JP5755304B2 - 動的に駆動されるステージミラー及びチャック組立体を備えるzステージ - Google Patents
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Description
うなシステムでは、例えば、キャパシタゲージなど、ウエハチャック106に隣接して配置される位置センサ136は、チャック106とステージミラー110との間の相対変位ΔXを測定することによって、それらの誤差を特定するために用いられ得る。
好ましくは、1つ以上のアクチュエータは基材チャック及びステージミラーをZ方向へ運動させるように構成されている1つ以上のZステージアクチュエータを含む。
好ましくは、本開示にかかる基材支持装置は、ステージミラーへ結合されている干渉計をさらに備える。
好ましくは、本開示にかかる基材支持装置は、真空チャンバをさらに備え、基材チャック、ステージミラー及びZステージは真空チャンバ内に配置されている。
好ましくは、ZステージとXYステージとの間の結合はXY平面及びZ軸回りの回転の
拘束における高剛性並びにZ軸に沿ったZステージの自由運動である。
好ましくは、基材チャックは基材チャックの6つの運動自由度に対する拘束によってZステージへ取り付けられている。
好ましくは、1つ以上の相対位置センサは干渉計を含む。
本開示にかかる方法は、基材チャックと、基材チャックへ結合されているZステージと、Zステージへ取り付けられているステージミラーと、Zステージへ結合されているXYステージとを有し、Zステージは基材チャック及びステージミラーをZ方向へ運動させるように構成されている1つ以上のZステージアクチュエータを含み、XYステージはZ方向にほぼ垂直な平面においてZステージを運動させるように構成されている1つ以上のXYステージアクチュエータを含む、タイプの基材支持装置において、ステージミラーに対する基材チャックの運動を動的に補償するための方法であって、ステージミラーに対する基材チャックの変位を感知する工程と、Zステージアクチュエータ及びXYステージアクチュエータのうちの一方又は両方がステージミラーに対する基材チャックの運動を動的に補償するように、1つ以上のフィードバックループにおける変位に比例した信号をZステージアクチュエータ及びXYステージアクチュエータのうちの一方又は両方と結合する工程を含む。
好ましくは、基材チャックはステージミラーに組み込まれている。
好ましくは、ステージミラーは基材チャックに組み込まれている。
好ましくは、本開示にかかる別の基材支持装置は、Zステージプレートと基材チャック及びステージミラーのうちの一方又は両方との間に結合されている拘束部をさらに備え、拘束部はZ方向に垂直な1つ以上の方向におけるステージミラー及びチャックのうちの一方又は両方の運動を制限するように構成されている。
好ましくは、各荷重屈曲部は、Zステージプレートへ取り付けられている基部と、基部
から側方に伸びているカンチレバー部分と、カンチレバー部分は基部とカンチレバー部分の自由端との間に結合されている平行四辺形屈曲部を含むことと、を含む。
好ましくは、基部及びカンチレバー部分はチタンから製造されている。
好ましくは、圧電アクチュエータは湾曲面とのジョイントを含むことと、ジョイントは湾曲面がレバーブロック(登録商標)に接するように圧電アクチュエータの端部に位置することと、を含む。
好ましくは、基材チャックは静電チャックである。
好ましくは、真空チャンバと、基材チャック、ステージミラー及びZステージプレートは真空チャンバ内に配置されていることと、を含む。
好ましくは、エネルギビームカラムは電子光学カラムである。
て、ウエハ104に対する電子ビーム101の位置の精密なXY補正が可能となる。同じ概念がイオンビーム(例えば、静電気又は電磁気によるビーム偏向を用いる)、レーザビーム(例えば、補正機構107としてビームステアリングミラーを用いる)など、他のエネルギビームのビーム位置補正に対し適用されてよいことが、当業者には認識される。
に代えて、エネルギビームカラム302は、例えば、赤外、可視又は紫外光など、何らかの形態のエネルギ電磁放射を生成するイオン光学カラム又は光学カラムであってもよい。電子又はイオンの光学カラムの場合、XYビーム偏向機構307は静電気偏向プレート若しくは電磁石又は両者の何らかの組み合わせを含んでよい。赤外、可視又は紫外の光学カラム(例えば、電磁放射源としてのレーザに基づく)の場合、XYビーム偏向機構307はビームステアリングミラーを含んでよい。
結合している。荷重屈曲部400は、Zステージプレート322がZ方向に垂直なXY平面において走査されるとき、ステージミラー310及び基材チャック306をZ方向へ運動させるように構成されている、アクチュエータを含む。2つ以上の荷重屈曲部400を用いると、各荷重屈曲部400のZ偏向を独立に調節することによって、ステージミラー310及び基材チャック306の傾斜が制御される。
、荷重屈曲部400は、圧電アクチュエータの100マイクロメートルの拡張を、自由端406の約300マイクロメートルの運動へ、変換することが可能である。荷重屈曲部400の設計によって側方の高剛性が提供され、この高剛性によって、ステージミラー310はXYステージ308へ良好に結合される。また、荷重屈曲部400のZ剛性によって、Z方向における運動の高帯域の制御が可能となる。
画像補正はカーネルと呼ばれる刈り幅の小断片に基づく。この場合、カーネルは、12マイクロ秒毎に各々取得される48の垂直走査線を含む。したがって、線周波数は83.3kHzであり、カーネル周波数は1736Hzである。画像はカーネル周波数にて再び位置合わせされるため、カーネル間誤差は画像コンピュータの位置合わせシステムが取り扱う必要がある残差の誤差である。
されているステージミラー510を有してもよい。ステージミラー510は、干渉計の反射面として用いられ得る、高度研磨面514を含んでもよい。チャック506は、上述のように、ステージミラー510へ剛直に又はキネマティックに取り付けられていてもよい。Zステージプレート522はXYステージ508へ取り付けられていてもよい。1つ以上のアクチュエータ526は、Zステージプレート522とステージミラー510との間に直接結合されていてよい。例として、アクチュエータ526はZ方向に拡張する圧電アクチュエータであり得る。1つ以上の拘束525は、Zステージプレート522と、チャック及びステージミラー510のうちの一方又は両方との間に接続されていてもよい。拘束531はZ方向に垂直な1つ以上の方向におけるステージミラー510及びチャック506のうちの一方又は両方の運動を制限するように構成されている。例として、拘束531はZ方向に平行なV字溝533を各々含んでもよい。球ベアリング535は、V字溝533とステージミラー510のリセス537との間に配置されている。
Claims (14)
- Zステージプレートと、
ステージミラーと、
Zステージプレートとステージミラーとの間に結合されている1つ以上の荷重屈曲部と、
前記1つ以上の荷重屈曲部に含まれるとともにZステージプレートへ取り付けられている1つ以上のアクチュエータであって、1つ以上のアクチュエータは、ZステージプレートがZ方向に垂直な平面における1つ以上の方向に移動されるとき、ステージミラーをZ方向へ運動させるように構成されており、Z方向は、X方向及びY方向に垂直な方向である、前記1つ以上のアクチュエータと、
基材チャックの6つの運動自由度を拘束することによってステージミラーへ取り付けられている基材チャックと、
を備える基材支持装置。 - 基材チャックはステージミラーにキネマティックに取り付けられている、請求項1に記載の装置。
- 基材チャックはステージミラーに組み込まれている、請求項1に記載の装置。
- ステージミラーは基材チャックに組み込まれている、請求項1に記載の装置。
- 前記1つ以上のアクチュエータは、圧電アクチュエータである、請求項1に記載の装置。
- Zステージプレートと、基材チャック及びステージミラーのうちの一方又は両方との間に結合されている拘束部をさらに備え、拘束部はZ方向に垂直な1つ以上の方向におけるステージミラー及びチャックのうちの一方又は両方の運動を制限するように構成されている、請求項5に記載の装置。
- Zステージプレートへ結合されているXYステージをさらに備え、XYステージはZ方
向にほぼ垂直な平面においてZステージプレートを運動させるように構成されている1つ以上のXYステージアクチュエータを有する、請求項1に記載の装置。 - ステージミラーへ結合されている干渉計をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 基材チャックは静電チャックである、請求項1に記載の装置。
- 真空チャンバをさらに備え、基材チャック、ステージミラー及びZステージプレートは真空チャンバ内に配置されている、請求項1に記載の装置。
- フィードバックループにおいて1つ以上の相対位置センサへ結合されているXYビーム偏向機構を有するエネルギビームカラムをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- エネルギビームカラムは電子光学カラムである、請求項11に記載の装置。
- 1つ以上の相対位置センサは干渉計を含む、請求項11に記載の装置。
- 前記荷重屈曲部のそれぞれは、前記Zステージプレートに結合されている基部と、
前記基部から側方に伸びるカンチレバー部分と、を含み、
前記カンチレバー部分は、前記基部と前記カンチレバー部分の自由端との間に結合されている平行四辺形屈曲部を含む、請求項1に記載の装置。
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