JP5812005B2 - ガラス成形用の成形型、ガラス成形装置、ガラス成形方法及びフォトマスク基板の製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2010年9月21日に出願された特願2010−210686号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、を備えるガラス成形用の成形型としたことを特徴とする。
2 真空チャンバ
3 断熱材
4 シリンダ(加圧手段)
5 カーボンヒータ(加熱手段)
6 台座
10 ガラス成形用の成形型
11,111,211,311,411 側板
12 側板ガイド
13 天板
14,114,214,314,414 台板
15 ピン(支持部材)
115 挿入部材付長板状部材(支持部材)
215 薄板状部材(支持部材)
315 略L字状棒状部材(支持部材)
415 略L字状長板部材(支持部材)
16,116 挿入孔
216 溝
316,416 凹み
17 底板
18 レール
20A,20B ガラスインゴット
Claims (12)
- ガラスの加熱加圧成形に用いられるモールド本体と、
前記モールド本体における可動部材に当接可能に配置され、前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に基づく応力を開放するために破断可能な支持部材と、
を備えるガラス成形用の成形型。 - 前記モールド本体は、前記支持部材の一部を挿入可能な複数の孔及び/又は複数の溝を有する、請求項1に記載のガラス成形用の成形型。
- 前記支持部材は、加熱加圧工程で前記可動部材を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、冷却工程で前記モールド本体と前記ガラスとの間の線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有する、請求項1又は2に記載のガラス成形用の成形型。
- 前記支持部材の材質は、カーボンを含む、請求項1乃至3の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。
- 前記モールド本体は、
台板と、
上下動可能である天板と、
前記台板上に配置され、前記台板に対して相対移動可能である、前記可動部材としての側板と、
を有する、請求項1乃至4の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。 - ガラスインゴットを収容する中空部を有し、当該中空部を、台板と、その上に配設された側板と、該側板同士の内側を上下動可能にされた天板とで囲むように構成されたガラス成形用の成形型であって、
前記台板には、前記側板の外側に当接するように支持部材が配設されていて、前記側板は、前記台板に対して、その外側方向に相対移動可能に形成されていると共に、前記支持部材により前記側板の外側から支持されており、
前記支持部材は、
前記中空部に収容したガラスインゴットを加熱加圧して変形させる際に、前記ガラスインゴットから前記側板を介して負荷される荷重によって生じる剪断力では破断しない強度を有すると共に、
加熱加圧して変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際に、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって生じる剪断力により破断する強度を有することを特徴とするガラス成形用の成形型。 - 前記台板には、前記側板の外側に当接する位置に沿って、複数の挿入孔が形成されており、
前記支持部材は、前記複数の挿入孔に挿脱可能なピンで構成されていることを特徴とする請求項6に記載のガラス成形用の成形型。 - 前記ガラスインゴットは、石英ガラスであることを特徴とする請求項6又は7に記載のガラス成形用の成形型。
- 前記成形型は、カーボンで構成されていることを特徴とする請求項6乃至8の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型。
- 請求項1乃至9の何れか一つに記載のガラス成形用の成形型と、
ガラスインゴットの加熱手段及び加圧手段とを有することを特徴とするガラス成形装置。 - 請求項10に記載のガラス成形装置を用いたガラス成形方法であって、
成形型にガラスインゴットを収容し、
加熱手段及び加圧手段により前記ガラスインゴットを加熱加圧して変形させ、
変形させた前記ガラスインゴットを冷却する際、前記成形型と前記ガラスインゴットとの線膨張係数の差に起因して負荷される荷重によって、前記台板に対して側板がその外側方向に相対移動し、これにより支持部材に剪断力が作用し、この剪断力に応じて、前記支持部材を破断させることを特徴とするガラス成形方法。 - 請求項11に記載のガラス成形方法を用いてガラス成形体を得る工程を有していることを特徴とするフォトマスク基板の製造方法。
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