JP5808227B2 - 放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5808227B2 JP5808227B2 JP2011246910A JP2011246910A JP5808227B2 JP 5808227 B2 JP5808227 B2 JP 5808227B2 JP 2011246910 A JP2011246910 A JP 2011246910A JP 2011246910 A JP2011246910 A JP 2011246910A JP 5808227 B2 JP5808227 B2 JP 5808227B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- recess
- resin
- hole
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Description
まず、放熱用部品の構造について説明する。図1は、本実施の形態に係る放熱用部品を例示する断面図である。図2は、本実施の形態に係る放熱用部品を例示する底面図である。図1及び図2を参照するに、放熱用部品1は、大略すると、放熱板10と、熱伝導部20(TIM)とを有する。
次に、半導体パッケージの構造について説明する。図3は、本実施の形態に係る半導体パッケージを例示する断面図である。図4は、本実施の形態に係る半導体パッケージを例示する底面図である。但し、図4において、図3に示す配線基板30、外部接続端子35、及び接着剤60は、省略されている。
次に、図6〜図11を参照しながら、半導体パッケージの製造方法について説明する。図6〜図11は、本実施の形態に係る半導体パッケージの製造工程を例示する図である。
2 半導体パッケージ
10 放熱板
10a 凹部形成面
10b 底面
10c、10d、22a、40a 面
10x 凹部
10y、22x、22y 貫通孔
10z 突起部
20 熱伝導部
21 カーボンナノチューブ
22 金属層
22z 半導体素子接触領域
30 配線基板
35 外部接続端子
40 半導体素子
50 樹脂
60 接着剤
Claims (6)
- 凹部、及び外面と前記凹部の底面とを繋ぐ第1の貫通孔を有する放熱板と、
前記凹部の底面に林立するように形成された線状の熱伝導性物質と、
前記線状の熱伝導性物質の先端部を覆うとともに、前記凹部が形成されている凹部形成面の少なくとも一部に延在し、前記凹部の底面に対向する面の反対面に半導体素子と接触する半導体素子接触領域を有する金属層と、を備え、
前記反対面の垂直方向から視て、前記金属層の前記半導体素子接触領域の外側には、前記反対面と前記凹部の底面に対向する面とを繋ぐ第2の貫通孔が形成されている放熱用部品。 - 前記第2の貫通孔は、前記金属層の前記半導体素子接触領域の外側を囲むように複数個形成されており、
前記反対面の垂直方向から視て、前記第1の貫通孔の前記凹部の底面側の端部は、複数の前記第2の貫通孔に囲まれた領域内に開口している請求項1記載の放熱用部品。 - 前記第1の貫通孔は、前記凹部内に樹脂を注入可能な孔であり、
前記第2の貫通孔は、前記凹部内に注入された樹脂を前記半導体素子側に流出可能な孔である請求項1又は2記載の放熱用部品。 - 一方の面に半導体素子を実装した配線基板と、
前記配線基板に搭載された請求項1乃至3の何れか一項記載の放熱用部品と、を有し、
前記半導体素子接触領域は、前記半導体素子の前記配線基板と対向する面の反対側の面と接触しており、
前記凹部内の隣接する線状の熱伝導性物質の形成する空隙部には樹脂が充填され、更に、前記半導体素子の側面の少なくとも一部に前記樹脂が形成されている半導体パッケージ。 - 凹部、及び外面と前記凹部の底面とを繋ぐ第1の貫通孔を有する放熱板の、前記凹部の底面に林立するように線状の熱伝導性物質を形成する熱伝導性物質形成工程と、
前記線状の熱伝導性物質の先端部を覆うとともに、前記凹部が形成されている凹部形成面の少なくとも一部に延在し、前記凹部の底面に対向する面の反対面に半導体素子と接触する半導体素子接触領域を有し、前記反対面の垂直方向から視て、前記半導体素子接触領域の外側に、前記反対面と前記凹部の底面に対向する面とを繋ぐ第2の貫通孔が形成された金属層を形成する金属層形成工程と、を含む工程により放熱用部品を作製する放熱用部品作製工程と、
配線基板の一方の面に実装された半導体素子の前記配線基板と対向する面の反対側の面が前記半導体素子接触領域と接触するように、前記配線基板に前記放熱用部品を装着する放熱用部品装着工程と、
前記第1の貫通孔を介して、前記凹部内の隣接する線状の熱伝導性物質の形成する空隙部に樹脂を注入し、更に、前記空隙部に注入された前記樹脂の一部を前記第2の貫通孔を介して前記半導体素子側に流出させ、前記空隙部に前記樹脂を充填するとともに前記半導体素子の側面の少なくとも一部に前記樹脂を形成する樹脂形成工程と、を有する半導体パッケージの製造方法。 - 前記金属層形成工程では、前記金属層の前記半導体素子接触領域の外側を囲むように前記第2の貫通孔を複数個形成し、
前記樹脂形成工程では、第1の貫通孔を介して前記空隙部に注入された前記樹脂を、複数個の前記第2の貫通孔を介して前記半導体素子側に流出させる請求項5記載の半導体パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011246910A JP5808227B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011246910A JP5808227B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013105792A JP2013105792A (ja) | 2013-05-30 |
JP2013105792A5 JP2013105792A5 (ja) | 2014-09-11 |
JP5808227B2 true JP5808227B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=48625149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011246910A Active JP5808227B2 (ja) | 2011-11-10 | 2011-11-10 | 放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5808227B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023085607A1 (ko) * | 2021-11-09 | 2023-05-19 | 삼성전자주식회사 | 열 전도성 계면 물질을 수용하는 인쇄 회로 기판 구조체를 포함하는 전자 장치 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9859262B1 (en) * | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Globalfoundries Inc. | Thermally enhanced package to reduce thermal interaction between dies |
TWI692611B (zh) * | 2019-06-28 | 2020-05-01 | 新加坡商 J&J 資本控股有限公司 | 熱傳導結構及其製造方法、行動裝置 |
-
2011
- 2011-11-10 JP JP2011246910A patent/JP5808227B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023085607A1 (ko) * | 2021-11-09 | 2023-05-19 | 삼성전자주식회사 | 열 전도성 계면 물질을 수용하는 인쇄 회로 기판 구조체를 포함하는 전자 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013105792A (ja) | 2013-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5276565B2 (ja) | 放熱用部品 | |
JP5356972B2 (ja) | 放熱用部品及びその製造方法、半導体パッケージ | |
JP5733893B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP5431793B2 (ja) | 放熱部品、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
US8827730B2 (en) | Socket and semiconductor device provided with socket | |
JP5321600B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP2011091106A5 (ja) | 放熱用部品及びその製造方法、半導体パッケージ | |
JP6261352B2 (ja) | カーボンナノチューブシート及び半導体装置とカーボンナノチューブシートの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP5885630B2 (ja) | プリント基板 | |
JP2010278281A5 (ja) | 放熱部品、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2010171200A (ja) | 半導体パッケージ放熱用部品 | |
JP5808227B2 (ja) | 放熱用部品、半導体パッケージ及びその製造方法 | |
JP2015216199A (ja) | 半導体装置、熱伝導部材及び半導体装置の製造方法 | |
US9644128B2 (en) | Carbon nanotube sheet, electronic device, method of manufacturing carbon nanotube sheet, and method of manufacturing electronic device | |
JP5187148B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5515251B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5411174B2 (ja) | 回路板およびその製造方法 | |
JP2013105792A5 (ja) | ||
JP5935330B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、電子装置 | |
JP6025614B2 (ja) | 発熱部品の放熱構造およびこれを用いたオーディオ装置 | |
JP5861580B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置製造方法 | |
JP6618745B2 (ja) | 電子部品 | |
US20100025030A1 (en) | Heat conductive plate structure | |
JP6459407B2 (ja) | シート状部材、その製造方法、基板ユニット及び電子機器 | |
JP2019161063A (ja) | 電子部品の放熱構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140729 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140729 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150901 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150908 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Ref document number: 5808227 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |