JP5737953B2 - Component mounting equipment - Google Patents

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本発明は、部品実装ヘッドにより部品供給装置から部品を採取し、部品実装位置に位置決めされた基板上の装着点に装着する部品実装装置に関する。   The present invention relates to a component mounting apparatus that picks up a component from a component supply device by a component mounting head and mounts the component on a mounting point on a substrate positioned at a component mounting position.

例えば、特許文献1には、以下の部品実装装置による電気回路組立方法が記載されている。この方法は、1枚の基板全体あるいはその少なくとも1装着領域(以下、装着範囲という)内における部品の装着点数とリールに巻回収納された部品の残数とを比較して実装する方法である。この方法によれば、特性が略同一の部品をリールに巻回されたテープ内に収容しておくことにより、各装着範囲内において部品の特性(例えば、発光ダイオードの輝度クラス)が略同一となるように部品を実装することができる。   For example, Patent Document 1 describes an electrical circuit assembly method using the following component mounting apparatus. This method is a method of mounting by comparing the number of component mounting points in one whole substrate or at least one mounting region (hereinafter referred to as mounting range) with the remaining number of components wound and stored on a reel. . According to this method, by storing components having substantially the same characteristics in a tape wound around a reel, the characteristics of the components (for example, the luminance class of the light emitting diode) are substantially the same in each mounting range. The components can be mounted so that

また、例えば、特許文献2には、以下の部品実装装置による電子部品実装方法が記載されている。この方法は、実装データを複数の装着範囲(部品実装グループ)に分割し、現装着範囲における実装が終了するまで次ブロックにおける実装を開始しないという方法である。この方法によれば、現装着範囲に装着される部品と次装着範囲に装着される部品とが混在しないので、各装着範囲内において部品の特性が略同一となるように部品を実装することができる。   For example, Patent Document 2 describes an electronic component mounting method using the following component mounting apparatus. In this method, the mounting data is divided into a plurality of mounting ranges (component mounting groups), and mounting in the next block is not started until mounting in the current mounting range is completed. According to this method, since the component mounted in the current mounting range and the component mounted in the next mounting range are not mixed, it is possible to mount the components so that the characteristics of the components are substantially the same in each mounting range. it can.

特願2009−180239号公報(段落番号0039〜0043、図13)Japanese Patent Application No. 2009-180239 (paragraph numbers 0039 to 0043, FIG. 13) 特許3043492号公報(段落番号0012、図1)Japanese Patent No. 3043492 (paragraph number 0012, FIG. 1)

部品実装装置に部品を供給する部品供給装置として、ウエハ状態で部品を供給する装置がある。このウエハは、表面全面に多数の同一の部品が形成され、各部品ごとにカットされている。ウエハは部品供給装置内に収容されているトレイ上に載置され、このトレイが部品実装装置内に引出されることにより、複数のウエハカット部品がウエハ状態で供給される。ところが、ウエハ内において離間した位置にあるウエハカット部品は、ある程度の特性のばらつきがあることが多く、上述の各特許文献1,2に記載の部品実装装置では、各装着範囲内においてウエハカット部品の特性がばらついた状態でウエハカット部品が実装される場合がある。   As a component supply device that supplies components to a component mounting device, there is a device that supplies components in a wafer state. This wafer has a large number of identical parts formed on the entire surface, and is cut for each part. The wafer is placed on a tray accommodated in the component supply device, and the tray is pulled out into the component mounting device, whereby a plurality of wafer cut components are supplied in a wafer state. However, wafer cut parts located in spaced positions in the wafer often have some variation in characteristics. In the component mounting apparatuses described in the above-mentioned Patent Documents 1 and 2, the wafer cut parts within each mounting range. In some cases, the wafer cut component is mounted in a state where the above characteristics vary.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、所定の装着範囲内においてウエハカット部品の特性が略同一となるようにウエハカット部品を実装することができる部品実装装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a component mounting apparatus capable of mounting a wafer cut component so that the characteristics of the wafer cut component are substantially the same within a predetermined mounting range. There is to do.

上記課題を解決するため、請求項1に係る発明の構成上の特徴は、部品実装ヘッドが部品供給装置から部品を採取し、部品実装位置に位置決めされた基板上の装着点に装着する部品実装装置において、複数のウエハカット部品にカットされウエハ状態で部品供給位置に供給される前記複数のウエハカット部品を、連続して位置することにより特性変化が小さいウエハカット部品順に採取して前記部品実装位置に位置決めされた前記基板上の前記装着点に装着する制御を前記部品実装装置に行わせるウエハカット部品装着手段と、装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、前記基板を区画する複数のブロックを設定し、前記基板の情報と前記ブロックの情報として少なくとも所定の許容部品間距離及び所定の許容ピッチ数を含む情報とを関連付けて記憶するブロック記憶手段と、前記部品実装位置に位置決めされた前記基板の情報に基づいて前記ブロックの情報を取得し、前記ウエハカット部品の採取異常もしくは前記ウエハカット部品の異常に対する部品採取のリカバリの発生により、前記ブロック内へ装着される部品同士の供給ウエハ上の位置の距離が前記許容部品間距離を超え、もしくはピッチ数が前記許容ピッチ数を超えると判断した場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断するウエハカット部品装着可否判定手段と、を備えたことである。 In order to solve the above problem, the structural feature of the invention according to claim 1 is that a component mounting head picks up a component from a component supply device and mounts it on a mounting point on a board positioned at the component mounting position. In the apparatus, the plurality of wafer cut parts which are cut into a plurality of wafer cut parts and supplied to the part supply position in the wafer state are collected in the order of wafer cut parts having a small characteristic change by continuously positioning the parts mounted. Wafer cut component mounting means for causing the component mounting apparatus to perform control for mounting to the mounting point on the substrate positioned at a position, and suppressing characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range. each is required range, sets a plurality of blocks partitioning the substrate, at least a predetermined acceptable components as information of the information and said block of said substrate The distance and the block storage unit that associates and stores the information including a predetermined allowable number of pitches, acquires information of the block based on the component the information of the substrate positioned on the mounting position, taken in the wafer cutting part the abnormality or occurrence of a recovery of the part taken for abnormality of the wafer cut part, said distance position on the supply wafer between the parts to be mounted to the block exceeds the distance between the allowable component or pitch number of the allowable pitch When it is determined that the number exceeds the number, a wafer cut component mounting availability determination unit that determines that mounting on the block is impossible is provided.

請求項2に係る発明の特徴は、部品実装ヘッドが部品供給装置から部品を採取し、部品実装位置に位置決めされた基板上の装着点に装着する部品実装装置において、複数のウエハカット部品にカットされウエハ状態で部品供給位置に供給される前記複数のウエハカット部品を、連続して位置することにより特性変化が小さいウエハカット部品順に採取して前記部品実装位置に位置決めされた前記基板上の前記装着点に装着する制御を前記部品実装装置に行わせるウエハカット部品装着手段と、装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、前記基板を区画する複数のブロックを設定し、前記基板の情報と前記ブロックの情報として少なくとも所定のリカバリ許容数を含む情報とを関連付けて記憶するブロック記憶手段と、前記部品実装位置に位置決めされた前記基板の情報に基づいて前記ブロックの情報を取得し、前記ブロックへの前記ウエハカット部品の装着において前記ウエハカット部品の採取異常もしくは前記ウエハカット部品の異常に対する部品採取のリカバリ回数が前記リカバリ許容数を超えた場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断してスキップするウエハカット部品装着可否判定手段と、を備えたことである。 The invention according to claim 2 is characterized in that a component mounting head picks up a component from a component supply device and mounts it on a mounting point on a substrate positioned at a component mounting position, and cuts into a plurality of wafer cut components. The plurality of wafer-cut components supplied to the component supply position in the wafer state are collected in order of wafer cut components having a small characteristic change by being continuously positioned and positioned on the substrate at the component mounting position. The wafer cutting component mounting means for causing the component mounting apparatus to perform mounting control on the mounting point, and the substrate for each range where it is necessary to suppress the characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range. setting a plurality of blocks partitioning, serial in association with information including at least a predetermined recovery allowable number as information of the information and said block of said substrate A block storage unit to said component mounting position on the acquired information of the block based on the positioning information of said substrate, said collecting abnormal or the wafer of the wafer cut parts in the mounting of the wafer cut parts to the block If the recovery times of components collected for abnormal cut parts exceeds the recovery allowable number, by which and a wafer cut component mounting determination unit to skip it is determined that the attachment is not to the block is there.

請求項3に係る発明の構成上の特徴は、請求項において、前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、前記ウエハカット部品の残数が前記ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和未満である場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断することである。 According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the wafer cut component mounting availability determination unit is configured to determine whether the remaining number of the wafer cut components is included in the block and the number of the recovery points. If it is less than the sum of the numbers, it is determined that the mounting on the block is impossible.

請求項4に係る発明の構成上の特徴は、請求項2又は3において、前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、前記ウエハカット部品の残数が現ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和未満であるが、次ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和以上であるときは、前記次ブロックへの装着を前記現ブロックへの装着よりも優先して行うことである。 According to a fourth aspect of the present invention, in the second or third aspect , the wafer cut component mounting availability determination unit is configured to determine whether the remaining number of the wafer cut components is included in the current block and the number of the mounting points. If it is less than the sum of the allowable recovery number but greater than or equal to the sum of the number of mounting points included in the next block and the allowable recovery number, the mounting to the next block is more than the mounting to the current block. It is a priority.

請求項5に係る発明の構成上の特徴は、請求項1〜4の何れか一項において、前記基板が、同一基板種の複数の子基板でなる基板であるとき、前記複数のブロックは、前記各子基板内にて設定されており、前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、一の前記ブロックにて前記ウエハカット部品の装着を不可能と判断したときは、該ブロックを含む前記子基板への前記ウエハカット部品の装着をスキップすることである。   A structural feature of the invention according to claim 5 is that, in any one of claims 1 to 4, when the substrate is a substrate composed of a plurality of sub-substrates of the same substrate type, the plurality of blocks are: It is set in each of the sub-boards, and when the wafer-cut component mounting availability determination means determines that mounting of the wafer-cut components in one block is impossible, the sub-board including the block Skipping the mounting of the wafer-cut component onto the substrate.

請求項1に係る発明によれば、ウエハカット部品装着手段は、ウエハカット部品を、連続して位置することにより特性変化が小さい部品順に採取して基板上の装着点に装着する制御を行う。一般的に、ウエハカット部品の特性は隣接するウエハカット部品同士においてある程度連続性があるので、上述の制御によりウエハカット部品の特性が略同一となるようにウエハカット部品を実装することができる。   According to the first aspect of the present invention, the wafer cut component mounting means performs control for collecting the wafer cut components in order of components having a small characteristic change by continuously positioning and mounting the wafer cut components on the mounting points on the substrate. Generally, since the characteristics of wafer cut parts have some continuity between adjacent wafer cut parts, the wafer cut parts can be mounted so that the characteristics of the wafer cut parts are substantially the same by the above-described control.

また、ブロック記憶手段は、装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、基板を区画する複数のブロックを記憶する。そして、ウエハカット部品装着可否判定手段は、部品採取異常もしくは部品異常に対する部品採取のリカバリの発生により、供給ウエハ上の部品同士の位置の距離が所定の許容部品間距離を超え、もしくはピッチ数が所定の許容ピッチ数を超える場合には、ブロックへの装着は不可能と判断する。一般的に、ウエハ内において離間した位置にあるウエハカット部品はある程度の特性のばらつきがあることが多いが、本発明によれば各ブロック内においてウエハカット部品の特性がばらついた状態でウエハカット部品が実装されることを効率的に防止してウエハカット部品を基板上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   The block storage means stores a plurality of blocks that divide the substrate for each range in which it is necessary to suppress the characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range. Then, the wafer cut component mounting availability determination means determines that the component distance on the supply wafer exceeds a predetermined allowable component distance or the number of pitches due to the occurrence of component sampling abnormality or recovery of component sampling for the component abnormality. If the predetermined allowable number of pitches is exceeded, it is determined that mounting on the block is impossible. In general, wafer cut parts located at a distance in the wafer often have some characteristic variation. However, according to the present invention, the wafer cut parts are in a state where the characteristics of the wafer cut parts vary in each block. It is possible to efficiently prevent the wafer from being mounted and to efficiently mount the wafer cut component on a plurality of mounting points on the substrate.

請求項2に係る発明によれば、ウエハカット部品装着可否判定手段は、ブロックへのウエハカット部品の装着において部品採取異常もしくは部品異常に対する部品採取のリカバリ回数が所定のリカバリ許容数を超えた場合には、ブロックへの装着は不可能と判断してスキップする。一般的に、ウエハ内において離間した位置にあるウエハカット部品はある程度の特性のばらつきがあることが多いが、本発明によれば各ブロック内においてウエハカット部品の特性がばらついた状態でウエハカット部品が実装されることを防止してウエハカット部品を基板上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   According to the second aspect of the present invention, the wafer cut component mounting availability determination unit determines whether or not the part collection abnormality or the number of times of recovery of the component sampling for the component abnormality exceeds a predetermined allowable number of recovery in mounting the wafer cut component on the block. In this case, it is determined that mounting on the block is impossible, and skipped. In general, wafer cut parts located at a distance in the wafer often have some characteristic variation. However, according to the present invention, the wafer cut parts are in a state where the characteristics of the wafer cut parts vary in each block. It is possible to efficiently mount the wafer-cut component to a plurality of mounting points on the substrate.

請求項3に係る発明によれば、ウエハカット部品装着可否判定手段は、ウエハカット部品の残数がブロックに含まれる装着点の個数とリカバリ許容数との和未満である場合には、ブロックへの装着は不可能と判断する。一般的に、異なるウエハにおけるウエハカット部品は特性のばらつきがあることが多いが、本発明によれば各ブロック内においてウエハカット部品の特性がばらついた状態でウエハカット部品が実装されることを効率的に防止してウエハカット部品を基板上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   According to the third aspect of the present invention, the wafer cut component mountability determination unit determines that the remaining number of wafer cut components is less than the sum of the number of mounting points included in the block and the allowable recovery number. It is judged that wearing is impossible. In general, there are many variations in characteristics of wafer cut parts on different wafers, but according to the present invention, it is efficient to mount the wafer cut parts in a state where the characteristics of the wafer cut parts vary in each block. Therefore, the wafer cut component can be efficiently mounted on a plurality of mounting points on the substrate.

請求項4に係る発明によれば、ウエハカット部品装着可否判定手段は、ウエハカット部品の残数が現ブロックにおける装着点の個数とリカバリ許容数との和未満であるが次ブロックにおける装着点の個数とリカバリ許容数との和以上であるときは、次ブロックへの装着を行う制御を行う。よって、ウエハカット部品の無駄を防止することができ、ウエハカット部品が装着された基板の製造コストを低減させることができる。   According to the fourth aspect of the present invention, the wafer cut component mounting availability determination means has the remaining number of wafer cut components less than the sum of the number of mounting points in the current block and the allowable number of recovery, but the number of mounting points in the next block. If it is equal to or greater than the sum of the number and the allowable number of recovery, control is performed to attach to the next block. Therefore, waste of the wafer cut component can be prevented, and the manufacturing cost of the substrate on which the wafer cut component is mounted can be reduced.

請求項5に係る発明によれば、ブロックを各子基板内にて設定した場合、ウエハカット部品装着可否判定手段は、一のブロックにてウエハカット部品の装着を不可能と判断したときは、該ブロックを含む子基板へのウエハカット部品の装着をスキップする。よって、不良となることが明らかな該子基板における他のブロックへのウエハカット部品の装着は行われないので、多数のウエハカット部品が無駄になることを防止することができると共に実装コストを低減させることができる。   According to the invention according to claim 5, when the block is set in each child substrate, the wafer cutting component mounting availability determination means determines that mounting of the wafer cutting component in one block is impossible. The mounting of the wafer cut component on the sub-board including the block is skipped. Therefore, since the wafer cut parts are not attached to other blocks on the sub-board that is clearly defective, it is possible to prevent a lot of wafer cut parts from being wasted and to reduce the mounting cost. Can be made.

本発明に係る部品実装装置の一実施の形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention. 図1の部品実装装置の部品供給装置を示す側面図である。It is a side view which shows the component supply apparatus of the component mounting apparatus of FIG. (A),(B)は、図1の基板搬送装置により搬送され部品実装装置により部品実装される1枚でなる基板種の基板および同一基板種の複数の子基板でなる基板種の基板を示す平面図である。(A), (B) shows a substrate of a substrate type consisting of a single substrate and a plurality of sub-substrates of the same substrate type that are conveyed by the substrate conveying device of FIG. FIG. 図1の部品供給装置によりウエハ状態で供給されるウエハカット部品を示す平面図である。It is a top view which shows the wafer cut components supplied with the wafer state by the components supply apparatus of FIG. (A),(B)は、図4のウエハカット部品をジグザグ状に採取する場合の工程および螺旋状に採取する場合の工程を示す図である。(A), (B) is a figure which shows the process in the case of extract | collecting the wafer cut components of FIG. 4 in zigzag form, and the process in the case of extract | collecting helically. 図3(A)の基板に設定されるブロックを示す図である。It is a figure which shows the block set to the board | substrate of FIG. 3 (A). 基板の情報とブロックの情報とが関連付けられたテーブルデータを示す図である。It is a figure which shows the table data with which the information of the board | substrate and the information of the block were linked | related. 図4のウエハカット部品をジグザグ状に採取する場合の順番を示す図である。It is a figure which shows the order in the case of extract | collecting the wafer cut components of FIG. 4 in zigzag form. 図1の部品実装装置の動作を説明するためのフローチャートである。3 is a flowchart for explaining the operation of the component mounting apparatus of FIG. 1. 図1の部品実装装置の別の動作を説明するためのフローチャートである。6 is a flowchart for explaining another operation of the component mounting apparatus of FIG. 1.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、基板の搬送方向をX軸方向と称し、水平面内においてX軸方向に直角な方向をY軸方向と称し、X軸方向とY軸方向とに直角な方向をZ軸方向と称する。図1に示すように、部品実装装置10は、部品供給装置20、部品装着装置30および制御装置1(本発明の「ウエハカット部品装着制御手段」に相当する)を備え、X軸方向に2台直列に配置され基板搬送装置50により連結されている。なお、図1では2台の部品実装装置10を配置した場合を示すが、本発明は、1台もしくは複数台の部品実装装置10に対して適用可能である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the substrate transport direction is referred to as the X-axis direction, the direction perpendicular to the X-axis direction in the horizontal plane is referred to as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction and the Y-axis direction is referred to as the Z-axis. It is called a direction. As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 10 includes a component supply device 20, a component mounting device 30, and a control device 1 (corresponding to “wafer cut component mounting control means” of the present invention), and 2 in the X-axis direction. The units are arranged in series and connected by the substrate transfer device 50. Although FIG. 1 shows a case where two component mounting apparatuses 10 are arranged, the present invention can be applied to one or a plurality of component mounting apparatuses 10.

図2に示すように、部品供給装置20はハウジング21を備えており、このハウジング21はキャスタ22a及び車輪22bを有する支持部22により移動可能に支持されている。ハウジング21内には、ウエハカット部品Pをウエハ状態(図4参照)で収容するトレイTが取付けられたパレットRが抜き差し可能に収納されるトレイストッカ23が昇降可能に設けられている。   As shown in FIG. 2, the component supply device 20 includes a housing 21, and the housing 21 is movably supported by a support portion 22 having casters 22 a and wheels 22 b. In the housing 21, a tray stocker 23 in which a pallet R on which a tray T for accommodating the wafer cut component P in a wafer state (see FIG. 4) is attached is detachably accommodated is provided so as to be movable up and down.

そして、ハウジング21上部には、新しいトレイTが取付けられたパレットRを搬入するトレイ搬入装置24が設けられ、ハウジング21下部には、空になったトレイTが取付けられたパレットRを排出するトレイ排出装置25が設けられている。また、部品実装装置10側となるハウジング21前部には、トレイTが取付けられたパレットRをトレイストッカ23と部品供給位置Aとの間で移動するトレイ移動装置26が設けられている。   A tray carrying-in device 24 for carrying in a pallet R with a new tray T attached is provided at the upper part of the housing 21, and a tray for discharging the pallet R with an empty tray T attached at the lower part of the housing 21. A discharge device 25 is provided. In addition, a tray moving device 26 that moves the pallet R on which the tray T is attached between the tray stocker 23 and the component supply position A is provided at the front portion of the housing 21 on the component mounting apparatus 10 side.

この部品供給装置20では、ウエハカット部品Pがウエハ状態で収容されているトレイTがパレットRに取付けられてトレイ搬入装置24に搬入されると、トレイストッカ25が上昇しトレイTがパレットRと共にトレイストッカ25の最上段である一時収納段に移載される。そして、トレイストッカ25が下降しトレイTが部品供給位置Aの高さに位置決めされ、トレイ移動装置26によりトレイTがパレットRと共にトレイストッカ25の一時収納段から部品供給位置Aに引出される。   In the component supply device 20, when the tray T in which the wafer cut components P are accommodated in the wafer state is attached to the pallet R and is loaded into the tray carry-in device 24, the tray stocker 25 is lifted and the tray T is moved together with the pallet R. It is transferred to the temporary storage stage which is the uppermost stage of the tray stocker 25. Then, the tray stocker 25 is lowered, the tray T is positioned at the height of the component supply position A, and the tray T is pulled together with the pallet R from the temporary storage stage of the tray stocker 25 to the component supply position A.

そして、トレイストッカ25が上昇し所定の収納段が部品供給位置Aの高さに位置決めされ、トレイ移動装置26によりトレイTがパレットRと共に部品供給位置Aからトレイストッカ25の所定の収納段に収納される。以下、同様にしてトレイストッカ25の各収納段にはウエハカット部品Pがウエハ状態で収容されているトレイTがパレットRと共に収納される。そして、部品実装の際にトレイストッカ25から部品供給位置Aに引出されたトレイT上のウエハカット部品Pは、後述する部品装着装置30の吸着ノズル39に吸着され、基板搬送装置50によって部品実装位置に位置決めされた基板S(図1参照)上に装着される。   Then, the tray stocker 25 is raised and the predetermined storage stage is positioned at the height of the component supply position A, and the tray T is stored in the predetermined storage stage of the tray stocker 25 from the component supply position A together with the pallet R by the tray moving device 26. Is done. In the same manner, the tray T in which the wafer cut parts P are stored in a wafer state is stored together with the pallet R in each storage stage of the tray stocker 25. Then, the wafer cut component P on the tray T pulled out from the tray stocker 25 to the component supply position A at the time of component mounting is sucked by a suction nozzle 39 of a component mounting device 30 to be described later, and the substrate transport device 50 mounts the component. It is mounted on the substrate S (see FIG. 1) positioned at the position.

図1に示すように、部品装着装置30は、XYロボットからなり、XYロボットは、基台31上に装架されて基板搬送装置50および部品供給装置20の上方に配設され、ガイドレール32に沿ってY軸方向に移動可能なY軸スライド33を備えている。Y軸スライド33は、Y軸サーボモータ34の出力軸に連結されたボールねじを有するボールねじ機構によってY軸方向に移動される。Y軸スライド33には、X軸スライド35がY軸方向と直交するX軸方向に移動可能に案内されている。Y軸スライド33にはX軸サーボモータ36が設置され、このX軸サーボモータ36の出力軸に回転連結されY軸スライド33に回転可能に軸承された図略のボールねじがX軸スライド35に固定されたボールナットと螺合することによってX軸スライド35がX軸方向に移動される。   As shown in FIG. 1, the component mounting device 30 includes an XY robot. The XY robot is mounted on a base 31 and is disposed above the substrate transfer device 50 and the component supply device 20. Is provided with a Y-axis slide 33 that can move in the Y-axis direction. The Y-axis slide 33 is moved in the Y-axis direction by a ball screw mechanism having a ball screw connected to the output shaft of the Y-axis servomotor 34. An X-axis slide 35 is guided by the Y-axis slide 33 so as to be movable in the X-axis direction orthogonal to the Y-axis direction. An X-axis servomotor 36 is installed on the Y-axis slide 33, and an unillustrated ball screw rotatably connected to the output shaft of the X-axis servomotor 36 and rotatably supported by the Y-axis slide 33 is attached to the X-axis slide 35. The X-axis slide 35 is moved in the X-axis direction by screwing with the fixed ball nut.

X軸スライド35上には、部品装着ヘッド36が設けられている。図2に示すように、部品装着ヘッド36には、基板認識用カメラ37およびZ軸回りを回転可能な回転体38が保持されている。この回転体38には、ウエハカット部品Pを吸着する吸着ノズル39を着脱可能に保持するZ軸方向に移動可能なノズルホルダ40が回転軸線を中心とする一円周上に等角度間隔で複数(例えば、12個)設けられている。また、図1に示すように、基台31上には、部品認識用カメラ41が固定されている。なお、1本の吸着ノズル39を備えた部品装着ヘッド36の構成としてもよい。   On the X-axis slide 35, a component mounting head 36 is provided. As shown in FIG. 2, the component mounting head 36 holds a board recognition camera 37 and a rotating body 38 that can rotate about the Z axis. The rotating body 38 includes a plurality of nozzle holders 40 that are movable in the Z-axis direction that detachably hold the suction nozzle 39 that sucks the wafer-cut component P, and that are equiangularly spaced on the circumference of the rotation axis. (For example, 12) are provided. Further, as shown in FIG. 1, a component recognition camera 41 is fixed on the base 31. The component mounting head 36 having one suction nozzle 39 may be used.

この部品装着装置30では、部品実装位置に位置決めされた基板S上に設けられた基板マークが、基板認識用カメラ37により検出される。そして、この基板マークの位置に基づいて部品装着ヘッド36がXY方向に位置補正される。また、吸着ノズル39に吸着されたウエハカット部品Pは、部品認識用カメラ41により部品供給装置20の部品供給位置Aから基板S上の所定位置に移動する途中で撮像され、吸着ノズル39の中心に対するウエハカット部品Pの芯ずれ等が検出される。そして、この芯ずれ等に基づいて部品装着ヘッド36のXY方向等の移動量が補正さる。これにより、ウエハカット部品Pは基板S上の定められた座標位置に正確に装着される。   In the component mounting apparatus 30, the substrate mark provided on the substrate S positioned at the component mounting position is detected by the substrate recognition camera 37. Then, the position of the component mounting head 36 is corrected in the XY directions based on the position of the board mark. Further, the wafer cut component P sucked by the suction nozzle 39 is captured by the component recognition camera 41 while moving from the component supply position A of the component supply apparatus 20 to a predetermined position on the substrate S, and the center of the suction nozzle 39 is captured. A misalignment of the wafer-cut component P with respect to is detected. Based on this misalignment or the like, the movement amount of the component mounting head 36 in the XY direction or the like is corrected. As a result, the wafer cut part P is accurately mounted at a predetermined coordinate position on the substrate S.

