JP5809951B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に、検査対象物を搬入般出するための開口部を有する筐体を備えたＸ線検査装置に関する。

従来、検査対象物を搬入般出するための開口部を有する筐体を備えたＸ線検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、装置本体を覆う筐体と、外部コンベアによって装置本体内に搬送された基板を保持するＸＹテーブルと、筐体内部でＸＹテーブルを挟んで上下方向に互いに対向して配置されたＸ線源およびＸ線検出部とを備えたＸ線検査装置が開示されている。このＸ線検査装置では、装置本体に対して搬入般出される基板が通過するための開口部（入口部および出口部）が筐体の側面部に設けられている。また、各々の開口部近傍の筐体の内側面に、開口部を開閉するためのシャッター機構部が配置されている。なお、シャッター機構部は、開口部を開閉するシャッターと、シャッターを筐体の内側面に沿って上下にスライドさせるためのシリンダ部（駆動部）とを含んでおり、シャッター機構部の各部品は筐体の内側に設けられている。これにより、Ｘ線検査中は、筐体の入口部および出口部がシャッターにより閉じられることにより、照射中のＸ線が外部に洩れ出ることが阻止されている。

特許第３１２８９００号公報

上記特許文献１に記載されたＸ線検査装置では、シャッターとシリンダ部とを含むシャッター機構部が筐体の内側に設けられている点が開示される一方、シャッター機構部の詳細な構造や筐体（装置本体）への取付方法については開示も示唆もされていない。したがって、装置本体の製造時にシャッターおよびシリンダ部を筐体の内側に取り付ける場合には、作業者が装置本体内（筐体内）に入って各部品を筐体に個々に組み付けるか、または、装置本体内で各部品をある程度組み立てた状態で筐体に組み付ける作業を行うと考えられる。また、検査装置の保守点検時にシリンダ部などを交換する際にも、作業者が装置本体内に入って部品の交換作業を行う必要があると考えられる。このため、上記特許文献１のＸ線検査装置では、製造時にシャッター機構部を取り付ける際および保守点検時に、各部品の一部かまたは全てを交換する際に、作業者の作業性が低下するという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、シャッター機構部に関する作業者の作業性を向上させることが可能なＸ線検査装置を提供することである。

この発明の一の局面によるＸ線検査装置は、検査対象物を搬入および搬出するための開口部を側面部に有する筐体と、筐体の開口部を閉じてＸ線を遮蔽するシャッターと、シャッターの開閉動作を行うシャッター駆動部とを含み、シャッターおよびシャッター駆動部が一体化されたシャッターユニットと、筐体の外側面に沿って筐体に取り付けられ、シャッターユニットを筐体の固定位置まで導くとともに、固定位置から取り出し位置まで導くためのガイド部とを備え、シャッターユニットは、検査対象物の搬送方向におけるシャッターユニットの寸法が搬送方向を含む水平面と略垂直な高さ方向におけるシャッターユニットの寸法よりも小さくなるように形成され、筐体に着脱可能に固定されるように構成され、シャッターユニットは、筺体の側面部と略直交する前面部側または後面部側のいずれか一方から側面部の固定位置に向かって側面部に沿って移動可能であるとともに、側面部の固定位置から前面部側または後面部側のいずれか一方に側面部に沿って取り出すことが可能に構成され、シャッターは、シャッターユニットが側面部の固定位置に固定された後、高さ方向に沿って移動可能に構成されている。

この発明の一の局面によるＸ線検査装置では、上記のように、シャッターおよびシャッター駆動部が一体化されたシャッターユニットを備え、シャッターユニットは、筐体に着脱可能に固定されることによって、作業者は、予めユニット化された状態のシャッターユニットを、ユニットごと筐体に組み付けることができる。また、検査装置の保守点検時においても、ユニット化された状態のシャッターユニットをユニットごと筐体から取り外した状態でシャッターユニットに対する保守点検作業を行うことができる。すなわち、作業者が装置本体内に入ってシャッターやシャッター駆動部などの部品を個別に取り付けたり交換したりする作業を必要とすることなくシャッターユニットに関する作業を行うことができる。その結果、シャッター機構部に関する作業者の作業性を向上させることができる。
また、作業者は、ユニット化されたシャッターユニットをガイド部を利用して容易に固定位置に配置することができる。また、シャッターユニットを装置本体から取り出す際も、ガイド部を利用して容易に取り出すことができる。
また、作業者は、シャッターユニットをガイド部に沿わせて移動させて固定位置に配置する作業、および、固定位置から取り出し位置までガイド部に沿わせて取り出す作業を確実に行うことができる。
また、このＸ線検査装置が製造ライン中に配置されている場合など、他の処理装置や検査対象物の搬送ラインが装置本体の側面部に隣接する場合であっても、作業者は、他の処理装置や搬送ラインが存在しない装置本体の前面部側または後面部側からシャッターユニットを側面部の固定位置に配置したり側面部の固定位置から取り出したりすることができる。したがって、保守点検作業のためだけに装置本体を製造ラインから移動（ラインオフ）させることなく製造ライン中に配置した状態（インライン）で、シャッター機構部に関する保守点検を行うことができる。

上記ガイド部をさらに備える構成において、好ましくは、ガイド部は、シャッターユニットを固定位置と取り出し位置との間で移動させるためのレール部材と、シャッターユニットの移動を規制して固定位置に位置決めするストッパ部材とを含む。このように構成すれば、シャッターユニットを精度よく固定位置に配置することができる。また、ストッパ部材によってシャッターユニットがレール部材上を移動し過ぎてガイド部（レール部材）から脱落することを容易に抑制することができる。

上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、シャッター駆動部を駆動する駆動源をさらに備え、シャッターユニットは、シャッター駆動部と駆動源とを接続するための接続部をさらに含む。このように構成すれば、シャッターユニットは、シャッターおよびシャッター駆動部のみならず装置本体側の駆動源と接続される接続部までもが一体化されているので、シャッターユニットの筐体への組み付け後に、接続部をシャッターユニットに対して取り付ける必要がない。これによっても、シャッター機構部に関する作業者の作業性を向上させることができる。

上記シャッターユニットが接続部をさらに含む構成において、好ましくは、接続部は、シャッターユニットが固定される筐体の外側面に沿ってシャッター駆動部から離間した位置まで引き出されている。このように構成すれば、接続部を装置本体外で作業を行う作業者から手の届きやすい場所に配置することができるので、接続部をより短時間で装置本体側の駆動源と接続することができる。また、シャッターユニットを装置本体から取り出す際も、シャッターユニットと駆動源との接続を事前に容易に解除することができるので、作業者は、より短時間でシャッターユニットを装置本体から取り出すことができる。

上記筐体の開口部が装置本体の側面部に対応する位置に形成される構成において、好ましくは、前面部および後面部の少なくとも一方に設けられたメンテナンス用アクセス部をさらに備え、シャッターユニットは、メンテナンス用アクセス部が開かれた状態で、シャッターユニットを側面部の固定位置に向かって移動することが可能であるとともに側面部の固定位置から取り出すことが可能であるように構成されている。このように構成すれば、作業者は、メンテナンス用アクセス部が開かれた場合に限ってシャッター機構部に関する作業を行うことができる。また、メンテナンス作業などを必要としない場合にはメンテナンス用アクセス部を開く必要がないので、作業者以外のＸ線検査を行うオペレータなどが誤ってシャッターユニットにアクセスすることを未然に防ぐことができる。

この場合、好ましくは、シャッターユニットは、メンテナンス用アクセス部から側面部の固定位置への移動方向に沿って差し込まれた締結部材を用いて筐体の外側面側に固定されている。このように構成すれば、作業者は、シャッター機構部に関する作業を装置本体の外部側のみで行うことができるので、装置本体内からの固定作業がなくなる分、作業内容をより簡素化させることができる。

上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、シャッターユニットは、筐体の内側面側から締結部材を用いて筐体に固定されている。このように構成すれば、ユニット化されたシャッターユニットを筐体の内側から固定することができるので、筐体の外部側からの固定作業を行う必要がない。したがって、このＸ線検査装置が製造ライン中に配置されて他の処理装置や搬送ラインが装置本体の外部に隣接する場合（インライン状態）であっても、作業者は、他の処理装置や搬送ラインの配置状態に影響を受けることなくシャッター機構部に関する保守点検を行うことができる。

本発明によれば、上記のように、作業者が装置本体内に入ってシャッターやシャッター駆動部などの部品を個別に取り付けたり交換したりする作業を必要とすることなくシャッターユニットに関する作業を行うことができるので、シャッター機構部に関する作業者の作業性を向上させることができる。

本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の外観を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の外観を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の内部構造を前面部側から見た断面図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置から外装カバーおよび遮蔽壁を取り外した状態での装置本体を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置から外装カバーを取り外した状態（シャッター閉状態）での装置本体を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットがコンベア遮蔽部（筐体）に固定された状態（シャッター閉状態）を示した断面図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットの構造を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットの構造を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットのコンベア遮蔽部（筐体）への取付構造を示した斜視分解図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットを装置本体に装着する際の作業手順を説明するための図である。 本発明の第１実施形態によるシャッターユニットを装置本体に装着する際の作業手順を説明するための図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置が組み込まれた回路基板製造ラインを示した図である。 本発明の第２実施形態によるシャッターユニットのコンベア遮蔽部（筐体）への取付構造を示した斜視分解図である。 本発明の第２実施形態によるシャッターユニットを装置本体に装着する際の作業手順を説明するための図である。 本発明の第２実施形態によるシャッターユニットがコンベア遮蔽部（筐体）に固定された状態を示した断面図である。 本発明の第２実施形態によるシャッターユニットを装置本体に装着する際の作業手順を説明するための図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
図１〜図１２を参照して、本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１００の構造について説明する。

本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１００は、図１〜図３に示すように、回路基板としての基板１（図３参照）上に実装された電子部品（図示せず）の半田接合状態検査を含む各種検査を行うための検査装置である。なお、基板１は、本発明の「検査対象物」の一例である。

Ｘ線検査装置１００は、図３に示すように、基台１０と、基板搬送部２０と、Ｘ線源３０と、撮像部４０と、遮蔽壁５０と、左右で一対のシャッター機構部６０と、外装カバー７０と、基台１０の内部に設置された制御ユニット８０ａおよび電源ユニット８０ｂと、シャッター機構部６０を駆動するための圧縮空気源８０ｃとを備えている。なお、遮蔽壁５０は、本発明の「筐体」の一例であり、圧縮空気源８０ｃは、本発明の「駆動源」の一例である。

基台１０は、重量物であり、Ｘ線検査装置１００を床面（図１におけるＸ−Ｙ平面）上に安定的に設置する役割を有している。また、基台１０には、上面１０ａ（Ｚ１側）上に設けられ、基板搬送方向（Ｘ方向）の両端部に配置された一対の支持台１１が取り付けられている。各々の支持台１１は、図４に示すように、互いに略平行に配置された状態で、上面１０ａ（図３参照）上をＸ方向と略直交するＹ方向に延びている。ここで、本明細書においては、Ｘ方向（基板搬送方向）は、Ｘ線検査装置１００における左右方向であり、Ｙ方向は、Ｘ線検査装置１００における前後方向である。Ｘ線検査装置１００は、電子部品が実装される回路基板を製造する回路基板製造ライン５００（図１２参照）を構成する処理装置群の一部として使用されるように構成されている。この場合、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ１側（側面部１００ｄ）およびＸ２側（側面部１００ｃ）が他の処理装置または搬送ラインに接続される。また、オペレータは、通常、Ｘ線検査装置１００のＹ２側（前面（正面）部１００ａ）またはＹ１側（後面（背面）部１００ｂ）から装置本体にアクセスするように構成されている。したがって、Ｘ線検査装置１００の前面部１００ａ側には、入力装置や非常停止ボタンなどの操作機器類９０と、装置本体内部へのアクセス用の開閉扉１５とが設けられている。また、後面部１００ｂ側にも開閉扉１５と略同様の構造を有するスライド式の開閉扉１６が設けられている。なお、本明細書における装置本体とは、図５に示されるように、Ｘ線検査装置１００から最も外側を形成する外装カバー７０（図１参照）を取り除いた残りの構造物のことを示している。

また、図３に示すように、一対の支持台１１上には、Ｘ線源３０を支持する支持梁３１と、遮蔽壁５０および外装カバー７０をそれぞれ取り付けるためのフレーム構造体１２（図４参照）とが設置されている。

基板搬送部２０は、図４に示すように、基板搬送部２０上で基板１をＸ方向に搬送可能な一対のコンベア部２１を含んでいる。一対のコンベア部２１は、基板１のＹ方向の両端部（外縁部）において基板１を搬送可能に支持するとともに、図示しないクランプ機構によって基板１をＸ方向の所定位置（たとえばコンベア部２１の略中央部）に保持（固定）することが可能に構成されている。また、一対のコンベア部２１は、図示しない駆動機構を用いて、基板１の大きさ（Ｙ方向の幅）に合わせてＹ方向の間隔が調整されるように構成されている。また、図３および図４に示すように、コンベア部２１は、Ｘ方向に延びる一対のガイドレール２２と、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール２３とを介して基台１０上に配置されている。また、コンベア部２１は、図示しないＸ軸モータおよびＸ軸ボールねじによってガイドレール２２に沿ってＸ方向に往復移動されるとともに、図示しないＹ軸モータおよびＹ軸ボールねじによってガイドレール２３に沿ってＹ方向に往復移動されるように構成されている。これにより、基板搬送部２０は、基台１０の上面１０ａ上をＸ−Ｙ面内で移動可能に構成されている。

また、基板搬送部２０は、図３に示すように、基板１の装置本体内への搬入時には、コンベア部２１の端部２１ａをＸ１側のコンベア遮蔽部５２の内側面５２ｃ近傍まで移動させて、上流側の搬送ライン５０１ａ（図１２参照）からＸ線検査前の基板１を受け継ぐ。また、基板搬送部２０は、基板１の搬出時には、コンベア部２１の端部２１ｂをＸ２側のコンベア遮蔽部５３の内側面５３ｃ近傍まで移動させて、下流側の搬送ライン５０１ｂ（図１２参照）へ受け渡す動作を行う。なお、コンベア遮蔽部５２および５３は、それぞれ、Ｘ線源３０から照射されるＸ線が装置本体から外部に洩れ出ないように遮蔽する遮蔽壁５０の一部を構成している。また、コンベア遮蔽部５２および５３は、コンベア部２１の移動範囲（Ｘ方向およびＹ方向）に対応するように、他の遮蔽壁５０の部分よりも外装カバー７０側に突出して形成されている。また、コンベア遮蔽部５２には、基板１の搬送経路と交差する位置に基板１を装置本体内に搬入するための開口部５２ａが形成されるとともに、コンベア遮蔽部５３には、基板１を装置本体外に搬出するための開口部５３ａが形成されている。なお、コンベア遮蔽部５２および５３は、本発明の「筐体」の一例である。

ここで、第１実施形態では、図３に示すように、フレーム構造体１２に取り付けられた遮蔽壁５０と外装カバー７０との間の空間に、シャッター機構部６０が備えられている。具体的には、遮蔽壁５０のうちのコンベア遮蔽部５２（Ｘ１側）とその外側の外装カバー７０（カバー部材７１）との間にシャッターユニット６０ａが配置されるとともに、反対側（Ｘ２側）のコンベア遮蔽部５３とその外側の外装カバー７０（カバー部材７１）との間にシャッターユニット６０ｂが配置されている。Ｘ線検査装置１００では、上流側の搬送ライン５０１ａ（図１２参照）から基板１をコンベア部２１に受け継ぐ際、シャッターユニット６０ａ（図１参照）が駆動されて、コンベア遮蔽部５２の開口部５２ａが一時的に開かれる。同様に、コンベア部２１から検査済みの基板１を下流側の搬送ライン５０１ｂ（図１２参照）に受け渡す際には、シャッターユニット６０ｂ（図２参照）が駆動されて、コンベア遮蔽部５３の開口部５３ａが一時的に開かれる。また、Ｘ線検査中は、シャッターユニット６０ａおよび６０ｂは、開口部５２ａおよび５３ａを共に閉じて照射中のＸ線を遮蔽する機能を有している。なお、図１〜図３に示すように、シャッターユニット６０ａおよび６０ｂは、装置本体に対する取付方向が互いに逆の点で、構造上、Ｘ１側に配置される右勝手仕様とＸ２側に配置される左勝手仕様とが存在するが、シャッター機構部６０を構成する各部品の機能およびシャッター機構部６０に備わる特徴点については左右で同一である。したがって、以降では、図６に示される搬入口側（開口部５２ａ）を開閉するシャッター機構部６０としてのシャッターユニット６０ａの構造について説明する。

シャッターユニット６０ａは、図７および図８に示すように、開口部６１ａを有して枠状に形成されたシャッターベース６１と、シャッターベース６１の長手方向（Ｙ方向）の両端部に設けられるとともに短手方向（Ｚ方向）に延びる一対の板状のシャッターガイド６２と、上端部がシャッターベース６１のＹ方向の略中央部に固定されて下方（Ｚ２方向）に延びる板状のシリンダベース６３と、シリンダベース６３の下端領域に固定され、圧縮空気源８０ｃ（図３参照）が作り出す圧縮空気により上下駆動されるロッド６４ａを含むエアシリンダ６４と、シャッターベース６１の外表面６１ｂとシャッターガイド６２の裏面６２ａとの隙間に挟まれた状態で上下方向（Ｚ方向）にスライド可能に構成されたシャッター６５とを含んでいる。ここで、シャッター６５は、図６に示すように、ステンレス製のシャッター本体部６５ｂのうち内向き（Ｘ２方向）に折り曲げられた下端部６５ａがロッド６４ａの先端部６４ｂに固定されている。そして、エアシリンダ６４によるロッド６４ａの上下駆動とともにシャッター本体部６５ｂも上下方向にスライドされる。また、シャッター６５の外表面（Ｘ１側）のうちのシャッターガイド６２の裏面６２ａと接触する領域（図７の破線枠内）には、摺動性が良好な材料からなるテープ材８ａ（図７参照）が上下方向に延びて貼付されている。なお、エアシリンダ６４は、本発明の「シャッター駆動部」の一例である。なお、図７および図８では、説明の都合上、装置本体側のコンベア遮蔽部５２（図３参照）に固定されている後述するレール部材９５を、シャッターユニット６０ａの単体構造とともに図示している。

また、図６および図８に示すように、シャッター本体部６５ｂの内側（Ｘ２側）には、鉛製のシート状の遮蔽材５ｂが両面接着テープなどを用いて貼付されている。すなわち、シャッター６５は、シャッター本体部６５ｂと遮蔽材５ｂとを含んでいる。さらに、遮蔽材５ｂのうちのシャッターベース６１の外表面６１ｂと接触する領域（図８の破線枠内）には、摺動性が良好な材料からなるテープ材８ｂ（図８参照）が上下方向に延びて貼付されている。また、遮蔽材５ｂは、コンベア遮蔽部５２の開口部５２ａ（図６参照）よりも若干広い平面積を有しており、シャッター６５が開口部５２ａを閉じる位置に配置された状態で、開口部５２ａはＸ１側から完全に覆われるように構成されている。したがって、シャッターユニット６０ａは、コンベア遮蔽部５２の開口部５２ａを閉じてＸ線を遮蔽することが可能に構成されている。また、図８に示すように、シャッターベース６１の内表面６１ｅのうちの長手方向（Ｙ方向）の両端部近傍の領域には、摺動性が良好な材料からなるテープ材８ｃが貼付されている。

また、図７に示すように、シャッターユニット６０ａは、上記構成に加えて、長手方向（Ｙ方向）の一端がシャッターベース６１の下端部６１ｃのＹ２側の隅部近傍にネジ部材を用いて固定されるとともにこの位置からＹ２方向に略直線状に延びるハーネス支持部６６と、エアシリンダ６４に圧縮空気を供給するためのエアホース６７（２本）と、エアシリンダ６４に内蔵されロッド６４ａの位置を検出するセンサ６８ａおよび６８ｂを装置本体側（制御ユニット８０ａ（図３参照））に電気的に接続するための電気配線６８とを含んでいる。なお、上側（Ｚ１側）に配置されたセンサ６８ａによりロッド６４ａがエアシリンダ６４からＺ１方向に最も突出した状態が検出されるとともに、センサ６８ａよりも下側（Ｚ２側）に配置されたセンサ６８ｂによりロッド６４ａがエアシリンダ６４内に最も引っ込んだ状態が検出される。センサ６８ａおよび６８ｂの検出結果に基づいて、エアシリンダ６４へ圧縮空気を供給する際の電磁弁（図示せず）の開閉が制御されている。

また、エアシリンダ６４の駆動に関連して、図６に示すように、コンベア遮蔽部５２の内側面５２ｃ上の所定位置（Ｚ方向）にシャッター６５の開閉状態を検出する開閉検知センサ８５ａが取り付けられている。また、図７に示すように、シャッター本体部６５ｂの下端部６５ａのＹ２側の端部近傍の下方に、ブラケット部材８６を介して磁石８５ｂが取り付けられている。シャッターユニット６０ａでは、磁石８５ｂは、図６に示すように、金属板５ｃを挟んで開閉検知センサ８５ａとＸ方向に対向する位置（シャッター６５が開口部５２ａを完全に閉じる位置）と、この位置よりも下の位置（シャッター６５が下がって開口部５２ａを開く位置）との間を往復移動するように構成されている。Ｘ線検査装置１００では、磁石８５ｂが下方に下がり開閉検知センサ８５ａが磁石８５ｂの存在を検出しない状態（開口部５２ａが開かれた状態）においては、Ｘ線の照射が停止（禁止）されるように構成されている。

ここで、図１１に示すように、シャッターユニット６０ａが装置本体に装着された状態では、エアホース６７および電気配線６８（図７参照）は、コンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄに沿って延びるハーネス支持部６６を介して、エアシリンダ６４から前面部１００ａ側に離間した位置まで引き出されている。したがって、エアホース６７のジョイント部材６７ａおよび電気配線６８のコネクタ６８ｃは、前面部１００ａ側の開口部１０５近傍で装置本体側の制御系（圧縮空気源８０ｃおよび制御ユニット８０ａ（図３参照））にそれぞれ接続されるように構成されている。なお、ジョイント部材６７ａは、本発明の「接続部」の一例である。

このように、シャッターユニット６０ａは、上述の各部品が一体化（ユニット化）された構造を有している。したがって、ユニット化されたシャッターユニット６０ａは、装置本体に装着される場合（図１１参照）のみならず、ユニット単体の状態でエアホース６７（ジョイント部材６７ａ）および電気配線６８（コネクタ６８ｃ）を制御系に接続した場合においても、エアシリンダ６４が駆動されてシャッター６５の開閉動作が確認されるように構成されている。

