JP5768213B2 - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for printing a paste on a substrate through a mask.

従来、基板の電極に半田等のペーストを印刷する装置としてスクリーン印刷機が知られている。このスクリーン印刷機は、スクリーン印刷用のマスクと、マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板と接触したマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えている。このようなスクリーン印刷機が備えるマスクは、開口部を有する金属板部と、金属板部の周囲に設けられた樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部とから成っており、シート状部の外周部は矩形のマスク枠の下面に接着剤によって固定されている。マスクは、マスク枠が基板保持部の上方に設けられた一対のレール状の部材から成るマスクホルダに載せられて所定に位置に位置決めされる。   Conventionally, a screen printer is known as an apparatus for printing a paste such as solder on an electrode of a substrate. The screen printing machine slides on a mask for screen printing, a substrate holding unit that holds the substrate below the mask, and a mask that is in contact with the substrate held by the substrate holding unit, and is supplied onto the mask. And a squeegee for transferring the paste to the substrate. A mask provided in such a screen printing machine includes a metal plate portion having an opening and a sheet-like portion made of resin (for example, polyester) provided around the metal plate portion, and an outer periphery of the sheet-like portion. The part is fixed to the lower surface of the rectangular mask frame with an adhesive. The mask is placed at a predetermined position by placing the mask frame on a mask holder made of a pair of rail-like members provided above the substrate holding portion.

このようにスクリーン印刷機では、基板と接触したマスク上をスキージが摺動するが、このスキージの摺動時に基板とマスクとの間の位置ずれ(すなわち基板の電極とマスクの開口部との間の位置ずれ)を起きるのを防止する目的等から、マスクを基板保持部の側方に設けられた吸着手段によって吸着することによって、基板とマスクとを相互に固定するようにしたものが知られている(例えば、特許文献1)。   As described above, in the screen printing machine, the squeegee slides on the mask in contact with the substrate. When the squeegee slides, the positional displacement between the substrate and the mask (that is, between the substrate electrode and the mask opening). In order to prevent the occurrence of misalignment), the substrate and the mask are fixed to each other by adsorbing the mask by the adsorbing means provided on the side of the substrate holding portion. (For example, Patent Document 1).

特開平5−92544号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-92544

しかしながら、吸着手段によってマスクを吸着して基板とマスクとを相互に固定するようにした上記従来のスクリーン印刷機において、マスクのシート状部をマスク枠に接着する接着剤の一部がマスクの下面側に回り込んで接着剤の層(接着剤層)を形成している場合には、この接着剤層の厚さの分だけマスクがマスクホルダから浮き上がった状態となり、マスクの製造過程における品質のばらつき等により、接着剤層の厚さが比較的大きくなっている場合には、吸着手段によってマスクを吸着しようとしてもうまく吸着することができず、基板とマスクとの間の相互固定状態が不十分となって印刷状態が不良となってしまうケースがあるという問題点があった。   However, in the above conventional screen printing machine in which the mask and the mask are fixed to each other by adsorbing the mask by the adsorbing means, a part of the adhesive for adhering the sheet-like portion of the mask to the mask frame is the lower surface of the mask When the adhesive layer (adhesive layer) is formed around the side, the mask is lifted from the mask holder by the thickness of the adhesive layer. When the thickness of the adhesive layer is relatively large due to variations or the like, even if an attempt is made to suck the mask by the suction means, it cannot be sucked well, and the mutual fixing state between the substrate and the mask is not good. There is a problem in that there are cases where the printing state becomes insufficient and the printing state becomes poor.

そこで本発明は、基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of sufficiently securing a mutual fixing state between a substrate and a mask and preventing a printing state from becoming defective.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、スクリーン印刷用のマスクと、マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるマスク引き寄せ手段と、前記吸着部を上昇させる距離データを記憶する記憶部と、マスク引き寄せ手段により基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備え、前記吸着部を、前記記憶部が記憶する距離データに基づいて上昇させ、基板よりも上方の位置で前記吸着部により前記マスクを吸引するThe screen printer according to claim 1 raises a mask for screen printing, a substrate holding unit that holds the substrate below the mask, and a suction unit that can be moved up and down, and the suction unit at a position above the substrate. After attracting the mask, the attracting unit is lowered to draw the mask downward and contact the substrate, the storage unit storing the distance data for raising the attracting unit , and the mask attracting unit to contact the substrate A squeegee that slides on the mask and transfers the paste supplied on the mask to the substrate, and raises the suction unit based on distance data stored in the storage unit. The mask is sucked by the suction portion at the position .

請求項2に記載のスクリーン印刷方法は、スクリーン印刷用のマスクの下方で基板を保持する工程と、昇降自在な吸着部を記憶部が記憶する距離データに基づいて上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させる工程と、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給したペーストを基板に転写させる工程とを含む。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a screen printing method comprising: a step of holding a substrate below a screen printing mask; and a lift unit that can be moved up and down is raised based on distance data stored in the storage unit . After the mask is sucked by the suction part at the position, the suction part is lowered to draw the mask downward and contact the substrate, and the squeegee is slid on the mask in contact with the substrate and supplied onto the mask. Transferring the paste to the substrate.

