JP5796056B2 - 光の散乱を用いた近接場制御装置及び方法 - Google Patents
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Description
420:波面調節器
430:散乱層
440:測定部
Claims (18)
- 近接場制御方法において、
波面調節器を用いてコヒーレント光源からの光の位相を制御するステップと、
前記位相が制御された光を散乱層の一側から他側に通過させるステップと、
前記散乱層を通過した前記光が出る前記他側の面の近接場を測定するステップと、
を含むことを特徴とする近接場制御方法。 - 前記近接場を測定した結果に応じて前記波面調節器を調節して前記光の位相を変更するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の近接場制御方法。
- 前記近接場を測定した結果に応じて前記波面調節器を調節して前記光の位相を変更するステップは、
前記波面調節器を調節して前記光の位相を変更しながら強め合う干渉が生じる位相を探索するステップと、
前記強め合う干渉を起こす前記位相を記録するステップと、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の近接場制御方法。 - 前記近接場を測定した結果に応じて前記波面調節器を調節して前記光の位相を変更するステップは、所望する位置に超高解像度の焦点が形成されるまで前記光の位相を変更するステップを含むことを特徴とする請求項2に記載の近接場制御方法。
- 前記散乱層の内部または裏面にある目標試片に超高解像度の焦点を形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の近接場制御方法。
- 前記散乱層を通過した前記光が出る前記他側の面の近接場を測定するステップは、前記近接場でアッベ(Abbe)の回折限界よりも小さい領域における前記光の強度を測定するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の近接場制御方法。
- 前記光源は、可視光線帯域の光源を含むことを特徴とする請求項1に記載の近接場制御方法。
- 平面波を出力する光源と、
イメージングしようとするサンプルを付着する散乱層と、
前記平面波が前記サンプル及び前記散乱層の一側から他側に通過して前記他側に生成されるスペックルに関するスペックル情報を獲得する測定部と、
前記測定されたスペックル情報を分解する分析部と、
を備えることを特徴とする近接場イメージング装置。 - 前記測定部は、前記スペックルの位相を獲得するホログラフィック測定部を備えることを特徴とする請求項8に記載の近接場イメージング装置。
- 前記分析部は、前記測定されたスペックル情報と予め測定された入力ベイシス当たり発生した前記散乱層のスペックル情報との相関関係を算出し、
前記相関関係を用いて前記サンプルに対する前記イメージを取得することを特徴とする請求項8に記載の近接場イメージング装置。 - コヒーレント光源からの光を通過させて入力ベイシスの光で構成する構造物をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の近接場イメージング装置。
- 前記構造物は、NSOMチップ、金属探針、及びプラズモニクスメタ構造のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項11に記載の近接場イメージング装置。
- 前記散乱層は、前記サンプルがない状態で前記構造物を通過して構成された前記入力ベイシスの光を通過させて散乱させ、
前記測定部は、前記散乱された光が生成したスペックルに関する入力ベイシススペックル情報を取得することを特徴とする請求項11に記載の近接場イメージング装置。 - コヒーレント光源からの光が散乱層の一側から他側に通過して前記他側に生成されるスペックルに関する第1スペックル情報を取得するステップと、
平面波がサンプル及び前記散乱層の一側から他側に通過して前記他側に生成されるスペックルに関する第2スペックル情報を取得するステップと、
前記第1スペックル情報及び前記第2スペックル情報を用いて前記サンプルに対するイメージを取得するステップと、
を含むことを特徴とする近接場イメージングを実現する方法。 - 前記第1スペックル情報を取得するステップは、
前記コヒーレント光源からの前記光を構造物を通過させて入力ベイシスの光から構成する第1ステップと、
前記構成された入力ベイシスの光を前記散乱層に通過させて散乱させる第2ステップと、
前記散乱された光が生成したスペックルに関する入力ベイシススペックル情報を取得する第3ステップと、
を含むことを特徴とする請求項14に記載の近接場イメージングを実現する方法。 - 前記第1スペックル情報を取得するステップは、
前記構成された入力ベイシスの光が通過する散乱層上の位置を変更しながら前記第1ステップないし前記第3ステップを行って複数の入力ベイシススペックル情報を取得するステップと、
前記複数の入力ベイシススペックル情報を用いて前記第1スペックル情報を取得するステップと、
を含むことを特徴とする請求項15に記載の近接場イメージングを実現する方法。 - 前記構造物は、NSOMチップ、金属探針、及びプラズモニクスメタ構造のうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項15に記載の近接場イメージングを実現する方法。
- 前記第1スペックル情報及び前記第2スペックル情報を用いて前記サンプルに対するイメージを取得するステップは、
前記第1スペックル情報及び前記第2スペックル情報の相関関係を算出するステップと、
前記相関関係を用いて前記サンプルに対する前記イメージを取得するテップと、
を含むことを特徴とする請求項14に記載の近接場イメージングを実現する方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20130073954 | 2013-06-26 | ||
KR10-2013-0073954 | 2013-06-26 | ||
KR10-2013-0123823 | 2013-10-17 | ||
KR1020130123823A KR101531102B1 (ko) | 2013-06-26 | 2013-10-17 | 빛의 산란을 이용한 근접장 제어 장치 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015011025A JP2015011025A (ja) | 2015-01-19 |
JP5796056B2 true JP5796056B2 (ja) | 2015-10-21 |
Family
ID=52115302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013220726A Active JP5796056B2 (ja) | 2013-06-26 | 2013-10-24 | 光の散乱を用いた近接場制御装置及び方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9279764B2 (ja) |
JP (1) | JP5796056B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6140772B2 (ja) * | 2015-06-19 | 2017-05-31 | 財團法人國家實驗研究院National Applied Research Laboratories | 配列式近接場光高散乱材料の検出方法 |
US10162086B2 (en) * | 2016-03-07 | 2018-12-25 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Imaging through highly diffusive media with wavefront shaping |
US20190293554A1 (en) * | 2016-03-28 | 2019-09-26 | Sony Corporation | Imaging apparatus and imaging method |
CN106685484B (zh) * | 2016-12-08 | 2020-10-20 | 北京航空航天大学 | 一种近场模拟器 |
WO2018195309A1 (en) * | 2017-04-19 | 2018-10-25 | California Institute Of Technology | Highly scattering metasurface phase masks for complex wavefront engineering |
CN107748410B (zh) * | 2017-11-09 | 2019-07-19 | 北京大学 | 一种近远场集成平面光学调控器件及其设计和制备方法 |
CN111474188B (zh) * | 2019-01-24 | 2021-07-27 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于动态调制的单次曝光波前重建和相位成像装置和方法 |
CN110286429B (zh) * | 2019-06-17 | 2020-05-05 | 北京大学 | 同时在近远场双通道生成涡旋光场的平面光学器件及其设计和制备 |
CN110708471B (zh) * | 2019-09-27 | 2020-07-28 | 西安交通大学 | 一种基于主动照明的ccd自关联成像系统及方法 |
CN112683794A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于波前调制的相位成像及元件检测的装置和方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1673927A1 (de) * | 1968-02-09 | 1971-08-12 | Philips Patentverwaltung | Verfahren und Anordnung zur Wiedererkennung eines Koerpers oder seiner Position und Orientierung im Raum |
US5212379A (en) * | 1991-12-06 | 1993-05-18 | Alamed Corporation | Fiber optical monitor for detecting motion based on changes in speckle patterns |
DK120692D0 (da) * | 1992-09-30 | 1992-09-30 | Risoe Forskningscenter | Rotationsmaaling |
KR100262878B1 (ko) * | 1993-10-04 | 2000-08-01 | 포만 제프리 엘 | 근접시야 광학현미경 및 그 측정방법 |
JP4201929B2 (ja) * | 1998-09-17 | 2008-12-24 | セイコーインスツル株式会社 | 情報記録媒体、情報再生装置および情報記録再生装置 |
JP4073569B2 (ja) * | 1999-02-03 | 2008-04-09 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光を利用して再生可能な記録媒体 |
US6900435B1 (en) * | 1999-02-14 | 2005-05-31 | Nanoptics, Inc. | Deconvolving far-field images using scanned probe data |
JP3793430B2 (ja) * | 2001-07-18 | 2006-07-05 | 株式会社日立製作所 | 近接場光を用いた光学装置 |
JP4032689B2 (ja) * | 2001-10-04 | 2008-01-16 | 株式会社日立製作所 | 近接場光を用いた測定装置/記録再生装置 |
US6794096B2 (en) * | 2002-10-09 | 2004-09-21 | Numerical Technologies, Inc. | Phase shifting mask topography effect correction based on near-field image properties |
US7336372B2 (en) * | 2004-09-14 | 2008-02-26 | Zvi Yaniv | Noninvasive optical imaging by speckle ensemble |
JP4822104B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2011-11-24 | 大日本印刷株式会社 | 投影システム |
US7969650B2 (en) * | 2005-04-28 | 2011-06-28 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Multiplex near-field microscopy with diffractive elements |
US7928900B2 (en) * | 2006-12-15 | 2011-04-19 | Alliant Techsystems Inc. | Resolution antenna array using metamaterials |
US8045253B2 (en) * | 2009-05-28 | 2011-10-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Sub-diffraction-limited imaging systems and methods |
JP2012132886A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 金属薄膜上誘電体の光学特性測定方法及び金属薄膜上誘電体の光学特性測定装置 |
KR101252938B1 (ko) * | 2011-04-08 | 2013-04-12 | 한국과학기술원 | 초고해상도 현미경 시스템 및 그 시스템을 이용한 영상 획득 방법 |
-
2013
- 2013-10-24 JP JP2013220726A patent/JP5796056B2/ja active Active
- 2013-12-20 US US14/137,967 patent/US9279764B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-28 US US15/009,608 patent/US9857302B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160146731A1 (en) | 2016-05-26 |
US9279764B2 (en) | 2016-03-08 |
JP2015011025A (ja) | 2015-01-19 |
US9857302B2 (en) | 2018-01-02 |
US20150002844A1 (en) | 2015-01-01 |
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