また、第１実施形態では、シャッターユニット６０ａは、次のようにして装置本体に固定されている。具体的には、まず、図６および図９に示すように、Ｙ方向（長手方向）に沿って中空箱状に延びたコンベア遮蔽部５２の上面５２ｂに、レール溝９５ａを有する１本のレール部材９５がネジ部材２（６本）を用いて取り付けられている。ここで、レール部材９５は、上面５２ｂに沿ってＹ方向に延びており、レール部材９５は、シャッターユニット６０ａを後述する固定位置（位置Ｐ：図１１参照）まで導くために設けられている。また、図６および図８に示すように、シャッターベース６１の上側（Ｚ１側）の上端部６１ｄは、板金の折り曲げ加工によりコンベア遮蔽部５２（図６参照）側に向かって略逆さＵ字形状を有して形成されている。また、上端部６１ｄには、複数（３個）のコロ部材６９が回転自在に取り付けられている。そして、シャッターユニット６０ａは、３つのコロ部材６９の踏面がレール部材９５のレール溝９５ａに嵌り込んだ状態でシャッターユニット６０ａの自重によりコンベア遮蔽部５２に吊り下げられている。また、この状態で、シャッターユニット６０ａは、図９に示すように、シャッターベース６１が、コンベア遮蔽部５２の内側（内側面５２ｃ側）からネジ部材３（合計４本）を用いて固定されている。これにより、シャッターユニット６０ａは、シャッターベース６１が外装カバー７０側（Ｘ１側）からコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄを覆うようにしてコンベア遮蔽部５２に取り付けられている。また、この際、シャッターユニット６０ａは、シャッター６５の可動領域（上下方向）が開口部５２ａを完全に覆うようにしてコンベア遮蔽部５２に取り付けられている。なお、図９および図１１において、シャッターユニット６０ａがコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄに装着される位置Ｐは、本発明の「固定位置」の一例である。また、レール部材９５は、本発明の「ガイド部」の一例であり、ネジ部材３は、本発明の「締結部材」の一例である。

また、第１実施形態では、図１に示すように、前面部１００ａ側の外装カバー７０（カバー部材７２）の一部に、メンテナンス用アクセス部７９が設けられている。具体的には、メンテナンス用アクセス部７９は、シャッターユニット６０ａが装置本体に取り付けられた高さ領域（Ｚ方向）におけるカバー部材７２の右端部（Ｘ１側）が切り欠かれた部分に嵌め込まれるようにして配置されている。ここで、メンテナンス用アクセス部７９は、カバー部材７２に対して蝶番部材などを介して開閉可能に取り付けられたドア部材であってもよいし、前面部１００ａから完全に取り外すことが可能な蓋部材であってもよい。なお、メンテナンス用アクセス部７９を開くことによって前面部１００ａにアクセス用の開口部１０５が形成される。また、メンテナンス用アクセス部７９は、通常運転時（Ｘ線検査時）には開閉できないように構成されるのが好ましい。たとえば、ドア部材である場合には、メンテナンス用アクセス部７９の開閉動作に基づいて検査装置の運転の可否が判断されるように構成されればよい。また、蓋部材の場合には、たとえば、図５に示されるように前面部１００ａ側のカバー部材７２を装置本体から取り除いた状態で、メンテナンス用アクセス部７９（図１参照）を前面部１００ａからさらに取り外すことが可能なように構成されていればよい。これにより、図１のようにカバー部材７２が装着された状態でしか通常の運転は行われないので、通常運転時は、メンテナンス用アクセス部７９も装着されて開口部１０５が閉じられた状態が維持される。

したがって、メンテナンス用アクセス部７９が前面部１００ａから取り除かれた場合、コンベア遮蔽部５２とその外側の外装カバー７０（カバー部材７１）との間の空間が前面部１００ａ側から開口部１０５を介して目視可能であるように構成されている。この状態で、シャッターユニット６０ａは、図１０に示すように、前面部１００ａ側から開口部１０５を介してＹ１方向に挿入される。たとえば、作業者がシャッターユニット６０ａを抱えた状態でシャッターユニット６０ａの長手方向（Ｙ１側）の先端部から開口部１０５に挿入し、３つのコロ部材６９（図８参照）を順次レール部材９５（図８参照）のレール溝９５ａに嵌め込みながらＹ１方向にスライド移動させることによって、シャッターユニット６０ａをコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ上の固定位置（位置Ｐ）に向かって送り込むことが可能とされている。なお、シャッターベース６１の内表面６１ｅにはテープ材８ｃが貼付されているので、シャッターベース６１は、コロ部材６９の転がり移動とともにテープ材８ｃ（図８参照）が外側面５２ｄに対して滑らかに滑りながら位置Ｐに向かって移動される。

なお、図８に示すように、レール部材９５のレール溝９５ａのＹ１側の端部近傍には、レール溝９５ａに対して上方（Ｚ１方向）に突出する突出片を有するストッパ部材９６が取り付けられている。ここで、ストッパ部材９６は、図９に示すように、レール部材９５がコンベア遮蔽部５２の上面５２ｂに取り付けられる前に予めレール部材９５にネジ部材２を用いて取り付けられている。したがって、シャッターユニット６０ａがレール部材９５に沿ってＹ１方向に送り込まれた後、スライド移動された最もＹ１側の先頭のコロ部材６９がストッパ部材９６の突出片に当接することにより、コロ部材６９の転がり移動が規制されてシャッターユニット６０ａが所定の固定位置（位置Ｐ）に位置決めされるように構成されている。なお、レール部材９５とストッパ部材９６とによって、本発明の「ガイド部」が構成されている。そして、図１０の状態からシャッターユニット６０ａが図１１に示される位置Ｐまで空間内に挿入された状態で、作業者は、開閉扉１５（図１参照）を開いて装置本体内に身を乗り出し、ドライバ工具（図示せず）などでコンベア遮蔽部５２（図９参照）の内側面５２ｃ側からネジ部材３（図９参照）を用いてシャッターユニット６０ａをコンベア遮蔽部５２（図９参照）に固定するように構成されている。なお、図１１に示すように、シャッターユニット６０ａが位置Ｐに固定された状態（シャッター６５が閉じた状態）では、装置本体側の開閉検知センサ８５ａに対して磁石８５ｂがＸ方向に見て重なった位置に配置される。

また、第１実施形態では、シャッターユニット６０ａがコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄに固定（装着）された状態において、作業者は、ハーネス支持部６６に沿って前面部１００ａ側に引き出されたエアホース６７のジョイント部材６７ａおよび電気配線６８のコネクタ６８ｃを、それぞれ、装置本体側の制御系に接続する。最後に、メンテナンス用アクセス部７９を開口部１０５の位置に戻すことにより開口部１０５が閉じられて、シャッターユニット６０ａの取付作業は完了される。

また、Ｘ線検査装置１００に装着されたシャッターユニット６０ａに関してメンテナンスを行う際は、上記した装着方法（手順）とは反対の手順でシャッターユニット６０ａを装置本体から取り出すことが可能とされている。すなわち、作業者は、メンテナンス用アクセス部７９を前面部１００ａから取り除いた状態で、まず、エアホース６７のジョイント部材６７ａおよび電気配線６８のコネクタ６８ｃを装置本体側の制御系から切り離す。その後、開閉扉１５（図１参照）を開いてドライバ工具（図示せず）を差し込み、コンベア遮蔽部５２（図９参照）の内側面５２ｃ側からシャッターユニット６０ａを固定しているネジ部材３（図９参照）を取り外す。その後、図１０に示すように、開口部１０５に手を差し入れてシャッターユニット６０ａを把持し、レール部材９５に沿ってシャッターユニット６０ａを位置Ｐから前面部１００ａ側の取り出し位置（位置Ｑ）まで引き出す。なお、図１０において、シャッターユニット６０ａが開口部１０５を介して前面部１００ａまで取り出される位置Ｑは、本発明の「取り出し位置」の一例である。

なお、Ｘ線検査装置１００の側面部１００ｄ側（Ｘ２側）に装着されるシャッターユニット６０ｂ（図２参照）に関する取付構造、取付方法、および、メンテナンス時のシャッターユニット６０ｂの取り外しおよび取り出し方法についても、上記した側面部１００ｃ側のシャッターユニット６０ａの場合と同じである。

また、図１〜図３に示すように、外装カバー７０（カバー部材７１）にも開口部７１ａが形成されており、シャッター６５が開口部７１ａの奥側に露出している。したがって、作業者またはオペレータは、操作機器類９０（図１参照）を介して所定の操作を行うことにより、シャッター６５の開閉動作を確認することが可能とされている。また、運転中に開閉検知センサ８５ａによりシャッター６５の開放動作が検知されると、Ｘ線の照射が停止されるように構成されている。

また、Ｘ線源３０は、図３に示すように、支持梁３１に懸架されることにより基板搬送部２０の上方（Ｚ１側）に配置された状態で、下方（Ｚ２側）に位置する基板１に対してＸ線を照射する機能を有している。また、撮像部４０は、Ｚ方向に沿って基板搬送部２０のＸ線源３０とは反対側（Ｚ２側）の下方に配置されている。また、撮像部４０は、Ｘ線源３０から照射されるとともに基板１を透過したＸ線を検出してＸ線像（透過画像）を撮像する機能を有している。ここで、撮像部４０は、基台１０の上面１０ａと基板搬送部２０との間に設けられた駆動機構４１によって、基板搬送部２０の下側（Ｚ２側）の空間を水平面内（図４のＸ−Ｙ面内）で移動可能に構成されている。これにより、Ｘ線検査装置１００では、基板搬送部２０および撮像部４０を互いに独立して移動させてＸ線源３０に対する基板１および撮像部４０の相対的な位置関係が調整されることにより、基板１に対してＺ方向の真上からＸ線を照射して撮像することのみならず、基板１に対して斜め方向からＸ線を照射して撮像することも可能に構成されている。

また、フレーム構造体１２は、図４に示すように、断面が角型の複数の中空パイプを縦横に組み合わせて構成されている。具体的には、フレーム構造体１２は、一対の支持台１１上において上方（Ｚ１方向）に延びる一対の側部フレーム体１３（Ｘ１側およびＸ２側）と、側部フレーム体１３の上端部において側部フレーム体１３同士をＸ方向に接続する上部フレーム体１４とを含んでいる。

また、側部フレーム体１３は、支持台１１の端部（Ｙ方向）から上方に延びる２本の柱部１３ａと、柱部１３ａをＹ方向に繋ぐ梁部１３ｂおよび梁部１３ｃとを有している。また、上部フレーム体１４は、一対の梁部１３ｂ同士を接続するＸ方向に延びる複数の梁部１４ａと、梁部１４ａ同士を接続するＹ方向に延びる複数の梁部１４ｂとを有している。これにより、フレーム構造体１２は、一対の側部フレーム体１３と上部フレーム体１４とによって形成された門型構造を有することにより、基板搬送部２０、Ｘ線源３０および撮像部４０を上方から跨いで装置本体の外形状を形成している。

また、上述のコンベア遮蔽部５２を含めた遮蔽壁５０は、フレーム構造体１２に取り付けられた複数の板状の壁部材５１からなる。各々の壁部材５１は、断面構造の一部が図６に示されるように、金属板５ａと、両面接着テープなどを用いて金属板５ａに貼付された鉛製のシート状の遮蔽材５ｂとを含んでいる。なお、遮蔽材５ｂは、金属板５ａに対して外側（外装カバー７０側）に配置されている。

また、コンベア遮蔽部５２については、図６に示すように、一部に開口部５２ａを有して中空箱状に形成された金属板５ｃと、両面接着テープなどを用いて金属板５ｃの内側面に隙間なく貼付された鉛製のシート状の遮蔽材５ｂとを含んでいる。また、基台１０の上面１０ａ上にも遮蔽材５ｂと同様の遮蔽材（図示せず）が設けられている。これにより、遮蔽壁５０は、Ｘ線源３０を中心として装置本体の内部空間（Ｘ線照射領域）を３次元的に包囲してＸ線を遮蔽するように構成されている。

外装カバー７０は、図１〜図３に示すように、箱状の遮蔽壁５０（図３参照）よりも一回り大きい箱状形状を有している。また、外装カバー７０は、装置本体の左右（Ｘ１側およびＸ２側）の側面部１００ｃおよび１００ｄをそれぞれ覆う複数のカバー部材７１と、装置本体の前面部１００ａ（Ｙ１側）および後面部１００ｂ（Ｙ２側）をそれぞれ覆う複数のカバー部材７２と、装置本体の天面部（Ｚ１側）を覆う複数の天面カバー部材７３（図１参照）とからなる。なお、図５に示すように、取付部材７４および７５が、遮蔽壁５０と外装カバー７０（図３参照）との間に配置されており、カバー部材７１、７２および天面カバー部材７３は、それぞれ、取付部材７４または７５に対して個別に取り付けられている。

制御ユニット８０ａは、基板搬送部２０、Ｘ線源３０、撮像部４０、シャッター機構部６０および圧縮空気源８０ｃを含むＸ線検査装置１００全体の動作を制御する機能を有している。また、電源ユニット８０ｂは、制御ユニット８０ａおよび圧縮空気源８０ｃを含めたＸ線検査装置１００全体に電力を供給する機能を有している。

また、図１および図２に示すように、開閉扉１５（１６）には、外表面の外装部材１５ａ（１６ａ）と、内面側に配置されたＸ線を遮蔽する遮蔽部材（図示せず）とが一体的に設けられている。これにより、開閉扉１５および１６は、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５０の一部として機能するとともに、外装カバー７０の一部としても機能する。また、開閉扉１５および１６は、それぞれ、開放される際に外装カバー７０と遮蔽壁５０との隙間（隣接するカバー部材７２と壁部材５１との間）に入り込むように構成されている。また、開閉扉１５には、開閉検知スイッチ８１および８２（図５参照）が設けられている。

開閉検知スイッチ８１は、開閉扉１５の開放状態が検知された場合にＸ線源３０からのＸ線の照射を停止（禁止）するためのスイッチである。開閉検知スイッチ８２は、開閉扉１５の開放状態が検知された場合に基板搬送部２０などの可動機構の作動を停止（禁止）するためのスイッチである。これにより、メンテナンス時に開閉扉１５が開かれると、Ｘ線源３０からのＸ線の照射動作、および、基板搬送部２０などの作動が禁止されるように構成されている。なお、開閉扉１６にも、開閉扉１５に設けられたものと同様の構造および機能を有する開閉検知スイッチ（図示せず）が備えられている。

また、第１実施形態によるＸ線検査装置１００は、搬送ラインによって基板を搬送しながら電子部品の実装回路基板の製造を行う回路基板製造ラインを構成する装置群の一部として使用することが可能である。

たとえば、回路基板製造ライン５００では、図１２に示すように、電子部品実装前の基板１を保持するローダー５０２から搬送ライン５０１に基板１が送り出され、印刷機５０３による基板１上へのペースト半田印刷工程、表面実装機５０４による基板１への部品実装工程、および、リフロー炉５０５により半田を溶融させて部品を基板１上の電極部に接合するリフロー工程が順次行われた後、Ｘ線検査装置１００に実装済みの基板１が搬送される。実装済みの基板１がコンベア遮蔽部５２の開口部５２ａ（図３参照）を介して搬送ライン５０１ａから基板搬送部２０（図３参照）に受け渡されると、Ｘ線検査装置１００では、Ｘ線を使用して実装済みの基板１が撮像され、各部品の半田接合状態などが検査される。その後、コンベア遮蔽部５３の開口部５３ａ（図３参照）を介して基板搬送部２０から搬送ライン５０１ｂに基板１が受け渡され、次の光学検査装置５０６に搬入される。光学検査装置５０６では、可視光を用いた部品実装状態の外観検査が行われ、これらの検査工程の終了後、基板１が搬送ライン５０１からアンローダー５０７に受け渡されて基板１の製造が完了する。

第１実施形態では、上記のように、シャッター６５およびエアシリンダ６４が一体化されたシャッターユニット６０ａを備え、シャッターユニット６０ａは、コンベア遮蔽部５２に着脱可能に固定されている。同様に、シャッター６５およびエアシリンダ６４が一体化されたシャッターユニット６０ｂもコンベア遮蔽部５３に着脱可能に固定されている。これにより、作業者は、予めユニット化された状態のシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を、ユニットごとコンベア遮蔽部５２（５３）に組み付けることができる。また、Ｘ線検査装置１００の保守点検時においても、ユニット化された状態のシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）をユニットごとコンベア遮蔽部５２（５３）から取り外した状態でシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）に対する保守点検作業を行うことができる。すなわち、作業者がＸ線検査装置１００の本体内に入ってシャッター６５やエアシリンダ６４などの部品を個別に取り付けたり交換したりする作業を必要とすることなくシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）に関する作業を行うことができる。その結果、シャッター機構部６０に関する作業者の作業性を向上させることができる。

