JP5798560B2 - 生体磁気計測装置、及び生体磁気計測システム - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 54
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 119
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 23
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 107
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 3
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 3
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 3
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 210000003625 skull Anatomy 0.000 description 2
- 229910017107 AlOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000037237 body shape Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N manganese platinum Chemical compound [Mn].[Pt] IGOJMROYPFZEOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 210000004761 scalp Anatomy 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/68—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient
- A61B5/6801—Arrangements of detecting, measuring or recording means, e.g. sensors, in relation to patient specially adapted to be attached to or worn on the body surface
- A61B5/6802—Sensor mounted on worn items
- A61B5/6803—Head-worn items, e.g. helmets, masks, headphones or goggles
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/242—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents
- A61B5/243—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents specially adapted for magnetocardiographic [MCG] signals
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/242—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents
- A61B5/245—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents specially adapted for magnetoencephalographic [MEG] signals
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/12—Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
- G01R33/1269—Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids of molecules labeled with magnetic beads
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3254—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one galvanomagnetic or Hall-effect element covered by groups H10N50/00 - H10N52/00
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/02—Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
- A61B2562/0223—Magnetic field sensors
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/04—Arrangements of multiple sensors of the same type
- A61B2562/046—Arrangements of multiple sensors of the same type in a matrix array
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/82—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of the magnetic field applied to the device
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cardiology (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
Description
SQUIDセンサにより生体磁気計測するには、SQUIDセンサを冷媒により超伝導状態に保つ必要がある。そのため、SQUIDセンサは、冷媒が貯留されたデュワに内蔵され、この冷媒に浸漬された状態で計測に用いられる。
このデュワの冷媒槽の外壁部の一部を、生体の計測対象部位、例えば頭蓋に対応した形状に形成し、この外壁部の内側に多数のSQUIDセンサを配列させて冷媒に浸漬し、外壁部の外側を生体に接触させることにより、多数のSQUIDセンサを生体に対して一定の距離に近接させて計測し、脳磁図等を得ることができる生体磁気計測装置が提案されている。
SQUIDセンサを低温に保つための冷媒が蒸発等により減少するので冷媒の管理が煩雑であり、断熱された冷媒槽を構成する必要がある。
計測時に生体に近接させるべきSQUIDセンサを内蔵したセンサユニット、すなわち、デュワが冷媒を貯留しているため大型で重く、これを支持する機械構成が必要となるし、往々にして被検体を安置するベッドや、被検体とSQUIDセンサを内蔵したデュワとの相対位置を制御する位置制御装置が必要となる。
被検者は年齢や性別等によって体の大きさや、体型が様々である。SQUIDセンサの配列を被検者の被検部に合わせて柔軟に対応させるようなデュワを構成することが難しく、被検者によらずにその被検部に対して一定の距離にSQUIDセンサを配置できずに、正確な計測を実行できなかったり、計測不可となったりする。
また、SQUIDセンサは大きく、頭皮などの生体表面に近接させて多数のセンサを高密度に配置することが難しい。このため、生体表面からの垂直方向の発生磁気を計測することしか実現できておらず、垂直方向に加えて生体表面の面内方向の磁気を計測することは難しい。
SQUIDセンサによる磁気計測における生体表面の垂直方向など、生体から発せられる磁気の1軸方向についての磁力のみならず、生体表面の垂直方向である1軸及び生体表面の面内方向の互いに直交する2軸などの3軸方向の磁力を計測可能とすることで、より多くの磁気情報を得て診断に役立たせる可能性が開ける。
とはいえ、磁気記録読取装置などに用いられる冷却機構が不要な磁気センサでは、SQUIDセンサほどの感度が得られず、そもそも脳磁気などの微弱な生体磁気を計測することはできない。
(1)前記3軸磁気センサモジュールは、前記固定磁性層の磁化の向きが第1の方向に固定された第1のトンネル磁気抵抗素子アレイと、前記固定磁性層の磁化の向きが前記1の方向と交差する第2の方向に固定された第2のトンネル磁気抵抗素子アレイと、前記固定磁性層の磁化の向きが前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向に固定された第3のトンネル磁気抵抗素子アレイとを含み、
(2)前記第1〜第3のトンネル磁気抵抗素子アレイはそれぞれ、複数の前記トンネル磁気抵抗素子が、前記出力信号を出力するための共通の出力2端子間で格子状に接続されてなり、
(3)前記第1のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(4)前記第2のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(5)前記第3のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(6)前記保持手段は、可撓性材料からなる装着支持体で生体表面を被覆するように構成され、当該装着支持体の生体被覆面上に複数の前記3軸磁気センサモジュールが分布配置されるとともに、第1のトンネル磁気抵抗素子アレイの前記共通の平面が前記生体被覆面に垂直な方向とされていることで、前記生体被覆面上のどの位置に配置された前記3軸磁気センサモジュールにおいても生体表面に対して垂直な方向の磁気及び同方向に直交し互いに直交する2軸方向の磁気を検出可能とされた生体磁気計測装置である。
前記第2のトンネル磁気抵抗素子アレイが構成されるチップにおいて基板上に、下部電極を共有する2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が縦横に繰り返し形成され、これにより下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が配列し、当該下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が上部電極を共有し、これにより当該トンネル磁気抵抗アレイの前記共通の出力2端子間で複数の前記トンネル磁気抵抗素子が格子状に接続され、
前記第3のトンネル磁気抵抗素子アレイが構成されるチップにおいて基板上に、下部電極を共有する2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が縦横に繰り返し形成され、これにより下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が配列し、当該下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が上部電極を共有し、これにより当該トンネル磁気抵抗アレイの前記共通の出力2端子間で複数の前記トンネル磁気抵抗素子が格子状に接続された請求項1に記載の生体磁気計測装置ある。
請求項7記載の発明は、請求項1〜6のいずれかに記載の生体磁気計測装置と、前記出力信号に基づいて脳磁図を演算する演算装置とを備える生体磁気計測システムである。
センサユニットをより軽薄に構成できるので、人手で扱って被検者の計測対象部位に覆うように当てたり、被検者に装着させたりできる簡素で柔軟な形態に構成できるという効果がある。また、高感度で冷却機構も不要であるためサイズが大きくならず、生体に配置するに際して制約の小さい磁気センサを構成することができる。
従って、磁気センサを生体に近接して配置することが容易であり、生体磁場をより精密に測定することができる。また、複数の磁気センサを用いてもそれらを密に配置することができるため、生体磁場をさらに精密に測定することができる。
図1に示すように本実施形態の生体磁気計測システム100は、生体磁気計測装置1及び演算装置2によって構成される。生体磁気計測装置1は、インターフェース3と、センサユニット4とにより構成される。
演算装置2とセンサユニット4とがインターフェース3を介して接続される。センサユニット4とインターフェース3との間はケーブル5で接続されており、ケーブル5の届く範囲でセンサユニット4を自由に移動可能であり、向きを自由に変えることができる。51は電源線、52は信号線(バス)である。
センサユニット4は、複数のセンサプラットフォームボード41,41,・・・を有しており、それぞれに電源線51によって電源が供給されている。演算装置2からはセンサプラットフォームボード41へコマンド信号が、また、センサプラットフォームボード41からは演算装置2へ出力信号が、それぞれ信号線52を通じて伝送される。センサプラットフォームボード41の数をn(nは2以上の整数)とする。
演算装置2には、演算結果を表示するなどの目的で使用される表示装置21が接続されている。
図3(a)に示すようにセンサプラットフォームボード41は、コントローラ42と、RAM43と、増幅・変換回路44,44,・・・とを備える。増幅・変換回路44はTMRアレイモジュール6ごとに設けられ、TMRアレイモジュール6と一対一で接続されている。増幅・変換回路44は、TMRアレイモジュール6からの出力信号を増幅する増幅器44aと、増幅器44aの出力をデジタル信号に変換してコントローラ42に入力するA/D変換器44bとを有する。RAM43は、コントローラ42に入力された情報やコントローラ42が演算した情報を記憶する記憶装置である。コントローラ42は、演算装置2からのコマンドを受信して、TMRアレイモジュール6,6,・・・を稼動し、その出力信号を所定のフォーマットで信号線52を介して演算装置2に向けて送出する。
図4(a)に直交3軸X−Y−Z座標を示した。TMRアレイチップ63Xは、TMRアレイモジュール6の配線基板61の表面に平行な面内におけるX軸方向の磁力を計測するセンサモジュールである。TMRアレイチップ63Yは、TMRアレイモジュール6の配線基板61の表面に平行な面内におけるX軸方向と垂直なY軸方向の磁力を計測するセンサモジュールである。TMRアレイチップ63Zは、TMRアレイモジュール6の配線基板61の表面に垂直なZ軸方向の磁力を計測するセンサモジュールである。
なお、図8においては、簡単のため6x6のTMRアレイを記載しているが、実際には50x50程度にすればノイズレベルは1素子のそれに比べて1/50にまで低減されることが判明している。脳磁界の測定では、少なくともノイズレベルを1/50以下に低減させるように、50x50アレイ以上の素子数にすることが望ましく、より好ましくは、100x100アレイ以上の素子数にしてノイズレベルを1/100以下にまで下げるのが好ましい。
このように、TMRアレイチップ63X、63Y、63Zが、それぞれ一つの磁気センサを構成する。本実施形態では、TMRアレイモジュールが3つの磁気センサを備えることにより、3軸測定可能な磁気センサを構成している。
下引き層a1は、基板の粗さを整えるためのものであり、例えば、Taが使用できる。下引き層a1の層厚は2nm〜10nm程度とすることが好ましい。
配向補助層a2は、固定化促進層a3の配向を補うためのものであり、Ruやパーマロイを用いることができる。固定磁化層をより強く固定化する観点からはRuが好ましい。配向補助層a2の結晶構造は例えば六方細密充填構造とする。配向補助層a2の層厚は5nm〜20nm程度とすることが好ましい。
固定化促進層a3は、固定化層a4の固定化を促進するためのものであり、IrMn、プラチナマンガンなどの反強磁性膜が好適に用いられる。固定化促進層a3の結晶構造は例えば面心立方晶とする。固定化促進層a3の層厚は5nm〜20nm程度とすることが好ましい。
磁気結合促進層a5は、固定化層a4と強磁性層a6とを磁気的に結合させるとともに、後者を前者の結晶構造から切り離すためのものであり、結晶構造を有さない薄膜層を用いるのが望ましい。具体的な材料の例としてはRuが挙げられる。磁気結合促進層a5の層厚は0.5〜1nm程度とすることが好ましい。
絶縁層a7としては、各種の絶縁材料を用いることができ、例えば、MgO、AlOx等が使用できる。素子の感度を向上させるという観点からはMgOが好ましい。絶縁層a7の層厚は、1nm〜10nm程度にすることが望ましい。
各層は、例えば、マグネトロンスパッタリング法により形成することができる。また、所望の結晶構造を得る等の目的のために、必要に応じてアニール等の熱処理を施すとよい。
固定磁性層とフリー磁性層の位置は図示したものと逆に配置されていてもよい。また、2つの固定磁性層により、それぞれ絶縁層を介してフリー磁性層を挟んだ構造のダブルジャンクション構造の素子としても構わない。
このようなTMR素子は、ゼロ磁場近くで高感度な生体磁気計測に好適な素子とすることができ、精密に生体からの磁気を測定することができる。また、常温で使用可能な磁気センサであり、冷却のための冷媒も外部からの熱の侵入を断つための断熱材も不要となり、センサユニットをより軽薄に構成できる。そして、センサユニットをより軽薄に構成できるので、人手で扱って被検者の計測対象部位に覆うように当てたり、被検者に装着させたりできる簡素で柔軟な形態に構成でき、ひいては、被験者の体の大きさや体型によらず、被験部に対して一定の距離にTMR素子が配置され正確な計測を行うことができる。また、SQUIDに比較して安価に構成でき、低消費電力である。
X軸用TMRアレイチップ63Xに構成されたTMR素子67における固定磁性層の磁化の向きと、Y軸用TMRアレイチップ63Yに構成されたTMR素子67における固定磁性層の磁化の向きと、Z軸用TMRアレイチップ63Zに構成されたTMR素子67における固定磁性層の磁化の向きとは、互いに直交する。
X軸用TMRアレイチップ63XにおけるTMR素子67の接合面、及びY軸用TMRアレイチップ63YにおけるTMR素子67の接合面は、配線基板61に対し平行に配置されている。Z軸用TMRアレイチップ63ZにおけるTMR素子67の接合面は、配線基板61に対し垂直に配置されている。
図4(a)においては、Z軸用TMRアレイチップ63Zを2つに分割しているが、これらを1チップで構成してもよい。
このように、TMR素子は冷却機構が不要であり磁気センサ間の距離を小さくできるため、配置の自由度が高く、異なる方向の磁界を測定するように磁気センサを配置することで、3軸方向の測定を行うことができる。従って、従来のSQUIDセンサによる磁気計測における生体表面の垂直方向など、生体から発せられる磁気の1軸方向についての磁力のみならず、生体表面の垂直方向である1軸及び生体表面の面内方向の互いに直交する2軸などの3軸方向の磁力を計測可能とすることで、より多くの磁気情報を得て診断に役立たせる可能性が開ける。人体から発生する磁束には様々な向きのものがあることが知られているが、SQUIDセンサでは測定できなかった様々な向きの磁界についての情報を得ることができる。
装着支持体45に沿って多数のセンサプラットフォームボード41が並べられて搭載されている。これにより、センサユニット4の人の頭部を覆う面を共通の面(図11の場合、装着支持体45の内面)として、多数の磁気センサが共通の面上に分布することとなる。
そして、図11に示すように装着支持体45の内面を人体頭部の表面に沿って当てるようにして、センサユニット4が人の頭部に被せられて装着されることで、人の頭部の表面に上記共通の面が沿うこととなって、人の頭部の表面に対して多数のTMR素子67が近接して配置され、多数の磁気センサが人の頭部の表面上に分布する。
なお、本実施形態においては、装着支持体として、複数のセンサプラットフォームボードを支持するとともに、これらが人体頭部の表面に沿って配置されるように、人の頭部に被せられて装着されるものを用いたが、これに限られるものではなく、各センサプラットフォームボードに吸盤や粘着層などの支持部材を設け、各センサプラットフォームボードを生体頭部に貼り付けるようにしても構わない。
まず、生体磁気計測装置1及び演算装置2からなるシステム100全体に電源が投入され、各TMRアレイ68にも電流入力端子69から電流が入力される。人の頭部から発生される磁束の影響を受けてTMRアレイ68中の各TMR素子67にあっては、フリー磁性層の磁化の向きが変化する。これにより、固定磁性層の磁化の向きとフリー磁性層の磁化の向きとの角度差に従ってトンネル効果により絶縁層の抵抗が変化する。したがって、TMRアレイ68の電圧検出端子70間の電圧が変化し、これがTMRアレイ68の抵抗の変化に応じた出力信号となる。ここで、単一のTMR素子67の抵抗の変化の要因は、磁束のみでなく様々な要因があり、熱ノイズ、ショットノイズ等のノイズとして現れる。
しかし、TMRアレイ68の抵抗の変化は、これらのノイズを低減化させた値となり、TMRアレイ68の出力信号は磁束の変化に応じた信頼度の高い値となる。その理論的証明は非特許文献1,2に記載されている。
演算装置2は、計測実行コマンドをn個のセンサプラットフォームボード41に送出する。各センサプラットフォームボード41にあっては、計測実行コマンドをコントローラ42が受信する。
コントローラ42は、増幅・変換回路44を介してデジタル化された各TMRアレイ68の出力信号を受け、これを各TMRアレイ68のアドレス情報及びX,Y,Z方向を特定する情報にリンクさせた所定のフォーマットで生体磁気計測情報として演算装置2に送出する。
演算装置2は、各コントローラ42からの生体磁気計測情報を解析して、被検者の頭部上の位置と磁気の強さと方向との組み合わせからなる脳磁図を演算し、画像情報化して表示装置21に表示出力する。
また、演算装置2は、生体磁気計測情報の画像と、被検者の頭部のMRI画像や頭部外形の3次元スキャン画像等との位置を合わせた合成画像を生成し、表示装置21に表示出力する。
計測実行コマンドとしては、1回の計測実行コマンドを設けてもよいが、計測開始コマンドと計測終了コマンドを設けてもよい。計測開始コマンドと計測終了コマンドとの間の期間において、一定の時間レートで計測を実行し、リアルタイムに変化する脳磁図を表示装置21に表示することが有効である。
また、生体磁気計測情報や、脳磁図情報、表示のために生成した画像情報は演算装置2によって読出可能に記録しておき、表示装置21に表示や再生を可能にしておく。
以上の実施形態にあっては、生体磁気の3軸方向を検出する構成としたことにより、生体表面からの垂直方向の発生磁気を計測することしか実現できていなかったSQUIDセンサに比べて、より多くの磁気情報を得て診断に役立たせる可能性が開けるようになる。しかしながら、これに限らず、1軸方向あるいは2軸方向を検出するようにしてもよい。1軸方向のみとする場合は、生体表面に対して垂直な方向(Z軸方向)とし、2軸方向とする場合は、生体表面に対して垂直な方向(Z軸方向)に加えて生体表面に対して平行な1軸方向(X軸又はY軸方向)とすることが好ましい。2軸方向とする場合は、磁気センサとして、固定磁性層の磁化の向きが第1の方向に固定された第1のトンネル磁気抵抗素子アレイと、固定磁性層の磁化の向きが前記1の方向と交差する第2の方向に固定された第2のトンネル磁気抵抗素子アレイとを含むものとすればよい。
2 演算装置
3 インターフェース
4 センサユニット
5 ケーブル
6 TMRアレイモジュール(3軸磁気センサモジュール)
21 表示装置
41 センサプラットフォームボード(センサ集合体)
42 コントローラ
44 増幅・変換回路
45 装着支持体
51 電源線
52 信号線
61 配線基板
61a 接続端子部
61b 接続端子
62 TMRアレイ積層部
63 TMRアレイチップ(磁気センサ)
64 接着層
65a 上部電極
65b 下部電極
66 ボンディングワイヤ
67 TMR素子
68 TMRアレイ
69 電流入力端子
70 電圧検出端子
100 生体磁気計測システム
Claims (7)
- 磁化の向きが固定された固定磁性層、外部からの磁束の影響を受けて磁化の向きが変化するフリー磁性層、及び、前記固定磁性層及び前記フリー磁性層との間に配置された絶縁層を有し、前記固定磁性層の磁化の向きと前記フリー磁性層の磁化の向きとの角度差に従ってトンネル効果により前記絶縁層の抵抗を変化させるトンネル磁気抵抗素子を含む3軸磁気センサモジュールと、前記トンネル磁気抵抗素子が生体に対向するように前記磁気センサを保持する保持手段とを備え、前記3軸磁気センサモジュールは、生体から発生する磁気により変化する前記絶縁層の抵抗値に応じた出力信号を出力する生体磁気計測装置において、
(1)前記3軸磁気センサモジュールは、前記固定磁性層の磁化の向きが第1の方向に固定された第1のトンネル磁気抵抗素子アレイと、前記固定磁性層の磁化の向きが前記1の方向と交差する第2の方向に固定された第2のトンネル磁気抵抗素子アレイと、前記固定磁性層の磁化の向きが前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向に固定された第3のトンネル磁気抵抗素子アレイとを含み、
(2)前記第1〜第3のトンネル磁気抵抗素子アレイはそれぞれ、複数の前記トンネル磁気抵抗素子が、前記出力信号を出力するための共通の出力2端子間で格子状に接続されてなり、
(3)前記第1のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(4)前記第2のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(5)前記第3のトンネル磁気抵抗素子アレイに含まれる複数の前記トンネル磁気抵抗素子は、それぞれの前記固定磁性層と前記絶縁層との接合面及び/又は前記フリー磁性層と前記絶縁層との接合面が、互いに共通の平面に配置され、
(6)前記保持手段は、可撓性材料からなる装着支持体で生体表面を被覆するように構成され、当該装着支持体の生体被覆面上に複数の前記3軸磁気センサモジュールが分布配置されるとともに、第1のトンネル磁気抵抗素子アレイの前記共通の平面が前記生体被覆面に垂直な方向とされていることで、前記生体被覆面上のどの位置に配置された前記3軸磁気センサモジュールにおいても生体表面に対して垂直な方向の磁気及び同方向に直交し互いに直交する2軸方向の磁気を検出可能とされた生体磁気計測装置。 - 前記第1のトンネル磁気抵抗素子アレイが構成されるチップにおいて基板上に、下部電極を共有する2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が縦横に繰り返し形成され、これにより下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が配列し、当該下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が上部電極を共有し、これにより当該トンネル磁気抵抗アレイの前記共通の出力2端子間で複数の前記トンネル磁気抵抗素子が格子状に接続され、
前記第2のトンネル磁気抵抗素子アレイが構成されるチップにおいて基板上に、下部電極を共有する2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が縦横に繰り返し形成され、これにより下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が配列し、当該下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が上部電極を共有し、これにより当該トンネル磁気抵抗アレイの前記共通の出力2端子間で複数の前記トンネル磁気抵抗素子が格子状に接続され、
前記第3のトンネル磁気抵抗素子アレイが構成されるチップにおいて基板上に、下部電極を共有する2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が縦横に繰り返し形成され、これにより下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が配列し、当該下部電極を共有しない2行2列の4つのトンネル磁気抵抗素子が上部電極を共有し、これにより当該トンネル磁気抵抗アレイの前記共通の出力2端子間で複数の前記トンネル磁気抵抗素子が格子状に接続された請求項1に記載の生体磁気計測装置。 - 第1〜第3のトンネル磁気抵抗素子アレイは、互いに別チップに構成されて、同一配線基板に搭載された請求項1又は請求項2に記載の生体磁気計測装置。
- 複数の前記3軸磁気センサモジュールを備えたセンサ集合体を構成するセンサプラットフォームボードを有する請求項1〜請求項3のいずれかに記載の生体磁気計測装置。
- 複数の前記センサプラットフォームボードを有する請求項4に記載の生体磁気計測装置。
- 前記絶縁層の層厚は、1nm〜10nmの範囲である請求項1〜請求項5のいずれかに記載の生体磁気計測装置。
- 請求項1〜請求項6のいずれかに記載の生体磁気計測装置と、前記出力信号に基づいて脳磁図を演算する演算装置とを備える生体磁気計測システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012532934A JP5798560B2 (ja) | 2010-09-10 | 2011-08-30 | 生体磁気計測装置、及び生体磁気計測システム |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202540 | 2010-09-10 | ||
JP2010202540 | 2010-09-10 | ||
PCT/JP2011/069509 WO2012032962A1 (ja) | 2010-09-10 | 2011-08-30 | 生体磁気計測装置、生体磁気計測システム、及び、生体磁気計測方法 |
JP2012532934A JP5798560B2 (ja) | 2010-09-10 | 2011-08-30 | 生体磁気計測装置、及び生体磁気計測システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012032962A1 JPWO2012032962A1 (ja) | 2014-01-20 |
JP5798560B2 true JP5798560B2 (ja) | 2015-10-21 |
Family
ID=45810564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012532934A Active JP5798560B2 (ja) | 2010-09-10 | 2011-08-30 | 生体磁気計測装置、及び生体磁気計測システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10058258B2 (ja) |
EP (1) | EP2614770B1 (ja) |
JP (1) | JP5798560B2 (ja) |
CN (1) | CN103188992B (ja) |
WO (1) | WO2012032962A1 (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103405231B (zh) * | 2013-07-24 | 2015-04-15 | 南京医科大学 | 一种基于磁传感器的微弱生物磁信号采集系统及方法 |
WO2016077489A1 (en) | 2014-11-11 | 2016-05-19 | Innovaura Corporation | Heart rate monitor |
US10772520B2 (en) * | 2015-06-25 | 2020-09-15 | DePuy Synthes Products, Inc. | Intraoperative magnetometry monitoring system |
JP6638582B2 (ja) * | 2015-09-10 | 2020-01-29 | 株式会社リコー | 磁気計測装置 |
WO2017043024A1 (en) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | Ricoh Company, Ltd. | Magnetism measuring apparatus |
WO2017115839A1 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー、センサーユニット、磁気検出装置、及び磁気計測装置 |
EP3454732A1 (en) * | 2016-05-09 | 2019-03-20 | Biomagnetik Park GmbH | Apparatus for measuring a biomagnetic field |
JP6735603B2 (ja) * | 2016-05-25 | 2020-08-05 | 三菱電機株式会社 | 生体情報検出装置 |
CN106073751B (zh) * | 2016-05-30 | 2019-06-04 | 中国科学院电工研究所 | 一种便携式脑磁检测装置 |
CN106859629A (zh) * | 2017-01-18 | 2017-06-20 | 上海理工大学 | 脑磁图检测中背景噪声削弱系统及方法 |
WO2019060298A1 (en) | 2017-09-19 | 2019-03-28 | Neuroenhancement Lab, LLC | METHOD AND APPARATUS FOR NEURO-ACTIVATION |
US11717686B2 (en) | 2017-12-04 | 2023-08-08 | Neuroenhancement Lab, LLC | Method and apparatus for neuroenhancement to facilitate learning and performance |
US11318277B2 (en) | 2017-12-31 | 2022-05-03 | Neuroenhancement Lab, LLC | Method and apparatus for neuroenhancement to enhance emotional response |
US11364361B2 (en) | 2018-04-20 | 2022-06-21 | Neuroenhancement Lab, LLC | System and method for inducing sleep by transplanting mental states |
CN109009065B (zh) * | 2018-06-05 | 2021-11-19 | 上海理工大学 | 基于tmr弱磁传感器阵列的脑磁信息检测系统及方法 |
CA3112564A1 (en) | 2018-09-14 | 2020-03-19 | Neuroenhancement Lab, LLC | System and method of improving sleep |
JP6936405B2 (ja) | 2018-12-26 | 2021-09-15 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁場計測装置 |
JP2020136551A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | スピンセンシングファクトリー株式会社 | トンネル磁気抵抗素子およびトンネル磁気抵抗センサ |
US11497425B2 (en) | 2019-03-08 | 2022-11-15 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Magnetic field measurement apparatus |
US11786694B2 (en) | 2019-05-24 | 2023-10-17 | NeuroLight, Inc. | Device, method, and app for facilitating sleep |
KR20210151871A (ko) * | 2019-05-31 | 2021-12-14 | 아사히 가세이 가부시키가이샤 | 계측 장치, 계측 방법 및 프로그램 |
EP4055402A4 (en) | 2019-12-13 | 2024-02-28 | Sonera Magnetics Inc | SYSTEM AND METHOD FOR AN ACOUSTICALLY DRIVEN FERROMAGNETIC RESONANCE SENSOR DEVICE |
CN111000549A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-14 | 扬州大学 | 心磁测量系统 |
US11903715B1 (en) * | 2020-01-28 | 2024-02-20 | Sonera Magnetics, Inc. | System and method for a wearable biological field sensing device using ferromagnetic resonance |
EP4204833A1 (en) | 2020-09-30 | 2023-07-05 | Sonera Magnetics, Inc. | System and method for a magnetic sensor array circuit |
WO2022182631A1 (en) | 2021-02-26 | 2022-09-01 | NearField Atomics Inc. | Systems and methods to keep drivers, pilots, or others alert or focused by electromagnetic delivery of signals |
CA3214597C (en) | 2021-03-22 | 2024-04-23 | NearField Atomics Inc. | Systems and methods for measuring magnetic fields from solvated target molecules using a magnetoresistive sensor |
WO2024101254A1 (ja) * | 2022-11-09 | 2024-05-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 磁気検出装置及びデコーディングシステム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004093576A (ja) * | 2001-01-24 | 2004-03-25 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07104401B2 (ja) | 1988-07-30 | 1995-11-13 | 株式会社島津製作所 | 生体磁気計測装置 |
US4951674A (en) * | 1989-03-20 | 1990-08-28 | Zanakis Michael F | Biomagnetic analytical system using fiber-optic magnetic sensors |
JP2751408B2 (ja) | 1989-05-31 | 1998-05-18 | 株式会社島津製作所 | 脳磁計測装置 |
US5442289A (en) * | 1989-07-31 | 1995-08-15 | Biomagnetic Technologies, Inc. | Biomagnetometer having flexible sensor |
JPH0542119A (ja) * | 1991-08-12 | 1993-02-23 | Fujitsu Ltd | 生体磁気計測装置 |
DE19619806A1 (de) * | 1996-05-15 | 1997-11-20 | Siemens Ag | Magnetfeldempfindliche Sensoreinrichtung mit mehreren GMR-Sensorelementen |
JP3237590B2 (ja) * | 1997-10-24 | 2001-12-10 | 株式会社日立製作所 | 磁場計測装置 |
JP3446883B2 (ja) | 1998-12-25 | 2003-09-16 | 科学技術振興事業団 | 液体ヘリウム再凝縮装置およびその装置に使用するトランスファーライン |
JP3498737B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2004-02-16 | ヤマハ株式会社 | 磁気センサの製造方法 |
JP4027746B2 (ja) | 2002-08-07 | 2007-12-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 生体磁場計測装置 |
EP1535305A2 (en) * | 2002-08-16 | 2005-06-01 | Brown University Research Foundation | Scanning magnetic microscope having improved magnetic sensor |
JP3642061B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2005-04-27 | 株式会社日立製作所 | 磁場計測装置 |
JP2004089724A (ja) * | 2003-11-07 | 2004-03-25 | Hitachi Ltd | 生体磁場計測装置 |
US7062391B2 (en) * | 2004-03-12 | 2006-06-13 | Vsm Medtech Systems Inc. | Motion compensation in biomagnetic measurement |
CN100438011C (zh) * | 2004-03-24 | 2008-11-26 | 雅马哈株式会社 | 半导体装置、磁传感器和磁传感器单元 |
US7126330B2 (en) * | 2004-06-03 | 2006-10-24 | Honeywell International, Inc. | Integrated three-dimensional magnetic sensing device and method to fabricate an integrated three-dimensional magnetic sensing device |
WO2006054469A1 (ja) | 2004-11-22 | 2006-05-26 | Nec Corporation | 強磁性膜、磁気抵抗素子、及び磁気ランダムアクセスメモリ |
JP4543327B2 (ja) | 2005-07-07 | 2010-09-15 | 横河電機株式会社 | Squidセンサ装置 |
EP2115467A1 (en) * | 2007-02-23 | 2009-11-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetic sensor device with field generator and sensor element |
WO2008127720A2 (en) * | 2007-04-13 | 2008-10-23 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Atomic magnetometer sensor array magnetoencephalogram systems and methods |
US20090072823A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-19 | Honeywell International Inc. | 3d integrated compass package |
JP5107147B2 (ja) * | 2008-06-12 | 2012-12-26 | 住友重機械工業株式会社 | 生体磁気計測装置及び脳磁計 |
US8483800B2 (en) * | 2008-11-29 | 2013-07-09 | General Electric Company | Surgical navigation enabled imaging table environment |
-
2011
- 2011-08-30 CN CN201180043197.1A patent/CN103188992B/zh active Active
- 2011-08-30 EP EP11823438.4A patent/EP2614770B1/en active Active
- 2011-08-30 WO PCT/JP2011/069509 patent/WO2012032962A1/ja active Application Filing
- 2011-08-30 US US13/822,291 patent/US10058258B2/en active Active
- 2011-08-30 JP JP2012532934A patent/JP5798560B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004093576A (ja) * | 2001-01-24 | 2004-03-25 | Yamaha Corp | 磁気センサ |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6011057058; 塚田啓二: '生体内電流の無侵襲計測' 日本AEM学会誌 vol.13, No.2, 200506, p119-124, 日本AEM学会 * |
JPN6011057060; 横田沙会子、外5名: 'アレイ状トンネル磁気抵抗素子の磁気抵抗およびノイズ特性' 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会, 20100830, 14p-J-6, 応用物理学会 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2614770A1 (en) | 2013-07-17 |
JPWO2012032962A1 (ja) | 2014-01-20 |
US20130165766A1 (en) | 2013-06-27 |
WO2012032962A1 (ja) | 2012-03-15 |
EP2614770B1 (en) | 2022-03-02 |
US10058258B2 (en) | 2018-08-28 |
EP2614770A4 (en) | 2014-02-26 |
CN103188992B (zh) | 2016-11-16 |
CN103188992A (zh) | 2013-07-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150120 |
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