JP5838591B2 - グリーンシートの膜厚測定装置 - Google Patents
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- 光源、及び、前記光源から発せられた光を測定領域に向けてライン状に出射する投光ロッドを有するライン光照明と、基材フィルムを前記投光ロッドの軸線方向と直交する方向に沿って移動させ、基材フィルムに形成されたグリーンシートを前記測定領域に搬送する搬送手段と、前記測定領域を挟んで前記投光ロッドと対向するように配置されたラインカメラと、前記ラインカメラの出力から得られるグリーンシートの光量分布データから、グリーンシートの膜厚分布を算出する演算手段とを備えるグリーンシートの膜厚測定装置であって、
前記投光ロッドのライン状の光の出射範囲は、前記投光ロッドの軸線方向に沿った長さが前記搬送手段により搬送されるグリーンシートの前記軸線方向に沿った長さよりも長く、
前記投光ロッドと前記測定領域との間には、前記投光ロッドから出射された光のうち、前記測定領域に搬送されたグリーンシートの前記軸線方向での端の外側を通って前記ラインカメラに入射する全ての光を遮光する遮光部材が設けられていること、
を特徴とするグリーンシートの膜厚測定装置。 - 前記遮光部材は、
前記軸線方向において延在する貫通孔が設けられた基板と、
前記貫通孔の端部を覆うように基板上に配置され、前記軸線方向においてスライド可能に構成された調節板とを有する、請求項1に記載のグリーンシートの膜厚測定装置。 - 光源、及び、前記光源から発せられた光を測定領域に向けてライン状に出射する投光ロッドを有するライン光照明と、基材フィルムを前記投光ロッドの軸線方向と直交する方向に沿って移動させ、基材フィルムに形成されたグリーンシートを前記測定領域に搬送する搬送手段と、前記測定領域を挟んで前記投光ロッドと対向するように配置されたラインカメラと、前記ラインカメラの出力から得られるグリーンシートの光量分布データから、グリーンシートの膜厚分布を算出する演算手段とを備えるグリーンシートの膜厚測定装置であって、
前記投光ロッドのライン状の光の出射範囲は、前記投光ロッドの軸線方向に沿った長さが前記搬送手段により搬送されるグリーンシートの前記軸線方向に沿った長さよりも長く、
前記投光ロッドと前記測定領域との間には、前記投光ロッドから出射された光のうち、前記測定領域に搬送されたグリーンシートの前記軸線方向での端の外側を通って前記ラインカメラに入射する光を遮光する遮光部材が設けられており、
前記遮光部材は、
前記軸線方向において延在する貫通孔が設けられた基板と、
前記貫通孔の端部を覆うように基板上に配置され、前記軸線方向においてスライド可能に構成された調節板とを有し、
前記貫通孔が前記調節板によって覆われることにより画定される前記遮光部材の開口幅は、グリーンシートを透過しない光が前記ラインカメラに入射することを防止する長さに調節されていることを特徴とするグリーンシートの膜厚測定装置。 - 前記遮光部材は、前記投光ロッドから出射された光が通過する通過口を有し、
前記通過口の前記軸線方向における長さは、前記投光ロッドから出射された光が前記測定領域を通る際に、前記グリーンシートの前記軸線方向での端の外側を当該光が通ることを妨げ且つ前記グリーンシートの前記軸線方向における一端から他端にわたって当該光が照射される長さに設定されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のグリーンシートの膜厚測定装置。 - 前記演算手段は、前記ラインカメラの出力から得られる基準シートの光量分布データを用いてシェーディング補正用のマスタ画像を作成し、前記マスタ画像を用いてグリーンシートの光量分布データをシェーディング補正することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のグリーンシートの膜厚測定装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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