本発明では、昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるようになっており、マスクをマスク枠に接着する接着剤がマスク枠の下面に回り込んで形成された接着剤層の厚さがマスクの製造過程における品質のばらつき等により比較的大きくなっている場合であってもマスクを確実に吸着してマスクを基板側に引き寄せることができるので、基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができる。   In the present invention, the suction part that can be raised and lowered is raised, the mask is sucked by the suction part at a position above the substrate, and then the suction part is lowered to draw the mask downward and contact the substrate. And the thickness of the adhesive layer formed by the adhesive that bonds the mask to the mask frame wraps around the lower surface of the mask frame is relatively large due to quality variations in the mask manufacturing process, etc. In addition, since the mask can be surely adsorbed and the mask can be drawn toward the substrate side, it is possible to sufficiently secure the mutual fixing state between the substrate and the mask and to prevent the printing state from becoming defective.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図The perspective view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図The side view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの(a)平面図(b)一部断面図The mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of the present invention is provided, and (a) top view (b) partial sectional view of the mask held by the mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the execution procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the execution procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the execution procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the execution procedure of the screen printing work by the screen printer in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、基板2上に設けられた多数の電極3のそれぞれに半田等のペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台11、基台11の上方に設けられた一対のマスクホルダ12、マスクホルダ12によって水平姿勢に保持されたスクリーン印刷用のマスク13、基台11上に設けられた基板保持ユニット移動機構14、マスク13の下方において、基板保持ユニット移動機構14によって移動される基板保持ユニット15、基板保持ユニット15に設けられたマスク引き寄せ部16、マスク13の上方に設けられたスキージヘッド17、基板保持ユニット15とマスク13の間の領域に設けられたカメラユニット18、ディスプレイ装置19及びこれら各部の作動制御を行う制御装置20を備えている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2, the screen printing machine 1 executes a screen printing operation in which a paste Pt such as solder is screen printed on each of a large number of electrodes 3 provided on a substrate 2. A pair of mask holders 12 provided above the base 11, a screen printing mask 13 held in a horizontal posture by the mask holder 12, a substrate holding unit moving mechanism 14 provided on the base 11, and a mask 13 Below, the substrate holding unit 15 moved by the substrate holding unit moving mechanism 14, the mask drawing portion 16 provided in the substrate holding unit 15, the squeegee head 17 provided above the mask 13, the substrate holding unit 15 and the mask 13 Between the camera unit 18 and the display device 19 provided in the area between the And a control unit 20 for performing.

図1及び図3(a)において、マスクホルダ12は基台11の上方を水平かつ平行に延びて設けられた一対のレール状の部材から成り、マスク13は、基板2上の各電極3に対応した多数の開口部13hを有した矩形薄板の金属板から成る金属板部13aと、金属板部13aの四辺を支持するとともに金属板部13aの外方に広がって延びた樹脂(例えばポリエステル)製のシート状部13bから成る。シート状部13bの外周(四辺)は平面視において矩形状のマスク枠13Wによって支持されており、マスク枠13Wの四辺のうち対向する二辺がマスクホルダ12によって支持されている。ここで、図3(a)の矢視V−Vから見た一部断面図である図3(b)に示すように、マスク13のシート状部13bはマスク枠13Wの下面に接着剤BDによって接着されている。   1 and 3A, the mask holder 12 is composed of a pair of rail-like members provided extending horizontally and parallel above the base 11, and the mask 13 is attached to each electrode 3 on the substrate 2. A metal plate portion 13a made of a rectangular thin metal plate having a number of corresponding openings 13h, and a resin (for example, polyester) that supports the four sides of the metal plate portion 13a and extends outward from the metal plate portion 13a. It consists of a sheet-like portion 13b. The outer periphery (four sides) of the sheet-like portion 13b is supported by a rectangular mask frame 13W in plan view, and two opposite sides of the four sides of the mask frame 13W are supported by the mask holder 12. Here, as shown in FIG. 3B, which is a partial cross-sectional view taken along the line VV in FIG. 3A, the sheet-like portion 13 b of the mask 13 is attached to the lower surface of the mask frame 13 </ b> W with an adhesive BD. Is glued by.

図1において、基板2上の一の対角位置には2つの基板側マーク2mが設けられており、マスク13の金属板部13aにはこれら2つの基板側マーク2mに対応して2つのマスク側マーク13mが設けられている(図3(a)も参照)。2つの基板側マーク2mと2つのマスク側マーク13mを上下に一致させた状態でマスク13に基板2を接触させると、基板2の電極3とマスク13の開口部13hとが合致した状態となる。   In FIG. 1, two substrate-side marks 2 m are provided at one diagonal position on the substrate 2, and two masks corresponding to these two substrate-side marks 2 m are provided on the metal plate portion 13 a of the mask 13. A side mark 13m is provided (see also FIG. 3A). When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 with the two substrate-side marks 2m and the two mask-side marks 13m aligned vertically, the electrode 3 of the substrate 2 and the opening 13h of the mask 13 are aligned. .

基板保持ユニット移動機構14はXYZロボットから成り、基板保持ユニット15は、図1及び図2に示すように、基板保持ユニット移動機構14によって水平面内(XY面内)の方向への移動(回転も含む)及び上下方向(Z軸方向)の移動がなされるユニットベース21、ユニットベース21に取り付けられて水平面内の一の方向(X軸方向)に基板2を搬送する一対のコンベア22、ユニットベース21に設けられた下受け部昇降シリンダ23、下受け部昇降シリンダ23によって昇降される下受け部24及び基板2の搬送方向(X軸方向)と直交する水平面内方向(Y軸方向)に開閉自在に設けられた一対のクランプ部材25から成る。   The substrate holding unit moving mechanism 14 is composed of an XYZ robot, and the substrate holding unit 15 is moved (rotated in the horizontal plane (XY plane)) by the substrate holding unit moving mechanism 14 as shown in FIGS. Unit base 21 that is moved in the vertical direction (Z-axis direction), a pair of conveyors 22 that are attached to the unit base 21 and transport the substrate 2 in one direction (X-axis direction) in the horizontal plane, and the unit base Opening / closing in a horizontal plane direction (Y-axis direction) perpendicular to the conveyance direction (X-axis direction) of the substrate 2 and the lower receiving part 24 raised and lowered by the lower-receiving part lifting cylinder 23 and the substrate 2 It consists of a pair of clamp members 25 provided freely.

一対のコンベア22は水平面内の一の方向(X軸方向)への基板2の搬送と所定の作業位置(図1に示す位置)への位置決めを行う。下受け部24は下受け部昇降シリンダ23によって昇降されて作業位置に位置決めされた基板2の両端がコンベア22から上方に離間するように基板2を下方から持ち上げ支持し、一対のクランプ部材25は下受け部24により持ち上げ支持された基板2の両側部をY軸方向から挟んで(クランプして)保持する。   The pair of conveyors 22 carries the substrate 2 in one direction (X-axis direction) in the horizontal plane and positions it at a predetermined work position (position shown in FIG. 1). The lower receiving portion 24 is supported by lifting the substrate 2 from below so that both ends of the substrate 2 positioned at the work position by being moved up and down by the lower receiving portion raising / lowering cylinder 23 are separated from the conveyor 22 upward. Both sides of the substrate 2 lifted and supported by the lower receiving portion 24 are sandwiched (clamped) from the Y-axis direction and held.

図1及び図2において、マスク引き寄せ部16はクランプ部材25のY軸方向外方に設けられた2つ吸着パッド昇降シリンダ31と、各吸着パッド昇降シリンダ31によって昇降される2つの吸着部としての吸着パッド32から成る。各吸着パッド32内には吸着パッド32の上面に開口した真空管路32aが設けられており、この真空管路32aはこの真空管路内に真空圧を供給する吸着機構32Mに繋がっている。このため、吸着パッド32の上面にマスク13(金属板部13a)が接触した状態で吸着機構32Mから真空管路内に真空圧が供給されると、吸着パッド32にマスクが吸着される。   In FIG. 1 and FIG. 2, the mask pulling portion 16 includes two suction pad lifting cylinders 31 provided on the outer side in the Y-axis direction of the clamp member 25, and two suction portions lifted and lowered by each suction pad lifting cylinder 31. It consists of a suction pad 32. Each suction pad 32 is provided with a vacuum pipe 32a opened on the upper surface of the suction pad 32, and this vacuum pipe 32a is connected to a suction mechanism 32M for supplying a vacuum pressure into the vacuum pipe. For this reason, when a vacuum pressure is supplied from the suction mechanism 32M into the vacuum line with the mask 13 (metal plate portion 13a) in contact with the upper surface of the suction pad 32, the mask is sucked to the suction pad 32.

このマスク引き寄せ部16は、基板2がマスク13の下方に位置した状態において、2つの吸着パッド昇降シリンダ31によって2つの吸着パッド32を上昇させ、基板2を保持した一対のクランプ部材25よりも上方の位置で吸着パッド32によってマスク13を吸着した後、吸着パッド32を下降させることで、マスク13を下方に引き寄せてマスク13を基板2に接触させる。   The mask drawing portion 16 is located above the pair of clamp members 25 that hold the substrate 2 by raising the two suction pads 32 by the two suction pad lifting cylinders 31 in a state where the substrate 2 is positioned below the mask 13. After the mask 13 is sucked by the suction pad 32 at the position, the suction pad 32 is lowered to draw the mask 13 downward and bring the mask 13 into contact with the substrate 2.

図1及び図2において、スキージヘッド17はプレート状の移動ベース41、移動ベース41に取り付けられた2つのスキージ昇降シリンダ42及び2つのスキージ昇降シリンダ42の作動によって移動ベース41の下方を上下移動する2つのスキージユニット43を備えて成る。スキージヘッド17(移動ベース41)は図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構44によってマスク13に対して水平方向(Y軸方向)に往復移動される。   1 and 2, the squeegee head 17 moves up and down below the moving base 41 by operating the plate-shaped moving base 41, the two squeegee lifting cylinders 42 attached to the moving base 41, and the two squeegee lifting cylinders 42. Two squeegee units 43 are provided. The squeegee head 17 (moving base 41) is reciprocated in the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the mask 13 by a squeegee head moving mechanism 44 including an actuator (not shown).

図1及び図2において、各スキージユニット43はスキージ昇降シリンダ42のピストンロッド42aに取り付けられてX軸方向に延びるスキージホルダ43aとスキージホルダ43aに取り付けられた薄板部材から成るスキージ43bから成る。各スキージユニット43はスキージ昇降シリンダ42のピストンロッド42aが下方への突没動作によって移動ベース41の下方を昇降するが、マスク13と移動ベース41の上下方向の相対位置は変化しないので、各スキージユニット43を移動ベース41に対して下降させることで、スキージ43bをマスク13に上方から当接させることができる。   1 and 2, each squeegee unit 43 includes a squeegee holder 43a attached to the piston rod 42a of the squeegee lifting cylinder 42 and extending in the X-axis direction, and a squeegee 43b made of a thin plate member attached to the squeegee holder 43a. In each squeegee unit 43, the piston rod 42a of the squeegee elevating cylinder 42 moves up and down below the moving base 41 by a downward projecting operation, but the vertical position of the mask 13 and the moving base 41 does not change. By lowering the unit 43 relative to the moving base 41, the squeegee 43b can be brought into contact with the mask 13 from above.

スクリーン印刷機1の操作を行うオペレータ(図示せず)は通常、2つのスキージ43bが対向する方向(Y軸方向)の一方側に位置しており、以下の説明では、オペレータが位置する側をスクリーン印刷機1の前方、その反対側をスクリーン印刷機1の後方とする。   An operator (not shown) who operates the screen printing machine 1 is usually located on one side of the two squeegees 43b facing each other (Y-axis direction). The front side of the screen printer 1 and the opposite side are the rear side of the screen printer 1.

図1及び図2において、カメラユニット18は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ18aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ18bを備えて成る。カメラユニット18は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラ移動機構18M(図2)によって基板保持ユニット15とマスク13との間の領域を水平面内方向に移動される。   1 and 2, the camera unit 18 includes a lower imaging camera 18a whose imaging field is directed downward and an upper imaging camera 18b whose imaging field is directed upward. The camera unit 18 is moved in the horizontal plane in a region between the substrate holding unit 15 and the mask 13 by a camera moving mechanism 18M (FIG. 2) including an actuator (not shown).

基板保持ユニット15のコンベア22による基板2の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板2に対する下受け部24による下受け動作及び一対のクランプ部材25によるクランプ動作は、制御装置20が前述の下受け部昇降シリンダ23を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構15M(図2)の作動制御を行うことによってなされ、基板2を保持した基板保持ユニット15の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置20が前述の基板保持ユニット移動機構14の作動制御を行うことによってなされる。   The substrate holding unit 15 conveys the substrate 2 by the conveyor 22 and positions the substrate 2 at the working position, the receiving operation by the lower receiving portion 24 for the substrate 2 located at the working position, and the clamping operation by the pair of clamping members 25 are performed by the control device 20. Is performed by controlling the operation of the substrate holding mechanism 15M (FIG. 2) including the actuator including the above-described under-lifting cylinder 23, and moving the substrate holding unit 15 holding the substrate 2 in the horizontal plane direction and in the vertical direction. The operation is performed when the control device 20 controls the operation of the substrate holding unit moving mechanism 14 described above.

マスク引き寄せ部16の2つの吸着パッド32の昇降動作は、2つの吸着パッド昇降シリンダ31の同期作動によって同時に昇降され、2つの吸着パッド32によるマスク13の吸着動作は、制御装置20が前述の吸着機構32Mの作動制御を行うことによってなされる。   The lifting / lowering operation of the two suction pads 32 of the mask pulling unit 16 is simultaneously lifted / lowered by the synchronous operation of the two suction pad lifting / lowering cylinders 31, and the controller 20 performs the suction operation of the mask 13 by the two suction pads 32. This is done by controlling the operation of the mechanism 32M.

スキージヘッド17(移動ベース41)のY軸方向への往復移動動作は制御装置20が前述のスキージヘッド移動機構44の作動制御を行うことによってなされ、各スキージユニット43の(したがってスキージ43bの)移動ベース41に対する昇降動作は、制御装置20が2つのスキージ昇降シリンダ42の作動制御を行うことによってなされる。   The reciprocating movement of the squeegee head 17 (moving base 41) in the Y-axis direction is performed when the control device 20 controls the operation of the squeegee head moving mechanism 44 described above, and each squeegee unit 43 (and hence the squeegee 43b) moves. The raising / lowering operation with respect to the base 41 is performed when the control device 20 controls the operation of the two squeegee raising / lowering cylinders 42.

カメラユニット18の水平面内での移動動作は、制御装置20が前述のカメラ移動機構18Mの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ18aによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ18bによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置20によってなされ、下方撮像カメラ18aの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ18bの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置20に送信されて制御装置20の画像認識部20a(図2)において画像認識処理される。   The movement operation of the camera unit 18 in the horizontal plane is performed by the control device 20 performing operation control of the above-described camera movement mechanism 18M. The control of the imaging operation by the lower imaging camera 18a and the imaging operation by the upper imaging camera 18b are respectively performed by the control device 20, and obtained by the image data obtained by the imaging operation of the lower imaging camera 18a and the imaging operation of the upper imaging camera 18b. The received image data is transmitted to the control device 20 and subjected to image recognition processing in the image recognition unit 20a (FIG. 2) of the control device 20.

次に、図4のフローチャート及び図5〜図8の説明図を加えてスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷作業(スクリーン印刷方法)の実行手順について説明する。スクリーン印刷機1の制御装置20は、スクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板2が送られてきたことを検知したら、基板保持ユニット15のコンベア22を作動させて、スクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図4に示すステップST1)、基板保持機構15Mの作動制御を行って基板2を保持する(図5(a)。図4に示すステップST2)。   Next, the execution procedure of the screen printing operation (screen printing method) by the screen printer 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 4 and the explanatory diagrams of FIGS. When the control device 20 of the screen printing machine 1 detects that the substrate 2 has been sent from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1, the conveyor 22 of the substrate holding unit 15. Is operated to carry the substrate 2 into the screen printer 1 (step ST1 shown in FIG. 4), and the substrate holding mechanism 15M is controlled to hold the substrate 2 (FIG. 5A). Step ST2 shown).

ここで、基板2の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ23で下受け部24を押し上げて基板2をコンベア22から浮いた状態に持ち上げるとともに(図5(a)中に示す矢印A)、一対のクランプ部材25を閉じる方向に駆動して基板2の両端を挟み込む(図5(a)中に示す矢印B)ことによって行う。   Here, specifically, the holding of the substrate 2 is performed by pushing up the lower receiving portion 24 by the lower receiving portion lifting cylinder 23 to lift the substrate 2 from the conveyor 22 (an arrow shown in FIG. 5A). A) It is performed by driving the pair of clamp members 25 in the closing direction and sandwiching both ends of the substrate 2 (arrow B shown in FIG. 5A).

このように本実施の形態において、基板保持ユニット15は、マスク13の下方で基板2を保持する基板保持部となっており、上記のステップST2は、マスク13の下方で基板2を保持する工程となっている。   As described above, in the present embodiment, the substrate holding unit 15 is a substrate holding unit that holds the substrate 2 below the mask 13, and the above-described step ST <b> 2 is a step of holding the substrate 2 below the mask 13. It has become.

制御装置20は、基板2を保持したら、カメラ移動機構18Mの作動制御を行い、下方撮像カメラ18aを基板2に設けられた基板側マーク2mの直上に位置させたうえで下方撮像カメラ18aに基板側マーク2mの撮像を行わせてその画像データから基板2の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ18bをマスク13に設けられたマスク側マーク13mの直下に位置させたうえで上方撮像カメラ18bにマスク側マーク13mの撮像を行わせてその画像データからマスク13の位置を把握する。そして、基板保持ユニット15を水平面内方向に移動させ、基板側マーク2mとマスク側マーク13mとが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置合わせを行う(図4に示すステップST3)。   When holding the substrate 2, the control device 20 controls the operation of the camera moving mechanism 18 </ b> M, positions the lower imaging camera 18 a immediately above the substrate-side mark 2 m provided on the substrate 2, and then attaches the substrate to the lower imaging camera 18 a. The side mark 2m is imaged and the position of the substrate 2 is grasped from the image data. The upper imaging camera 18b is positioned immediately below the mask side mark 13m provided on the mask 13 and then the upper imaging camera 18b. The mask side mark 13m is imaged and the position of the mask 13 is grasped from the image data. Then, the substrate holding unit 15 is moved in the horizontal plane direction, and the substrate 2 is aligned with the mask 13 in the horizontal plane direction so that the substrate side mark 2m and the mask side mark 13m face each other vertically (FIG. 4). Step ST3).

制御装置20は、マスク13に対する基板2の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構14の作動制御を行って基板保持ユニット15を基台11に対して上昇させ(図5(b)中に示す矢印C1)、基板2の上面(及び一対のクランプ部材25の上面)をマスク13の金属板部13aの下面に下方から近づける。これにより基板2の上面とマスク13の下面(金属板部13aの下面)とが近接した状態となる(図5(b)。図4に示すステップST4)。   When the alignment of the substrate 2 with respect to the mask 13 is finished, the control device 20 controls the operation of the substrate holding unit moving mechanism 14 to raise the substrate holding unit 15 with respect to the base 11 (in FIG. 5B). The arrow C1 shown) and the upper surface of the substrate 2 (and the upper surfaces of the pair of clamp members 25) are brought closer to the lower surface of the metal plate portion 13a of the mask 13 from below. As a result, the upper surface of the substrate 2 and the lower surface of the mask 13 (the lower surface of the metal plate portion 13a) are brought into close proximity (FIG. 5B, step ST4 shown in FIG. 4).

制御装置20は、ステップST4で基板2の上面をマスク13の下面に下方から近づけたら、吸着パッド昇降シリンダ31の作動制御を行って一対の吸着パッド32を上昇させ(図6(a)中に示す矢印D1)、基板2を保持した一対のクランプ部材25よりも上方の位置で、各吸着パッド32の上面をマスク13の金属板部13aの下面に接触させたうえで、吸着機構32Mの作動制御を行って各吸着パッド32内の真空管路内に真空圧を供給し、一対の吸着パッド32にマスク13の金属板部13aを吸着させる(図6(a)。図4に示すステップST5)。なお、このときマスク13の吸着のために吸着パッド32を上昇させる距離のデータは、制御装置20が備える記憶部20b(図2)に予め記憶されている。   When the upper surface of the substrate 2 is brought close to the lower surface of the mask 13 from below in step ST4, the control device 20 controls the operation of the suction pad lifting cylinder 31 to raise the pair of suction pads 32 (see FIG. 6A). Arrow D1), the upper surface of each suction pad 32 is brought into contact with the lower surface of the metal plate portion 13a of the mask 13 at a position above the pair of clamp members 25 holding the substrate 2, and the operation of the suction mechanism 32M. Control is performed to supply a vacuum pressure into the vacuum line in each suction pad 32, and the pair of suction pads 32 cause the metal plate portion 13a of the mask 13 to be sucked (FIG. 6 (a), step ST5 shown in FIG. 4). . At this time, distance data for raising the suction pad 32 for suction of the mask 13 is stored in advance in a storage unit 20b (FIG. 2) provided in the control device 20.

制御装置20は、上記のようにして一対の吸着パッド32にマスク13を吸着させたら、吸着パッド昇降シリンダ31の作動制御を行って一対の吸着パッド32を下降させ(図6(b)中に示す矢印D2)、マスク13の金属板部13aを下方に引き寄せて基板2にマスク13を接触させる(図6(b)。図4に示すステップST6)。これにより基板2上の電極3とマスク13の開口部13hとが合致し、基板2とマスク13は相互に固定された状態となる。   When the control device 20 adsorbs the mask 13 to the pair of suction pads 32 as described above, the control device 20 controls the operation of the suction pad lifting cylinder 31 to lower the pair of suction pads 32 (see FIG. 6B). The arrow D2) and the metal plate portion 13a of the mask 13 are drawn downward to bring the mask 13 into contact with the substrate 2 (FIG. 6B, step ST6 shown in FIG. 4). As a result, the electrode 3 on the substrate 2 and the opening 13h of the mask 13 match, and the substrate 2 and the mask 13 are fixed to each other.

このように本実施の形態において、一対のマスク引き寄せ部16は、昇降自在な吸着パッド32を上昇させ、基板2よりも上方の位置で吸着パッド32によりマスク13を吸着した後、吸着パッド32を下降させることでマスク13を下方に引き寄せて基板2に接触させるマスク引き寄せ手段となっている。また、上記のステップST5及びステップST6は、昇降自在な吸着パッド32を上昇させ、基板2よりも上方の位置で吸着パッド32によりマスク13を吸着した後、吸着パッド32を下降させることでマスク13を下方に引き寄せて基板2に接触させる工程となっている。   As described above, in the present embodiment, the pair of mask drawing portions 16 raises the suction pad 32 that can be moved up and down, and sucks the mask 13 with the suction pad 32 at a position above the substrate 2, and then sucks the suction pad 32. By being lowered, it serves as a mask drawing means for drawing the mask 13 downward and bringing it into contact with the substrate 2. In step ST5 and step ST6, the suction pad 32 that can be moved up and down is raised, the mask 13 is sucked by the suction pad 32 at a position above the substrate 2, and then the suction pad 32 is lowered to lower the mask 13. This is a process of drawing the substrate downward and bringing it into contact with the substrate 2.

制御装置20は、基板2をマスク13に接触させたら、ディスプレイ装置19に、オペレータにペーストPtの供給を促すメッセージを表示する(図4に示すステップST7)。これに対してオペレータは、現在、マスク13上に残っているペーストPtを目視し、そのペーストPtの量に基づいてペーストPtの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストPtの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ50(図7(a))により、マスク13上にペーストPtの供給を行う。そして、ペーストPtの供給が終わったら、制御装置20に繋がる動作再開ボタン60(図2)の操作を行う。オペレータは、ペーストPtの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン60の操作を行う。   When the control device 20 brings the substrate 2 into contact with the mask 13, the control device 20 displays a message for prompting the operator to supply the paste Pt on the display device 19 (step ST7 shown in FIG. 4). On the other hand, the operator visually checks the paste Pt remaining on the mask 13 and determines whether or not to supply (supplement) the paste Pt based on the amount of the paste Pt. When it is determined that the paste Pt should be supplied, the paste Pt is supplied onto the mask 13 by using a separately prepared paste supply syringe 50 (FIG. 7A). When the supply of the paste Pt is finished, the operation restart button 60 (FIG. 2) connected to the control device 20 is operated. The operator operates the operation restart button 60 even when it is determined that the supply of the paste Pt is unnecessary.

制御装置20は、ステップST7において、ディスプレイ装置19にペーストPtの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタン60の操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い(図4に示すステップST8)、動作再開ボタン60からの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタン60の操作がなされたことを検知したときには、スキージヘッド17を一対のクランプ部材25の一方の上方に位置させたうえで、2つのスキージ43bのうちの一方を下降させて(図7(b)中に示す矢印E1)、そのスキージ43bの下端をクランプ部材25と接触しているマスク13の上面に当接させる(図4に示すステップST9)。   In step ST7, the control device 20 displays a message prompting the supply of the paste Pt on the display device 19, and then determines whether or not the operation resumption button 60 has been operated at regular intervals (step shown in FIG. 4). ST8) When it is detected based on the signal output from the operation resuming button 60 that the operator has operated the operation resuming button 60, the squeegee head 17 is positioned above one of the pair of clamp members 25. Then, one of the two squeegees 43b is lowered (arrow E1 shown in FIG. 7B), and the lower end of the squeegee 43b is brought into contact with the upper surface of the mask 13 in contact with the clamp member 25 ( Step ST9 shown in FIG.

なお、このとき下降させる(マスク13に当接させる)スキージ43bは、スキージヘッド17を前側のクランプ部材25の上方に位置させたときには前側のスキージ43bであり、スキージヘッド17を後側のクランプ部材25の上方に位置させたときには後側のスキージ43bである。   At this time, the squeegee 43b that is lowered (abuts against the mask 13) is the front squeegee 43b when the squeegee head 17 is positioned above the front clamp member 25, and the squeegee head 17 is moved to the rear clamp member. When it is positioned above 25, it is the rear squeegee 43b.

制御装置20は、スキージ昇降シリンダ42の作動によってクランプ部材25と接触しているマスク13の上面にスキージ43bを当接させたら、スキージ43bをマスク13の上面に当接させた状態でスキージヘッド17を(すなわちスキージ43bを)マスク13に対して水平方向(Y軸方向)に移動させ(図7(b)中に示す矢印F)、マスク13上でスキージ43bを摺動させることによって、マスク13上に供給したペーストPtをマスク13の開口部13h内に押し込み、電極3にペーストPtを転写させる(図4に示すステップST10)。   When the squeegee 43 b is brought into contact with the upper surface of the mask 13 that is in contact with the clamp member 25 by the operation of the squeegee lifting cylinder 42, the control device 20 makes the squeegee head 17 in a state where the squeegee 43 b is brought into contact with the upper surface of the mask 13. (That is, the squeegee 43b) is moved in the horizontal direction (Y-axis direction) with respect to the mask 13 (arrow F shown in FIG. 7B), and the squeegee 43b is slid on the mask 13 to thereby move the mask 13 The paste Pt supplied above is pushed into the opening 13h of the mask 13 to transfer the paste Pt to the electrode 3 (step ST10 shown in FIG. 4).

このようにスキージ43bは、マスク引き寄せ部16により基板2に接触されたマスク13上を摺動し、マスク13上に供給されたペーストPtを基板2に転写させるものとなっている。また、ステップST10は、基板2に接触させたマスク13上でスキージ43bを摺動させ、マスク13上に供給したペーストPtを基板2に転写させる工程となっている。   As described above, the squeegee 43 b slides on the mask 13 that is in contact with the substrate 2 by the mask drawing portion 16 and transfers the paste Pt supplied onto the mask 13 to the substrate 2. Step ST10 is a step of sliding the squeegee 43b on the mask 13 in contact with the substrate 2 to transfer the paste Pt supplied on the mask 13 to the substrate 2.

このステップST10では、制御装置20は、スキージ43bを、一方のクランプ部材25と接触しているマスク13上の領域から基板2と接触しているマスク13上の領域を通って他方のクランプ部材25と接触しているマスク13上の領域まで移動させる。なお、図7(b)は、前側のスキージ43bを、前側のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域から後側のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域まで移動させる例を示しているが、後側のスキージ43bを、後側のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域から前側のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域まで移動させる場合には、スキージヘッド17は図7(b)中に示す矢印Fとは反対の方向に移動させる。   In step ST10, the control device 20 moves the squeegee 43b from the region on the mask 13 in contact with the one clamp member 25 to the other clamp member 25 through the region on the mask 13 in contact with the substrate 2. To the area on the mask 13 that is in contact with. FIG. 7B shows an example in which the front squeegee 43 b is moved from the region on the mask 13 in contact with the front clamp member 25 to the region on the mask 13 in contact with the rear clamp member 25. However, when the rear squeegee 43b is moved from the region on the mask 13 in contact with the rear clamp member 25 to the region on the mask 13 in contact with the front clamp member 25, the squeegee head 17 is not shown in FIG. It is moved in the direction opposite to the arrow F shown in 7 (b).

制御装置20は、スキージ43bが一方のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域から他方のクランプ部材25と接触したマスク13上の領域に達してペーストPtの転写が終了したことを検知したら、スキージヘッド17の移動を停止させたうえで、マスク13に当接させていたスキージ43bを移動ベース41に対して上昇させて(図8(a)中に示す矢印E2)、スキージ43bをマスク13から離間させる(図4に示すステップST11)。   When the control device 20 detects that the squeegee 43b reaches the region on the mask 13 in contact with the other clamp member 25 from the region on the mask 13 in contact with the one clamp member 25, the transfer of the paste Pt is completed. After the movement of the squeegee head 17 is stopped, the squeegee 43b that is in contact with the mask 13 is raised with respect to the moving base 41 (arrow E2 shown in FIG. 8A), and the squeegee 43b is moved to the mask 13 (Step ST11 shown in FIG. 4).

制御装置20は、スキージ43bをマスク13から離間させたら吸着パッド昇降シリンダ31を作動させて一対の吸着パッド32をステップST5でマスク13を吸着した位置まで上昇させたうえで(図8(a)中に示す矢印D3)、一対の吸着パッド32によるマスク13の吸着を解除することにより、基板2をマスク13から版離れさせる(図8(a)。図4に示すステップST12)。   After the squeegee 43b is separated from the mask 13, the control device 20 operates the suction pad lifting cylinder 31 to raise the pair of suction pads 32 to the position where the mask 13 is sucked in step ST5 (FIG. 8A). The arrow D3 shown in the figure and the suction of the mask 13 by the pair of suction pads 32 are released, whereby the substrate 2 is separated from the mask 13 (FIG. 8A) (step ST12 shown in FIG. 4).

制御装置20は、版離れが終了したら吸着パッド昇降シリンダ31を作動させて一対の吸着パッド32を下降させつつ(図8(b)中に示す矢印D4)、基板保持ユニット移動機構14を作動させて基板保持ユニット15を下降させる(図8(b)中に示す矢印C2。そして、制御装置20は、基板保持機構15Mを作動させて一対のクランプ部材25を開かせたうえで下受け部24を下降させて、基板2の両端を一対のコンベア22上に降ろす。これにより基板保持ユニット15による基板2の保持が解除される(図2参照。図4に示すステップST13)。   The control device 20 operates the substrate holding unit moving mechanism 14 while operating the suction pad raising / lowering cylinder 31 to lower the pair of suction pads 32 (arrow D4 shown in FIG. 8B) when the plate separation is completed. The substrate holding unit 15 is lowered (arrow C2 shown in FIG. 8B), and the control device 20 operates the substrate holding mechanism 15M to open the pair of clamp members 25 and then lowers the receiving portion 24. Is lowered to lower both ends of the substrate 2 onto the pair of conveyors 22. Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 15 is released (see FIG. 2, step ST13 shown in FIG. 4).

制御装置20は、基板2の保持を解除したら、基板保持ユニット移動機構14を作動させて基板保持ユニット15を水平面内で移動させ、コンベア22の向きを整えたうえで、コンベア22を作動させて基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図4に示すステップST14)。   After releasing the holding of the substrate 2, the control device 20 operates the substrate holding unit moving mechanism 14 to move the substrate holding unit 15 in the horizontal plane, aligns the direction of the conveyor 22, and then operates the conveyor 22. The board | substrate 2 is carried out to the exterior of the screen printer 1 (step ST14 shown in FIG. 4).

制御装置20は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図4に示すステップST15)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   If the board | substrate 2 is carried out, the control apparatus 20 will judge whether there exists another board | substrate 2 which performs screen printing (step ST15 shown in FIG. 4). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びスクリーン印刷方法では、昇降自在な吸着パッド32(吸着部)を上昇させ、基板2よりも上方の位置で吸着パッド32によりマスク13を吸着した後、吸着パッド32を下降させることでマスク13を下方に引き寄せてマスク13を基板2に接触させるようになっており、図3(b)に示すように、マスク13(シート状部13b)をマスク枠13Wに接着する接着剤BDがマスク枠13Wの下面に回り込んで形成された接着剤層の厚さTがマスク13の製造過程における品質のばらつき等により比較的大きくなっている場合であってもマスク13を確実に吸着してマスク13を基板2側に引き寄せることができるので、基板2とマスク13との間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができる。   As described above, in the screen printer 1 and the screen printing method in the present embodiment, the suction pad 32 (suction part) that can be raised and lowered is raised, and the mask 13 is placed by the suction pad 32 at a position above the substrate 2. After the suction, the suction pad 32 is lowered to draw the mask 13 downward to bring the mask 13 into contact with the substrate 2. As shown in FIG. 3B, the mask 13 (sheet-like portion 13b) ) Is bonded to the mask frame 13W and the thickness T of the adhesive layer formed by wrapping around the lower surface of the mask frame 13W is relatively large due to quality variations in the manufacturing process of the mask 13 or the like. Even so, the mask 13 can be reliably adsorbed and the mask 13 can be pulled toward the substrate 2 side, so that the mutual fixing state between the substrate 2 and the mask 13 is sufficient. It is possible to prevent the securing to the printing state becomes poor.

基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of sufficiently securing a mutual fixing state between a substrate and a mask and preventing a printing state from becoming defective.

1 スクリーン印刷機
2 基板
13 マスク
15 基板保持ユニット(基板保持部)
16 マスク引き寄せ部(マスク引き寄せ手段)
32 吸着パッド(吸着部)
43b スキージ
Pt ペースト
1 Screen Printing Machine 2 Substrate 13 Mask 15 Substrate Holding Unit (Substrate Holding Unit)
16 Mask drawing part (mask drawing means)
32 Suction pad (Suction part)
43b Squeegee Pt Paste

Claims (2)

スクリーン印刷用のマスクと、
マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、
昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるマスク引き寄せ手段と、
前記吸着部を上昇させる距離データを記憶する記憶部と、
マスク引き寄せ手段により基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備え
前記吸着部を、前記記憶部が記憶する距離データに基づいて上昇させ、基板よりも上方の位置で前記吸着部により前記マスクを吸引することを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask for screen printing,
A substrate holder for holding the substrate under the mask;
A mask pulling means that lifts and lowers the suckable portion, sucks the mask by the sucking portion at a position above the substrate, and then lowers the sucking portion to draw the mask downward and contact the substrate;
A storage unit for storing distance data for raising the suction unit;
A squeegee that slides on the mask in contact with the substrate by the mask drawing means and transfers the paste supplied on the mask to the substrate ;
A screen printing machine , wherein the suction unit is lifted based on distance data stored in the storage unit, and the mask is sucked by the suction unit at a position above the substrate .
スクリーン印刷用のマスクの下方で基板を保持する工程と、
昇降自在な吸着部を記憶部が記憶する距離データに基づいて上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させる工程と、
基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給したペーストを基板に転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
Holding the substrate below the mask for screen printing;
The suction unit that can be moved up and down is lifted based on the distance data stored in the storage unit , and after the mask is sucked by the suction unit at a position above the substrate, the suction unit is lowered to draw the mask downward to the substrate. A step of contacting;
And a step of sliding a squeegee on the mask in contact with the substrate and transferring the paste supplied on the mask to the substrate.
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