JP5781064B2 - 検出回路装置及び電流路の断絶を特定するための方法 - Google Patents
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Description
[適用例1]
可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバで用いる検出回路装置であって、
第1の可撓コネクタ端と、第2の可撓コネクタ端と、少なくとも1つのスリットとを有する可撓コネクタであって、前記スリットの少なくとも一部は、前記第1の可撓コネクタ端および前記第2の可撓コネクタ端の間に引かれた線に平行な方向に配置され、前記第1の可撓コネクタ端は前記可動下側電極に接続され、前記第2の可撓コネクタ端は前記プラズマ処理チャンバの構成要素に接続され、前記可撓導体は、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、可撓コネクタと、
前記スリットの片側に配置されたコネクタ材料を通る電流フローを検出するための手段であって、前記スリットの前記片側に配置された前記導体材料の周りに少なくとも巻かれた少なくとも1つのコイルと、前記電流フローを検出するために前記コイルに接続された検出回路とを含む手段と、
を備える、検出回路装置。
[適用例2]
適用例1に記載の検出回路装置であって、前記検出回路は、前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記電流フローに関して収集された1組のパラメータを解析するよう構成される、検出回路装置。
[適用例3]
適用例2に記載の検出回路装置であって、前記1組のパラメータは、共振周波数およびインピーダンスの少なくとも一方を含む、検出回路装置。
[適用例4]
適用例3に記載の検出回路装置であって、前記可撓コネクタは複数のスリットを備え、前記複数のスリットは単一の検出回路に接続される、検出回路装置。
[適用例5]
適用例3に記載の検出回路装置であって、前記可撓コネクタは複数のスリットを備え、前記複数のスリットの各スリットは個別の検出回路に接続される、検出回路装置。
[適用例6]
適用例3に記載の検出回路装置であって、交流電流(AC)信号が、前記コイルに印加される、検出回路装置。
[適用例7]
適用例6に記載の検出回路装置であって、前記AC信号は、前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、検出回路装置。
[適用例8]
可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバで用いる検出回路装置であって、
第1の可撓コネクタ端と第2の可撓コネクタ端とを有する可撓コネクタであって、前記第1の可撓コネクタ端は前記可動下側電極に接続され、前記第2の可撓コネクタ端は前記プラズマ処理チャンバの構成要素に接続され、前記可撓導体は、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、可撓コネクタと、
前記可撓コネクタを通る電流フローを検出するための手段であって、検出回路に取り付けられた少なくとも1つのコイルを含む手段と、
を備える、検出回路装置。
[適用例9]
適用例8の検出回路装置であって、前記電流フローを検出するための手段は、前記下側電極が上下動される時の前記可撓コネクタの条件を前記電流フローを検出するための手段が模倣することを可能にするために予伸長される、検出回路装置。
[適用例10]
適用例8に記載の検出回路装置であって、前記電流フローを検出するための手段は、枝分かれ構成を有する、検出回路装置。
[適用例11]
適用例10に記載の検出回路装置であって、前記枝分かれ構成は、少なくとも2つの枝を備える、検出回路装置。
[適用例12]
適用例10に記載の検出回路装置であって、前記電流フローを検出するための手段は、1組の受動構成要素を備え、前記1組の受動構成要素は、1組の抵抗器、1組のインダクタ、および、1組のコンデンサの内の1つを備える、検出回路装置。
[適用例13]
適用例8に記載の検出回路装置であって、前記検出回路は、前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記電流フローに関して収集された1組のパラメータを解析するよう構成される、検出回路装置。
[適用例14]
適用例8に記載の検出回路装置であって、交流電流(AC)信号および直流電流(DC)信号の内の少なくとも一方が、前記コイルに誘導される、検出回路装置。
[適用例15]
適用例14に記載の検出回路装置であって、前記AC信号および前記DC信号の内の前記少なくとも一方は、前記可撓コネクタを通る前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、検出回路装置。
[適用例16]
プラズマ処理中に電流路の断絶を特定するための方法であって、
可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバを準備する工程と、
第1の可撓コネクタ端と第2の可撓コネクタ端とを有する可撓コネクタを準備する工程であって、前記可撓コネクタは、検出回路に接続された少なくとも1つのコイルを有し、前記検出回路に接続された前記コイルは、前記可撓コネクタを通る電流フローを少なくとも検出するために構成される、工程と、
前記第1の可撓コネクタ端を前記可動下側電極に取り付け、前記第2の可撓コネクタ端を前記プラズマ処理チャンバの構成要素に取り付ける工程であって、前記可撓導体は、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、工程と、
を備える、方法。
[適用例17]
適用例16に記載の方法であって、前記可撓コネクタは、少なくとも1つのスリットを備え、前記コイルは、少なくとも前記スリットの周りに巻かれ、前記スリットの少なくとも一部は、前記第1の可撓コネクタ端と前記第2の可撓コネクタ端との間に引かれた線と平行な方向に配置される、方法。
[適用例18]
適用例16に記載の方法であって、前記検出回路に接続された前記コイルは、接着剤を用いて前記可撓コネクタに固定され、前記検出回路に接続された前記コイルは、前記下側電極が上下動される時の前記可撓コネクタの条件を前記検出回路に接続された前記コイルが模倣することを可能にするために予伸長される、方法。
[適用例19]
適用例16に記載の方法であって、さらに、前記電流フローに関する1組のパラメータについてのデータを少なくとも収集する工程と、前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記検出回路を用いて前記1組のパラメータを解析する工程と、を備える、方法。
[適用例20]
適用例16に記載の方法であって、前記コイル上に交流電流(AC)信号および直流電流(DC)信号の少なくとも一方を誘導する工程を備え、前記AC信号および前記DC信号の前記少なくとも一方は、前記可撓コネクタを通る前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、方法。
上述の発明の概要は、本明細書に開示された本発明の多くの実施形態の内の1つのみに関するものであり、特許請求の範囲に記載される本発明の範囲を限定する意図はない。添付の図面を参照しつつ行う本発明の詳細な説明において、本発明の上述の特徴およびその他の特徴を詳述する。
Claims (12)
- 可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバで用いる検出回路装置であって、
第1の可撓コネクタ端と、第2の可撓コネクタ端と、少なくとも1つのスリットとを有する可撓コネクタであって、前記スリットの少なくとも一部は、前記第1の可撓コネクタ端および前記第2の可撓コネクタ端の間に引かれた線に平行な方向に配置され、前記第1の可撓コネクタ端は前記可動下側電極に接続され、前記第2の可撓コネクタ端は前記プラズマ処理チャンバの構成要素に接続され、前記可撓コネクタは、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、可撓コネクタと、
前記スリットの片側に配置されたコネクタ材料を通る電流フローを検出するための手段であって、前記スリットの前記片側に配置された前記コネクタ材料の周りに少なくとも巻かれた少なくとも1つのコイルと、前記電流フローを検出するために前記コイルに接続された検出回路とを含む手段と、
を備え、
前記検出回路は、前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記電流フローに関して収集された1組のパラメータを解析するよう構成され、
前記1組のパラメータは、共振周波数およびインピーダンスの少なくとも一方を含む、検出回路装置。 - 請求項1に記載の検出回路装置であって、前記可撓コネクタは複数のスリットを備え、前記複数のスリットは単一の検出回路に接続される、検出回路装置。
- 請求項1に記載の検出回路装置であって、前記可撓コネクタは複数のスリットを備え、前記複数のスリットの各スリットは個別の検出回路に接続される、検出回路装置。
- 請求項1に記載の検出回路装置であって、交流電流(AC)信号が、前記コイルに印加される、検出回路装置。
- 請求項4に記載の検出回路装置であって、前記AC信号は、前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、検出回路装置。
- 可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバで用いる検出回路装置であって、
第1の可撓コネクタ端と第2の可撓コネクタ端と少なくとも1つのスリットとを有する可撓コネクタであって、前記第1の可撓コネクタ端は前記可動下側電極に接続され、前記第2の可撓コネクタ端は前記プラズマ処理チャンバの構成要素に接続され、前記可撓コネクタは、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、可撓コネクタと、
前記可撓コネクタを通る電流フローを検出するための手段であって、前記スリットの片側に配置されたコネクタ材料の周りに少なくとも巻かれた少なくとも1つのコイルを含む手段と、
を備え、
前記検出回路装置は、前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記電流フローに関して収集された1組のパラメータを解析するよう構成され、
前記1組のパラメータは、共振周波数およびインピーダンスの少なくとも一方を含む、検出回路装置。 - 請求項6に記載の検出回路装置であって、交流電流(AC)信号および直流電流(DC)信号の内の少なくとも一方が、前記コイルに誘導される、検出回路装置。
- 請求項7に記載の検出回路装置であって、前記AC信号および前記DC信号の内の前記少なくとも一方は、前記可撓コネクタを通る前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、検出回路装置。
- プラズマ処理中に電流路の断絶を特定するための方法であって、
可動下側電極を有するプラズマ処理チャンバを準備する工程と、
第1の可撓コネクタ端と第2の可撓コネクタ端と少なくとも1つのスリットとを有する可撓コネクタを準備する工程であって、前記可撓コネクタは、前記スリットの片側に配置されたコネクタ材料の周りに少なくとも巻かれた少なくとも1つのコイルであって検出回路に接続されたコイルを有し、前記検出回路に接続された前記コイルは、前記可撓コネクタを通る電流フローを少なくとも検出するために構成される、工程と、
前記第1の可撓コネクタ端を前記可動下側電極に取り付け、前記第2の可撓コネクタ端を前記プラズマ処理チャンバの構成要素に取り付ける工程であって、前記可撓コネクタは、前記可動下側電極と前記プラズマ処理チャンバの前記構成要素との間に低インピーダンス電流路を提供するよう構成される、工程と、
前記電流フローの変化が所定の閾値を超える時を決定するために、前記電流フローに関して収集された1組のパラメータを解析する工程であって、前記1組のパラメータは、共振周波数およびインピーダンスの少なくとも一方を含む、工程と、
を備える、方法。 - 請求項9に記載の方法であって、前記可撓コネクタは、少なくとも1つのスリットを備え、前記コイルは、少なくとも前記スリットの周りに巻かれ、前記スリットの少なくとも一部は、前記第1の可撓コネクタ端と前記第2の可撓コネクタ端との間に引かれた線と平行な方向に配置される、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、前記検出回路に接続された前記コイルは、接着剤を用いて前記可撓コネクタに固定され、前記検出回路に接続された前記コイルは、前記可動下側電極が上下動される時の前記可撓コネクタの条件を前記検出回路に接続された前記コイルが模倣することを可能にするために予伸長される、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、前記コイル上に交流電流(AC)信号および直流電流(DC)信号の少なくとも一方を誘導する工程を備え、前記AC信号および前記DC信号の前記少なくとも一方は、前記可撓コネクタを通る前記電流フローに関連する周波数とは異なる周波数を有する、方法。
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