また、第１実施形態では、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）をコンベア遮蔽部５２（５３）への位置Ｐ（図１１参照）まで導くとともに、位置Ｐから位置Ｑ（図１０参照）まで導くためのレール部材９５をさらに備える。これにより、作業者は、ユニット化されたシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を各々のレール部材９５を利用して容易に位置Ｐに配置することができる。また、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を装置本体から取り出す際も、各々のレール部材９５を利用して容易に取り出すことができる。

また、第１実施形態では、レール部材９５は、コンベア遮蔽部５２（５３）の外側面５２ｄ（５３ｄ）に沿ってコンベア遮蔽部５２（５３）に取り付けられており、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）は、レール部材９５に沿って移動されることにより位置Ｐ（図１１参照）まで導かれるとともに、位置Ｐから取り出し位置Ｑ（図１０参照）まで導かれるように構成されている。これにより、作業者は、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）をレール部材９５に沿わせて移動させて位置Ｐに配置する作業、および、位置Ｐから取り出し位置Ｑまでレール部材９５に沿わせて取り出す作業を確実に行うことができる。

また、第１実施形態では、レール部材９５に、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）の移動を規制して位置Ｐに位置決めするストッパ部材９６が取り付けられている。これにより、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を精度よく位置Ｐに配置することができる。また、ストッパ部材９６によってシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）がレール部材９５上をＹ方向に移動し過ぎてレール部材９５から脱落することを容易に抑制することができる。

また、第１実施形態では、エアシリンダ６４を駆動する圧縮空気源８０ｃ（図３参照）を備えており、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）は、エアシリンダ６４と圧縮空気源８０ｃとを接続するためのジョイント部材６７ａを含んでいる。これにより、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）は、シャッター６５およびエアシリンダ６４のみならず装置本体側の圧縮空気源８０ｃと接続されるジョイント部材６７ａまでもが一体化されているので、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）のコンベア遮蔽部５２（５３）への組み付け後に、ジョイント部材６７ａおよびエアホース６７をびエアシリンダ６４に対して取り付ける必要がない。これによっても、シャッター機構部６０に関する作業者の作業性を向上させることができる。

また、第１実施形態では、ジョイント部材６７ａは、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）が固定されるコンベア遮蔽部５２（５３）の外側面５２ｄ（５３ｄ）に沿ってエアシリンダ６４からＹ２方向に離間した位置まで引き出されている。これにより、ジョイント部材６７ａを装置本体外で作業を行う作業者から手の届きやすい場所に配置することができるので、ジョイント部材６７ａをより短時間で装置本体側の圧縮空気源８０ｃと接続することができる。また、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を装置本体から取り出す際も、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）と圧縮空気源８０ｃとの接続を事前に容易に解除することができるので、作業者は、より短時間でシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を装置本体から取り出すことができる。

また、第１実施形態では、コンベア遮蔽部５２（５３）の開口部５２ａ（５３ａ）は、装置本体の側面部１００ｃ（１００ｄ）に対応する位置に形成されており、装置本体の前面部１００ａ側からシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を側面部１００ｃ（１００ｄ）の位置Ｐに向かってＹ１方向に移動することが可能であるとともに、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を側面部１００ｃ（１００ｄ）の位置Ｐから前面部１００ａ側に取り出すことが可能であるように構成されている。これにより、Ｘ線検査装置１００が回路基板製造ライン５００（図１２参照）中に配置されている場合など、基板１の搬送ライン５０１ａおよび５０１ｂが装置本体の側面部１００ｃ（１００ｄ）に隣接する場合であっても、作業者は、搬送ライン５０１ａおよび５０１ｂが存在しない装置本体の前面部１００ａ側または後面部１００ｂ側からシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を側面部１００ｃ（１００ｄ）の位置Ｐに配置したり側面部１００ｃ（１００ｄ）の位置Ｐから取り出したりすることができる。したがって、保守点検作業のためだけに装置本体を回路基板製造ライン５００からラインオフさせることなく回路基板製造ライン５００中に配置したインライン状態で、シャッター機構部６０に関する保守点検を行うことができる。

また、第１実施形態では、前面部１００ａに設けられたメンテナンス用アクセス部７９を備えている。そして、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）は、メンテナンス用アクセス部７９が開かれた状態で、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を側面部１００ｃ（１００ｄ）に配置することが可能であるとともに側面部１００ｃ（１００ｄ）から取り出すことが可能であるように構成されている。これにより、メンテナンス用アクセス部７９が開かれた場合に限ってシャッター機構部６０に関する作業を行うことができる。また、メンテナンス作業などを必要としない場合にはメンテナンス用アクセス部７９を開く必要がないので、Ｘ線検査を行うオペレータが誤ってシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）にアクセスすることを未然に防ぐことができる。

また、第１実施形態では、シャッターユニット６０ａ（６０ｂ）は、コンベア遮蔽部５２（５３）の内側面５２ｃ（５２ｄ）側から外部に向けて差し込まれたネジ部材３（４本）を用いてコンベア遮蔽部５２（５３）の外側面５２ｄ（５３ｄ）に取り付けられている。これにより、ユニット化されたシャッターユニット６０ａ（６０ｂ）を内側面５２ｃ（５２ｄ）側から固定することができるので、装置本体の外部側からの固定作業を行う必要がない。したがって、Ｘ線検査装置１００が回路基板製造ライン５００（図１２参照）中に配置されて基板１の搬送ライン５０１ａおよび５０１ｂが装置本体の側面部１００ｃ（１００ｄ）に隣接するインライン状態であっても、作業者は、搬送ライン５０１ａおよび５０１ｂの配置状態に影響を受けることなくシャッター機構部６０に関する保守点検を行うことができる。

（第２実施形態）
次に、図１、図３、図６および図１３〜図１６を参照して、第２実施形態について説明する。本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置２００では、図１５に示すように、装置本体に対して基板１（図６参照）が搬入される側（Ｘ１側）に配置されたシャッターユニット２６０ａのコンベア遮蔽部５２への取付構造（取付方法）が、第１実施形態のシャッターユニット６０ａの場合と異なる。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成には、第１実施形態と同じ符号を付して図示している。

装置本体の左右で一対となるシャッター機構部２６０を構成するシャッターユニット２６０ａは、図１３に示すように、開口部６１ａを有するシャッターベース２６１と、シャッターガイド６２と、シリンダベース６３と、ロッド６４ａを上下駆動するエアシリンダ６４と、シャッター６５とを含んでいる。ここで、シャッターベース２６１は、Ｙ方向の両端部に形成され、Ｙ方向（前後方向）に対して下方（Ｚ２方向）に略垂直に折り曲げられた取付部２６１ｅ（Ｙ２側に２箇所）および取付部２６１ｆ（Ｙ１側に１箇所）を有している。また、取付部２６１ｅには後述するネジ部材２０３が締め込まれるネジ孔が形成されるとともに、取付部２６１ｆには、ネジ部材２０３が挿入される貫通孔が形成されている。また、シャッターベース２６１の略逆さＵ字形状を有する上端部２６１ｄには、第１実施形態と同様のコロ部材６９（図６参照）が回転自在に取り付けられている。

また、シャッターユニット２６０ａは、長手方向の一端（Ｙ１側）がシャッターベース２６１のシリンダベース６３よりもＹ２側の下端部２６１ｃにネジ部材（５本）を用いて固定されてこの位置からＹ２方向に略直線状に延びるハーネス支持部２６６と、エアホース６７と、電気配線６８とをさらに含んでいる。なお、磁石８５ｂは、シャッターベース２６１のシリンダベース６３よりもＹ１側の下端部２６１ｃにブラケット部材２８６を介して固定されている。なお、第２実施形態では、シャッター６５の開閉状態を検出する開閉検知センサ８５ａは、コンベア遮蔽部５２の開口部５２ａを挟んで第１実施形態とは反対側（Ｙ１側）に寄せられた位置に配置されている。