図1に示すように、基板搬送装置50は、一例として、2台の搬送装置51,52を並設したダブルコンベアタイプのものからなっている。搬送装置51,52は、部品装着装置30の基台31上にそれぞれ一対のガイドレール53a,53bを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール53a,53bによりそれぞれ案内される基板Sを支持して搬送する図略の一対のコンベアベルトを互いに対向させて並設して構成されている。また、基板搬送装置50には、所定位置に搬送された基板Sを持ち上げてクランプする図略のクランプ装置が設けられている。   As shown in FIG. 1, the board | substrate conveyance apparatus 50 consists of a thing of the double conveyor type which arranged two conveyance apparatuses 51 and 52 in parallel as an example. The conveying devices 51 and 52 are respectively guided in parallel by a pair of guide rails 53a and 53b facing each other in parallel on the base 31 of the component mounting device 30, respectively. A pair of unillustrated conveyor belts that support and transport the substrate S are arranged in parallel so as to face each other. In addition, the substrate transport device 50 is provided with an unillustrated clamp device that lifts and clamps the substrate S transported to a predetermined position.

この基板搬送装置50では、ウエハカット部品Pを実装する基板Sは、ガイドレール53a,53bにより案内されつつコンベアベルトによりX軸方向に部品実装位置まで搬送される。部品実装位置に搬送された基板Sは、クランプ装置によって部品装着位置に位置決めクランプされる。   In this substrate transport apparatus 50, the substrate S on which the wafer cut component P is mounted is transported to the component mounting position in the X-axis direction by the conveyor belt while being guided by the guide rails 53a and 53b. The substrate S transported to the component mounting position is positioned and clamped at the component mounting position by a clamp device.

基板搬送装置50により搬送され部品実装装置10により部品実装される基板Sとしては、例えば、図3(A)に示すように、1枚でなる基板種Ssの基板S、又は図3(B)に示すように、同一基板種の複数の子基板Sttでなる基板種Stの基板S等がある。基板S(St)は1枚の状態で各ウエハカット部品Pが装着され、その後に各子基板Sttに分割される。部品装着装置30により基板S(Ss)又は子基板Sttでなる基板S(St)に装着されるウエハカット部品Pとしては、例えば、装着部品種がPaのウエハカット部品Pおよび装着部品種がPbのウエハカット部品P等がある。ウエハカット部品P(Pa又はPb)は、例えば、図4に示すように、シリコン等でなるウエハUの表面全面に格子状(図示斑部分)に多数形成され、各部品ごとにカットされてウエハ状態で部品供給装置20により供給される。   As the substrate S that is transported by the substrate transport device 50 and mounted by the component mounting device 10, for example, as shown in FIG. 3A, the substrate S of a single substrate type Ss, or FIG. As shown in FIG. 4, there is a substrate S of a substrate type St composed of a plurality of sub-substrates Stt of the same substrate type. Each substrate S (St) is mounted with each wafer cut component P in a single state, and then divided into each sub-substrate Stt. As the wafer cut component P to be mounted on the substrate S (St) made of the substrate S (Ss) or the child substrate Stt by the component mounting apparatus 30, for example, the wafer cut component P whose mounting component type is Pa and the mounting component type is Pb. There are wafer cut parts P and the like. For example, as shown in FIG. 4, a number of wafer cut parts P (Pa or Pb) are formed in a lattice (illustration spots) on the entire surface of a wafer U made of silicon or the like, and the wafer cut parts P are cut into individual parts. It is supplied by the component supply device 20 in a state.

制御装置1のウエハカット部品装着部は、部品供給位置Aに供給された複数のウエハカット部品Pを、連続して位置することにより特性変化が小さいウエハカット部品順に採取して部品実装位置に位置決めされた基板S上の装着点に装着する制御を行う。この部品採取工程としては、例えば、図5(A)の矢印で示すように、ウエハUの最上段左端から右方向にウエハカット部品Pを順次採取し、最上段右端に達したら一段下の右端に移動して該右端から左方向にウエハカット部品Pを順次採取し、左端に達したら一段下の左端に移動して該左端から右方向にウエハカット部品Pを順次採取するというジグザグ状にウエハカット部品Pを順次採取する工程がある。   The wafer cut component mounting part of the control device 1 collects a plurality of wafer cut components P supplied to the component supply position A in succession and collects them in the order of wafer cut components with small characteristic changes and positions them at the component mounting position. The mounting control is performed on the mounting point on the substrate S. For example, as shown in the arrow in FIG. 5A, the part collecting step sequentially collects the wafer cut parts P from the left end of the uppermost stage of the wafer U in the right direction and reaches the right end of the uppermost stage. The wafer cut parts P are sequentially collected from the right end to the left and moved to the left end when the left end is reached, and the wafer cut parts P are sequentially collected from the left end to the right in a zigzag shape. There is a step of sequentially collecting cut parts P.

また、別の部品採取工程としては、例えば、図5(B)の矢印で示すように、ウエハUの最外周から内周に向かって螺旋状にウエハカット部品Pを順次採取する工程がある。作業者は、部品採取工程のプログラムを図略の統括制御装置の記憶部に記憶しておく。一般的に、ウエハカット部品Pの特性は隣接するウエハカット部品P同士においてある程度連続性があるので、上述のウエハカット部品Pの採取工程によれば、ウエハカット部品Pの特性が略同一となるようにウエハカット部品Pを基板S上に実装することができる。   Further, as another part collecting step, for example, there is a step of sequentially collecting the wafer cut parts P in a spiral manner from the outermost periphery to the inner periphery of the wafer U as indicated by an arrow in FIG. The operator stores a part collection process program in a storage unit of a general control device (not shown). Generally, since the characteristics of the wafer cut parts P are somewhat continuous between adjacent wafer cut parts P, the characteristics of the wafer cut parts P are substantially the same according to the above-described sampling process of the wafer cut parts P. Thus, the wafer cut component P can be mounted on the substrate S.

また、作業者は、基板S上に装着する同一部品種のウエハカット部品P同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、基板Sを区画する複数のブロックを設定する。そして、基板Sの情報とブロックの情報とを関連付けたテーブルデータを予め作成して制御装置1のブロック記憶部に記憶しておく。ブロックとしては、具体的には、特性の揃ったウエハカット部品Pで構成される一連もしくは互いに関連した回路、又は多数の子基板が集合した多数枚取り基板中の子基板等がある。   Further, the operator sets a plurality of blocks that divide the substrate S for each range in which it is necessary to suppress the characteristic variation between the wafer cut components P of the same component type to be mounted on the substrate S within a predetermined range. . And the table data which linked | related the information of the board | substrate S and the information of a block is produced previously, and it memorize | stores in the block memory | storage part of the control apparatus 1. FIG. Specific examples of the block include a series of circuits composed of wafer-cut components P having uniform characteristics or mutually related circuits, or a sub-substrate in a multi-piece substrate in which a large number of sub-substrates are assembled.

例えば、図6に示すように、基板S(Ss)において、m個のウエハカット部品P(Pa)が装着される装着点eを含む範囲をブロックB(E)として設定し、n個のウエハカット部品P(Pa)が装着される装着点fを含む範囲をブロックB(F)として設定し、o個のウエハカット部品P(Pb)が装着される装着点gを含む範囲をブロックB(G)として設定する。そして、例えば、図7に示すように、基板Sの情報として、基板種Ssおよび子基板(基板種Ssは子基板でないので「−」の表示)等と、ブロックBの情報として、ブロック種E,F,G、装着点数m,n,o、装着部品種Pa,Pa,Pb、リカバリ許容数s,t,uおよび許容部品間距離v、w、x等とを関連付けたテーブルデータDを作成して制御装置1のブロック記憶部に記憶しておく。   For example, as shown in FIG. 6, on a substrate S (Ss), a range including a mounting point e on which m wafer cut parts P (Pa) are mounted is set as a block B (E), and n wafers are set. A range including the mounting point f where the cut part P (Pa) is mounted is set as a block B (F), and a range including the mounting point g where the o wafer cut parts P (Pb) are mounted is set as a block B ( G). For example, as shown in FIG. 7, as the information of the substrate S, the substrate type Ss and the child substrate (the substrate type Ss is not a child substrate, “−” is displayed) and the like, and the information of the block B is the block type E. , F, G, number of mounting points m, n, o, mounting component types Pa, Pa, Pb, allowable recovery number s, t, u and allowable component distances v, w, x, etc. are created. And stored in the block storage unit of the control device 1.

