JP5793160B2 - 電子デバイス封止用樹脂シート及び電子デバイスパッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
85℃、85%RHの雰囲気下で168時間放置した後の吸水率は、実施例に記載の方法で測定できる。
なお、平均一次粒子径は、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導き出すことができる。
シリカは通常、比重2.2g/cm3であるので、シリカの含有量(重量%)の好適範囲は例えば以下のとおりである。
すなわち、樹脂シート11中のシリカの含有量は、81重量%以上が好ましく、84重量%以上がより好ましい。樹脂シート11中のシリカの含有量は、94重量%以下が好ましく、91重量%以下がより好ましい。
すなわち、樹脂シート11中のアルミナの含有量は、88重量%以上が好ましく、90重量%以上がより好ましい。樹脂シート11中のアルミナの含有量は、97重量%以下が好ましく、95重量%以下がより好ましい。
(式中、R1及びR2は、同一若しくは異なって、アルコキシ基、フェノキシ基、アミノ基、水酸基、アリル基又はこれらの基からなる群より選択される少なくとも1種の基を有する1価の有機基を表す。xは3〜25の整数を表す。)
(式中、R3及びR5は、同一若しくは異なって、アルコキシ基、フェノキシ基、アミノ基、水酸基、アリル基又はこれらの基からなる群より選択される少なくとも1種の基を有する1価の有機基を表す。R4は、アルコキシ基、フェノキシ基、アミノ基、水酸基及びアリル基からなる群より選択される少なくとも1種の基を有する2価の有機基を表す。yは3〜25の整数を表す。zは3〜25の整数を表す。)
(式中、R11は、水素、水酸基、アルキル基、アルコキシ基、グリシジル基又はこれらの基からなる群より選択される少なくとも1種の基を有する1価の有機基を表す。)
しかし、樹脂シート11はシート状であるので、従来のタブレット状の封止樹脂のように、離型剤を配合する必要がない。また、配合せずとも、低吸湿性を達成できる。このため、樹脂シート11中の離型剤の含有量は、例えば1重量%以下が好ましく、離型剤を含まないことがより好ましい。
15分間である。
図2A〜2Cはそれぞれ、本発明の一実施形態に係る電子デバイスパッケージの製造方法の一工程を模式的に示す図である。本実施形態では、プリント配線基板12上に搭載されたSAWフィルタ13を樹脂シート11により中空封止して電子デバイスパッケージ18を作製する。
SAWフィルタ搭載基板準備工程では、複数のSAWフィルタ13が搭載されたプリント配線基板12を準備する(図2A参照)。SAWフィルタ13は、所定の櫛形電極が形成された圧電結晶を公知の方法でダイシングして個片化することにより形成できる。SAWフィルタ13のプリント配線基板12への搭載には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。SAWフィルタ13とプリント配線基板12とはバンプなどの突起電極13aを介して電気的に接続されている。また、SAWフィルタ13とプリント配線基板12との間は、SAWフィルタ表面での表面弾性波の伝播を阻害しないように中空部分14を維持するようになっている。SAWフィルタ13とプリント配線基板12との間の距離は適宜設定でき、一般的には15〜50μm程度である。
封止工程では、SAWフィルタ13を覆うようにプリント配線基板12へ樹脂シート11を積層し、SAWフィルタ13を樹脂シート11で樹脂封止する(図2B参照)。樹脂シート11は、SAWフィルタ13及びそれに付随する要素を外部環境から保護するための封止樹脂として機能する。
封止体形成工程では、樹脂シート11を熱硬化処理して封止体15を形成する(図2B参照)。
続いて、封止体15のダイシングを行ってもよい(図2C参照)。これにより、SAWフィルタ13単位での電子デバイスパッケージ18を得ることができる。
必要に応じて、電子デバイスパッケージ18に対して再配線及びバンプを形成し、これを別途の基板(図示せず)に実装する基板実装工程を行うことができる。電子デバイスパッケージ18の基板への実装には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。
エポキシ樹脂1:新日鐵化学(株)製のYSLV−80XY(ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキン当量200g/eq.軟化点80℃)
エポキシ樹脂2:日本化薬(株)製のEPPN−501HY(トリフェニルメタン型エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂3:三菱化学(株)製のYL980(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)
フェノール樹脂1:明和化成社製のMEH−7851−SS(ビフェニルアラルキル骨格を有するフェノール樹脂、水酸基当量203g/eq.、軟化点67℃)
フェノール樹脂2:昭和高分子(株)製のND564
熱可塑性樹脂1:カネカ社製のSIBSTER 072T(スチレン-イソブチレン-スチレンブロック共重合体)
熱可塑性樹脂2:ナガセケムテックス(株)製のSG−P3
シランカップリング剤処理フィラー:電気化学工業社製のFB−9454FC(溶融球状シリカ、平均一次粒子径20μm)を信越化学社製のKBM−403(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)で処理したもの(FB−9454FC 88.0重量部に対して、KBM−403 0.3重量部の割合で処理)
未処理フィラー:電気化学工業社製のFB−9454FC(溶融球状シリカ、平均一次粒子径20μm)
シランカップリング剤:信越化学社製のKBM−403(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)
カーボンブラック:三菱化学社製の#20
難燃剤:伏見製薬所製のFP−100(ホスファゼン系難燃剤:式(4)で表される化
合物)
(式中、mは3〜4の整数を表す。)
硬化促進剤1:北興化学工業社製のTPP−K(テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート)
硬化促進剤2:北興化学工業社製のTPP−MK(テトラフェニルホスホニウムテトラ−p−トリルボレート)
表1に記載の配合比に従い、各成分を配合し、ロール混練機により60〜120℃、10分間、減圧条件下(0.01kg/cm2)で溶融混練し、混練物を調製した。次いで、得られた混練物を、平板プレス法により、シート状に形成して、厚さ200μmの樹脂シートを作製した。
樹脂シートからサイズ20mm×20mm×厚さ200μmのサンプルを切り出し、これを120℃の真空乾燥機中で、3時間放置して乾燥させた。その後、デシケータ中で放冷し、サンプルの乾燥重量M1を測定した。次に、85℃、85%RHの雰囲気下にある恒温恒湿槽中に168時間放置し、サンプルを吸湿させてから取り出し秤量した。秤量値が一定になったときの重量をM2とした。測定したM1及びM2から、下記式に基づき吸水率を算出した。
吸水率(重量%)=[(M2−M1)/M1]×100
樹脂シートの断面(厚さ方向に切断した断面)をSEM観察し、300μm以上の凝集物の有無を確認した。また、樹脂シートからサイズ20mm×20mm×厚さ200μmのサンプルを切り出し、これを電気炉にて700℃で1時間焼いて有機分を分解した。残った無機分について、粒度分布測定により300μm以上の凝集物の有無を確認した。
SEM観察及び粒度分布測定の両方において、300μm以上の凝集物が確認されなかった場合を○(良好)と判定した。いずれかの方法で凝集物が確認された場合を×(不良)と判定した。
表1に記載の配合比に従い、各成分を配合し、これに各成分の総量と同量のメチルエチルケトンを添加して、ワニスを調製した。得られたワニスを、コンマコ―タ−により、厚み50μmのポリエステルフィルムA(三菱化学ポリエステル社製、MRF−50)の剥離処理面上に、乾燥後の厚みが50μmとなるように塗工し、乾燥させた。次いで、厚み38μmのポリエステルフィルムB(三菱化学ポリエステル社製、MRF−38)の剥離処理面を、乾燥後のワニス上に張り合わせて、薄膜樹脂シートを調製した。
その後、ポリエステルフィルムAおよびポリエステルフィルムBを適宜剥離しながら、ロールラミネ―タ―により、薄膜樹脂シートを4枚積層することにより、厚み200μmの樹脂シートを調製した。
11a 支持体
13 SAWフィルタ
14 中空部分
15 封止体
18 電子デバイスパッケージ
Claims (4)
- 電子デバイスを覆うための電子デバイス封止用樹脂シートであって、
シランカップリング剤により処理されたシリカフィラーのみからなる無機充填材を含み、
前記シランカップリング剤がビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基、メルカプト基、スルフィド基およびイソシアネート基からなる群より選ばれた1種以上を有し、
85℃、85%RHの雰囲気下で168時間放置した後の吸水率が0.3重量%以下であ
り、
前記シリカフィラーが実質的に一次粒子の状態で分散している電子デバイス封止用樹脂シート。 - 前記シランカップリング剤がエポキシ基を有する請求項1に記載の電子デバイス封止用樹脂シート。
- 前記電子デバイス封止用樹脂シート中の前記シリカフィラーの含有量が70〜90体積%である請求項1又は2に記載の電子デバイス封止用樹脂シート。
- 1又は複数の電子デバイスを覆うように請求項1〜3のいずれかに記載の電子デバイス封
止用樹脂シートを前記電子デバイス上に積層する積層工程、及び
前記電子デバイス封止用樹脂シートを硬化させて封止体を形成する封止体形成工程を含む
電子デバイスパッケージの製造方法。
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