CN103140131A

CN103140131A - 双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置

Info

Publication number: CN103140131A
Application number: CN2012104960241A
Authority: CN
Inventors: 加藤尚宏
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2011-11-28
Filing date: 2012-11-28
Publication date: 2013-06-05
Anticipated expiration: 2032-11-28
Also published as: JP2013115163A; JP5814756B2

Abstract

本发明提供双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置，能够校正在滑块产生的应变而确保滑块相对于一对驱动轴的高精度的垂直度。在装置组装后的调整阶段，在第一及第二滚珠丝杠轴（37a、37b）之间产生装置运转时的推力差，使Y轴滑块（34）产生应变而运算该应变的校正量（步骤1~8）。并且，在装置运转时的原点回复动作中使上述应变再现，利用上述应变校正量进行位置校正（步骤11~14）。由此，能够确保Y轴滑块34相对于第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b的高精度的垂直度，因此能够提高元件安装装置的生产品的精度，从而能够提高生产能力。

Description

双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置

技术领域

本发明涉及使滑块沿着一对驱动轴移动的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种具备使滑块（X轴框架）沿着一对驱动轴（YR轴框架、YL轴框架）移动的双电动机驱动装置的元件安装装置。专利文献1记载的元件安装装置的双电动机驱动装置具备对滑块（X轴框架）与一对驱动轴的垂直度进行限定的一对原点传感器，基于一对原点传感器产生的检测信号，使滑块移动到确保了与一对驱动轴的垂直度的初始位置。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2006-313839号公报（参照段落0017、图1、4）

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

在专利文献1记载的双电动机驱动装置中，将滑块作为刚体来处理，但实际上滑块不是完全的刚体，因此在滑块的移动时，滑块会产生应变。因此，在通过原点传感器检测到的原点含有由上述应变引起的误差的状态下进行滑块的定位时，会对一方的驱动轴施加不必要的转矩。由此，有时会导致之后的元件安装中的安装精度的恶化或生产能力的下降。

发明内容

本发明鉴于上述现有的问题点而作出，目的在于提供一种能够校正在滑块产生的应变而确保滑块相对于一对驱动轴的高精度的垂直度的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置。

【用于解决课题的方法】

为了解决上述的课题，本发明的第一方面提供一种双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，所述双电动机驱动装置具备：一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；滑块，两端部被支承为能够分别沿着所述第一及第二驱动轴移动；第一及第二位置检测部，分别检测所述滑块的两端部的位置；第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动，所述双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法包括：驱动工序，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；校正量运算工序，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；应变校正工序，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。

本发明的第二方面以第一方面为基础，其中，所述驱动工序驱动所述第一驱动部且不驱动所述第二驱动部，而使所述滑块沿着所述第一及第二驱动轴移动，从而使所述滑块产生应变，所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的所述一端侧的端部的位置到达了任意的位置时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，驱动所述第一及第二驱动部，将所述滑块的所述一端侧的端部定位固定在所述任意的位置并将所述滑块的所述另一端侧的端部定位在所述取得的位置，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。

本发明的第三方面以第一方面为基础，其中，所述驱动工序驱动所述第一驱动部而使所述滑块的所述一端侧的端部沿着所述第一驱动轴移动，且不驱动所述第二驱动部而使所述滑块的所述另一端侧的端部保持在当前位置，从而使所述滑块产生应变，所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的移动停止时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，将所述滑块的所述一端侧的端部固定，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。

本发明的第四方面以第一方面为基础，其中，所述驱动工序驱动所述第一驱动部而使所述滑块的所述一端侧的端部沿着所述第一驱动轴移动，且向与所述第一驱动部相反的方向驱动所述第二驱动部而使所述滑块的所述另一端侧的端部沿着所述第二驱动轴的另一方移动，从而使所述滑块产生应变，所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的移动停止时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，将所述滑块的所述一端侧的端部固定，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。

本发明的第五方面提供一种双电动机驱动装置，具备：一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；滑块，两端部被支承为能够分别沿着所述第一及第二驱动轴移动；第一及第二位置检测部，分别检测所述滑块的两端部的位置；第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动；校正装置，对所述滑块的应变进行校正，在所述双电动机驱动装置中，所述校正装置具备：驱动单元，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；校正量运算单元，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；应变校正单元，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。

【发明效果】

根据本发明第一方面，例如在装置组装后的调整阶段，在第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使滑块产生应变而运算该应变的校正量。并且，在装置运转时的原点回复动作中使上述应变再现，利用上述应变校正量进行位置校正。由此，能够确保滑块相对于第一及第二驱动轴的高精度的垂直度。由此，能够提高适用了该双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法的生产装置的生产品的精度，从而能够提高生产能力。

根据本发明第二方面，驱动第一驱动部且不驱动第二驱动部而使滑块沿着第一及第二驱动轴移动，在第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差。由此，滑块的一端侧的端部移动，另一端侧的端部被拉拽而移动，因此能够使滑块产生应变，从而能够求出滑块的应变校正量。

根据本发明第三方面，驱动第一驱动部而使滑块的一端侧的端部沿着第一驱动轴移动，不驱动第二驱动部而将滑块的另一端侧的端部保持在当前位置，从而在第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差。由此，能够对第一驱动部施加准确的驱动力，因此能够使滑块产生装置运转时的准确的应变，从而能够求出高精度的滑块的应变校正量。

根据本发明第四方面，驱动第一驱动部而使滑块的一端侧的端部沿着第一驱动轴移动，向与第一驱动部相反的方向驱动第二驱动部而使滑块的另一端侧的端部沿着第二驱动轴的另一方移动，从而在第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差。由此，能够对第一及第二驱动部施加正反方向的准确的驱动力，因此能够使滑块产生装置运转时的更准确的应变，进而能够求出高精度的滑块的应变校正量。

根据本发明第五方面，校正装置在例如装置组装后的调整阶段，使第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使滑块产生应变而运算该应变的校正量。并且，在装置运转时的原点回复动作中使上述应变再现，利用上述应变校正量进行位置校正。由此，可构成能够确保滑块相对于第一及第二驱动轴的高精度的垂直度的双电动机驱动装置。由此，能够提高适用了该双电动机驱动装置的生产装置的生产品的精度，从而能够提高生产能力。

附图说明

图1是表示具备本发明的实施方式的双电动机驱动装置的元件安装装置的立体图。

图2是表示图1的元件安装装置的控制装置的框图。

图3是用于说明图2的控制装置的第一动作的流程图，（A）是用于说明元件安装装置组装完成后的双电动机驱动装置的第一调整的流程图，（B）是用于说明元件安装装置运转前的双电动机驱动装置的调整的流程图。

图4是表示双电动机驱动装置的第一调整时的Y轴滑块的动作的第一图，（A）是表示静止状态的图，（B）是表示移动中的状态的图。

图5是表示双电动机驱动装置的第一调整时的Y轴滑块的动作的第二图，（A）是表示移动后的状态的图，（B）是表示调整状态的图。

图6是表示元件安装装置运转前的双电动机驱动装置的调整时的Y轴滑块的动作的图，（A）是表示移动后的状态的图，（B）是表示调整状态的图。

图7是用于说明元件安装装置组装完成后的双电动机驱动装置的第二调整的流程图。

图8是表示双电动机驱动装置的第二调整时的Y轴滑块的动作的图，（A）是表示静止状态的图，（B）是表示移动中的状态的图。

图9是用于说明元件安装装置组装完成后的双电动机驱动装置的第三调整的流程图。

图10是表示双电动机驱动装置的第三调整时的Y轴滑块的动作的图，（A）是表示静止状态的图，（B）是表示移动中的状态的图。

【标号说明】

10…基板搬运装置，20…元件供给装置，30…元件移载装置，31…头移送机构，33a…第一Y轴伺服电动机，33b…第二Y轴伺服电动机，34…Y轴滑块，37a…第一滚珠丝杠轴，37b…第二滚珠丝杠轴，38a…第一滚珠螺母，38b…第二滚珠螺母，39…导轨，48a…第一直线编码器的检测部，48b…第二直线编码器的检测部，50…控制装置，54…校正装置，55…驱动部，56…校正量运算部，57…应变校正部，58…存储部。

具体实施方式

以下，基于附图，说明将本发明的双电动机驱动装置的实施方式适用于元件安装装置的情况。如图1所示，该元件安装装置大致由基板搬运装置10、元件供给装置20、元件移载装置30及控制装置50（参照图2）构成。需要说明的是，在图1中，设基板的搬运方向为X轴方向，与X轴方向正交的水平方向为Y轴方向，与Y轴方向正交的垂直方向为Z轴方向。

基板搬运装置10是将沿着X轴方向搬运基板的第一搬运装置11及第二搬运装置12并列设置有两列的所谓双输送机类型的装置。第一搬运装置11及第二搬运装置12如下构成：在基台13上，各有一对导轨14a、14b、15a、15b相互平行地对置而分别水平地并列设置，对由所述导轨14a、14b、15a、15b分别引导的基板进行支承并搬运的一对传送带（图示省略）相互对置而并列设置。而且，在第一搬运装置11及第二搬运装置12上分别设有夹紧装置（图示省略），该夹紧装置将搬运至规定位置的基板顶起并夹紧，由此将基板定位固定在元件安装位置。

元件供给装置20是在基框1上并列设置有多个供料器21的盒类型的装置。供料器21具备：以可脱离的方式安装于基框1的主体22；设置在主体22的后部并卷绕保持有将元件以规定间距封入的细长的带（图示省略）的供给卷轴23；设置在主体22的前端，通过链轮（图示省略）以规定间距拉出带，将封入状态解除而依次送入元件的元件取出部24。而且，在元件供给装置20与基板搬运装置10之间，设有对由后述的元件移载装置30的元件选取头32保持的元件的保持位置进行检测的由CCD等构成的元件识别用摄像机25。

元件移载装置30是装架于基框1上部而具有配置在基板搬运装置10及元件供给装置20的上方的双电动机驱动装置的XY机器人类型的装置。元件移载装置30具备头移送机构31及元件选取头32。头移送机构31具备：借助两台第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b而沿着Y轴方向移动的Y轴滑块34；以能够沿着X轴方向移动的方式由该Y轴滑块34引导，并通过固定于Y轴滑块34的X轴伺服电动机35而沿着X轴方向移动的X轴滑块36。需要说明的是，第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b等相当于本发明的“第一及第二驱动部”。而且，Y轴滑块34等相当于本发明的“滑块”。

在两台第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b的输出轴上分别连结有沿着Y轴方向延伸的第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b。第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b经由滚珠（图示省略），而与固定在Y轴滑块34上的第一及第二滚珠螺母38a、38b螺合。即，Y轴滑块34借助由第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b的驱动产生的第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b的旋转，经由第一及第二滚珠螺母38a、38b由导轨39引导而沿着Y轴方向移动。需要说明的是，第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b、第一及第二滚珠螺母38a、38b及导轨39等相当于本发明的“第一及第二驱动轴”。

在Y轴滑块34具备分别检测Y轴滑块34的两端部的位置的第一及第二直线编码器的检测部48a、48b。并且，在导轨39上粘贴有第一及第二直线编码器的刻度（图示省略）。第一及第二直线编码器是检测相对位置的增量式的编码器。需要说明的是，第一及第二直线编码器的检测部48a、48b及刻度等相当于本发明的“第一及第二位置检测部”。并且，“第一及第二驱动轴”、“滑块”、“第一及第二位置检测部”及“第一及第二驱动部”相当于本发明的“双电动机驱动装置”。

在X轴伺服电动机35的输出轴上，与第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b的输出轴同样地，连结有沿着X轴方向延伸的滚珠丝杠轴（图示省略）。滚珠丝杠轴经由滚珠（图示省略）而与固定在X轴滑块36上的滚珠螺母（图示省略）螺合。即，X轴滑块36借助由X轴伺服电动机35的驱动产生的滚珠丝杠轴的旋转，经由滚珠螺母由导轨引导而沿着X轴方向移动。在该X轴滑块36上以可更换的方式安装有元件选取头32，该元件选取头32将元件向基板安装。

