JP5779290B1 - マスクブランク、位相シフトマスクの製造方法、位相シフトマスク、および半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフト膜、遮光膜およびハードマスク膜を積層した構造を有するマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記ハードマスク膜は、ケイ素およびタンタルから選ばれる少なくとも1以上の元素含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層、中間層および上層の3層を積層した構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も多く、
前記中間層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も少なく、かつインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とするマスクブランク。
前記中間層は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする構成1記載のマスクブランク。
前記上層および前記下層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする構成1または2に記載のマスクブランク。
透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフト膜、遮光膜およびハードマスク膜を積層した構造を有するマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記ハードマスク膜は、ケイ素およびタンタルから選ばれる少なくとも1以上の元素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層および上層の積層構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記下層よりも多く、
前記下層は、前記位相シフト膜側から前記上層側にかけてクロムの含有量が少なくなるように組成傾斜しており、かつ前記上層側にインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とするマスクブランク。
前記下層の上層側は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする構成4記載のマスクブランク。
前記下層の位相シフト膜側および前記上層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする構成4または5に記載のマスクブランク。
前記ハードマスク膜は、ケイ素と酸素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする構成1から6のいずれかに記載のマスクブランク。
前記位相シフト膜は、ケイ素と窒素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする構成1から7のいずれかに記載のマスクブランク。
前記遮光膜は、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする構成1から8のいずれかに記載のマスクブランク。
前記ハードマスク膜および位相シフト膜は、フッ素系ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする構成1から9のいずれかに記載のマスクブランク。
構成1から10のいずれかに記載のマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記ハードマスク膜上に形成された位相シフトパターンを有するレジスト膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記ハードマスク膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成されたハードマスク膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングより、前記遮光膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成された遮光膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記位相シフト膜に位相シフトパターンを形成し、かつ前記ハードマスク膜を除去する工程と、
前記ハードマスク膜を除去した後、前記遮光膜上に形成された遮光パターンを有するレジスト膜をマスクとし、塩素ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングより、前記遮光膜に遮光パターンを形成する工程と
を有することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフトパターンが形成された位相シフト膜、および遮光パターンが形成された遮光膜を積層した構造を有する位相シフトマスクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層、中間層および上層の3層を積層した構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も多く、
前記中間層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も少なく、かつインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とする位相シフトマスク。
前記中間層は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする構成12記載の位相シフトマスク。
前記上層および前記下層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする構成12または13に記載の位相シフトマスク。
透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフトパターンが形成された位相シフト膜、および遮光パターンが形成された遮光膜を積層した構造を有する位相シフトマスクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層および上層の積層構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記下層よりも多く、
前記下層は、前記位相シフト膜側から前記上層側にかけてクロムの含有量が少なくなるように組成傾斜しており、かつ前記上層側にインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とする位相シフトマスク。
前記下層の上層側は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする構成15記載の位相シフトマスク。
前記下層の位相シフト膜側および前記上層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする構成15または16に記載の位相シフトマスク。
前記位相シフト膜は、ケイ素と窒素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする構成12から17のいずれかに記載の位相シフトマスク。
前記遮光膜は、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする構成12から18のいずれかに記載の位相シフトマスク。
前記位相シフト膜は、フッ素系ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする構成12から19のいずれかに記載の位相シフトマスク。
構成11記載の位相シフトマスクの製造方法によって製造された位相シフトマスクを用い、リソグラフィー法により前記位相シフトマスクの転写パターンを基板上のレジスト膜に対してパターン転写する露光工程を有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
構成12から20のいずれかに記載の位相シフトマスクを用い、リソグラフィー法により前記位相シフトマスクの転写パターンを基板上のレジスト膜に対してパターン転写する露光工程を有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
図1は、本発明の第1実施形態のマスクブランク1の要部断面図である。この図に示すように、マスクブランク1は、透光性基板10における一方側の主表面S上に、この透光性基板10側から順に、位相シフト膜11、遮光膜13、およびハードマスク膜15を積層した構造である。このうち、遮光膜13は、位相シフト膜11側から順に、下層13a、中間層13b、および上層13cの3層を積層した構造を有している。また、マスクブランク1は、ハードマスク膜15上に、必要に応じてレジスト膜17を積層させた構成であっても良い。以下、マスクブランク1の主要構成部の詳細を説明する。
透光性基板10は、リソグラフィーにおける露光工程で用いられる露光光に対して透過性が良好な材料からなる。露光光としてArFエキシマレーザ光(波長:約193nm)を用いる場合であれば、これに対して透過性を有する材料で構成されれば良い。このような材料としては、合成石英ガラスが用いられるが、この他にも、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、低熱膨張ガラス(SiO2−TiO2ガラス等)、その他各種のガラス基板を用いることができる。特に、石英基板は、ArFエキシマレーザ光、またはそれよりも短波長の領域で透明性が高いので、本発明のマスクブランクに特に好適に用いることができる。
位相シフト膜11は、露光転写工程で用いられる露光光に対して所定の透過率を有し、かつ位相シフト膜を透過した露光光と、位相シフト膜の厚さと同じ距離だけ大気中を透過した露光光とが、所定の位相差となるような光学特性を有する膜である。
遮光膜13は、露光転写工程で用いられる露光光に対して所定値以上の光学濃度(OD)を有し、露光装置を用いて半導体基板上のレジスト膜に露光転写した際に、当該露光光の漏れ光による影響をレジスト膜が受けないように遮光するための膜である。また遮光膜13は、位相シフト膜11に位相シフトパターンを形成する際に用いられるエッチングガス(フッ素系ガス)に対して十分なエッチング選択性を有する材料を適用する必要がある。尚、遮光膜13の光学濃度(OD)は、位相シフト膜11と遮光膜13とを合わせた光学濃度(OD)が所定値以上であれば良く、例えば光学濃度(OD)が3.0以上あることが好ましく、少なくとも2.8以上であることとする。
ハードマスク膜15は、遮光膜13をエッチングするときに用いられるエッチングガスに対してエッチング耐性を有する材料で形成された膜である。このハードマスク膜15は、遮光膜13にパターンを形成するためのドライエッチングが終わるまでの間、エッチングマスクとして機能することができるだけの膜の厚さがあれば十分であり、基本的に光学特性の制限を受けない。このため、ハードマスク膜15の厚さは遮光膜13の厚さに比べて大幅に薄くすることができる。
本発明のマスクブランク1において、ハードマスク膜15の表面に接して、有機系材料のレジスト膜17が100nm以下の膜厚で形成されていることが好ましい。DRAM hp32nm世代に対応する微細パターンの場合、ハードマスク膜15に形成すべき位相シフトパターンに、線幅が40nmのSRAF(Sub-Resolution Assist Feature)が設けられることがある。しかし、この場合でも前述のようにハードマスク膜15を設けたことによってレジスト膜17の膜厚を抑えることができ、これによってこのレジスト膜17で構成されたレジストパターンの断面アスペクト比を1:2.5と低くすることができる。したがって、レジスト膜17の現像時、リンス時等にレジストパターンが倒壊や脱離することを抑制することができる。なお、レジスト膜17は、膜厚が80nm以下であることがより好ましい。
以上のような構成のマスクブランク1は、次のような手順で製造する。先ず、透光性基板10を用意する。この透光性基板10は、端面及び主表面Sが所定の表面粗さに研磨され、その後、所定の洗浄処理および乾燥処理を施されたものである。
図2は、本発明の第2実施形態のマスクブランク2の要部断面図である。この図に示すマスクブランク2が、第1実施形態のマスクブランクと異なるところは、遮光膜13’の構成にあり、他の構成は第1実施形態と同様である。このため、ここでは遮光膜13’の構成のみを説明し、重複する説明は省略する。
第2実施形態のマスクブランク2における遮光膜13’が、第1実施形態のマスクブランクにおける遮光膜と異なるところは、第1実施形態の遮光膜が3層構造であるのに対して、第2実施形態の遮光膜13’が下層13a’と上層13cとの2層構造であるところにあり、光学濃度(OD)および他の構成は第1実施形態と同様である。このような2層の積層構造を有する遮光膜13’は、第1実施形態の遮光膜と同様に、クロム(Cr)を含有する材料で形成され、さらにインジウム(In)、スズ(Sn)、およびモリブデン(Mo)から選ばれる少なくとも1以上の金属元素(インジウム等金属元素)を含有している。
以上のような構成のマスクブランク2の製造手順は、位相シフト膜11のアニール処理までは、第1実施形態と同様である。次に、位相シフト膜11上に、スパッタ法によって下層13a’を成膜する。このとき、下層13a’の位相シフト膜11側領域のインジウム等金属元素の含有量が、上層13c側領域のインジウム等金属元素の含有量よりも多くなる組成傾斜膜となるように成膜装置を制御する。具体的には、まず、クロムターゲットとインジウム等金属元素を含有するターゲット(インジウム等金属元素のみのターゲットあるいはクロムとインジウム等金属元素の両方を元素からなるターゲット)の2つのターゲットが配置されたスパッタ室内の回転テーブルに、位相シフト膜11が成膜された透光性基板10を設置する。そして、スパッタ室内に、成膜ガスを導入し、さらに2つのターゲットの両方に電圧を印加し、位相シフト膜11上に下層13a’の位相シフト膜11側領域をスパッタ成膜する。
本発明の位相シフトマスクの製造方法は、図1を用いて説明した第1実施形態のマスクブランクを用いた位相シフトマスクの製造方法、または図2を用いて説明した第2実施形態のマスクブランクを用いた位相シフトマスクの製造方法である。以下に、図3および図4に基づき、位相シフトマスクの製造方法を説明する。尚、図3および図4においては、図1を用いて説明した第1実施形態のマスクブランクを図示するが、これらの図3および図4を用いて説明する製造方法は、図2を用いて説明した第2実施形態のマスクブランクを用いた場合にも同様に適用される。
本発明の半導体デバイスの製造方法は、先に説明した位相シフトマスクまたは位相シフトマスクの製造方法によって製造された位相シフトマスクを用い、基板上のレジスト膜に対して位相シフトマスクの転写パターン(位相シフトパターン)を露光転写することを特徴としている。このような半導体デバイスの製造方法は、次のように行う。
[マスクブランクの製造]
図1を用いて説明した第1実施形態のマスクブランク1を以下のように製造した。先ず、主表面の寸法が約152mm×約152mmで、厚さが約6.25mmの合成石英ガラスからなる透光性基板10を準備した。この透光性基板10は、端面及び主表面Sが所定の表面粗さに研磨され、その後、所定の洗浄処理および乾燥処理を施されたものである。
作製したマスクブランク1を用い、以下の手順で位相シフトマスク3を作製した。先ず、図3Aを参照し、レジスト膜17に対して、位相シフト膜に形成すべき位相シフトパターンとアライメントマークパターンを含む第1のパターンを電子線描画し、所定の現像処理および洗浄処理を行い、第1のレジストパターン17aを形成した。第1のレジストパターン17aは、SRAFパターンのパターン寸法に対応する40nm幅のラインアンドスペースの位相シフトパターンの形成を目的とした。
以上のようなパターン形成において、遮光膜パターン13aaを形成し、位相シフト膜11をエッチングする前の段階(図3C参照)において、遮光膜パターン13aaの断面形状を確認した。この結果、図5に示すように、遮光膜パターン13aaの断面形状は、遮光膜パターン13aaの中間層13bでは、パターンの壁面にサイドエッチングによるえぐれが見られるものの、下層13aではサイドエッチングが抑制されており、パターン幅が回復するような形状となっていた。また、ハードマスクパターン15aの寸法に対して、上層13cの寸法の後退は小さかった。
遮光膜パターン13aaをマスクとした位相シフト膜11のエッチングによって形成した位相シフトパターン20aについて、その形状を評価したところ、第1のレジストパターン17aの平面形状に対して乖離の少ないパターン形状が得られていることが確認された。
[マスクブランクの製造]
図2を用いて説明した第2実施形態のマスクブランク2を、実施例1の作製手順と同様にして作製した。ただし、遮光膜13’のスパッタ成膜に関しては、成膜室内にクロム(Cr)ターゲットとインジウム(In)ターゲットの2つのターゲットが設けられ、かつその2つのターゲットに同時に電圧を印加することが可能なDCスパッタリング方式の枚葉式成膜装置を用いた。遮光膜13’の下層13a’は、クロムターゲットにのみ電圧を印加した状態で下層13a’のスパッタ成膜を開始し、徐々にインジウムターゲットに印加する電圧を上げていく方法で行われた。なお、このときのスパッタガスには、アルゴン、ヘリウム、窒素および二酸化炭素の混合ガスが用いられた。これにより、下層13a’は、位相シフト膜11側(組成 Cr:O:C:N=57:19:11:13 原子%比)から上層13c側(組成 Cr:In:O:C:N=45:5:30:9:11 原子%比)にかけて組成傾斜する層構造に成膜された。
作製したマスクブランク2を用い、実施例1と同様の手順で位相シフトマスク3を作製した。
実施例1と同様に遮光膜パターンの断面形状を確認した。この結果、図6に示すように、遮光膜パターン13aa’の断面形状は、下層13a’における上層13c側では、パターンの壁面にサイドエッチングによるえぐれが見られるものの、下層13a’における位相シフト膜11側ではサイドエッチングが抑制されており、パターン幅が回復するような形状となっていた。また、ハードマスクパターン15aの寸法に対して、上層13cの寸法の後退は小さかった。
遮光膜パターン13aa’をマスクとした位相シフト膜11のエッチングによって形成した位相シフトパターン20aについて、その形状を評価したところ、第1のレジストパターン17aの平面形状に対して乖離の少ないパターン形状が得られていることが確認された。
[マスクブランクの製造]
図1を用いて説明した第1実施形態のマスクブランク1に係る別の実施例として、実施例3のマスクブランクを実施例1の作製手順と同様にして作製した。ただし、遮光膜13の中間層13bに関しては、成膜室内にクロム(Cr)とスズ(Sn)の混合ターゲット(Cr:Sn=90:10 原子%比)を設け、アルゴン、ヘリウム、窒素および二酸化炭素の混合ガスをスパッタガスに用いたDCスパッタリング法によって成膜した。この中間層13bの組成は、Cr:Sn:O:C:N=47:6:27:7:13(原子%比)となっていた。
作製した実施例3のマスクブランク1を用い、実施例1と同様の手順で実施例3の位相シフトマスク3を作製した。
実施例1と同様に遮光膜パターンの断面形状を確認した。この結果、図5に示すように、遮光膜パターン13aaの断面形状は、遮光膜パターン13aaの中間層13bでは、パターンの壁面にサイドエッチングによるえぐれが見られるものの、下層13aではサイドエッチングが抑制されており、パターン幅が回復するような形状となっていた。また、ハードマスクパターン15aの寸法に対して、上層13cの寸法の後退は小さかった。
遮光膜パターン13aaをマスクとした位相シフト膜11のエッチングによって形成した位相シフトパターン20aについて、その形状を評価したところ、第1のレジストパターン17aの平面形状に対して乖離の少ないパターン形状が得られていることが確認された。
[マスクブランクの製造]
図2を用いて説明した第2実施形態のマスクブランク2に係る別の実施例として、実施例4のマスクブランクを実施例2の作製手順と同様にして作製した。ただし、遮光膜13’のスパッタ成膜に関しては、成膜室内にクロム(Cr)ターゲットとスズ(Sn)ターゲットの2つのターゲットが設けられ、かつその2つのターゲットに同時に電圧を印加することが可能なDCスパッタリング方式の枚葉式成膜装置を用いた。遮光膜13’の下層13a’は、クロムターゲットにのみ電圧を印加した状態で下層13a’のスパッタ成膜を開始し、徐々にスズターゲットに印加する電圧を上げていく方法で行われた。なお、このときのスパッタガスには、アルゴン、ヘリウム、窒素および二酸化炭素の混合ガスが用いられた。これにより、下層13a’は、位相シフト膜11側(組成 Cr:O:C:N=58:18:10:14 原子%比)から上層13c側(組成 Cr:Sn:O:C:N=44:7:28:9:12 原子%比)にかけて組成傾斜する層構造に成膜された。
作製した実施例4のマスクブランク2を用い、実施例1と同様の手順で位相シフトマスク3を作製した。
実施例2と同様に遮光膜パターンの断面形状を確認した。この結果、図6に示すように、遮光膜パターン13aa’の断面形状は、下層13a’における上層13c側では、パターンの壁面にサイドエッチングによるえぐれが見られるものの、下層13a’における位相シフト膜11側ではサイドエッチングが抑制されており、パターン幅が回復するような形状となっていた。また、ハードマスクパターン15aの寸法に対して、上層13cの寸法の後退は小さかった。
遮光膜パターン13aa’をマスクとした位相シフト膜11のエッチングによって形成した位相シフトパターン20aについて、その形状を評価したところ、第1のレジストパターン17aの平面形状に対して乖離の少ないパターン形状が得られていることが確認された。
[マスクブランクの製造]
実施例1の作製手順において、遮光膜の成膜条件のみを変更してマスクブランクを作製した。遮光膜は、(CrOCN膜 組成 Cr:O:C:N=55:22:12:11 原子%比)、膜厚46nmの単層構造として形成した。
作製したマスクブランクを用い、実施例1と同様の手順で位相シフトマスクを作製した。
実施例1と同様に遮光膜パターンの断面形状を確認した。この結果、図7に示すように、遮光膜パターン50aaの断面形状は、位相シフト膜11側に向かってパターンの壁面のえぐれが深い形状となっていた。また、ハードマスクパターン15aの寸法に対して、遮光膜パターン50aaにおける上層部分の後退量dが大きく、ハードマスクパターン15aのパターンよりもラインが細くなっていた。
Claims (22)
- 透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフト膜、遮光膜およびハードマスク膜を積層した構造を有するマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記ハードマスク膜は、ケイ素およびタンタルから選ばれる少なくとも1以上の元素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層、中間層および上層の3層を積層した構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も多く、
前記中間層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も少なく、かつインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とするマスクブランク。 - 前記中間層は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする請求項1記載のマスクブランク。 - 前記上層および前記下層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする請求項1または2に記載のマスクブランク。 - 透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフト膜、遮光膜およびハードマスク膜を積層した構造を有するマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記ハードマスク膜は、ケイ素およびタンタルから選ばれる少なくとも1以上の元素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層および上層の積層構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記下層よりも多く、
前記下層は、前記位相シフト膜側から前記上層側にかけてクロムの含有量が少なくなるように組成傾斜しており、かつ前記上層側にインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とするマスクブランク。 - 前記下層の上層側は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする請求項4記載のマスクブランク。 - 前記下層の位相シフト膜側および前記上層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする請求項4または5に記載のマスクブランク。 - 前記ハードマスク膜は、ケイ素と酸素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のマスクブランク。 - 前記位相シフト膜は、ケイ素と窒素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のマスクブランク。 - 前記遮光膜は、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のマスクブランク。 - 前記ハードマスク膜および位相シフト膜は、フッ素系ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のマスクブランク。 - 請求項1から10のいずれかに記載のマスクブランクを用いる位相シフトマスクの製造方法であって、
前記ハードマスク膜上に形成された位相シフトパターンを有するレジスト膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記ハードマスク膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成されたハードマスク膜をマスクとし、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングより、前記遮光膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンが形成された遮光膜をマスクとし、フッ素系ガスを用いたドライエッチングにより、前記位相シフト膜に位相シフトパターンを形成し、かつ前記ハードマスク膜を除去する工程と、
前記ハードマスク膜を除去した後、前記遮光膜上に形成された遮光パターンを有するレジスト膜をマスクとし、塩素ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングより、前記遮光膜に遮光パターンを形成する工程と
を有することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。 - 透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフトパターンが形成された位相シフト膜、および遮光パターンが形成された遮光膜を積層した構造を有する位相シフトマスクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層、中間層および上層の3層を積層した構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も多く、
前記中間層は、クロムの含有量が前記遮光膜の中で最も少なく、かつインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とする位相シフトマスク。 - 前記中間層は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする請求項12記載の位相シフトマスク。 - 前記上層および前記下層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする請求項12または13に記載の位相シフトマスク。 - 透光性基板上に、当該透光性基板側から順に位相シフトパターンが形成された位相シフト膜、および遮光パターンが形成された遮光膜を積層した構造を有する位相シフトマスクであって、
前記位相シフト膜は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記遮光膜は、クロムを含有する材料で形成され、下層および上層の積層構造を有し、
前記上層は、クロムの含有量が前記下層よりも多く、
前記下層は、前記位相シフト膜側から前記上層側にかけてクロムの含有量が少なくなるように組成傾斜しており、かつ前記上層側にインジウム、スズおよびモリブデンから選ばれる少なくとも1以上の金属元素を含有している
ことを特徴とする位相シフトマスク。 - 前記下層の上層側は、前記金属元素の合計含有量が前記遮光膜の中で最も多い
ことを特徴とする請求項15記載の位相シフトマスク。 - 前記下層の位相シフト膜側および前記上層は、ともに前記金属元素を含有していない
ことを特徴とする請求項15または16に記載の位相シフトマスク。 - 前記位相シフト膜は、ケイ素と窒素を含有する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項12から17のいずれかに記載の位相シフトマスク。 - 前記遮光膜は、塩素系ガスと酸素ガスの混合ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする請求項12から18のいずれかに記載の位相シフトマスク。 - 前記位相シフト膜は、フッ素系ガスを用いたドライエッチングによってパターニングが可能である
ことを特徴とする請求項12から19のいずれかに記載の位相シフトマスク。 - 請求項11記載の位相シフトマスクの製造方法によって製造された位相シフトマスクを用い、リソグラフィー法により前記位相シフトマスクの転写パターンを基板上のレジスト膜に対してパターン転写する露光工程を有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 請求項12から20のいずれかに記載の位相シフトマスクを用い、リソグラフィー法により前記位相シフトマスクの転写パターンを基板上のレジスト膜に対してパターン転写する露光工程を有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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