JPS59219521A - 磁気軸受 - Google Patents
磁気軸受Info
- Publication number
- JPS59219521A JPS59219521A JP58092393A JP9239383A JPS59219521A JP S59219521 A JPS59219521 A JP S59219521A JP 58092393 A JP58092393 A JP 58092393A JP 9239383 A JP9239383 A JP 9239383A JP S59219521 A JPS59219521 A JP S59219521A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- rings
- magnetic bearing
- magnetic
- yokes
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- Granted
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
、゛〔発明の属する技術分野〕
本発明は、回転子を磁気力によって支承して回転させる
磁気軸受に関する。
磁気軸受に関する。
高速に回転する回転子を支承する方法として、従来使用
されていた機械的軸受にかわり、磁気力によって回転子
を支承する方法がよく知ら几ている。
されていた機械的軸受にかわり、磁気力によって回転子
を支承する方法がよく知ら几ている。
この磁気力によって回転子を支承する公知の磁気軸受に
おいては、浮上前に、上記回転子が重力もしくは永久磁
石の力によって、他の１造部材に接触しており、回転子
をこの接触面から引き離すためには、磁気軸受の構成要
素の１つである電力増幅器の容量を大きくし、充分な電
流を制御用コイルに印加しなくてはならなかった。この
′磁力増幅器の容量を大きくすると、装置自体の大型化
につながり、また、充分な電流をコイルに印加Ｃきると
いうことが、伺らかの原因で電流を印加しても浮上しな
い場合に、コイルの発熱さらにコイルの絶縁破壊を生じ
させることにつながる危険性があった。
おいては、浮上前に、上記回転子が重力もしくは永久磁
石の力によって、他の１造部材に接触しており、回転子
をこの接触面から引き離すためには、磁気軸受の構成要
素の１つである電力増幅器の容量を大きくし、充分な電
流を制御用コイルに印加しなくてはならなかった。この
′磁力増幅器の容量を大きくすると、装置自体の大型化
につながり、また、充分な電流をコイルに印加Ｃきると
いうことが、伺らかの原因で電流を印加しても浮上しな
い場合に、コイルの発熱さらにコイルの絶縁破壊を生じ
させることにつながる危険性があった。
本発明は、上記の問題点に対してなされたもので回転子
の初期浮上時に生ずるピーク電流によって決定式れてい
た４力増幅器の容量を小さく、さらに電磁石コイルの小
型化全図ることができる回転子移動ｄＡ構を有する磁気
軸受を提供することを目的とする。
の初期浮上時に生ずるピーク電流によって決定式れてい
た４力増幅器の容量を小さく、さらに電磁石コイルの小
型化全図ることができる回転子移動ｄＡ構を有する磁気
軸受を提供することを目的とする。
本発明は、回転子とこれを磁気的に支承するための磁気
力供給源を有する磁気軸ｅにおいて、回転子の支持安定
位置に回転子を機械的に移動する機構を有し、さらに回
転子の浮上後は、この機構が回転子から離れ、回転子の
回転をさまたげることのない機構をあわせもつ構成にあ
る。
力供給源を有する磁気軸ｅにおいて、回転子の支持安定
位置に回転子を機械的に移動する機構を有し、さらに回
転子の浮上後は、この機構が回転子から離れ、回転子の
回転をさまたげることのない機構をあわせもつ構成にあ
る。
前記磁気力供給源の構成要素の１つである電力増幅器の
容量を小さくでき、さらに、電磁石コイルの巻数をへら
し、装置全体の寸法の小型化が可能となる。
容量を小さくでき、さらに、電磁石コイルの巻数をへら
し、装置全体の寸法の小型化が可能となる。
以下本発明の代表的実施例を図面を用いて説明する。
第１図は、本発明に係る磁気軸受の実施例の一つで１軸
制御形磁気軸受の断面図である。
制御形磁気軸受の断面図である。
図に示した磁気軸受の固定子側には、固定軸（１）の上
下にリング状の継鉄を内外周に固着した半径方向着磁の
永久磁石（４ａ）、（４ｂ）を配設し、固定軸（１）の
中央部の上下にリング状に巻かれた電磁石コイル（６ａ
）、（６ｂ）を囲むように継鉄（３ａ）、（３ｂ）が配
置されている。一方、磁気軸受の回転子（２）には、上
下に前記固定子１１１１１のリング状継鉄を内外周に固
着した永久磁石（４ａ）、（４１，））に対向するよう
に同庫のリング状永久磁石（５ａ）、（５ｂ）が配置さ
れている。
下にリング状の継鉄を内外周に固着した半径方向着磁の
永久磁石（４ａ）、（４ｂ）を配設し、固定軸（１）の
中央部の上下にリング状に巻かれた電磁石コイル（６ａ
）、（６ｂ）を囲むように継鉄（３ａ）、（３ｂ）が配
置されている。一方、磁気軸受の回転子（２）には、上
下に前記固定子１１１１１のリング状継鉄を内外周に固
着した永久磁石（４ａ）、（４１，））に対向するよう
に同庫のリング状永久磁石（５ａ）、（５ｂ）が配置さ
れている。
また、回転子（２）の中央には、前記電磁石コイル（６
ａ）、（６ｂ）を囲むように設置された継鉄Ｃ３８）、
（３ｂ）にはさまれるようにリング状の継鉄を内外周
に固着した半径方向着磁の永久磁石（７）が固着されて
いる。
ａ）、（６ｂ）を囲むように設置された継鉄Ｃ３８）、
（３ｂ）にはさまれるようにリング状の継鉄を内外周
に固着した半径方向着磁の永久磁石（７）が固着されて
いる。
回転子（２）の軸方向の磁気的な制御は次のように行な
う。まず、回転子（２）の軸方向の変位を変位計（８）
によって検出し、その信号を図示しない制御装置によっ
て処理し、図示しない磁力増幅器で増幅して電磁石コイ
ル（６ａ）、（６ｂ）に電流として流す。
う。まず、回転子（２）の軸方向の変位を変位計（８）
によって検出し、その信号を図示しない制御装置によっ
て処理し、図示しない磁力増幅器で増幅して電磁石コイ
ル（６ａ）、（６ｂ）に電流として流す。
このことは、回転子（２）に固着された前記リング状の
永久磁石（７）のＮ極から出て、前記継鉄（３ａ） 、
（３ｂ）を通り、前記永久磁石（７）のＳ極にもどる
磁束を電磁石コイル（６ａ）、（６ｂ）の電流によって
増減することになる。したがって、前記変位計（８）に
よって定められた安定位置に回転子（２）は浮上するこ
とになる。
永久磁石（７）のＮ極から出て、前記継鉄（３ａ） 、
（３ｂ）を通り、前記永久磁石（７）のＳ極にもどる
磁束を電磁石コイル（６ａ）、（６ｂ）の電流によって
増減することになる。したがって、前記変位計（８）に
よって定められた安定位置に回転子（２）は浮上するこ
とになる。
回転子（２）の半径方向の制御は、回転子（２）の上下
に配置された前記リング状の永久磁石（５ａ）、（５ｂ
）と前記固定軸（１）の上下に配置されたリング状の永
久磁石（４ａ）、（４ｂ）を対向させることで受動的に
制御される。
に配置された前記リング状の永久磁石（５ａ）、（５ｂ
）と前記固定軸（１）の上下に配置されたリング状の永
久磁石（４ａ）、（４ｂ）を対向させることで受動的に
制御される。
このような磁気軸受においては、浮上時以外は、永久磁
石の力あるいは重力によって回転子（２）が固定軸（１
）の上下のどちらか一方に強く接触していることになる
。したがって、回転子（２）の浮り時には、前記′電磁
石コイル（６ａ）、（６ｂ）に多大な電流を流さなけれ
ばならない。
石の力あるいは重力によって回転子（２）が固定軸（１
）の上下のどちらか一方に強く接触していることになる
。したがって、回転子（２）の浮り時には、前記′電磁
石コイル（６ａ）、（６ｂ）に多大な電流を流さなけれ
ばならない。
第２図は、磁気軸受の浮上時に流れる実際の電流と時間
の関係の一例である。回転子の浮上時の磁流の最大値は
ＩＯＡを越えているが、一度浮上すれば、１流はほとん
どＯに近くなる。これから明らかなように従来は、浮上
するためだけに容量の大きい磁力増幅器が必要であった
。
の関係の一例である。回転子の浮上時の磁流の最大値は
ＩＯＡを越えているが、一度浮上すれば、１流はほとん
どＯに近くなる。これから明らかなように従来は、浮上
するためだけに容量の大きい磁力増幅器が必要であった
。
第１図に図示した回転子（２）をはさむように配置した
回転を拘束され、軸方向に移動可能なリング（９ａ）、
（９ｂ）の外周にネジを切り、そのネジに対応するリン
グα１の内周の上下に異なる右ネジと左ネジを切り、リ
ングＱｌを回転させることにより、リング（９ａ）、（
９ｂ）が矢印（ｌｌａ）、（ｌｌｂ）のように移動する
機構を設置することで、回転子（２）を初期状態から制
御′屯流がＯとなる安定位置に移動させておくことが可
能となる。浮上後は、上記の逆の動作で回転子（２）か
らリング（９ａ）、（９ｂ）がそれぞれ離れるＯ 上述したように、前記リング部材（９ａ）、（９１））
、（１Ｇによる回転子（２）の安定位置に回転子（２）
を移動する機構を有する磁気軸受に分いては、第２図に
示したような最大電流を゛電磁石コイル（６ａ）、（６
ｂ）に流す必要がないため、電力増幅器の容量を小さく
でき、浮上時の電磁石の力も小さくて済むため、電磁石
コイル（６ａ）、（６ｂ）の小型化もできる。従来は例
らかの原因で電磁石コイル（６ａ）、（６ｂ）に４流を
流しても回転子（２）が浮上しない場合、電磁石コイル
（６ａ）、（６ｂ）に重数が流れた−ままになり、コイ
ルの発熱による絶縁破壊が生じていたが、この問題も解
決できる磁気軸受ができる。
回転を拘束され、軸方向に移動可能なリング（９ａ）、
（９ｂ）の外周にネジを切り、そのネジに対応するリン
グα１の内周の上下に異なる右ネジと左ネジを切り、リ
ングＱｌを回転させることにより、リング（９ａ）、（
９ｂ）が矢印（ｌｌａ）、（ｌｌｂ）のように移動する
機構を設置することで、回転子（２）を初期状態から制
御′屯流がＯとなる安定位置に移動させておくことが可
能となる。浮上後は、上記の逆の動作で回転子（２）か
らリング（９ａ）、（９ｂ）がそれぞれ離れるＯ 上述したように、前記リング部材（９ａ）、（９１））
、（１Ｇによる回転子（２）の安定位置に回転子（２）
を移動する機構を有する磁気軸受に分いては、第２図に
示したような最大電流を゛電磁石コイル（６ａ）、（６
ｂ）に流す必要がないため、電力増幅器の容量を小さく
でき、浮上時の電磁石の力も小さくて済むため、電磁石
コイル（６ａ）、（６ｂ）の小型化もできる。従来は例
らかの原因で電磁石コイル（６ａ）、（６ｂ）に４流を
流しても回転子（２）が浮上しない場合、電磁石コイル
（６ａ）、（６ｂ）に重数が流れた−ままになり、コイ
ルの発熱による絶縁破壊が生じていたが、この問題も解
決できる磁気軸受ができる。
上記の回転子（２）の移動機構は、第１図の構造に限定
されるものではなく、他のしかなる方法でも回転子（２
）を回転子（２）の浮上時の安定位置に移動させること
ができればよい。
されるものではなく、他のしかなる方法でも回転子（２
）を回転子（２）の浮上時の安定位置に移動させること
ができればよい。
第３図は、本発明の他の実施例を示す。第１図と同一の
ものは、同一符号を用いて詳細な説明は省略する。本実
施例においては、回転子（２）を浮上時の安定位置に移
動するた、めに圧′這累子（＋２ａ）。
ものは、同一符号を用いて詳細な説明は省略する。本実
施例においては、回転子（２）を浮上時の安定位置に移
動するた、めに圧′這累子（＋２ａ）。
（１２ｂ）と固定台０３を用い、圧礒素子（１２ａ）、
（１２ｂ）に磁圧をかけ、そのそり返りの力で回転子（
２）を移動１亡る。浮上後は図のように回転子（２）か
ら離れて、回転−Ｆ−（２）のさまたげとｌしない。こ
のように１冠気量を機械量に変換する素子を用いても、
機械的な移動機構と同等の効果が得られる。
（１２ｂ）に磁圧をかけ、そのそり返りの力で回転子（
２）を移動１亡る。浮上後は図のように回転子（２）か
ら離れて、回転−Ｆ−（２）のさまたげとｌしない。こ
のように１冠気量を機械量に変換する素子を用いても、
機械的な移動機構と同等の効果が得られる。
第４図は、本発明の他の実施例Ｃ，２軸制御形の磁気軸
受である。こ７１は、第１図分よび第、う図の１１ＩＩ
１１１（＋１すＩＪ力方向制御形磁気軸受とは異なり、
半径方向の２１ｊｌ１１を制却する。図で１は、このう
ちの１軸の与を示して（１乙が、リング状の軸方向着磁
の永久磁石（２１１のＮ極から出て、固定子の継鉄（２
３ａ）を通り、回転子（２０＋の継鉄Ｑυから固定−丘
り継鉄（２３１１）より永久磁石の８極に戻る磁束を電
磁石コイル（２２ａ）、（２２ｂ）によって増減して、
回転子（２ｆ）ｌ ｋ安定位置に浮上させる。磁束を増
減するために電磁石コイル（２２ａ） 、 （２２ｂ）
に流れる。ｌ流は、回転子（２１勇の１立置全変１ケ計
・（ト）によつ−Ｃ検出し、この信号を１゛４示Ｌ／
／Ｌ Ｌ”’Ａ制却装置ご処理し、を１力増幅器で増幅
することによって生じさする。
受である。こ７１は、第１図分よび第、う図の１１ＩＩ
１１１（＋１すＩＪ力方向制御形磁気軸受とは異なり、
半径方向の２１ｊｌ１１を制却する。図で１は、このう
ちの１軸の与を示して（１乙が、リング状の軸方向着磁
の永久磁石（２１１のＮ極から出て、固定子の継鉄（２
３ａ）を通り、回転子（２０＋の継鉄Ｑυから固定−丘
り継鉄（２３１１）より永久磁石の８極に戻る磁束を電
磁石コイル（２２ａ）、（２２ｂ）によって増減して、
回転子（２ｆ）ｌ ｋ安定位置に浮上させる。磁束を増
減するために電磁石コイル（２２ａ） 、 （２２ｂ）
に流れる。ｌ流は、回転子（２１勇の１立置全変１ケ計
・（ト）によつ−Ｃ検出し、この信号を１゛４示Ｌ／
／Ｌ Ｌ”’Ａ制却装置ご処理し、を１力増幅器で増幅
することによって生じさする。
回転子（２（２）の移動機構は、右ネジと左ネジを切っ
たシーソノドＣ２６）と内周にネジ・と切り、外周の４
ケ所にヒツジを設け７こリング（２７ａ’）、（２７ｂ
’） Ｔｈよび、ヒンジ付の環状部材（２８ａ）、（２
８ｂ）、（２８ｃ）、（２８ｄ、）より構成さ？Ｌる。
たシーソノドＣ２６）と内周にネジ・と切り、外周の４
ケ所にヒツジを設け７こリング（２７ａ’）、（２７ｂ
’） Ｔｈよび、ヒンジ付の環状部材（２８ａ）、（２
８ｂ）、（２８ｃ）、（２８ｄ、）より構成さ？Ｌる。
＋’ｉｆｆ記シＶフト０６）を７述とえは矢印−のよう
に１１−１転５すると１」コ記リング（２７ａ ） 、
（２７１，）が矢印（，３０ａ）、〔３Ｕｂ） ａよ
うに移動１〜、こルにより、棒状部材（２８ａ）、（２
８１））、（２８ｃ）、（２８ｄ、）か矢印（３］、ａ
）。
に１１−１転５すると１」コ記リング（２７ａ ） 、
（２７１，）が矢印（，３０ａ）、〔３Ｕｂ） ａよ
うに移動１〜、こルにより、棒状部材（２８ａ）、（２
８１））、（２８ｃ）、（２８ｄ、）か矢印（３］、ａ
）。
（３１ｂ） 、 （３１ｃ） ＋ （３１ｄ） （Ｚ）
ヨウＫ 広カリ、回ｋ 子（２０） ’ｃ浮浮上時安
定位置に移動させる。容量の小さな重力増幅器によって
浮上させた後は、シャフトｃ２０を逆に回転させること
で、棒状部材（２８ａ）、（２８ｂ）。
ヨウＫ 広カリ、回ｋ 子（２０） ’ｃ浮浮上時安
定位置に移動させる。容量の小さな重力増幅器によって
浮上させた後は、シャフトｃ２０を逆に回転させること
で、棒状部材（２８ａ）、（２８ｂ）。
（２８ｃ） 、（２８ｄ）を回転子００１から完全に離
すことができる。
すことができる。
なお、前記棒状部材の数は、３組以上ならばいくつでも
よく、円周面に接触する部分に弧状の部材を固着１〜で
もよし。
よく、円周面に接触する部分に弧状の部材を固着１〜で
もよし。
以上のように構成した磁気軸受においても、第１図と同
様な効果を得ることができ、（磁石コイルの巻数を少な
くし、かつ（力増幅器の容量を小さくできるよりコンパ
クトな磁気軸受となる。
様な効果を得ることができ、（磁石コイルの巻数を少な
くし、かつ（力増幅器の容量を小さくできるよりコンパ
クトな磁気軸受となる。
この効果は、制御軸数が多いほど大きくなり、第］図、
第３図、第４図の実施例全組み合わせて用いることによ
り、３軸制御形から５軸制御形まで効果を発揮できる。
第３図、第４図の実施例全組み合わせて用いることによ
り、３軸制御形から５軸制御形まで効果を発揮できる。
第１図は、本発明に係る磁気軸受の断１ｍ図、第２図は
、従来の磁気軸受の回転子の浮上時に屯磁石コ・イルに
流オＬる′４流と時間の関係、第３図、第４図は、本発
明の他の実施例を示す（祈面図である。 ＋＋） −１＋１！ｌ 定４互ロ 、（２）回転子、 （３ａ、）、（３ｂ）・固定子１則継鉄、（４ａ）、（
４ｂ） ・固定子側リング状永久磁石（半径方向軸受
）、 （５ａ ） 、 （５ｂ ） 回転子側リング状永久
磁石（半径方向軸受）、 （６ａ）、（６ｂ） 電磁石コイル、（７）・軸方向
制御用リング状永久磁石、（８）変位計、 （，９ａ ）、 （９ｂ ） 、１１■ 回転子移動用
ネジ（リング状）、（１２ａ）、（１２ｂ） 圧″１
１素子。 代理人 弁理士 則 近 憲右（ほか１名）第１図 第２図 Ｄ ′２０７ 時間ＳＥ（” 第３図 第４図 （ＤＬ） ：？ｆｄ
、従来の磁気軸受の回転子の浮上時に屯磁石コ・イルに
流オＬる′４流と時間の関係、第３図、第４図は、本発
明の他の実施例を示す（祈面図である。 ＋＋） −１＋１！ｌ 定４互ロ 、（２）回転子、 （３ａ、）、（３ｂ）・固定子１則継鉄、（４ａ）、（
４ｂ） ・固定子側リング状永久磁石（半径方向軸受
）、 （５ａ ） 、 （５ｂ ） 回転子側リング状永久
磁石（半径方向軸受）、 （６ａ）、（６ｂ） 電磁石コイル、（７）・軸方向
制御用リング状永久磁石、（８）変位計、 （，９ａ ）、 （９ｂ ） 、１１■ 回転子移動用
ネジ（リング状）、（１２ａ）、（１２ｂ） 圧″１
１素子。 代理人 弁理士 則 近 憲右（ほか１名）第１図 第２図 Ｄ ′２０７ 時間ＳＥ（” 第３図 第４図 （ＤＬ） ：？ｆｄ
Claims (2)
- （１）回転子とこれを磁気的に支承するための磁気力供
給源を有する磁気軸受に２いて、回転子の浮上時に回転
子の安定位置に回転子を移動させる機構を有することを
特徴とする磁気軸受。 - （２）回転子を移動させる機構として、圧電素子磁気軸
受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092393A JPS59219521A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 磁気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58092393A JPS59219521A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 磁気軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219521A true JPS59219521A (ja) | 1984-12-10 |
| JPH0587686B2 JPH0587686B2 (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=14053170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58092393A Granted JPS59219521A (ja) | 1983-05-27 | 1983-05-27 | 磁気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219521A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04136518A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-11 | Daiwa Denki Seisakusho:Kk | 磁気軸受 |
| WO2010122450A3 (en) * | 2009-04-23 | 2010-12-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A magnetic bearing, a rotary stage, and a reflective electron beam lithography apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761814A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Control system of magnetic bearing |
-
1983
- 1983-05-27 JP JP58092393A patent/JPS59219521A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761814A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Control system of magnetic bearing |
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| EP2275697A1 (en) * | 2009-04-23 | 2011-01-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A magnetic bearing, a rotary stage, and a reflective electron beam lithography apparatus |
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| JPH0587686B2 (ja) | 1993-12-17 |
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