JP5789929B2 - Iii族窒化物結晶の成長方法 - Google Patents
Iii族窒化物結晶の成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5789929B2 JP5789929B2 JP2010174534A JP2010174534A JP5789929B2 JP 5789929 B2 JP5789929 B2 JP 5789929B2 JP 2010174534 A JP2010174534 A JP 2010174534A JP 2010174534 A JP2010174534 A JP 2010174534A JP 5789929 B2 JP5789929 B2 JP 5789929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group iii
- tile
- iii nitride
- substrate
- nitride crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims description 110
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 title description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 217
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 158
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 45
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 63
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 13
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007716 flux method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
- WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N sulfanylidenezinc Chemical group [Zn]=S WGPCGCOKHWGKJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02389—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
Description
図1を参照して、本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法は、まず、平面充填ができる三角形および凸四角形のいずれかの形状である主表面10mを有するタイル基板10を複数準備する工程(タイル基板の準備工程)を備える。
図1を参照して、本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法は、次いで、タイル基板10の頂点部が互いに向かい合う任意の点Pにおいて互いに向かい合う頂点部の数が3以下であるように、複数のタイル基板10を平面充填させて配置する工程(タイル基板の配置工程)を備える。このように、複数のタイル基板10を配置することにより、図2に示すように、それらの主表面10m上に、主表面20mに発生するピット20pが少ない大型のIII族窒化物結晶が20を成長させることができる。
図2を参照して、本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法は、次いで、配置された複数のタイル基板10の主表面10m上にIII族窒化物結晶20を成長させる工程を備える。上記のような配置がされた複数のタイル基板10の主表面10m上にIII族窒化物結晶20を成長させることにより、主表面におけるピットの発生が少ない大型のIII族窒化物結晶20が得られる。このため、かかるIII族窒化物結晶から歩留まりよく大型のIII族窒化物結晶基板が得られる。
1.タイル基板の準備
GaN母結晶をその(0001)面に平行な面でワイヤソーにより切り出して複数のウエハを形成し、これらのウエハを{1−100}面に平行な方向および{11−20}面に平行な方向の二次元方向に切り出して、それらの切り出し面をCMP(化学機械的研磨)により研磨することにより、主表面の面方位が(0001)面で、主表面の面方位のずれ角が(0001)面から0.1°以内であり、側表面の面方位が{1−100}面および{11−20}面のいずれかであり、側表面の面方位のずれ角が{1−100}面および{11−20}面のいずれかから0.1°以内であり、主表面および側表面における各頂点部の内角が90°±0.1°であり、一辺の長さが16mm±1μmで厚さが400μm±1μmである正方形板状のGaNタイル基板が多数得られた。ここで、タイル基板の上記寸法は、ダイヤルゲージにより測定した。かかるGaNタイル基板の主表面および側表面の平均粗さRaは、AFM(原子間力顕微鏡)により測定したところ、いずれも5nm以下であった。
図1を参照して、上記のようにして得られたGaNタイル基板を、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う複数の点のうち互いに隣り合う任意の二点の間の距離D(具体的には、距離D11および距離D12)のうち小さい方の距離D11が、1μm±1μm以内(例A−1)、10μm±1μm(例A−2)、100μm±1μm(例A−3)、1000μm±1μm(例A−4)の4種類のパターンで、<1−100>方向に10枚、<11−20>方向に10枚、合計100枚を平面充填させて配置した。隣り合うGaNタイル基板において互いに隣り合う側表面の間の距離は、顕微鏡により観察したところ、2μm以下であった。
上記の例A−1〜例A−4のそれぞれにおいて、平面充填させた100枚のGaNタイル基板の主表面上に、HVPE法により、GaN結晶を成長させた。結晶成長条件は、HClガスの分圧が10kPa、GaClガス(III族元素原料ガス)生成温度が850℃、NH3ガス(窒素原料ガス75)の分圧が20kPa、H2ガス(キャリアガス)の分圧が70kPa、結晶成長温度が1050℃であった。かかる条件で10時間結晶成長させることにより、いずれの例においても、約160mm×160mm×厚さ2000μmの一体化したGaN結晶が得られた。すなわち、例A−1〜例A−4において得られたGaN結晶から直径6インチ(152.4mm)のGaN結晶基板を得ることが可能であった。それぞれの例において、得られたGaN結晶の主表面に発生したピットの数を確認した。具体的には、波長365nmの水銀ランプを光源として顕微鏡にて蛍光像を観察し、ピットを形成するファセットの成長痕の数を数えることによりピットの数を確認した。かかるピットの数を、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う点の数で割ることにより、ピット発生率(%)を算出した。例A−1〜例A−4における、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う点の数、ピットの数およびピット発生率を表1にまとめた。
1.タイル基板の準備
GaN母結晶をその(0001)面に平行な面でワイヤソーにより切り出して複数のウエハを形成し、これらのウエハを{31−40}面に平行な方向ならびに{31−40}面および{0001}面の両面に垂直な方向の二次元方向に切り出して、それらの切り出し面をCMP(化学機械的研磨)により研磨することにより、主表面の面方位が(0001)面で、主表面の面方位のずれ角が(0001)面から0.1°以内であり、側表面の面方位が{31−40}面ならびに{31−40}面および{0001}面の両面に垂直な面のいずれかであり、側表面の面方位のずれ角が{31−40}面ならびに{31−40}面および{0001}面の両面に垂直な面のいずれかから0.1°以内であり、主表面および側表面における各頂点部の内角が90°±0.1°であり、一辺の長さが16mm±1μmで厚さが400μm±1μmである正方形板状のGaNタイル基板が多数得られた。かかるGaNタイル基板の主表面および側表面の平均粗さRaは、いずれも5nm以下であった。
図1を参照して、上記のようにして得られたGaNタイル基板を、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う複数の点のうち互いに隣り合う任意の二点の間の距離D(具体的には、距離D11および距離D12)のうち小さい方の距離D11が、1μm±1μm以内(例B−1)、10μm±1μm(例B−2)、100μm±1μm(例B−3)、1000μm±1μm(例B−4)の4種類のパターンで、<31−40>方向に10枚、<31−40>方向および<0001>方向の両方向に垂直な方向に10枚、合計100枚を平面充填させて配置した。隣り合うGaNタイル基板において互いに隣り合う側表面の間の距離は、2μm以下であった。
上記の例B−1〜例B−4のそれぞれにおいて、実施例Aと同様にして、GaN結晶を成長させた。いずれの例においても、約160mm×160mm×厚さ2000μmの一体化したGaN結晶が得られた。すなわち、例B−1〜例B−4において得られたGaN結晶から直径6インチ(152.4mm)のGaN結晶基板を得ることが可能であった。実施例Aと同様にして、それぞれの例において、得られたGaN結晶の主表面に発生したピットの数を測定し、ピット発生率(%)を算出した。例B−1〜例B−4における、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う点の数、ピットの数およびピット発生率を表2にまとめた。
1.タイル基板の準備
実施例Aと同様にして、多数のGaNタイル基板を得た。得られたGaNタイル基板は、主表面の面方位が(0001)面で、主表面の面方位のずれ角が(0001)面から0.1°以内であり、側表面の面方位が{1−100}面および{11−20}面のいずれかであり、側表面の面方位のずれ角が{1−100}面および{11−20}面のいずれかから0.1°以内であり、主表面および側表面における各頂点部の内角が90°±0.1°であり、一辺の長さが16mm±1μmで厚さが400μm±1μmであった。かかるGaNタイル基板の主表面および側表面の平均粗さRaは、いずれも5nm以下であった。
上記のようにして得られたGaNタイル基板を、実施例Aと同様にして、合計100枚を平面充填させて配置した。隣り合うGaNタイル基板において互いに隣り合う側表面の間の距離は、2μm以下であった。
上記の例C−1〜例C−4のそれぞれにおいて、平面充填させた100枚のGaNタイル基板の主表面上に、HVPE法により、GaN結晶を成長させた。結晶成長条件は、HClガスの分圧が10kPa、GaClガス(III族元素原料ガス)生成温度が850℃、NH3ガス(窒素原料ガス75)の分圧が20kPa、N2ガス(キャリアガス)の分圧が70kPa、結晶成長温度が1135℃であった。かかる条件で10時間結晶成長させることにより、いずれの例においても、約160mm×160mm×厚さ2000μmの一体化したGaN結晶が得られた。すなわち、例C−1〜例C−4において得られたGaN結晶から直径6インチ(152.4mm)のGaN結晶基板を得ることが可能であった。実施例Aと同様にして、それぞれの例において、得られたGaN結晶の主表面に発生したピットの数を測定し、ピット発生率(%)を算出した。例C−1〜例C−4における、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う点の数、ピットの数およびピット発生率を表3にまとめた。
1.タイル基板の準備
実施例Bと同様にして、多数のGaNタイル基板を得た。得られたGaNタイル基板は、主表面の面方位が(0001)面で、主表面の面方位のずれ角が(0001)面から0.1°以内であり、側表面の面方位が{31−40}面ならびに{31−40}面および{0001}面の両面に垂直な面のいずれかであり、側表面の面方位のずれ角が{31−40}面ならびに{31−40}面および{0001}面の両面に垂直な面のいずれかから0.1°以内であり、主表面および側表面における各頂点部の内角が90°±0.1°であり、一辺の長さが16mm±1μmで厚さが400μm±1μmであった。かかるGaNタイル基板の主表面および側表面の平均粗さRaは、いずれも5nm以下であった。
上記のようにして得られたGaNタイル基板を、実施例Bと同様にして、合計100枚を平面充填させて配置した。隣り合うGaNタイル基板において互いに隣り合う側表面の間の距離は、2μm以下であった。
上記の例D−1〜例D−4のそれぞれにおいて、実施例Cと同様にして、GaN結晶を成長させた。いずれの例においても、約160mm×160mm×厚さ2000μmの一体化したGaN結晶が得られた。すなわち、例D−1〜例D−4において得られたGaN結晶から直径6インチ(152.4mm)のGaN結晶基板を得ることが可能であった。実施例Aと同様にして、それぞれの例において、得られたGaN結晶の主表面に発生したピットの数を測定し、ピット発生率(%)を算出した。例D−1〜例D−4における、GaNタイル基板の頂点部が互いに向かい合う点の数、ピットの数およびピット発生率を表4にまとめた。
Claims (4)
- 平面充填ができる三角形および凸四角形のいずれかの形状である主表面を有するタイル基板を複数準備する工程と、
前記タイル基板の頂点部が互いに向かい合う任意の点において互いに向かい合う前記頂点部の数が3以下であるように、複数の前記タイル基板を一部の前記タイル基板の頂点部と他の一部の前記タイル基板の頂点部とが向かい合わないようにずらして平面充填させて配置する工程と、
配置された複数の前記タイル基板の前記主表面上にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、を備え、
複数の前記タイル基板を平面充填させて配置する工程において、隣り合う前記タイル基板において互いに隣り合う側表面の間の距離が20μm以下であり、かつ、前記タイル基板の頂点部が互いに向かい合う複数の点のうち互いに隣り合う任意の二点の間の距離が100μm以上となるように、前記タイル基板を配置するIII族窒化物結晶の成長方法。 - 前記タイル基板の前記主表面の形状は、平面充填ができる凸四角形である請求項1に記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
- 前記タイル基板は、GaN基板である請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
- 前記III族窒化物結晶を成長させる工程において、ハイドライド気相成長法により、900℃以上1100℃以下で前記III族窒化物結晶としてGaN結晶を成長させる請求項1から請求項3のいずれかに記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010174534A JP5789929B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
