JP5772255B2 - 積層電子部品 - Google Patents
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Description
誘電体層と、Niが主成分である電極層と、が交互に積層された素子本体を有する積層電子部品であって、
前記素子本体は、Niの酸化物を主成分とする第1相と、Ni以外の金属の酸化物を主成分とする第2相と、を有し、
前記素子本体を前記誘電体層および前記電極層に対して垂直に切断した切断面において、積層方向と垂直な方向では、前記第1相は前記電極層と接し、前記第2相は、前記電極層および/または前記第1相と接し、前記第1相の少なくとも一部は、前記電極層と前記第2相とに挟まれており、
前記第1相が、積層方向と垂直な方向において、前記電極層と接しかつ前記第2相と接している長さをLnioとし、積層方向と垂直な方向における前記電極層の長さをLniとすると、
前記LnioおよびLniは、0.05%≦(ΣLnio)/2Lni≦12%である関係を満足することを特徴とする。
積層電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1は、図1に示すように、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。
誘電体層2の材質は特に限定されず、積層セラミックコンデンサの場合、該コンデンサで一般的に用いられる誘電体材料であればよい。本実施形態では、たとえばチタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウムまたはこれらの混合物を主成分として含んでもよい。これらの成分以外に、希土類元素酸化物などを副成分として含んでもよい。また、誘電体層2の厚みは、特に限定されず、用途等に応じて決定すればよい。
本実施形態では、内部電極層3に含有される導電材はNiを主成分としており、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Cu、Cr、Alから選ばれる1つ以上の元素とNiとの合金が好ましく、Ni−Cu合金が好ましい。合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。
外部電極4に含有される導電材は特に限定されず、たとえばNi,Cuや、これらの合金など公知の導電材を用いればよい。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。
本実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、公知の方法により製造すればよい。本実施形態では、ペーストを用いてグリーンチップを作製し、これを焼成することで、積層セラミックコンデンサを製造する。以下、製造方法について具体的に説明する。
BaTiO3 系粉末と、公知のバインダ、可塑剤および溶剤とをボールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペーストを得た。
得られたコンデンサ試料を誘電体層および内部電極層に対して垂直な面で切断した断面に対して鏡面研磨を行った後に、Arイオンミリングを行った。処理後の断面に対してSEMにより中央部付近のSEM像を5000倍の倍率にて5枚取得し、内部電極層、第1相および第2相の長さを計測し、Lnio、Lm、Lniを求めた。求めたLnio、Lm、Lniから、(ΣLnio)/2Lniを算出した。結果を表1に示す。
静電容量C(単位はμF)は、コンデンサ試料に対し、基準温度25℃でデジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)0.5Vrmsの条件下で測定した。
得られた100個のコンデンサ試料に対して、120Vの電圧印可試験を行い、外観検査と断面観察によりワレ、クラック(内部の層間剥離)、構造破壊の有無を調べ、クラックの有無を評価した。クラックが発生しなければ良好と判断した。結果を表1に示す。
コンデンサ試料に対し、180℃にて、10V/μmの電界下で直流電圧の印加状態に保持し、寿命時間を測定することにより、高温加速寿命を評価した。本実施例においては、印加開始から絶縁抵抗が一桁落ちるまでの時間を破壊時間とし、これをワイブル解析することにより算出した平均故障時間(MTTF)を寿命と定義した。また、本実施例では、上記の評価を20個のコンデンサ試料について行い、その平均値を高温加速寿命とした。本実施例では2.0時間以上を良好と判断した。結果を表1に示す。
内部電極層用ペースト中のMg−Cr−O粉末の含有量、焼成温度およびアニール条件を表2に示す条件とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製した。作製したコンデンサ試料に対して、Lnio、Lm、Lniを測定し、(ΣLm)/2Lniを算出した以外は、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表2に示す。なお、実施例2では、試料の(ΣLnio)/2Lniは2.1〜2.4の範囲内であった。
内部電極層用ペースト中のMg−Cr−O粉末の含有量、焼成温度およびアニール条件を表3に示す条件とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製した。作製したコンデンサ試料に対して、内部電極層の厚みおよび第1相の厚みを以下のようにして測定し、Tnioを算出した以外は、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表3に示す。
内部電極層用ペースト中の金属酸化物の種類を表4に示す酸化物とし、その含有量、焼成温度およびアニール条件を表4に示す条件とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製した。作製したコンデンサ試料に対して、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表4に示す。なお、実施例4では、試料の(ΣLnio)/2Lniは2.1〜2.4の範囲内であり、(ΣLm)/2Lniは1.0〜5.0の範囲内であった。
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
10… コンデンサ素子本体
21… 第1相
22… 第2相
Claims (3)
- 誘電体層と、Niが主成分である電極層と、が交互に積層された素子本体を有する積層電子部品であって、
前記素子本体は、Niの酸化物を主成分とする第1相と、Ni以外の金属の酸化物を主成分とする第2相と、を有し、
前記素子本体を前記誘電体層および前記電極層に対して垂直に切断した切断面において、積層方向と垂直な方向では、前記第1相は前記電極層と接し、前記第2相は前記電極層および/または前記第1相と接し、前記第1相の少なくとも一部は、前記電極層と前記第2相とに挟まれており、
前記第1相が、積層方向と垂直な方向において、前記電極層と接しかつ前記第2相と接している長さをLnioとし、積層方向と垂直な方向における前記電極層の長さをLniとすると、
前記LnioおよびLniは、0.05%≦(ΣLnio)/2Lni≦12%である関係を満足し、
前記第2相が、MgとCrとの複合酸化物を主成分とすることを特徴とする積層電子部品。 - 積層方向に垂直な方向において、前記第1相と前記第2相とが接しておらず、かつ前記第1相または前記第2相と前記電極層とが接している長さをLmとすると、(ΣLm)/2Lni≦10%である関係を満足する請求項1に記載の積層電子部品。
- 前記第1相は前記電極層に含まれるNiが酸化されて形成されており、積層方向において、前記電極層の厚みに対する前記第1相の形成長さの割合をTnio[%]とすると、3.0%≦Tnio≦45%である関係を満足する請求項1または2に記載の積層電子部品。
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