ここで、リカバリ許容数とは、ウエハカット部品Pの採取異常もしくはウエハカット部品Pの異常に対する部品採取のリカバリを考慮した所定の許容値のことである。また、許容部品間距離とは、ブロックB内へ装着される部品同士の供給ウエハ上の位置の距離の許容値のことであり、以下の式(1)で表される。
許容部品間距離=(供給ウエハ上における隣接するウエハカット部品P間の距離)
×(ブロックB内の装着点数+リカバリ許容数−1)・・・(1)
Here, the recovery allowable number is a predetermined allowable value that takes into account the recovery of sampling of the wafer-cut component P or the recovery of component with respect to the abnormality of the wafer-cut component P. Further, the allowable inter-component distance is an allowable value of the distance between the positions of the components mounted in the block B on the supply wafer, and is expressed by the following formula (1).
Allowable part distance = (distance between adjacent wafer cut parts P on the supply wafer)
X (number of mounting points in block B + allowable number of recovery-1) (1)

なお、許容部品間距離の代わりに、許容ピッチ数としてもよい。この許容ピッチ数とは、ブロックB内へ装着される部品同士の供給ウエハ上のピッチ数の許容値のことであり、以下の式(2)で表される。
許容ピッチ数=ブロックB内の装着点数+リカバリ許容数−1・・・(2)
In addition, it is good also as an allowable pitch number instead of the distance between allowable components. This allowable pitch number is an allowable value of the pitch number on the supply wafer between components mounted in the block B, and is expressed by the following equation (2).
Permissible pitch number = number of mounting points in block B + recovery permissible number−1 (2)

なお、テーブルデータDにおけるブロック種E,F,Gは、実装順に並べられているが、この実装順に限定されるものではなく、ウエハカット部品P(Pa)を連続で実装した後にウエハカット部品P(Pb)を連続で実装する順序でもよく、あるいはウエハカット部品P(Pa)とウエハカット部品P(Pb)とを交互に実装する順序でもよい。   The block types E, F, and G in the table data D are arranged in the mounting order, but are not limited to this mounting order. After the wafer cutting parts P (Pa) are continuously mounted, the wafer cutting parts P are arranged. The order in which (Pb) is continuously mounted may be used, or the order in which the wafer cut parts P (Pa) and the wafer cut parts P (Pb) are alternately mounted may be used.

制御装置1のウエハカット部品装着可否判定部は、ウエハカット部品Pの採取異常もしくはウエハカット部品Pの異常に対する部品採取のリカバリが発生した場合は、以下の処理を行う。すなわち、ブロックB内へ装着される部品同士の供給ウエハ上の位置の距離が所定の許容部品間距離を超え、もしくはピッチ数が所定の許容ピッチ数を超えると判断した場合には、ブロックBへの装着は不可能と判断する制御を行う。もしくは、部品採取のリカバリ回数が所定のリカバリ許容数を超えた場合にも、ブロックBへの装着は不可能と判断する制御を行う。一般的に、ウエハU内において離間した位置にあるウエハカット部品Pはある程度の特性のばらつきがあることが多いが、上述の制御方法によれば各ブロックB内においてウエハカット部品Pの特性がばらついた状態でウエハカット部品Pが実装されることを効率的に防止してウエハカット部品Pを基板S上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   The wafer cutting component mounting availability determination unit of the control device 1 performs the following process when the wafer cutting component P sampling abnormality or the component sampling recovery for the wafer cutting component P abnormality occurs. That is, if it is determined that the distance between the positions of the parts mounted on the block B on the supply wafer exceeds the predetermined allowable distance between the parts, or the pitch number exceeds the predetermined allowable pitch number, the process proceeds to the block B. Control is performed to determine that mounting is impossible. Alternatively, control is performed to determine that mounting on the block B is impossible even when the number of parts collection recovery times exceeds a predetermined allowable recovery number. In general, the wafer cut part P located at a distance in the wafer U often has some variation in characteristics, but according to the control method described above, the characteristics of the wafer cut part P vary within each block B. In this state, it is possible to efficiently prevent the wafer cut component P from being mounted and to efficiently mount the wafer cut component P on a plurality of mounting points on the substrate S.

例えば、図6に示す基板S(Ss)に設定されたブロックB(G)の装着点gの装着点数mが3個であるとし、ブロックB(G)における余裕数sを2個と設定した場合を考える。この場合、図8に示すウエハUにおける隣接するウエハカット部品P間の距離をdとすると、許容部品間距離は、式(1)により、4dとなる。また、許容ピッチ数は、4となる。よって、例えばNo.1のウエハカット部品P(Pb)から許容部品間距離が4y以内、もしくは許容ピッチ数が4以内のNo.5までのウエハカット部品P(Pb)でブロックB(G)の5個の装着点gへの実装を完了させる必要があり、この実装ができないときはブロックB(G)におけるウエハカット部品P(Pb)の装着が不可能と判断する。   For example, assuming that the number m of mounting points g of the mounting points g of the block B (G) set on the substrate S (Ss) shown in FIG. 6 is 3, the margin number s in the block B (G) is set to two. Think about the case. In this case, if the distance between adjacent wafer cut parts P in the wafer U shown in FIG. 8 is d, the allowable part distance is 4d according to the equation (1). The allowable pitch number is 4. Therefore, for example, no. No. 1 in which the distance between the allowable parts from the wafer cut part P (Pb) 1 is within 4y or the allowable pitch number is within 4. It is necessary to complete the mounting of the block B (G) to the five mounting points g with the wafer cutting parts P (Pb) up to 5, and when this mounting is impossible, the wafer cutting parts P (in the block B (G) It is determined that the mounting of Pb) is impossible.

また、制御装置1のウエハカット部品装着可否判定部は、ウエハ状態で供給されたウエハカット部品Pの残数がブロックBに含まれる装着点数とリカバリ許容数との和未満である場合には、ブロックBへの装着は不可能と判断する制御を行う。一般的に、異なるウエハUにおけるウエハカット部品Pは特性のばらつきがあることが多いが、上述の制御方法によれば、各ブロックB内においてウエハカット部品Pの特性がばらついた状態でウエハカット部品Pが実装されることを効率的に防止してウエハカット部品Pを基板S上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   Further, the wafer cutting component mounting availability determination unit of the control device 1 determines that the remaining number of wafer cutting components P supplied in the wafer state is less than the sum of the mounting points included in the block B and the recovery allowable number. Control is performed to determine that mounting on the block B is impossible. In general, the wafer cut parts P in different wafers U often have variations in characteristics. However, according to the control method described above, the wafer cut parts P are in a state in which the characteristics of the wafer cut parts P vary in each block B. It is possible to efficiently prevent the P from being mounted and to efficiently mount the wafer cut component P at a plurality of mounting points on the substrate S.

例えば、図6に示す基板S(Ss)に設定されたブロックB(E)の装着点eの装着点数mが5個であるとし、ブロックB(E)における余裕数sを3個と設定した場合を考える。この場合、ウエハ状態で供給されたウエハカット部品Pが8個未満しか残っていないときは、ブロックB(E)への装着は不可能と判断する。   For example, the number m of mounting points e of the mounting points e of the block B (E) set on the substrate S (Ss) shown in FIG. 6 is five, and the margin number s in the block B (E) is set to three. Think about the case. In this case, when there are less than eight wafer cut parts P supplied in the wafer state, it is determined that mounting on the block B (E) is impossible.

次に、制御装置1により基板SのブロックB内にウエハカット部品Pを装着する動作について、図9に示すフローチャート、図6の基板Sに設定されるブロックBを示す図、および図7のテーブルデータDを参照して説明する。制御装置1は、統括制御装置から実装対象の基板Sの情報(基板種Ssおよび子基板−)を取得し(ステップ1)、該基板種SsのブロックBの情報(ブロック種E,F,G、装着点数m,n,o、装着部品種Pa,Pa,Pb、リカバリ許容数s,t,uおよび許容部品間距離v、w、x)を取得する(ステップ2)。   Next, regarding the operation of mounting the wafer cutting component P in the block B of the substrate S by the control device 1, the flowchart shown in FIG. 9, the diagram showing the block B set on the substrate S in FIG. 6, and the table in FIG. This will be described with reference to data D. The control device 1 acquires information on the board S to be mounted (board type Ss and child board) from the overall control device (step 1), and information on the block B of the board type Ss (block types E, F, G). , The number of mounting points m, n, o, the mounting component types Pa, Pa, Pb, the allowable recovery numbers s, t, u and the allowable inter-component distances v, w, x) are acquired (step 2).

制御装置1は、最初に実装する現ブロックB(E)内に装着されるウエハカット部品P(Pa)の部品残数、すなわち、部品供給位置Aに引出されているトレイT内のウエハカット部品P(Pa)の部品残数を読込み(ステップ3)、読込んだ部品残数が現ブロックB(E)内の装着点数(m)とリカバリ許容数(s)との和未満であるか否かを判断する(ステップ4)。そして、読込んだ部品残数が現ブロックB(E)内の装着点数(m)とリカバリ許容数(s)との和以上であると判断したときは、部品供給位置Aに引出されているウエハUの所定のウエハカット部品P(Pa)、例えば、図8に示すNo.1のウエハカット部品P(Pa)上に吸着ノズル39を位置決めして該ウエハカット部品P(Pa)を吸着ノズル39により採取する。そして、部品採取回数yに「1」を加算する(ステップ5)。   The control device 1 determines the number of remaining wafer cut parts P (Pa) to be mounted in the current block B (E) to be mounted first, that is, the wafer cut parts in the tray T drawn to the part supply position A. The remaining number of parts of P (Pa) is read (step 3), and the read number of remaining parts is less than the sum of the number of mounting points (m) in the current block B (E) and the allowable number of recovery (s). (Step 4). When it is determined that the read remaining component number is equal to or greater than the sum of the number of mounting points (m) in the current block B (E) and the allowable recovery number (s), it is drawn to the component supply position A. A predetermined wafer cut part P (Pa) of the wafer U, for example, No. shown in FIG. The suction nozzle 39 is positioned on one wafer cut part P (Pa), and the wafer cut part P (Pa) is collected by the suction nozzle 39. Then, “1” is added to the number y of parts collection (step 5).

制御装置1は、採取したウエハカット部品P(Pa)を部品認識用カメラ41により撮像して検査し(ステップ6)、採取したウエハカット部品P(Pa)の検査結果が良であるか否かを判断する(ステップ7)。そして、採取したウエハカット部品P(Pa)の検査結果が良であると判断したときは、採取したウエハカット部品P(Pa)を現ブロックB(E)内の装着点(e)に装着し(ステップ8)、現ブロックB(E)内での部品装着が完了したか否かを判断する(ステップ9)。   The control device 1 picks up and inspects the collected wafer cut part P (Pa) with the part recognition camera 41 (step 6), and determines whether the inspection result of the collected wafer cut part P (Pa) is good. Is determined (step 7). When it is determined that the inspection result of the collected wafer cut part P (Pa) is good, the collected wafer cut part P (Pa) is mounted on the mounting point (e) in the current block B (E). (Step 8), it is determined whether or not component mounting in the current block B (E) is completed (Step 9).

制御装置1は、現ブロックB(E)内での部品装着がまだ完了していないと判断したときは、吸着ノズル39を先ほど採取したNo.1のウエハカット部品P(Pa)に隣接するNo.2のウエハカット部品P(Pa)上に吸着ノズル39を位置決めする(ステップ13)。そして、ステップ5に戻って該ウエハカット部品P(Pa)を吸着ノズル39により採取し、部品採取回数yに「1」を加算してステップ6以降の処理を実行する。   When the control device 1 determines that the component mounting in the current block B (E) is not yet completed, the controller 1 collects the suction nozzle 39 previously. No. 1 adjacent to the wafer cut part P (Pa). The suction nozzle 39 is positioned on the second wafer cut part P (Pa) (step 13). Then, returning to step 5, the wafer cut component P (Pa) is sampled by the suction nozzle 39, and "1" is added to the component sampling frequency y, and the processing from step 6 is executed.

一方、ステップ9において、制御装置1は、現ブロックB(E)内での部品装着が完了したと判断したときは、基板S(Ss)において全ブロックBの部品装着が終了したか否かを判断し(ステップ14)、全ブロックBの部品装着が終了していないときはステップ3に戻って上述の処理を実行し、全ブロックBの部品装着が終了しているときは実装処理を停止する。   On the other hand, when the control device 1 determines in step 9 that the component mounting in the current block B (E) has been completed, it is determined whether or not the component mounting of all the blocks B has been completed on the board S (Ss). Judgment is made (step 14), and if the component mounting of all the blocks B has not been completed, the process returns to step 3 and the above-described processing is executed. .

一方、ステップ7において、制御装置1は、採取したウエハカット部品P(Pa)の検査結果が不良であると判断したときは、該ウエハカット部品P(Pa)を廃棄する(ステップ10)。そして、部品採取回数yから「1」を減算した値に、ウエハU上の隣接するウエハカット部品P(Pa)間の距離dを積算して、ブロックB(E)内へ装着されるウエハカット部品P(Pa)同士のウエハU上の位置の距離を求める(ステップ11)。そして、求めた上記距離が所定の許容部品間距離(v)を超えたか否かを判断する(ステップ12)。   On the other hand, when it is determined in step 7 that the inspection result of the collected wafer cut part P (Pa) is defective, the control apparatus 1 discards the wafer cut part P (Pa) (step 10). Then, the distance d between adjacent wafer cut parts P (Pa) on the wafer U is added to the value obtained by subtracting “1” from the number of parts collected y, and the wafer cut mounted in the block B (E) is added. The distance between the positions of the parts P (Pa) on the wafer U is obtained (step 11). Then, it is determined whether or not the obtained distance exceeds a predetermined allowable component distance (v) (step 12).

制御装置1は、求めた上記距離が所定の許容部品間距離(v)を超えていないと判断したときは、吸着ノズル39を先ほど採取したNo.1のウエハカット部品P(Pa)に隣接するNo.2のウエハカット部品P(Pa)上に吸着ノズル39を位置決めし(ステップ13)、ステップ5に戻って該ウエハカット部品P(Pa)を吸着ノズル39により採取し、ステップ6以降の処理を実行する。なお、本実施形態の部品実装装置10は複数の吸着ノズル39を備えているので、現ブロックB(E)に含まれる装着点数(m)と余裕数(s)との和のウエハカット部品P(Pa)を一回で採取可能であり、現ブロックB(E)におけるリカバリを含む部品装着の制御時間を大幅に短縮することができる。   When the control device 1 determines that the obtained distance does not exceed the predetermined allowable inter-component distance (v), the No. No. 1 adjacent to the wafer cut part P (Pa). The suction nozzle 39 is positioned on the second wafer cut part P (Pa) (step 13), the process returns to step 5 and the wafer cut part P (Pa) is sampled by the suction nozzle 39, and the processing after step 6 is executed. To do. Since the component mounting apparatus 10 of the present embodiment includes a plurality of suction nozzles 39, the wafer cut component P is the sum of the number of mounting points (m) and the number of margins (s) included in the current block B (E). (Pa) can be collected at a time, and the component mounting control time including recovery in the current block B (E) can be greatly shortened.

一方、ステップ12において、求めた上記距離が所定の許容部品間距離(v)を超えていると判断したときは、現ブロックB(E)内の部品装着が不可能と判断する(ステップ15)。そして、部品採取回数yをリセットし(ステップ16)、基板S(Ss)において全ブロックBの部品装着が終了したか否かを判断し(ステップ14)、全ブロックBの部品装着が終了していないときはステップ3に戻って上述の処理を実行し、全ブロックBの部品装着が終了しているときは実装処理を停止する。   On the other hand, when it is determined in step 12 that the obtained distance exceeds the predetermined allowable inter-component distance (v), it is determined that component mounting in the current block B (E) is impossible (step 15). . Then, the component collection count y is reset (step 16), and it is determined whether or not the mounting of all the blocks B on the board S (Ss) is completed (step 14), and the mounting of all the blocks B is completed. If not, the process returns to step 3 to execute the above-described processing. If the component mounting of all the blocks B has been completed, the mounting processing is stopped.

一方、ステップ4において、制御装置1は、読込んだ部品残数が現ブロックB(E)内の装着点数(m)とリカバリ許容数(s)との和未満であると判断したときは、現ブロックB(E)に装着されるウエハカット部品P(Pa)と同一のウエハカット部品P(Pa)が装着される次ブロックBの有無を判断し(ステップ17)、次ブロックBが有ると判断したときは、ステップ3において読込んだ部品残数が次ブロックB(F)の装着点数(n)とリカバリ許容数(t)との和未満であるか否かを判断する(ステップ18)。そして、部品残数が次ブロックB(F)の装着点数(n)とリカバリ許容数(t)との和以上であると判断したときは、次ブロックB(F)内の装着を現ブロックB(E)内の装着よりも優先して実行するためにステップ5に進んで上述の処理を実行する。   On the other hand, when the controller 1 determines in step 4 that the remaining number of parts read is less than the sum of the number of mounting points (m) in the current block B (E) and the allowable recovery number (s), It is determined whether or not there is a next block B on which the same wafer cut part P (Pa) as the wafer cut part P (Pa) to be attached to the current block B (E) is attached (step 17). If it is determined, it is determined whether or not the number of remaining parts read in step 3 is less than the sum of the number of mounting points (n) of the next block B (F) and the allowable recovery number (t) (step 18). . When it is determined that the remaining number of parts is equal to or greater than the sum of the number of mounting points (n) of the next block B (F) and the allowable number of recovery (t), mounting in the next block B (F) In order to execute with priority over the mounting in (E), the process proceeds to step 5 to execute the above-described processing.

一方、制御装置1は、ステップ17において、現ブロックB(E)に装着されるウエハカット部品P(Pa)と同一のウエハカット部品P(Pa)が装着される次ブロックBが無いと判断したとき、また、ステップ18において、部品残数が次ブロックB(F)の装着点数(n)とリカバリ許容数(t)との和未満であると判断したときは、実装対象の基板S(Ss)が子基板Sttでなる基板S(St)であるか否かを判断し(ステップ19)、実装対象の基板S(Ss)が子基板Sttでなる基板S(St)でないと判断したときは該基板S(Ss)の部品装着が不可能と判断し(ステップ20)、実装処理を停止する。   On the other hand, the controller 1 determines in step 17 that there is no next block B in which the same wafer cut component P (Pa) as the wafer cut component P (Pa) mounted in the current block B (E) is mounted. When it is determined in step 18 that the number of remaining parts is less than the sum of the number of mounting points (n) of the next block B (F) and the allowable number of recovery (t), the board S (Ss to be mounted) ) Is a substrate S (St) made of the child substrate Stt (step 19), and when it is judged that the substrate S (Ss) to be mounted is not the substrate S (St) made of the child substrate Stt It is determined that component mounting of the board S (Ss) is impossible (step 20), and the mounting process is stopped.

一方、ステップ19において、制御装置1は、実装対象の基板Sが子基板Sttでなる基板S(St)であると判断したときは、該子基板Sttの部品装着が不可能と判断する(ステップ21)。そして、その基板S(St)における次の子基板Sttの有無を確認し(ステップ22)、次の子基板Sttが有ると判断したときは、ステップ3に戻って次の子基板SttのブロックBに装着されるウエハカット部品Pの部品残数を読込み、ステップ4以降の処理を実行する。一方、ステップ22において、次の子基板Sttが無いと判断したときは実装処理を停止する。   On the other hand, when the control device 1 determines in step 19 that the substrate S to be mounted is the substrate S (St) that is the child substrate Stt, it determines that component mounting of the child substrate Stt is impossible (step S1). 21). Then, the presence or absence of the next child substrate Stt in the substrate S (St) is confirmed (step 22). If it is determined that there is the next child substrate Stt, the process returns to step 3 to block B of the next child substrate Stt. The remaining number of parts of the wafer cut part P to be mounted on is read, and the processes after step 4 are executed. On the other hand, when it is determined in step 22 that there is no next child board Stt, the mounting process is stopped.

以上のように、本実施形態の部品実装装置10によれば、図9のステップ13等において、制御装置1のウエハカット部品装着部は、ウエハカット部品Pを、連続して位置することにより特性変化が小さい部品順に採取して基板S上の装着点に装着する制御を行う。一般的に、ウエハカット部品Pの特性は隣接するウエハカット部品P同士においてある程度連続性があるので、上述の制御によりウエハカット部品Pの特性が略同一となるようにウエハカット部品Pを実装することができる。   As described above, according to the component mounting apparatus 10 of the present embodiment, in step 13 of FIG. 9 and the like, the wafer cut component mounting unit of the control device 1 has the characteristic that the wafer cut component P is continuously positioned. Control is performed so that components with the smallest change are collected in order and mounted on the mounting points on the substrate S. In general, since the characteristics of the wafer cut parts P are somewhat continuous between adjacent wafer cut parts P, the wafer cut parts P are mounted so that the characteristics of the wafer cut parts P are substantially the same by the control described above. be able to.

また、制御装置1のブロック記憶部には、装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、基板を区画する複数のブロックを記憶しておく。そして、図9のステップ12等において、制御装置1のウエハカット部品装着可否判定部は、部品採取異常もしくは部品異常に対する部品採取のリカバリの発生により、供給ウエハU上の部品同士の位置の距離が所定の許容部品間距離を超え、もしくはピッチ数が所定の許容ピッチ数を超える場合には、ブロックBへの装着は不可能と判断する。一般的に、ウエハU内において離間した位置にあるウエハカット部品Pはある程度の特性のばらつきがあることが多いが、上述の制御方法によれば、各ブロックB内においてウエハカット部品Pの特性がばらついた状態でウエハカット部品Pが実装されることを効率的に防止してウエハカット部品Pを基板S上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   Further, the block storage unit of the control device 1 stores a plurality of blocks that divide the substrate for each range in which it is necessary to suppress the characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range. . Then, in step 12 of FIG. 9 or the like, the wafer cutting component mounting availability determination unit of the control device 1 determines the distance between the positions of the components on the supply wafer U due to the occurrence of component sampling abnormality or recovery of component sampling for the component abnormality. If the distance between the predetermined allowable parts is exceeded or the number of pitches exceeds the predetermined allowable number of pitches, it is determined that mounting on the block B is impossible. In general, the wafer cut parts P located at positions separated in the wafer U often have some characteristic variation. However, according to the control method described above, the characteristics of the wafer cut parts P in each block B are different. The wafer cut component P can be efficiently mounted on a plurality of mounting points on the substrate S by efficiently preventing the wafer cut component P from being mounted in a dispersed state.

また、図9のステップ4等において、制御装置1のウエハカット部品装着可否判定部は、ウエハカット部品Pの残数がブロックBに含まれる装着点の個数とリカバリ許容数との和未満である場合には、ブロックBへの装着は不可能と判断する。一般的に、異なるウエハUにおけるウエハカット部品Pは特性のばらつきがあることが多いが、上述の制御方法によれば各ブロックB内においてウエハカット部品Pの特性がばらついた状態でウエハカット部品Pが実装されることを効率的に防止してウエハカット部品Pを基板S上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   In step 4 in FIG. 9 and the like, the wafer cut component mounting availability determination unit of the control device 1 has a remaining number of wafer cut components P that is less than the sum of the number of mounting points included in the block B and the allowable recovery number. In this case, it is determined that mounting on the block B is impossible. In general, the wafer cut parts P in different wafers U often have variations in characteristics. However, according to the above-described control method, the wafer cut parts P are in a state where the characteristics of the wafer cut parts P vary in each block B. The wafer cut component P can be efficiently mounted at a plurality of mounting points on the substrate S by efficiently preventing the mounting of the wafer cut component P.

また、図9のステップ18等において、制御装置1のウエハカット部品装着可否判定は、ウエハカット部品Pの残数が現ブロックBにおける装着点の個数とリカバリ許容数との和未満であるが次ブロックBにおける装着点の個数とリカバリ許容数との和以上であるときは、次ブロックBへの装着を行う制御が行われるので、ウエハカット部品の無駄を防止することができ、ウエハカット部品Pが装着された基板Sの製造コストを低減させることができる。   Further, in step 18 in FIG. 9 and the like, the determination as to whether or not the wafer cutting component P can be mounted by the control device 1 is as follows, although the remaining number of wafer cutting components P is less than the sum of the number of mounting points in the current block B and the allowable recovery number. When the number of mounting points in block B is equal to or greater than the sum of the allowable number of recovery, control for mounting on the next block B is performed, so that waste of wafer cut parts can be prevented, and wafer cut parts P The manufacturing cost of the substrate S on which is mounted can be reduced.

また、図9のステップ19等において、ブロックBを各子基板Stt内にて設定した場合、制御装置1により一のブロックBにてウエハカット部品Pの装着を不可能と判断したときは、該ブロックBを含む子基板Sttへのウエハカット部品Pの装着をスキップする制御が行われるので、不良となることが明らかな該子基板Sttにおける他のブロックBへのウエハカット部品Pの装着は行われず、多数のウエハカット部品Pが無駄になることを防止することができると共に実装コストを低減させることができる。   Further, when the block B is set in each sub-substrate Stt in step 19 in FIG. 9 or the like, when the control device 1 determines that the wafer cut part P cannot be mounted in one block B, Since the control for skipping the mounting of the wafer cut component P on the sub-substrate Stt including the block B is performed, the mounting of the wafer cut component P on the other block B in the sub-substrate Stt that is clearly defective is performed. Therefore, it is possible to prevent a large number of wafer cut parts P from being wasted and to reduce the mounting cost.

次に、制御装置1により基板SのブロックB内にウエハカット部品Pを装着する別の動作について、図9に示すフローチャートに対応させて示す図10のフローチャートを参照して説明する。この制御装置1の動作は、図9のフローチャートのステップ11,12,16のみが異なる動作となっており、以下では該当ステップに関係するステップのみを説明する。   Next, another operation for mounting the wafer cutting component P in the block B of the substrate S by the control device 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 10 corresponding to the flowchart of FIG. The operation of the control device 1 is different only in steps 11, 12, and 16 in the flowchart of FIG. 9, and only the steps related to the corresponding steps will be described below.

ステップ7において、制御装置1は、採取したウエハカット部品P(Pa)の検査結果が不良であると判断したときは、該ウエハカット部品P(Pa)を廃棄し(ステップ10)、現ブロックB(E)内におけるリカバリ回数zに「1」を加算する(ステップ31)。そして、リカバリ回数zがリカバリ許容数(s)以上であるか否かを判断する(ステップ32)。   In step 7, when the control apparatus 1 determines that the inspection result of the collected wafer cut part P (Pa) is defective, the wafer cut part P (Pa) is discarded (step 10), and the current block B “1” is added to the number of times of recovery z in (E) (step 31). Then, it is determined whether or not the number of recovery times z is equal to or greater than the allowable recovery number (s) (step 32).

制御装置1は、現ブロックB(E)内においてリカバリ回数zがリカバリ許容数(s)未満であると判断したときは、吸着ノズル39を先ほど採取したNo.1のウエハカット部品P(Pa)に隣接するNo.2のウエハカット部品P(Pa)上に吸着ノズル39を位置決めし(ステップ13)、ステップ5に戻って該ウエハカット部品P(Pa)を吸着ノズル39により採取し、ステップ6以降の処理を実行する。   When the control device 1 determines that the number of recovery times z is less than the allowable recovery number (s) in the current block B (E), the control device 1 selects the No. No. 1 adjacent to the wafer cut part P (Pa). The suction nozzle 39 is positioned on the second wafer cut part P (Pa) (step 13), the process returns to step 5 and the wafer cut part P (Pa) is sampled by the suction nozzle 39, and the processing after step 6 is executed. To do.

一方、ステップ32において、現ブロックB(E)内においてリカバリ回数zがリカバリ許容数(s)を超えていると判断したときは、現ブロックB(E)内の部品装着が不可能と判断する(ステップ15)。そして、リカバリ回数zをリセットし(ステップ36)、基板S(Ss)において全ブロックBの部品装着が終了したか否かを判断し(ステップ14)、全ブロックBの部品装着が終了していないときはステップ3に戻って上述の処理を実行し、全ブロックBの部品装着が終了しているときは実装処理を停止する。   On the other hand, if it is determined in step 32 that the number of times of recovery z exceeds the allowable recovery number (s) in the current block B (E), it is determined that component mounting in the current block B (E) is impossible. (Step 15). Then, the number of times of recovery z is reset (step 36), and it is determined whether or not the mounting of all blocks B on the board S (Ss) is completed (step 14), and the mounting of all blocks B is not completed. If so, the process returns to step 3 to execute the above-described processing, and when the component mounting of all the blocks B has been completed, the mounting processing is stopped.

以上のように、本実施形態の部品実装装置10によれば、図9のステップ31等において、制御装置1のウエハカット部品装着可否判定部は、ブロックBへのウエハカット部品Pの装着において部品採取異常もしくは部品異常に対する部品採取のリカバリ回数が所定のリカバリ許容数を超えた場合には、ブロックBへの装着は不可能と判断してスキップする。一般的に、ウエハU内において離間した位置にあるウエハカット部品Pはある程度の特性のばらつきがあることが多いが、上述の制御方法によれば、各ブロックB内においてウエハカット部品Pの特性がばらついた状態でウエハカット部品Pが実装されることを防止してウエハカット部品Pを基板S上の複数の装着点に効率的に装着することができる。   As described above, according to the component mounting apparatus 10 of the present embodiment, in step 31 of FIG. 9 and the like, the wafer cut component mounting availability determination unit of the control device 1 performs the component mounting of the wafer cut component P on the block B. If the number of parts collection recovery for a collection abnormality or a part abnormality exceeds a predetermined allowable number of recovery, it is determined that mounting on the block B is impossible and the process skips. In general, the wafer cut parts P located at positions separated in the wafer U often have some characteristic variation. However, according to the control method described above, the characteristics of the wafer cut parts P in each block B are different. The wafer cut component P can be prevented from being mounted in a dispersed state, and the wafer cut component P can be efficiently mounted on a plurality of mounting points on the substrate S.

1・・・制御装置(ウエハカット部品装着制御手段)、10・・・部品実装装置、20・・・部品供給装置、30・・・部品装着装置、50・・・基板搬送装置、P・・・ウエハカット部品、S・・・基板、B・・・ブロック。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Control apparatus (wafer cut component mounting control means), 10 ... Component mounting apparatus, 20 ... Component supply apparatus, 30 ... Component mounting apparatus, 50 ... Board conveyance apparatus, P ... -Wafer cut parts, S ... substrate, B ... block.

Claims (5)

部品実装ヘッドが部品供給装置から部品を採取し、部品実装位置に位置決めされた基板上の装着点に装着する部品実装装置において、
複数のウエハカット部品にカットされウエハ状態で部品供給位置に供給される前記複数のウエハカット部品を、連続して位置することにより特性変化が小さいウエハカット部品順に採取して前記部品実装位置に位置決めされた前記基板上の前記装着点に装着する制御を前記部品実装装置に行わせるウエハカット部品装着手段と、
装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、前記基板を区画する複数のブロックを設定し、前記基板の情報と前記ブロックの情報として少なくとも所定の許容部品間距離及び所定の許容ピッチ数を含む情報とを関連付けて記憶するブロック記憶手段と、
前記部品実装位置に位置決めされた前記基板の情報に基づいて前記ブロックの情報を取得し、前記ウエハカット部品の採取異常もしくは前記ウエハカット部品の異常に対する部品採取のリカバリの発生により、前記ブロック内へ装着される部品同士の供給ウエハ上の位置の距離が前記許容部品間距離を超え、もしくはピッチ数が前記許容ピッチ数を超えると判断した場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断するウエハカット部品装着可否判定手段と、を備えたことを特徴とする部品実装装置。
In a component mounting apparatus in which a component mounting head collects a component from a component supply device and mounts it on a mounting point on a board positioned at the component mounting position.
The plurality of wafer cut parts that are cut into a plurality of wafer cut parts and supplied to the part supply position in the wafer state are sequentially collected, and the wafer cut parts with the smallest characteristic change are collected in order and positioned at the part mounting position. Wafer cut component mounting means for causing the component mounting apparatus to perform control of mounting on the mounting point on the substrate,
A plurality of blocks that divide the substrate are set for each range in which it is necessary to suppress the characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range, and at least predetermined as the substrate information and the block information Block storage means for storing the information including the distance between the allowable parts and the information including the predetermined allowable pitch number in association with each other ;
Information on the block is acquired based on the information on the substrate positioned at the component mounting position, and the wafer cut component is collected into the block due to an abnormality in collecting the wafer cut component or an abnormality in the wafer cut component. distance position on the supply wafer between the parts to be mounted is greater than the distance between the allowable component, or if the number of pitches is determined to exceed the number of the allowable pitch is mounted to the block is determined to not be A component mounting apparatus comprising: a wafer cut component mounting availability determination unit.
部品実装ヘッドが部品供給装置から部品を採取し、部品実装位置に位置決めされた基板上の装着点に装着する部品実装装置において、
複数のウエハカット部品にカットされウエハ状態で部品供給位置に供給される前記複数のウエハカット部品を、連続して位置することにより特性変化が小さいウエハカット部品順に採取して前記部品実装位置に位置決めされた前記基板上の前記装着点に装着する制御を前記部品実装装置に行わせるウエハカット部品装着手段と、
装着する同一部品種の部品同士の特性バラツキを所定の範囲内に抑えることが必要な範囲毎に、前記基板を区画する複数のブロックを設定し、前記基板の情報と前記ブロックの情報として少なくとも所定のリカバリ許容数を含む情報とを関連付けて記憶するブロック記憶手段と、
前記部品実装位置に位置決めされた前記基板の情報に基づいて前記ブロックの情報を取得し、前記ブロックへの前記ウエハカット部品の装着において前記ウエハカット部品の採取異常もしくは前記ウエハカット部品の異常に対する部品採取のリカバリ回数が前記リカバリ許容数を超えた場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断してスキップするウエハカット部品装着可否判定手段と、を備えたことを特徴とする部品実装装置。
In a component mounting apparatus in which a component mounting head collects a component from a component supply device and mounts it on a mounting point on a board positioned at the component mounting position.
The plurality of wafer cut parts that are cut into a plurality of wafer cut parts and supplied to the part supply position in the wafer state are sequentially collected, and the wafer cut parts with the smallest characteristic change are collected in order and positioned at the part mounting position. Wafer cut component mounting means for causing the component mounting apparatus to perform control of mounting on the mounting point on the substrate,
A plurality of blocks that divide the substrate are set for each range in which it is necessary to suppress the characteristic variation between components of the same component type to be mounted within a predetermined range, and at least predetermined as the substrate information and the block information Block storage means for associating and storing information including an allowable number of recovery ,
The block information is acquired based on the information of the substrate positioned at the component mounting position, and the component for the wafer cut component sampling abnormality or the wafer cut component abnormality in mounting the wafer cut component to the block If the recovery times of sampling exceeds the recovery acceptable number, the component mounting apparatus is characterized in that and a wafer cut component mounting determination unit to skip it is determined that the attachment is not to the block .
請求項において、
前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、前記ウエハカット部品の残数が前記ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和未満である場合には、前記ブロックへの装着は不可能と判断することを特徴とする部品実装装置。
In claim 2 ,
The wafer cut component mounting availability determination unit determines that the mounting to the block is not possible when the number of remaining wafer cut components is less than the sum of the number of mounting points included in the block and the allowable recovery number. A component mounting apparatus characterized by being determined to be possible.
請求項2又は3において、
前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、前記ウエハカット部品の残数が現ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和未満であるが、次ブロックに含まれる前記装着点の個数と前記リカバリ許容数との和以上であるときは、前記次ブロックへの装着を前記現ブロックへの装着よりも優先して行うことを特徴とする部品実装装置。
In claim 2 or 3 ,
The wafer cut component mounting availability determination means is configured such that the remaining number of wafer cut components is less than the sum of the number of mounting points included in the current block and the allowable number of recovery, but the number of mounting points included in the next block A component mounting apparatus characterized in that when it is equal to or greater than the sum of the number and the allowable recovery number, mounting to the next block is performed with priority over mounting to the current block.
請求項1〜4の何れか一項において、
前記基板が、同一基板種の複数の子基板でなる基板であるとき、前記複数のブロックは、前記各子基板内にて設定されており、
前記ウエハカット部品装着可否判定手段は、一の前記ブロックにて前記ウエハカット部品の装着を不可能と判断したときは、該ブロックを含む前記子基板への前記ウエハカット部品の装着をスキップすることを特徴とする部品実装装置。
In any one of Claims 1-4,
When the substrate is a substrate composed of a plurality of sub-substrates of the same substrate type, the plurality of blocks are set in each sub-substrate,
When it is determined that the wafer cut component cannot be mounted in one block, the wafer cut component mountability determination unit skips mounting of the wafer cut component on the child substrate including the block. A component mounting apparatus characterized by
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