また、第２実施形態では、図１３に示すように、コンベア遮蔽部５２の上面５２ｂに、レール溝９５ａを有する１本のレール部材２９５がナット部材７（５個）を用いて取り付けられている。この場合、上面５２ｂには上方（Ｚ１方向）に突出するネジ部材６（５本）が予め設けられており、レール部材２９５の貫通孔にネジ部材６を通した状態で上方からナット部材７を閉め込むことにより、レール部材２９５が上面５２ｂ上に固定されるように構成されている。また、レール部材２９５は、一方側（Ｙ２側）の端部に形成されるとともにレール溝９５ａに対して上方（Ｚ１方向）に略垂直に折り曲げられたストッパ部２９５ｂを有している。また、レール部材２９５のレール溝９５ａの部分を除いたＹ１側の所定の位置には、上方（Ｚ１方向）に突出する突出片を有するストッパ部材２９６が取り付けられている。なお、レール部材２９５とストッパ部２９５ｂおよびストッパ部材２９６とによって、本発明の「ガイド部」が構成されている。また、ストッパ部２９５ｂは、本発明の「ストッパ部材」の一例である。

また、コンベア遮蔽部５２の下面５２ｅに、Ｙ方向に延びる１本のアングル部材２１１がネジ部材２（４本）を用いて取り付けられている。また、アングル部材２１１は、Ｙ２側の端部に形成されるとともに下面５２ｅに対してＸ１方向に略垂直に折り曲げられた取付部２１１ｅ（１箇所）を有している。また、取付部２１１ｅには、後述するネジ部材２０３が挿入される貫通孔が形成されている。また、コンベア遮蔽部５２のＹ２側の下端部近傍には、シャッターユニット２６０ａが固定された状態でハーネス支持部２６６の下方に配置される板金製のチャンネル部材２１２が取り付けられている。なお、チャンネル部材２１２は、Ｘ方向の断面が溝形状を有しており、圧縮空気源８０ｃ（図３参照）から延びるエアホース（図示せず）および制御ユニット８０ａ（図３参照）からの電気配線（図示せず）がコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に引き出された後にチャンネル部材２１２を通されるように構成されている。そして、チャンネル部材２１２のＹ２側の端部近傍（図１５参照）において、ハーネス支持部２６６側からのジョイント部材６７ａおよびコネクタ６８ｃが、前述のエアホースおよび電気配線に接続されるように構成されている。

第２実施形態では、コンベア遮蔽部５２の周辺部およびシャッターユニット２６０ａが上述のように構成された状態で、ユニット化されたシャッターユニット２６０ａは、コンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定されるように構成されている。具体的には、シャッターユニット２６０ａは、図１４に示すように、後面部２００ｂ側から開口部２０５を介してＹ２方向に挿入されることが可能に構成されている。この場合、作業者がシャッターユニット２６０ａを抱えた状態でシャッターユニット２６０ａの長手方向（Ｙ２側）の先端部から開口部２０５に挿入し、３つのコロ部材６９（図６参照）を順次レール部材２９５（図１３参照）のレール溝９５ａに嵌め込みながらＹ２方向にスライド移動させることによって、シャッターユニット２６０ａをコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ上の固定位置（位置Ｐ）に向かって送り込むことが可能とされている。

なお、図１３に示すように、レール部材２９５には、ストッパ部２９５ｂ（Ｙ２側）およびストッパ部材２９６（Ｙ１側）が設けられているので、Ｙ２方向に沿って移動するシャッターベース２６１の上側の取付部２６１ｅ（Ｙ２側）がストッパ部２９５ｂ（Ｙ２側）に当接するとともに、取付部２６１ｆ（Ｙ１側）がストッパ部材２９６（Ｙ１側）に略同じタイミングで当接するように構成されている。また、Ｙ２方向に沿って移動する下側の取付部２６１ｅ（Ｙ２側）が取付部２１１ｅ（Ｙ２側）にも当接する。この場合、Ｙ２方向（シャッターユニット２６０ａの挿入方向）に沿って、上側の取付部２６１ｅおよびストッパ部２９５ｂの順に両者は重ねられるとともに、取付部２６１ｆおよびストッパ部２９６の順に両者は重ねられる。また、下側の取付部２６１ｅおよび取付部２１１ｅの順に両者は重ねられる。なお、取付部２６１ｅと取付部２６１ｆとのＹ方向の間隔は、ストッパ部２９５ｂとストッパ部材２９６との間隔と略等しい。これにより、コロ部材６９の転がり移動が規制されてシャッターユニット２６０ａが所定の固定位置（位置Ｐ）に確実に位置決めされるように構成されている。

そして、第２実施形態では、上述のように図１４の状態からシャッターユニット２６０ａが図１５および図１６に示される位置Ｐまで挿入された状態で、作業者は、前面部２００ａ側の開口部２０５から細長いドライバ工具（図示せず）をＹ１方向に差し込み、ストッパ部２９５ｂ（図１３参照）とシャッターベース２６１の上側の取付部２６１ｅ（図１３参照）とが重なった部分、および、取付部２１１ｅ（図１３参照）とシャッターベース２６１の下側の取付部２６１ｅ（図１３参照）とが重なった部分に、それぞれ、ネジ部材２０３（図１３参照）を挿入して締め込む。また、作業者は、反対側の後面部２００ｂ側の開口部２０５からドライバ工具（図示せず）をＹ２方向に差し込み、シャッターベース２６１の取付部２６１ｆ（図１３参照）とストッパ部材２９６（図１３参照）とが重なった部分にネジ部材２０３（図１３参照）を挿入して締め込む。なお、図１５および図１６は、ネジ部材２０３（３本）を締め込んで、シャッターユニット２６０ａがコンベア遮蔽部５２の紙面手前側に固定された状態を示している。これにより、シャッターユニット２６０ａは、前面部２００ａ側および後面部２００ｂ側の両方からコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定されるように構成されている。なお、ネジ部材２０３は、本発明の「締結部材」の一例である。

また、第２実施形態においても、シャッターユニット２６０ａがコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定された状態において、作業者は、ハーネス支持部２６６に沿って前面部２００ａ側に引き出されたエアホース６７のジョイント部材６７ａおよび電気配線６８のコネクタ６８ｃを、それぞれ、装置本体側の制御系（圧縮空気源８０ｃおよび制御ユニット８０ａ（図３参照））に接続する。最後に、メンテナンス用アクセス部７９（図１参照）を前面部２００ａ側および後面部２００ｂ側の各々の開口部２０５に戻すことにより、シャッターユニット２６０ａの取付作業は完了される。

また、Ｘ線検査装置２００に装着されたシャッターユニット２６０ａに関してメンテナンスを行う際は、上記した装着方法（手順）とは反対の手順でシャッターユニット２６０ａを装置本体から取り出すことが可能とされている。すなわち、作業者は、メンテナンス用アクセス部７９を前面部２００ａおよび後面部２００ｂから取り除いた状態で、まず、エアホース６７のジョイント部材６７ａおよび電気配線６８のコネクタ６８ｃを装置本体側の制御系から切り離す。その後、前後方向の開口部２０５を介してドライバ工具（図示せず）を差し込み、シャッターベース２６１とレール部材２９５およびアングル部材２１１とを固定しているネジ部材２０３（３箇所）を取り外す。その後、図１４に示すように、後面部２００ｂ側の開口部２０５に手を差し入れてシャッターユニット２６０ａを把持し、レール部材２９５に沿ってシャッターユニット２６０ａを位置Ｐから後面部２００ｂ側の取り出し位置（位置Ｑ）まで引き出す。

なお、装置本体に対して基板１（図６参照）が搬出される側（Ｘ２側）に配置されたシャッターユニットに関する取付構造、取付方法、および、メンテナンス時のシャッターユニットの取り外しおよび取り出し方法についても、上記したＸ１側（搬入側）のシャッターユニット２６０ａの場合と同じである。

