JP5789710B1 - 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体および磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5789710B1 JP5789710B1 JP2014257205A JP2014257205A JP5789710B1 JP 5789710 B1 JP5789710 B1 JP 5789710B1 JP 2014257205 A JP2014257205 A JP 2014257205A JP 2014257205 A JP2014257205 A JP 2014257205A JP 5789710 B1 JP5789710 B1 JP 5789710B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- magnetic recording
- compound
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 275
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims abstract description 138
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 80
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 52
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 claims abstract description 33
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims abstract description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N oxalonitrile Chemical compound N#CC#N JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- CBOIHMRHGLHBPB-UHFFFAOYSA-N hydroxymethyl Chemical compound O[CH2] CBOIHMRHGLHBPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 22
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 20
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 13
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- 239000003256 environmental substance Substances 0.000 description 5
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 5
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 101100045694 Caenorhabditis elegans art-1 gene Proteins 0.000 description 3
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N diiodomethane Chemical compound ICI NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 phosphazene compound Chemical class 0.000 description 3
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000929 Ru alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- RIQRGMUSBYGDBL-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane Chemical compound FC(F)(F)C(F)C(F)C(F)(F)C(F)(F)F RIQRGMUSBYGDBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- 239000002879 Lewis base Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000007527 lewis bases Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
磁気記録媒体としては、磁気記録媒体用の基板上に、情報を記録する磁性層と、カーボン等で形成された保護層と、潤滑剤層とをこの順序で形成したものがある。
保護層は、磁性層に記録された情報を保護するとともに、磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの摺動性を高めるものである。しかし、磁性層上に保護層を設けただけでは、磁気記録媒体の耐久性は十分には得られない。
例えば、特許文献1には、HOCH2−CF2O−(C2F4O)p−(CF2O)q−CH2OH(p、qは整数。)の構造をもつパーフロロアルキルポリエーテルの潤滑剤を炭素保護膜上に塗布した磁気記録媒体が開示されている。
すなわち、潤滑剤層の材料として用いられる化合物は、その分子構造中に含まれるOH基の数が多い程、炭素等で形成されている保護層との結合性が高いことが知られている。そのため、従来、潤滑剤層に用いられる化合物に含まれるOH基の数は、2個、4個、6個、8個と増加していく傾向にあった。
(一般式(1)中、R1は、炭素数1〜4のアルコキシ基である。R2は、−CF2O(CF2CF2O)x(CF2O)yCF2−(x、yのカッコ内は、この順に、または逆に、またはランダムにつなげて良い(x、yは、それぞれ0〜15の実数である。)。)、または−CF2CF2O(CF2CF2CF2O)zCF2CF2−(zは1〜15の実数である。)、または−CF2CF2CF2O(CF2CF2CF2CF2O)nCF2CF2CF2−、である(nは0〜4の実数である。)。)
(一般式(2)中、mは整数である。)
[3] 前記化合物Bの平均分子量が1000〜1700の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
また、本発明の磁気記録媒体は、十分に薄い厚みの潤滑剤層を有するものであるので、さらなる記録密度の向上に対応可能しうるものとなる。
はじめに、本発明の磁気記録媒体において、炭素または窒化炭素からな保護層上に接して形成されている潤滑剤層について説明する。
本発明者は、上述したように、潤滑剤層の材料の最適化に関して、磁気記録媒体の表面エネルギーに着目して検討した。そして、磁気記録媒体の表面におけるトータルの表面エネルギーであるγtotal(γtotal=γAB+γLW)を低減できる潤滑剤層について検討した。
接触角は公知の方法で測定できる。すなわち、磁気記録媒体の保護層表面に一定量の溶媒を滴下し、一定時間経過後の水滴と保護層表面とのなす角度を接触角計で測定する。
なお、本願発明では、溶媒Aとして水、溶媒Bとしてヨウ化メチレン(Methylene Iodide)、溶媒Cとしてエチレングリコール(Ethylene Glycol)を使用した。溶媒Aを用いた場合の接触角をθA、溶媒Bを用いた場合の接触角をθB、溶媒Cを用いた場合の接触角をθCとした。
下記の式において「γ1 +」などの符号における数字の1は、溶媒のパラメータであることを示し、「γ2 +」などの符号における数字の2は潤滑剤のパラメータであることを示す。また、「γ1 +」などの符号における「+」はVan Ossの方法の電子受容性の寄与を示すパラメータであることを示し、「γ1 −」などの符号における「−」はVan Ossの方法の電子供与性の寄与を示すパラメータであることを示す。
γtotal、γAB、γLWは、γ1、γ1 LW、γ1 +、γ1 −が公知である溶媒A〜溶媒Cを用いて、下記の連立方程式を解くことにより求めた。
γLW=2(γ1 LWγ2 LW)1/2
γ1A(1+COSθA)=2(γ1A LWγ2 LW)1/2+2(γ1A +γ2 −)1/2+2(γ1A −γ2 +)1/2
γ1B(1+COSθB)=2(γ1B LWγ2 LW)1/2+2(γ1B +γ2 −)1/2+2(γ1B −γ2 +)1/2
γ1C(1+COSθC)=2(γ1C LWγ2 LW)1/2+2(γ1C +γ2 −)1/2+2(γ1C −γ2 +)1/2
ヨウ化メチレン:γ1B=50.8、γ1B LW=50.8、γ1B +=0、γ1B −=0
エチレングリコール:γ1C=48.0、γ1C LW=29.0、γ1C +=1.92、γ1C −=47.0
一般式(1)に示す化合物Aとしては、平均分子量が1500〜1800の範囲内であるものが好ましい。化合物Aの平均分子量が上記範囲内であると、化合物Aおよび化合物Bを含む潤滑剤を塗布して潤滑剤層を形成する場合に、十分に粘性が低く塗布しやすい潤滑剤が得られるため、好ましい。
一般式(2)に示す化合物Bとしては、平均分子量が1000〜1700の範囲内であるものが好ましい。化合物Bの平均分子量が上記範囲内であると、化合物Aおよび化合物Bを含む潤滑剤を塗布して潤滑剤層を形成する場合に、十分に粘性の低い塗布しやすい潤滑剤が得られるため、好ましい。
以下に、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態である磁気記録媒体の一例を示す断面模式図である。
図1に示すように、本実施形態の磁気記録媒体11は、非磁性基板1上に、磁性層2と保護層3と潤滑剤層4とがこの順序で積層されたものである。
密着層は、例えば、スパッタリング法により形成できる。
軟磁性下地層は、例えば、スパッタリング法により形成できる。
シード層の膜厚は、2〜20nmの範囲であることが好ましい。シード層の膜厚が2nm未満であると、シード層を設けたことによる効果が十分に得られない場合がある。一方、シード層の膜厚が20nmを超えると、結晶サイズが大きくなるために好ましくない。
シード層は、例えば、スパッタリング法により形成できる。
配向制御層の膜厚は、5〜30nmの範囲であることが好ましい。配向制御層の膜厚を30nm以下とすることで、磁気ヘッドと軟磁性下地層との間の距離が小さくなり、磁気ヘッドからの磁束を急峻にすることができる。また、配向制御層の膜厚を5nm以上とすることで、磁性層2の配向を良好に制御できる。
配向制御層は、スパッタリング法により形成できる。
磁性層2に含有される酸化物としては、SiO2、SiO、Cr2O3、CoO、Ta2O3、TiO2などが挙げられる。
例えば、磁性層2が第1磁性層と第2磁性層と第3磁性層の3層からなる場合、第1磁性層は、Co、Cr、Ptを含み、さらに酸化物を含んだ材料からなるグラニュラー構造のものであることが好ましい。第1磁性層に含有される酸化物としては、例えばCr、Si、Ta、Al、Ti、Mg、Coなどの酸化物を用いることが好ましい。その中でも特に、TiO2、Cr2O3、SiO2などを好適に用いることができる。また、第1磁性層は、酸化物を2種類以上添加した複合酸化物からなることが好ましい。その中でも特に、Cr2O3−SiO2、Cr2O3−TiO2、SiO2−TiO2などを好適に用いることができる。
第1磁性層が上記元素を含むことにより、磁性粒子の微細化を促進、又は結晶性や配向性を向上させることができ、より高密度記録に適した記録再生特性、熱揺らぎ特性を得ることができる。
また、第3磁性層は、Co、Cr、Ptを含み、酸化物を含まない材料からなる非グラニュラー構造のものであることが好ましい。第3磁性層は、Co、Cr、Ptの他に、B、Ta、Mo、Cu、Nd、W、Nb、Sm、Tb、Ru、Re、Mnの中から選ばれる1種類以上の元素を含むことができる。第3磁性層がCo、Cr、Ptの他に上記元素を含むことにより、磁性粒子の微細化を促進、又は結晶性や配向性を向上させることができ、より高密度記録に適した記録再生特性及び熱揺らぎ特性を得ることができる。
非磁性層は、スパッタリング法により形成できる。
磁性層2は、蒸着法、イオンビームスパッタ法、マグネトロンスパッタ法など従来の公知のいかなる方法によって形成してもよい。磁性層2は、通常、スパッタリング法により形成される。
本実施形態の保護層3は、炭素または窒化炭素で形成されている。保護層3が炭素または窒化炭素からなるものである場合、保護層3に含まれる炭素原子と、または保護層3に含まれる炭素原子および窒素原子と、潤滑剤層4とが結合して、保護層3と潤滑剤層4とが高い結合力で結合されたものとなる。その結果、潤滑剤層4の厚みが薄くても、潤滑剤層4によって、高い被覆率および結合性で保護層3の表面が被覆された磁気記録媒体11となり、磁気記録媒体11の表面の汚染を効果的に防止できる。
保護層3の膜厚が10nm以下である場合、本実施形態の磁気記録媒体11を備える磁気記録再生装置における磁気的スペーシングを十分に低減することができる。磁気的スペーシングとは、磁気ヘッドと磁性層2との間の距離のことを意味する。磁気的スペーシングを狭くするほど、磁気記録再生装置の電磁変換特性を向上させることができる。
保護層3の膜厚が1nm以上である場合、磁性層2を保護する効果が十分に得られ、耐久性を向上させることができる。
潤滑剤層4は、磁気記録媒体11の汚染を防止するとともに、磁気記録媒体11上を摺動する磁気記録再生装置の磁気ヘッドの摩擦力を低減させて、磁気記録媒体11の耐久性を向上させるものである。
まず、非磁性基板1上に保護層3までの各層の形成された製造途中の磁気記録媒体を作成する。次いで、製造途中の磁気記録媒体の保護層3上に、潤滑剤層形成用溶液を塗布する。
潤滑剤層形成用溶液に用いられる溶剤としては、例えば、バートレルXF(商品名、三井デュポンフロロケミカル社製)等のフッ素系溶媒などが挙げられる。
ディップ法を用いる場合、例えば、以下に示す方法を用いることができる。まず、ディップコート装置の浸漬槽に入れられた潤滑剤層形成用溶液中に、保護層3までの各層が形成された非磁性基板1を浸漬する。その後、浸漬槽から非磁性基板1を所定の速度で引き上げる。このことにより、潤滑剤層形成用溶液を非磁性基板1の保護層3上の表面に塗布する。ディップ法を用いることで、潤滑剤層形成用溶液を非磁性基板1の保護層3上の表面に均一に塗布することができ、保護層3上に均一な膜厚の潤滑剤層4を形成できる。
また、本実施形態の磁気記録媒体11は、厚みが薄くても磁気記録媒体11の表面の汚染を効果的に防止できる潤滑剤層4を有しているので、潤滑剤層4を十分薄くすることにより、さらなる記録密度の向上に対応可能しうるものとなる。
また、本実施形態の磁気記録媒体11は、磁気記録媒体11の汚染がより顕著となる高温状態で使用した場合であっても、汚染されにくく、耐環境性に優れ、安定した磁気記録再生特性が得られる。
次に、本実施形態の磁気記録再生装置の一例について説明する。図2は、本発明の実施形態である磁気記録再生装置の一例を示す斜視図である。
本実施形態の磁気記録再生装置101は、図1に示す磁気記録媒体11と、媒体駆動部123と、磁気ヘッド124と、ヘッド移動部126と、記録再生信号処理部128とを具備したものである。
(実施例)
洗浄済みのガラス基板(HOYA社製、外形2.5インチ)を、DCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3040)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した。
次いで、スパッタリング法により、密着層の上に軟磁性下地層を形成した。軟磁性下地層としては、第1軟磁性層と中間層と第2軟磁性層とを成膜した。まず、Co−20Fe−5Zr−5Ta{Fe含有量20原子%、Zr含有量5原子%、Ta含有量5原子%、残部Co}のターゲットを用いて、100℃以下の基板温度で、層厚25nmの第1軟磁性層を成膜した。次に、第1軟磁性層の上に、層厚0.7nmのRuからなる中間層を成膜した。その後、中間層の上に、層厚25nmのCo−20Fe−5Zr−5Taからなる第2軟磁性層を成膜した。
その後、シード層の上に、スパッタリング法により第1の配向制御層として、スパッタ圧力を0.8Paとして層厚10nmのRu層を成膜した。次に、第1の配向制御層上に、スパッタリング法により第2の配向制御層として、スパッタ圧力を1.5Paとして層厚10nmのRu層を成膜した。
その後、非磁性層の上に、スパッタリング法により92(Co11Cr18Pt)−5(SiO2)−3(TiO2){Cr含有量11原子%、Pt含有量18原子%、残部Coの合金を92mol%、SiO2からなる酸化物を5mol%、TiO2からなる酸化物を3mol%}からなる第2磁性層を、スパッタ圧力を2Paとして層厚6nmで成膜した。
次いで、非磁性層の上に、スパッタリング法によりCo−20Cr−14Pt−3B{Cr含有量20原子%、Pt含有量14原子%、B含有量3原子%、残部Co}からなるターゲットを用いて、スパッタ圧力を0.6Paとして第3磁性層を層厚7nmで成膜した。
次に、イオンビーム法により窒化炭素(窒素含有量は5原子%)からなる層厚3nmの保護層を成膜した。
「化合物B」D3OH(s)(商品名:MORESCO社製)
「その他の化合物」D4OH(商品名:MORESCO社製)
D4OHは、下記一般式(3)のpが4〜30の範囲内であり、平均分子量が約2500である。
「溶剤」バートレルXF(商品名:三井デュポンフロロケミカル社製)
また、潤滑剤層に含まれる化合物Aと化合物Bとの質量比(A:B)、化合物Bに対する化合物Aの質量比(A/B)を表1に示す。
また、比較例3は、潤滑剤層の平均膜厚が薄すぎるため、表面エネルギー(γtotal(γAB+γLW))が高くなり、潤滑剤層による保護層の表面に対する被覆率および結合性が不足したものと推定される。
また、比較例6では化合物がOH基を4つ有する構造の潤滑剤であるため、表面エネルギー(γtotal(γAB+γLW))が高くなり、潤滑剤層による保護層の表面に対する被覆率および結合性が不足したものと推定される。
Claims (2)
- 非磁性基板上に、少なくとも磁性層と保護層と潤滑剤層とをこの順序で有する磁気記録媒体であって、
前記保護層が、炭素または窒化炭素からなり、
前記潤滑剤層が、前記保護層上に接して形成されており、下記一般式(1)に示す化合物Aと、下記一般式(2)に示す化合物Bとを含み、前記化合物Bに対する前記化合物Aの質量比(A/B)が0.2〜3.0の範囲内であり、前記潤滑剤層の平均膜厚が0.8nm〜2nmであり、
前記化合物Aの平均分子量が1500〜1800の範囲内であり、
前記化合物Bの平均分子量が1000〜1700の範囲内であることを特徴とする磁気記録媒体。
R1−C6H4OCH2CH(OH)CH2OCH2−R2−CH2OCH2CH(OH)CH2OH ‥‥(1)
(一般式(1)中、R1は、炭素数1〜4のアルコキシ基である。R2は、−CF2O(CF2CF2O)x(CF2O)yCF2−(x、yのカッコ内は、この順に、または逆に、またはランダムにつなげて良い(x、yは、それぞれ0〜15の実数である。)。))
CH3CH2CH(OH)CH2OCH2CF2CF2O(CF2CF2CF2O)mCF2CF2CH2OCH2CH(OH)CH2OH ‥‥(2)
(一般式(2)中、mは整数である。) - 請求項1に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体を記録方向に駆動する媒体駆動部と、
前記磁気記録媒体に情報の記録再生を行う磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して相対運動させるヘッド移動部と、
前記磁気ヘッドからの記録再生信号の処理を行う記録再生信号処理部と、を具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014257205A JP5789710B1 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
US15/535,982 US10559320B2 (en) | 2014-12-19 | 2015-12-16 | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing apparatus |
PCT/JP2015/085225 WO2016098811A1 (ja) | 2014-12-19 | 2015-12-16 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
CN201580068639.6A CN107004430B (zh) | 2014-12-19 | 2015-12-16 | 磁记录介质和磁记录再现装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014257205A JP5789710B1 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015119737A Division JP2017130242A (ja) | 2014-12-19 | 2015-06-12 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5789710B1 true JP5789710B1 (ja) | 2015-10-07 |
Family
ID=54346111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014257205A Expired - Fee Related JP5789710B1 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5789710B1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017021885A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
CN113150859A (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-23 | 四川大学 | 环保型碳氮基水性润滑剂及其制备方法 |
US11292979B2 (en) | 2016-02-22 | 2022-04-05 | Showa Denko K.K. | Fluorine-containing ether compound, lubricant for magnetic recording medium and magnetic recording medium |
US12057151B2 (en) | 2019-12-23 | 2024-08-06 | Resonac Corporation | Fluorine-containing ether compound, lubricant for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009289411A (ja) * | 2009-09-14 | 2009-12-10 | Hoya Corp | 磁気ディスクおよび製造方法 |
JP2010108583A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-05-13 | Showa Denko HD Singapore Pte Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2013157048A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP2013163667A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Moresco Corp | フルオロポリエーテル化合物、これを含有する潤滑剤ならびに磁気ディスク |
JP2014116060A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-26 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
-
2014
- 2014-12-19 JP JP2014257205A patent/JP5789710B1/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010108583A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-05-13 | Showa Denko HD Singapore Pte Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2009289411A (ja) * | 2009-09-14 | 2009-12-10 | Hoya Corp | 磁気ディスクおよび製造方法 |
JP2013157048A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP2013163667A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Moresco Corp | フルオロポリエーテル化合物、これを含有する潤滑剤ならびに磁気ディスク |
JP2014116060A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-26 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017021885A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
US11292979B2 (en) | 2016-02-22 | 2022-04-05 | Showa Denko K.K. | Fluorine-containing ether compound, lubricant for magnetic recording medium and magnetic recording medium |
US12057151B2 (en) | 2019-12-23 | 2024-08-06 | Resonac Corporation | Fluorine-containing ether compound, lubricant for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
CN113150859A (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-23 | 四川大学 | 环保型碳氮基水性润滑剂及其制备方法 |
CN113150859B (zh) * | 2021-04-07 | 2023-02-14 | 四川大学 | 环保型碳氮基水性润滑剂及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016098811A1 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
CN112201281B (zh) | 含氟醚化合物、磁记录介质用润滑剂及磁记录介质 | |
WO2018159232A1 (ja) | 磁気記録媒体、含フッ素エーテル化合物および磁気記録媒体用潤滑剤 | |
JP6233958B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP6968833B2 (ja) | 含フッ素エーテル化合物、磁気記録媒体用潤滑剤および磁気記録媒体 | |
JP5600202B1 (ja) | 磁気記録媒体用潤滑剤、磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、および磁気記録再生装置 | |
JP5606710B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2010218659A (ja) | 磁気記録媒体の検査方法、磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 | |
US11555005B2 (en) | Fluorine-containing ether compound, lubricant for magnetic recording medium, and magnetic recording medium | |
JP5789710B1 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP5600222B1 (ja) | 磁気記録媒体用潤滑剤、磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、および磁気記録再生装置 | |
US10079036B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus | |
JP2017130242A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP6257117B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP6570183B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP5815896B1 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP6145424B2 (ja) | 磁気記録媒体用潤滑剤、磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP6145423B2 (ja) | 磁気記録媒体用潤滑剤、磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP6546106B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
CN106548791A (zh) | 磁记录介质和磁记录再生装置 | |
JP7012807B2 (ja) | 含フッ素エーテル化合物、磁気記録媒体用潤滑剤および磁気記録媒体 | |
JP2016152056A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
WO2022215703A1 (ja) | 含フッ素エーテル化合物、磁気記録媒体用潤滑剤および磁気記録媒体 | |
JP2017059290A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150304 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20150304 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20150313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150414 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150803 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5789710 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |