JP5812526B2 - 真空処理装置用の端子ユニット及びその製造方法 - Google Patents
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- 真空隔壁と、この真空隔壁の片面に接合した板状の絶縁体と、この絶縁体表面に接合した板状の導体とを備え、
真空隔壁の他面側から真空隔壁及び絶縁体を貫通して導体に通じる孔部が形成され、この孔部を通して真空隔壁の他面側外方に突出する接続端子を前記導体の孔部側に設けてなり、
前記導体が絶縁体表面に並べて夫々接合された複数個の板状の導体片から構成され、隣接する導体片相互間に所定の間隙を有して各導体片が縁切りされていることを特徴とする真空処理装置用の端子ユニット。 - 前記導体片に夫々設けられる接続端子は、真空隔壁の他面側外方に突出する長さが異なる数種のものから選択されることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置用の端子ユニット。
- 前記孔部に絶縁カラーを挿設したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の真空処理装置用の端子ユニット。
- 前記真空隔壁は、真空チャンバに設けられた接続ポートに着脱自在に装着される真空フランジであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の真空処理装置用の端子ユニット。
- 真空処理装置の端子ユニットの製造方法であって、
真空隔壁の片面に板状の絶縁体を接合する工程と、
絶縁体表面に板状の導体を接合し、導体表面に、前記絶縁体に通じる複数の溝部を形成して相互に縁切りされた複数の導体片に分割する工程と、
真空隔壁の他面側から絶縁体を貫通して各導体片に通じる孔部を夫々形成する工程と、
真空隔壁の他面側外方に突出する接続端子を前記導体層部分の孔部側に接合する工程と、を含むことを特徴とする真空処理装置用の端子ユニットの製造方法。
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