排気室を接続する第1のオレフィスと、
前記差動排気室と前記実験槽を接続する最終段のオレフィスと、
前記放射光が前記実験槽内に配置される試料に照射されることにより前記試料から放射される光子または電子を分光して分析する分析器と、
を備え、
前記第1及び最終段のオレフィスは一直線上に配置されて前記放射光の光路となり、
前記最終段のオレフィスは、前記実験槽内部にせり出して配置された円錐管の先端に設けられることを特徴とする低真空軟X線実験装置。 - 前記分析器は、X線光電子分光法、X線吸収分光法、X線発光分光法、X線磁気円二色測定法、或いはX線磁気線二色測定法を用いた分析器であることを特徴とする請求項11記載の低真空軟X線実験装置。
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