第２実施形態では、上記のように、シャッターユニット２６０ａは、メンテナンス用アクセス部７９を取り除いた開口部２０５からコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄの位置Ｐ（固定位置）への移動方向（Ｙ２方向およびＹ１方向）に沿って差し込まれたネジ部材２０３を用いてコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定されている。これにより、作業者は、シャッター機構部２６０に関する作業を装置本体の外側のみで行うことができるので、装置本体内からの作業内容がなくなる分、作業内容をより簡素化させることができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１および第２実施形態では、装置本体に左右で一対のシャッター機構部６０（２６０）を備えた例について示したが、本発明はこれに限られない。筐体の側面部の一方側にのみ本発明の「開口部」および「シャッターユニット」を備えていてもよい。すなわち、筐体に設けられた１つの開口部を介して、基板１（検査対象物）の装置本体に対する搬入および搬出が行われるとともに、この開口部を閉じてＸ線を遮蔽するための１台の「シャッターユニット」が備えられたＸ線検査装置に、本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、シャッターユニット６０ａ（２６０ａ）をコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明の「シャッターユニット」を、装置本体内部に露出する筐体（コンベア遮蔽部５２）の内側面側に着脱可能に固定してもよい。このように構成しても、シャッターによって筐体の内側面側から開口部を閉じてＸ線を遮蔽することが可能である。

また、上記第１および第２実施形態では、シャッターユニット６０ａ（２６０ａ）をネジ部材３（２０３）を用いてコンベア遮蔽部５２の外側面５２ｄ側に固定した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、レール部材９５に沿って固定位置Ｐまで移動されたシャッターベース６１が、コンベア遮蔽部５２などの筐体側に設けられた係合部に着脱可能に係合されて筐体に固定されるように構成されていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、シャッターベース６１（２６１）に回転自在なコロ部材６９を取り付けてレール部材９５（２９５）上を移動させた例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、樹脂製の摺動部材をシャッターベース６１の上端部６１ｄに取り付けてもよい。樹脂製の摺動部材をレール部材９５のレール溝９５ａ内で滑らせながらシャッターユニット６０ａをレール部材９５に沿って固定位置まで移動させることが可能である。

また、上記第１実施形態では、シャッターユニット６０ａを前面部１００ａ側から固定位置Ｐまで挿入してコンベア遮蔽部５２に固定するとともに、固定位置Ｐから前面部１００ａ側に引き抜いて取り出す方法を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、前面部１００ａ側から固定位置Ｐまで挿入してコンベア遮蔽部５２に固定するとともに、固定位置Ｐから後面部１００ｂ側に引き抜いて取り出してもよい。また、後面部１００ｂ側から固定位置Ｐまで挿入してコンベア遮蔽部５２に固定するとともに、固定位置Ｐから後面部１００ｂ側に引き抜いて取り出してもよい。また、上記第２実施形態においても、前面部２００ａ側から固定位置Ｐまで挿入してコンベア遮蔽部５２側に固定するとともに、固定位置Ｐから前面部２００ａ側または後面側２００ｂのいずれか一方に引き抜いて取り出してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、圧縮空気により上下駆動されるエアシリンダ６４を用いてシャッター６５を駆動するようにシャッターユニット６０ａ（２６０ａ）を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明の「シャッター駆動部」には、エアシリンダ６４以外の、たとえば電動モータ（ステッピングモータ）と、電動モータの回転力を上下方向の往復移動に変換するギア機構とを含むシャッター駆動部を適用して、シャッター６５を上下に昇降させるように構成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、装置本体の前面部側から見て右側（Ｘ１側）から基板１が装置本体内に搬入されるとともに、左側（Ｘ２側）から基板１が外部に搬出されるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、装置本体の左側（Ｘ２側）から基板１が装置本体内に搬入されるとともに、右側（Ｘ１側）から基板１が外部に搬出されるようにＸ線検査装置が構成されていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、回路基板製造ライン５００を構成するＸ線検査装置１００および２００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板製造ライン５００の外部に単独で設けられ、単体（オフライン）で使用されるＸ線検査装置（基板検査装置）に本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板１を検査するためのＸ線検査装置１００および２００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板以外の物品を検査対象物とするＸ線検査装置に本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、Ｘ線源３０のみを備えたＸ線検査装置１００（２００）を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可視光線源および可視光線撮像部をさらに備え、基板１のＸ線検査と可視光による外観検査との両方が行えるような基板検査装置（Ｘ線検査装置）として構成してもよい。

１ 基板（検査対象物）
２、２０３ ネジ部材（締結部材）
５０ 遮蔽壁（筐体）
５２、５３ コンベア遮蔽部（筐体）
５２ａ、５３ａ 開口部
５２ｃ、５３ｃ 内側面
５２ｄ 外側面
６０ａ、６０ｂ、２６０ａ シャッターユニット
６４ エアシリンダ（シャッター駆動部）
６５ シャッター
６７ａ ジョイント部材（接続部）
７９ メンテナンス用アクセス部
８０ｃ 圧縮空気源（駆動源）
９５、２９５ レール部材（ガイド部）
９６、２９６ ストッパ部材（ガイド部）
１００、２００ Ｘ線検査装置
１００ａ、２００ａ 前面部
１００ｂ、２００ｂ 後面部
１００ｃ、１００ｄ 側面部
２９５ｂ ストッパ部（ガイド部、ストッパ部材）

Claims (7)

1. 検査対象物を搬入および搬出するための開口部を側面部に有する筐体と、
   前記筐体の前記開口部を閉じてＸ線を遮蔽するシャッターと、前記シャッターの開閉動作を行うシャッター駆動部とを含み、前記シャッターおよび前記シャッター駆動部が一体化されたシャッターユニットと、
   前記筐体の外側面に沿って前記筐体に取り付けられ、前記シャッターユニットを前記筐体の固定位置まで導くとともに、前記固定位置から取り出し位置まで導くためのガイド部とを備え、
   前記シャッターユニットは、前記検査対象物の搬送方向における前記シャッターユニットの寸法が前記搬送方向を含む水平面と略垂直な高さ方向における前記シャッターユニットの寸法よりも小さくなるように形成され、前記筐体に着脱可能に固定されるように構成され、
   前記シャッターユニットは、前記筺体の側面部と略直交する前面部側または後面部側のいずれか一方から前記側面部の固定位置に向かって前記側面部に沿って移動可能であるとともに、前記側面部の固定位置から前記前面部側または前記後面部側のいずれか一方に前記側面部に沿って取り出すことが可能に構成され、
   前記シャッターは、前記シャッターユニットが前記側面部の固定位置に固定された後、前記高さ方向に沿って移動可能に構成されている、Ｘ線検査装置。
2. 前記ガイド部は、前記シャッターユニットを前記固定位置と前記取り出し位置との間で移動させるためのレール部材と、前記シャッターユニットの移動を規制して前記固定位置に位置決めするストッパ部材とを含む、請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記シャッター駆動部を駆動する駆動源をさらに備え、
   前記シャッターユニットは、前記シャッター駆動部と前記駆動源とを接続するための接続部をさらに含む、請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記接続部は、前記シャッターユニットが固定される前記筐体の外側面に沿って前記シャッター駆動部から離間した位置まで引き出されている、請求項３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記前面部および前記後面部の少なくとも一方に設けられたメンテナンス用アクセス部をさらに備え、
   前記シャッターユニットは、前記メンテナンス用アクセス部が開かれた状態で、前記シャッターユニットを前記側面部の固定位置に向かって移動することが可能であるとともに前記側面部の固定位置から取り出すことが可能であるように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
6. 前記シャッターユニットは、前記メンテナンス用アクセス部から前記側面部の固定位置への移動方向に沿って差し込まれた締結部材を用いて前記筐体の外側面側に固定されている、請求項５に記載のＸ線検査装置。
7. 前記シャッターユニットは、前記筐体の内側面側から締結部材を用いて前記筐体に固定されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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