JP5814756B2 - ツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法およびツインドライブ装置 - Google Patents
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- 平行に並列配置された一対の第1および第2駆動軸と、
両端部が前記第1および第2駆動軸に沿ってそれぞれ移動可能に支持されたスライダと、
前記スライダの両端部の位置をそれぞれ検出する第1および第2位置検出部と、
前記第1および第2位置検出部による位置検出値に応じて、前記スライダの一端側を前記第1駆動軸に沿って駆動制御する第1駆動部と、前記スライダの他端側を前記第2駆動軸に沿って前記第1駆動軸と同期制御して移動する第2駆動部と、を備えたツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法であって、
前記第1および第2駆動軸の間で装置稼動時の推力差を発生させるように前記第1および第2駆動部の少なくとも一方を駆動し、前記スライダに歪みを発生させる駆動工程と、
前記スライダに歪みを発生させた後の該スライダの前記他端側の端部の前記一端側の端部に対する歪み量に基づいて、前記スライダの歪み補正量を求める補正量演算工程と、
前記第1および第2駆動軸の間で前記推力差と同一の推力差を発生させるように前記第1および第2駆動部を駆動し、前記スライダの各端部をそれぞれ原点復帰させ、前記スライダの前記一端側の端部を位置決めしてから前記他端側の端部の位置を前記歪み補正量だけ補正する歪み補正工程と、を備えたツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法。 - 請求項1において、
前記駆動工程は、前記第1駆動部を駆動し前記第2駆動部を駆動せずに前記スライダを前記第1および第2駆動軸に沿って移動させて前記スライダに歪みを発生させ、
前記補正量演算工程は、前記スライダの前記一端側の端部の位置が任意の位置に達したときの前記スライダの前記他端側の端部の位置を取得する第1位置取得工程と、前記第1および第2駆動部を駆動し、前記スライダの前記一端側の端部を前記任意の位置に位置決め固定すると共に前記スライダの前記他端側の端部を前記取得した位置に位置決めし、前記スライダが前記第1および第2駆動軸と直角になるまで前記スライダの前記他端側の端部を移動させて該端部の位置を取得する第2位置取得工程とを備え、前記スライダの歪み補正量として前記第1位置取得工程で取得した位置と前記第2位置取得工程で取得した位置との差を求めるツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法。 - 請求項1において、
前記駆動工程は、前記第1駆動部を駆動し前記スライダの前記一端側の端部を前記第1駆動軸に沿って移動させ、前記第2駆動部を駆動せずに前記スライダの前記他端側の端部を現在位置に保持させて前記スライダに歪みを発生させ、
前記補正量演算工程は、前記スライダの移動が停止したときの前記スライダの前記他端側の端部の位置を取得する第1位置取得工程と、前記スライダの前記一端側の端部を固定し、前記スライダが前記第1および第2駆動軸と直角になるまで前記スライダの前記他端側の端部を移動させて該端部の位置を取得する第2位置取得工程とを備え、前記スライダの歪み補正量として前記第1位置取得工程で取得した位置と前記第2位置取得工程で取得した位置との差を求めるツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法。 - 請求項1において、
前記駆動工程は、前記第1駆動部を駆動し前記スライダの前記一端側の端部を前記第1駆動軸に沿って移動させ、前記第2駆動部を前記第1駆動部とは逆方向に駆動し前記スライダの前記他端側の端部を前記第2駆動軸の他方に沿って移動させて前記スライダに歪みを発生させ、
前記補正量演算工程は、前記スライダの移動が停止したときの前記スライダの前記他端側の端部の位置を取得する第1位置取得工程と、前記スライダの前記一端側の端部を固定し、前記スライダが前記第1および第2駆動軸と直角になるまで前記スライダの前記他端側の端部を移動させて該端部の位置を取得する第2位置取得工程とを備え、前記スライダの歪み補正量として前記第1位置取得工程で取得した位置と前記第2位置取得工程で取得した位置との差を求めるツインドライブ装置のスライダの歪み補正方法。 - 平行に並列配置された一対の第1および第2駆動軸と、
両端部が前記第1および第2駆動軸に沿ってそれぞれ移動可能に支持されたスライダと、
前記スライダの両端部の位置をそれぞれ検出する第1および第2位置検出部と、
前記第1および第2位置検出部による位置検出値に応じて、前記スライダの一端側を前記第1駆動軸に沿って駆動制御する第1駆動部と、前記スライダの他端側を前記第2駆動軸に沿って前記第1駆動軸と同期制御して移動する第2駆動部と、
前記スライダの歪みを補正する補正装置と、を備えたツインドライブ装置であって、
前記補正装置は、
前記第1および第2駆動軸の間で装置稼動時の推力差を発生させるように前記第1および第2駆動部の少なくとも一方を駆動し、前記スライダに歪みを発生させる駆動手段と、
前記スライダに歪みを発生させた後の該スライダの前記他端側の端部の前記一端側の端部に対する歪み量に基づいて、前記スライダの歪み補正量を求める補正量演算手段と、
前記第1および第2駆動軸の間で前記推力差と同一の推力差を発生させるように前記第1および第2駆動部を駆動し、前記スライダの各端部をそれぞれ原点復帰させ、前記スライダの前記一端側の端部を位置決めしてから前記他端側の端部の位置を前記歪み補正量だけ補正する歪み補正手段と、を備えたツインドライブ装置。
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CN201210496024.1A CN103140131B (zh) | 2011-11-28 | 2012-11-28 | 双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置 |
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