JP5776090B2 - 成膜プロセス - Google Patents
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Description
例えばCVD法は、所定温度に保持した基板上に化学反応生成物を堆積して薄膜を形成する。基板は載置トレイに載せられてCVD装置に搬送され、載置トレイを介して所定温度に加熱され、保持される。
ところが、基板をトレイに載置し、成膜処理時に急激な温度変化が生じると、基板には反りが生じてしまう。特に、近時は、基板の厚さは薄くなっており、例えば太陽電池用基板は、200μm以下、さらには150μm以下の厚さとなっており、かかる基板においては特に反りの発生は顕著に生じるこ。
請求項2に係る発明は、前記基板の厚さは200μm以下である請求項1記載の成膜プロセスである。
請求項3に係る発明は、前記温度の変化が400℃から450℃への変化であり、その際の基板の反り量は、細孔が形成されていない場合の十分の一以下である請求項1又は2記載の成膜プロセスである。
気体を理想気体とする
V0=πd2/4
V0:細孔の体積
d:細孔の直径
P1V0=n1RT1
∴ n1=P1V0/RT1
温度T2における気体のモル数n2
P2V0=n2RT2
∴ n2=P2V0/RT2
但しT1>T2
∴n2>n1
Δn=n2−n1=n1(T1/T2−1)
Δn=(P1・V0/R)・[(T1−T2)/T1・T2]
ここで,圧力P1を[atm]、容積の最小単位VOを[L]
R =
0.082057 [L atm/K mol]とする。
ΔN=Ψ・Δn=(Ψ・V0[L]) [mol]
Ψ:細孔の個数
V0=(πd2・h)/4
ΔN=Ψ・Δn=1.25174×10−3[Ψ・(πd2・h)/4] [mol]
これを温度400℃に変換すると,
移動する気体の体積Vは
V[L]=ΔN×22.414[L]×[(273.15+400)/273.15)
上記式Vによって移動する気体の体積が求められる。
一個あたりの細孔の体積が0.6mLである細孔を20000個トレイの基板載置側の面に形成した。細孔は有底の細孔とした。
200μm厚、径200mmの太陽電池用のシリコンウエハを上記トレイに載置し、温度を400℃から450℃に変化させ反りの発生を観察した。反りは、平面からの最大の変位の量として観察した。
その結果、細孔が形成されていない場合に比べて、反りの量は十分の一以下に低減した。
Claims (3)
- 基板載置トレイの上に基板を載置した状態で基板を搬送する成膜プロセスであって、当該基板載置トレイの基板を載置する側の面に、1個あたりの体積が0.6mL以上である複数の細孔を形成し、当該細孔内の温度が変化したときに細孔から移動する気体流により当該基板と当該基板載置トレイとの間に負圧が発生するようにしたことを特徴とする成膜プロセス。
- 前記基板の厚さは200μm以下である請求項1記載の成膜プロセス。
- 前記温度の変化が400℃から450℃への変化であり、その際の基板の反り量は、細孔が形成されていない場合の十分の一以下である請求項1又は2記載の成膜プロセス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010164080A JP5776090B2 (ja) | 2010-07-21 | 2010-07-21 | 成膜プロセス |
Applications Claiming Priority (1)
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JP5776090B2 true JP5776090B2 (ja) | 2015-09-09 |
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ID=45781062
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---|---|
JP (1) | JP5776090B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108235787B (zh) * | 2015-10-20 | 2022-05-13 | 三菱电机株式会社 | 太阳能电池的制造方法以及太阳能电池制造装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3453834B2 (ja) * | 1994-02-25 | 2003-10-06 | 三菱電機株式会社 | ウエハチャック装置および半導体製造装置 |
US7055229B2 (en) * | 2003-12-31 | 2006-06-06 | Intel Corporation | Support system for semiconductor wafers and methods thereof |
JP2007158074A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置 |
JP5003102B2 (ja) * | 2006-10-27 | 2012-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電チャックの診断方法、真空処理装置及び記憶媒体 |
JP2009038294A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 出力調整方法、シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法、及びサセプタ |
JP2009283904A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-12-03 | Nuflare Technology Inc | 成膜装置および成膜方法 |
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JP2012028455A (ja) | 2012-02-09 |
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