PCT/JP2011/061838 WO2012017723A1 (ja) | 2010-08-03 | 2011-05-24 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
EP11814353.6A EP2602362A4 (en) | 2010-08-03 | 2011-05-24 | METHOD FOR GROWING GROUP III ELEMENT NITRIDE CRYSTAL |
CN201180032962.XA CN102959141B (zh) | 2010-08-03 | 2011-05-24 | 用于生长iii族氮化物晶体的方法 |
US13/115,560 US9005362B2 (en) | 2010-08-03 | 2011-05-25 | Method for growing group III nitride crystal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010174534A JP5789929B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012036012A JP2012036012A (ja) | 2012-02-23 |
JP5789929B2 true JP5789929B2 (ja) | 2015-10-07 |
Family
ID=45555128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010174534A Expired - Fee Related JP5789929B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9005362B2 (ja) |
EP (1) | EP2602362A4 (ja) |
JP (1) | JP5789929B2 (ja) |
CN (1) | CN102959141B (ja) |
WO (1) | WO2012017723A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120036816A (ko) * | 2009-06-01 | 2012-04-18 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 질화물 반도체 결정 및 그 제조 방법 |
JP2011246315A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板およびその製造方法 |
JP2012089639A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶炭化珪素基板を有する複合基板 |
US10186835B2 (en) * | 2013-12-30 | 2019-01-22 | The Regents Of The University Of California | Monolithic integration of optically pumped III-nitride devices |
WO2015123566A1 (en) * | 2014-02-14 | 2015-08-20 | The Regents Of The University Of California | Monolithically integrated white light-emitting devices |
JP6264990B2 (ja) * | 2014-03-26 | 2018-01-24 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体基板の製造方法 |
WO2017010166A1 (ja) * | 2015-07-14 | 2017-01-19 | 三菱化学株式会社 | 非極性または半極性GaNウエハ |
JP6604205B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2019-11-13 | 国立大学法人大阪大学 | 窒化物結晶基板の製造方法および結晶成長用基板 |
JP6203460B1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-27 | 株式会社サイオクス | 窒化物結晶基板 |
JP6861490B2 (ja) * | 2016-09-07 | 2021-04-21 | 株式会社サイオクス | 窒化物結晶基板の製造方法および結晶成長用基板 |
JP6773512B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2020-10-21 | 古河機械金属株式会社 | 基板、及び、基板の製造方法 |
KR20200008566A (ko) * | 2017-04-20 | 2020-01-28 | 실텍트라 게엠베하 | 구성요소가 제공되는 솔리드 스테이트 층의 두께를 감소시키는 방법 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5127983A (en) * | 1989-05-22 | 1992-07-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing single crystal of high-pressure phase material |
JP2000349338A (ja) | 1998-09-30 | 2000-12-15 | Nec Corp | GaN結晶膜、III族元素窒化物半導体ウェーハ及びその製造方法 |
JP4915128B2 (ja) * | 2005-04-11 | 2012-04-11 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体ウエハ及びその製造方法 |
US20120223417A1 (en) * | 2005-06-23 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group iii nitride crystal substrate, epilayer-containing group iii nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
US9708735B2 (en) * | 2005-06-23 | 2017-07-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Group III nitride crystal substrate, epilayer-containing group III nitride crystal substrate, semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP5332168B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2013-11-06 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
CN101535533A (zh) * | 2006-11-17 | 2009-09-16 | 住友电气工业株式会社 | 制造ⅲ族氮化物晶体的方法 |
JP2008133151A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 結晶成長方法、結晶基板、および半導体デバイス |
EP2154272A4 (en) * | 2007-05-17 | 2011-04-27 | Mitsubishi Chem Corp | METHOD FOR MANUFACTURING A NITRIDE SEMICONDUCTOR CRYSTAL OF AN ELEMENT BELONGING TO GROUP III, A NITRIDE-FORMED SEMICONDUCTOR SUBSTRATE OF A GROUP III ELEMENT, AND A SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE |
JP5040708B2 (ja) * | 2007-05-17 | 2012-10-03 | 三菱化学株式会社 | 窒化物半導体結晶の製造方法 |
JP2009280482A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-12-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物単結晶自立基板およびそれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
JP2009286652A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物結晶、iii族窒化物結晶基板および半導体デバイスの製造方法 |
KR20120036816A (ko) * | 2009-06-01 | 2012-04-18 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 질화물 반도체 결정 및 그 제조 방법 |
JP5446622B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2014-03-19 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-08-03 JP JP2010174534A patent/JP5789929B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-05-24 WO PCT/JP2011/061838 patent/WO2012017723A1/ja active Application Filing
- 2011-05-24 EP EP11814353.6A patent/EP2602362A4/en not_active Withdrawn
- 2011-05-24 CN CN201180032962.XA patent/CN102959141B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-25 US US13/115,560 patent/US9005362B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2602362A4 (en) | 2015-05-06 |
CN102959141B (zh) | 2015-11-25 |
JP2012036012A (ja) | 2012-02-23 |
WO2012017723A1 (ja) | 2012-02-09 |
EP2602362A1 (en) | 2013-06-12 |
CN102959141A (zh) | 2013-03-06 |
US9005362B2 (en) | 2015-04-14 |
US20120031324A1 (en) | 2012-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5789929B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP5788433B2 (ja) | 半極性窒化ガリウムブールの大規模アモノサーマル製造のためのプロセス | |
JP5496007B2 (ja) | 高品質ホモエピタキシ用微傾斜窒化ガリウム基板 | |
JP5757068B2 (ja) | GaN結晶の成長方法 | |
WO2009090904A1 (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP6031733B2 (ja) | GaN結晶の製造方法 | |
JP5472513B2 (ja) | 単結晶基板、それを用いて得られるiii族窒化物結晶及びiii族窒化物結晶の製造方法 | |
JP2011026181A (ja) | Iii族窒化物結晶およびその製造方法 | |
JP5830973B2 (ja) | GaN自立基板および半導体発光デバイスの製造方法 | |
JP6187576B2 (ja) | Iii族窒化物結晶 | |
JP6704386B2 (ja) | 窒化物半導体テンプレート及びその製造方法、並びにエピタキシャルウエハ | |
JP2012006772A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法およびiii族窒化物結晶基板 | |
CN109312491B (zh) | 氮化物半导体模板、氮化物半导体模板的制造方法以及氮化物半导体自支撑基板的制造方法 | |
JP5929434B2 (ja) | AlN系膜の製造方法およびそれに用いられる複合基板 | |
JP2009190936A (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法 | |
JP2010215446A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP2013087029A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP6457442B2 (ja) | GaN結晶基板 | |
JP5743928B2 (ja) | 窒化ガリウム系半導体エピタキシャルウェハ及びその製造方法 | |
KR101155061B1 (ko) | 질화물 반도체 기판 및 이의 제조방법 | |
JP2013199412A (ja) | Iii族窒化物半導体結晶の製造方法 | |
JP2012136418A (ja) | Iii族窒化物半導体基板とその製造方法 | |
KR20090113190A (ko) | Iii족 질화물 단결정 자립 기판 및 그것을 사용한 반도체 디바이스의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141007 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141205 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150514 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150720 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5789929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |