JP5802196B2 - 磁気ベアリング、回転段及び反射型電子ビームリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 回転軸を持つ磁気ベアリングであって、
個別の強磁性層を円筒状構造を構築するため、円軌道において積層してなる強磁性部材のシリンダーと前記シリンダーを囲むカラーとを有する円筒状ローターであって、前記円筒状ローターが、前記強磁性部材より半径方向内側で対称軸を持ち、前記円筒状ローターは、内周面を持ち、前記強磁性部材の上面が、前記対称軸に対して直交する平面にある、円筒状ローターと、
静的なハブであって、前記静的なハブが、該静的なハブから突出し、前記上面に隣接して配置されるオーバーハングを持つ、静的なハブと、
前記静的なハブにおいて前記回転軸と前記内周面との間に取り付けられる、前記内周面と前記回転軸との間の距離を制御する半径方向の磁気アクチュエータ装置であって、前記半径方向の磁気アクチュエータ装置が、少なくとも1つのハイブリッド磁石を備え、前記ハイブリッド磁石が、
強磁性コアであって、該強磁性コアが、断面がE型となるようカットされる2つのスロットを持ち、前記2つのスロットの間に中間のセクションがあり、前記中間のセクションの突出端面の法線が、前記強磁性コアから離れる方を指す、強磁性コアと、
電流がワイヤを通過するとき、磁場を生成するよう構成される前記ワイヤで形成されるコイルであって、前記ワイヤが、前記2つのスロット内で前記中間のセクションの周りに配置される、コイルと、
前記突出端面に配置される永久磁石であって、磁界の向きが、半径方向外向きである、永久磁石とを含む、半径方向の磁気アクチュエータ装置と、
前記オーバーハングに接続され、前記上面と前記オーバーハングとの間の距離を制御するリフト磁気アクチュエータ装置であって、前記リフト磁気アクチュエータ装置が、重力に対して前記円筒状ローターを支持することができ、前記リフト磁気アクチュエータ装置は、少なくとも1つのハイブリッド磁石を備え、前記ハイブリッド磁石が、
強磁性コアであって、該強磁性コアが、断面がE型となるようカットされる2つのスロットを持ち、前記2つのスロットの間に中間のセクションがあり、前記中間のセクションの突出端面の法線が、前記強磁性コアから離れる方を指す、強磁性コアと、
電流がワイヤを通過するとき、磁場を生成するよう構成される前記ワイヤで形成されるコイルであって、前記ワイヤが、前記2つのスロット内で前記中間のセクションの周りに配置される、コイルと、
前記突出端面に配置される永久磁石であって、磁界の向きが、鉛直方向下向きである、永久磁石とを含む、リフト磁気アクチュエータ装置とを有する、磁気ベアリング。 - 前記強磁性部材が、前記円筒状ローターの回転の間、渦電流を減らすため、軟磁複合物及びSomaloy(登録商標)のいずれかを有する、請求項1に記載の磁気ベアリング。
- 前記積層の各々に対して、前記対称軸が存在する平面が存在し、前記積層の各々は、前記平面において前記対称軸と直交する第1の横断軸を持ち、前記第1の横断軸の周りで前記平面からの角度が0から60度の間の第1の角度となるよう、前記積層の各々が構成される、請求項1に記載の磁気ベアリング。
- 前記第1の角度が、0.1から15度の間である、請求項3に記載の磁気ベアリング。
- 前記積層の各々に対して、前記対称軸が存在する平面があり、前記積層の各々は、前記平面において前記対称軸と平行な第1の長手軸を持ち、前記第1の長手軸の周りで前記平面からの角度が0から60度の間の第2の角度となるよう、前記積層の各々が構成される、請求項1又は3に記載の磁気ベアリング。
- 前記第2の角度が、0.1から15度の間である、請求項5に記載の磁気ベアリング。
- 前記リフト磁気アクチュエータ装置が、少なくとも1つの第1のハイブリッド磁石を有し、前記第1のハイブリッド磁石は、前記上部に平行な平面において互いに直交する第2の長手軸及び第2の横断軸を持ち、前記第2の長手軸及び前記第2の横断軸と交差する第1の半径があり、前記第2の横断軸及び前記半径は、前記半径との0から60度の間の第3の角度を囲む、請求項1、3又は5に記載の磁気ベアリング。
- 前記第3の角度が、0.1から15度の間である、請求項7に記載の磁気ベアリング。
- 前記強磁性コアは、少なくとも1つの第2の突出端面を持ち、該第2の突出端面の法線が、前記円軌道の接線との鋭角を形成し、前記少なくとも1つの第2の突出端面の少なくとも1つのエッジは、積層ノイズを減らすため丸くされる、請求項1又は3乃至8の何れか一項に記載の磁気ベアリング。
- 前記磁気ベアリングが更に、前記回転軸に対する前記内周面の距離を測定する半径方向のセンサシステムを有し、前記磁気ベアリングは更に、前記上部と前記オーバーハングとの間の距離を測定するリフトセンサシステムを有し、前記磁気ベアリングが更に、前記リフトセンサシステムからの信号を受信し、前記上部と前記オーバーハングとの間の第1の所定の距離が維持される態様で、前記リフト磁気アクチュエータ装置を制御するよう構成される制御システムを有し、前記制御システムは更に、前記半径方向のセンサシステムからの信号を受信し、前記内周面と前記回転軸との間の第2の所定の距離が維持される態様で、前記半径方向の磁気アクチュエータ装置を制御するよう構成される、請求項1乃至9の何れか一項に記載の磁気ベアリング。
- 回転体であって、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の磁気ベアリングと、
前記磁気ベアリングを回転させる駆動システムと、
前記円筒状ローターに取り付けられる、プラッタと、
前記磁気ベアリングの角方向を決定するエンコーダとを有する、回転体。 - 前記リフト磁気アクチュエータ装置の少なくとも1つの永久磁石が更に、重力に対して前記プラッタを支持することができる、請求項11に記載の回転体。
- 請求項11又は12に記載の回転体と、
前記プラッタにより支持される基板とを有する反射型電子ビームリソグラフィ装置。
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