在元件选取头32上安装有：向下方突出设置而供后述的元件吸嘴44拆装的吸嘴支架部43；设置在该吸嘴支架部43的下端部而吸附保持元件的元件吸嘴44；向下方突出设置，为了识别基板位置而拍摄基板的由CCD等构成的基板识别用摄像机45。吸嘴支架部43被支承为借助Z轴伺服电动机46能够沿着Z轴方向升降且借助R轴伺服电动机47能够绕着吸嘴轴旋转。

元件吸嘴44与真空泵（图示省略）连接以通过吸嘴前端能够吸引元件，安装在吸嘴支架部43的下端部。在元件选取头32上安装对1个元件进行吸附的元件吸嘴44，但也可以取代该元件吸嘴44，而安装已知的旋转式元件吸嘴，即在可旋转的圆筒状的吸嘴支架部将多个元件吸嘴以等角度间隔配置在圆周上，使吸嘴支架部旋转并使元件吸嘴依次升降而依次吸附多个元件的旋转式元件吸嘴。

如图2所示，控制装置50具备基板搬运装置10、元件供给装置20、对元件移载装置30的动作进行控制的基板搬运控制装置51、元件供给控制装置52、对元件移载控制装置53及双电动机驱动装置的Y轴滑块34的应变进行校正的校正装置54。校正装置54具备驱动部55（相当于本发明的“驱动单元”）、校正量运算部56（相当于本发明的“校正量运算单元”）、应变校正部57（相当于本发明的“应变校正单元”）、存储部58。

驱动部55根据第一及第二直线编码器的检测部48a、48b产生的位置检测值，为了使Y轴滑块34的一端侧、在本例中为第一滚珠螺母38a侧沿着第一滚珠丝杠轴37a移动，而对第一Y轴伺服电动机33a进行驱动，为了与第一滚珠丝杠轴37a同步地对Y轴滑块34的另一端侧、在本例中为第二滚珠螺母38b侧进行控制而使该侧沿着第二滚珠丝杠轴37b移动，而对第二Y轴伺服电动机33b进行驱动。而且，驱动第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b的至少一方以在第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b之间产生装置运转时的推力差，而使Y轴滑块34产生应变。

校正量运算部56基于使Y轴滑块34产生应变之后的该Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部相对于第一滚珠螺母38a侧的端部的应变量，求出Y轴滑块34的应变校正量。

应变校正部57驱动第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b以在第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b之间产生与上述推力差相同的推力差，使Y轴滑块34的各端部分别回复到原点，在对Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部进行定位之后，以上述应变校正量校正第二滚珠螺母38b侧的端部的位置。

在存储部58存储有用于在第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b之间产生装置运转时的推力差的、驱动第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b的至少一方时的驱动电流值。具体而言，存储有在后述的双电动机驱动装置的第一调整时使用的以下的驱动电流指令值Si1。即，存储有不驱动第二Y轴伺服电动机33b而使第二滚珠丝杠轴37b为伺服解锁状态，并驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34沿着第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b移动时的驱动电流指令值Si1。

另外，存储有在后述的双电动机驱动装置的第二调整时使用的以下的驱动电流指令值Si2。即，存储有不驱动第二Y轴伺服电动机33b而将Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b保持在当前位置，并驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a沿着第一滚珠丝杠轴37a移动时的驱动电流指令值Si2。而且，存储有在后述的双电动机驱动装置的第三调整时使用的以下的驱动电流指令值Si3、4。即，存储有驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a沿着第一滚珠丝杠轴37a移动，并向与第一Y轴伺服电动机33a相反的方向驱动第二Y轴伺服电动机33b而使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b移动时的驱动电流指令值Si3、4。

接下来，参照图3的流程图，说明上述的结构的控制装置50的动作。当元件安装装置组装完成之后，进行双电动机驱动装置的第一调整（参照图3（A））。即，控制装置50不驱动第二Y轴伺服电动机33b而使第二滚珠丝杠轴37b为伺服解锁状态，按照从存储部58读出的驱动电流值Si1，驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34沿着第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b移动。

由此，Y轴滑块34从图4（A）所示的静止状态开始，如图4（B）所示，第一滚珠螺母38a侧的端部34a向箭头a方向移动，第二滚珠螺母38b侧的端部34b被向箭头a方向拉拽而移动，因此在Y轴滑块34产生应变（步骤1，相当于本发明的“驱动工序”）。

控制装置50如图5（A）所示，在Y轴滑块34的移动中，取得Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a到达任意的位置yaa时的Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b的位置ya（步骤2，相当于本发明的“校正量运算工序”的“第一位置取得工序”）。并且，如图5（B）所示，将能够相对于第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b垂直配置的高刚性夹具J以上述的任意位置yaa为基准安设。

控制装置50驱动第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b而使Y轴滑块34沿着第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b移动（步骤3）。并且，使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a与高刚性夹具J碰触，从而将Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b定位固定在取得的位置ya（步骤4）。然后，驱动第二Y轴伺服电动机33b（步骤5），使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b与高刚性夹具J碰触。即，使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b移动至Y轴滑块34与高刚性夹具J紧贴而与第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b垂直为止（步骤5、6），并取得该端部34b的位置yb（步骤7、步骤3~7相当于本发明的“校正量运算工序”的“第二位置取得工序”）。

控制装置50运算Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b的位置ya与位置yb之差ya-yb，将该差ya-yb作为Y轴滑块34的应变校正量δ而存储于存储部58（步骤8，相当于本发明的“校正量运算工序”）。由以上，双电动机驱动装置的调整完成。

在元件安装装置的安装完成之后，在元件安装装置运转前进行双电动机驱动装置的调整（参照图3（B））。即，控制装置50驱动第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b（步骤11），使Y轴滑块34沿着第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b移动。通过该移动，而在Y轴滑块34产生应变校正量δ的应变。在该移动途中，进行第一及第二直线编码器的检测部48a、48b的原点回复（步骤12）。

控制装置50如图6（A）所示那样，在使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a到达了规定位置yc之后（步骤13），停止驱动第一Y轴伺服电动机33a而进行定位（步骤14）。并且，如图6（B）所示，驱动第二Y轴伺服电动机33b而使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b移动应变校正量δ（步骤15）。通过以上的处理，完成Y轴滑块34的应变校正（相当于本发明的“应变校正工序”）。根据该调整方法，能够确保Y轴滑块34相对于第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b的高精度的垂直度，因此能够提高元件安装装置的生产品的精度，从而能够提高生产能力。

接下来，参照对应于图3所示的图7的流程图，说明元件安装装置组装完成后的双电动机驱动装置的第二调整。需要说明的是，图7中的步骤21~23取代图3中的步骤1~4，因此说明步骤21~23，而步骤6~8的说明省略。控制装置50不驱动第二Y轴伺服电动机33b而将Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b保持在当前位置，按照从存储部58读出的驱动电流指令值Si2，驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a沿着第一滚珠丝杠轴37a移动（步骤21）。

由此，Y轴滑块34从图8（A）所示的静止状态开始，如图8（B）所示，第一滚珠螺母38a侧的端部34a向箭头a方向移动，第二滚珠螺母38b侧的端部34b固定在当前位置，因此在滑块34产生应变（步骤21，相当于本发明的“驱动工序”）。

控制装置50在停止驱动第一Y轴伺服电动机33a之后，取得此时的Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b的位置ya（步骤22，相当于本发明的“校正量运算工序”的“第一位置取得工序”）。并且，将能够与第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b垂直配置的高刚性夹具J以Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a的位置为基准安设而固定该端部34a，驱动第二Y轴伺服电动机33b而使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b移动（步骤23）。

根据该第二调整方法，能够对第一Y轴伺服电动机33a施加准确的驱动力，因此能够使Y轴滑块34产生装置运转时的准确的应变，从而能够求出高精度的Y轴滑块34的应变校正量。需要说明的是，在元件安装装置安装完成后，在元件安装装置运转前进行的双电动机驱动装置的调整与上述（参照图3（B））相同。

接下来，参照对应于图3所示的图9的流程图，说明元件安装装置组装完成后的双电动机驱动装置的第三调整。需要说明的是，由于图9中的步骤31、32取代图7中的步骤21、22，因此说明步骤31、32，省略步骤23、6~8的说明。控制装置50按照从存储部58读出的驱动电流指令值Si3，驱动第一Y轴伺服电动机33a而使Y轴滑块34的第一滚珠螺母38a侧的端部34a沿着第一滚珠丝杠轴37a移动，按照从存储部58读出的驱动电流指令值Si4，向与第一Y轴伺服电动机33a相反的方向驱动第二Y轴伺服电动机33b而使Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b移动（步骤31）。

由此，Y轴滑块34从图10（A）所示的静止状态开始，如图10（B）所示，第一滚珠螺母38a侧的端部34a向箭头a方向移动，第二滚珠螺母38b侧的端部34b向箭头b方向移动，因此在滑块34产生应变（步骤31，相当于本发明的“驱动工序”）。当第一Y轴伺服电动机33a及第二Y轴伺服电动机33b在对抗的位置停止驱动之后，控制装置50取得此时的Y轴滑块34的第二滚珠螺母38b侧的端部34b的位置ya（步骤32，相当于本发明的“校正量运算工序”的“第一位置取得工序”）。

根据该第三调整方法，能够对第一及第二Y轴伺服电动机33a、33b施加正反方向的准确的驱动力，因此能够使Y轴滑块34产生装置运转时的更准确的应变，进而能够求出高精度的Y轴滑块34的应变校正量。需要说明的是，在元件安装装置安装完成后，在元件安装装置的运转前进行的双电动机驱动装置的调整与上述（参照图3（B））相同。

需要说明的是，在上述的实施方式中，说明了将双电动机驱动装置适用于元件安装装置的情况，但也能够适用于作为基板制造装置的印刷装置或检查装置等。而且，在机床中也能够适用双电动机驱动装置。

Claims

1.一种双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，所述双电动机驱动装置具备：

一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；

滑块，两端部被支承为能够分别沿着所述第一及第二驱动轴移动；

第一及第二位置检测部，分别检测所述滑块的两端部的位置；

第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动，

所述双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法包括：

驱动工序，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；

校正量运算工序，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；

应变校正工序，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。

2.根据权利要求1所述的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，其中，

所述驱动工序驱动所述第一驱动部且不驱动所述第二驱动部，而使所述滑块沿着所述第一及第二驱动轴移动，从而使所述滑块产生应变，

所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的所述一端侧的端部的位置到达了任意的位置时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，驱动所述第一及第二驱动部，将所述滑块的所述一端侧的端部定位固定在所述任意的位置并将所述滑块的所述另一端侧的端部定位在所述取得的位置，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，

所述校正量运算工序求出通过所述第一位置取得工序取得的位置与通过所述第二位置取得工序取得的位置之差作为所述滑块的应变校正量。

3.根据权利要求1所述的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，其中，

所述驱动工序驱动所述第一驱动部而使所述滑块的所述一端侧的端部沿着所述第一驱动轴移动，且不驱动所述第二驱动部而使所述滑块的所述另一端侧的端部保持在当前位置，从而使所述滑块产生应变，

所述校正量运算工序包括：第一位置取得工序，取得所述滑块的移动停止时的所述滑块的所述另一端侧的端部的位置；第二位置取得工序，将所述滑块的所述一端侧的端部固定，使所述滑块的所述另一端侧的端部移动至所述滑块与所述第一及第二驱动轴垂直为止，而取得该端部的位置，

4.根据权利要求1所述的双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，其中，

所述驱动工序驱动所述第一驱动部而使所述滑块的所述一端侧的端部沿着所述第一驱动轴移动，且向与所述第一驱动部相反的方向驱动所述第二驱动部而使所述滑块的所述另一端侧的端部沿着所述第二驱动轴的另一方移动，从而使所述滑块产生应变，

5.一种双电动机驱动装置，具备：

一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；

第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动；

校正装置，对所述滑块的应变进行校正，

在所述双电动机驱动装置中，

所述校正装置具备：

驱动单元，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；

校正量运算单元，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；

应变校正单元，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。