JP5735468B2 - 光ファイバおよびその製造方法、光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents

光ファイバおよびその製造方法、光ファイバ母材の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、光ファイバおよびその製造方法、光ファイバ母材の製造方法に関する。
空孔付き光ファイバは、導波方向に対して連続した空孔を複数有する光ファイバであり、その空孔により、従来の光ファイバでは実現できない光学特性が得られることが知られている。このような空孔付き光ファイバは、ホーリーファイバ(Holey Fiber、HF)とも呼ばれている。ホーリーファイバは、その導波構造によって、フォトニック結晶ファイバ(Photonic Crystal Fiber、PCF)や空孔アシストファイバ(Hole−Assisted Fiber、HAF)などの種類がある。
空孔付き光ファイバは、空孔が設けられた光ファイバ母材(空孔付きプリフォーム)を線引きすることによって得られる。
空孔付きプリフォームは、例えば、光ファイバ母材に対して、ドリルによる穿孔加工を行うことによって孔開するドリル法などの孔開方法によって得られる(例えば、特許文献1〜3参照)。
さらに、空孔付き光ファイバは、空孔内面の粗さや空孔中の洗浄度合いが損失に影響するため、空孔付きプリフォームの段階で、空孔内の平滑化処理、脱水処理、エッチング処理などが行われ、その後、線引き工程まで空孔内への水および不純物混入を防止するために、空孔末端が封止される。空孔付き光ファイバの線引きは、空孔付きプリフォームの一端から、空孔内を加圧し、その圧力を制御しながら行われる。これにより、所望の空孔径を有する空孔付き光ファイバが得られる(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−293562号公報 特開2003−206149号公報 特開2010−173917号公報
空孔付きプリフォームにおいて、長手方向と垂直な断面内における空孔の位置は、光ファイバ化後の光学特性に大きく影響することが知られている。したがって、所望の光学特性を有する空孔付き光ファイバを製造するためには、光ファイバ母材の断面において、予め定められた適正な位置であって、光ファイバ母材の長手方向に対して鉛直に、貫通孔を形成する必要がある。
光ファイバ母材に対する貫通孔の形成工程においては、ドリルによる穿孔加工により、穿孔工具であるドリルツールを回転させながら、光ファイバ母材の軸方向に沿って、貫通孔を形成する。
穿孔加工に用いられる穿孔装置は、回転体のスピンドルと、穿孔加工に用いられるドリルツールと、光ファイバ母材を把持する把持部とから概略構成されている。また、ドリルツールは、中空のパイプと、その先端部に設けられ、円筒状のダイヤモンド砥粒が付着している砥石部とを備えている。砥石部の外径は、光ファイバ母材の外径、ファイバ化後の空孔の設計外径および光ファイバの外径に応じて決定されるが、約1.5〜15mmである。
空孔付き光ファイバの生産性の向上およびコストの低減を図るためには、より長い空孔付きプリフォームを作製する必要があり、光ファイバ材の長さとドリルツールの長さも長くしなければならない。しかしながら、石英は脆性材料のため、硬いが非常に脆く、壊れやすい材料であるので、その加工長に制限があり、例えば、現状の穿孔装置では、直径2mmの孔開けの場合、長さ200mm程度、直径4mmの孔開けの場合、長さ400mm程度の加工長が限界であった(特許文献2、3)。空孔の加工長に限界が生じる理由は、空孔の直径が小さくなる程、孔開けに使用するドリルツール、例えば、先端にダイヤモンド粒子を埋め込んだ、パイプ状のドリルツールの剛性に限界があり、加工長が長くなると、空孔の直進性が失われ、そして、光ファイバ断面における空孔位置の設計からズレが生じてしまい、加工精度が保てなくなるからである。
また、特許文献3には、空孔付き光ファイバの低コスト化を図るため、ドリル法により、最初に1本の短い光ファイバ母材に孔開し、次に、孔開した母材を数本に延伸・切断し、次に、それぞれの延伸・切断した孔開母材の外側に、ジャケット法やOVD法等により、石英ガラスを堆積して、数本の空孔付きプリフォームを作製し、最後に、それぞれの空孔付きプリフォームにダミー石英管を溶接し、空孔内を加圧しながら紡糸する方法が記載されている。
しかしながら、この方法では、孔開加工後に、孔開母材の延伸・切断工程、および、それぞれの空孔付きプリフォームとダミー石英管との溶接工程が必要となり、1本の長尺母材で、孔開・紡糸の製造方法より低コスト化を図るのは難しいと思われる。
このような光ファイバ母材における空孔の加工ズレを低減するためには、加工条件を最適化する必要がある。しかしながら、加工条件を最適化するだけでは、光ファイバ母材の長手方向において、貫通孔の位置ズレがゼロにならない。例えば、光ファイバ母材の長手方向において、貫通孔の位置ズレが起きると、貫通孔を形成する光ファイバ母材の加工終了端面で、空孔位置が所望の位置からかけ離れ、所望の光学特性が得られなくなってしまい、穿孔工程における製造歩留まりが悪くなってしまう。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、空孔付き光ファイバの長手方向に垂直な断面において、空孔の位置ズレを抑制した光ファイバおよびその製造方法、光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備えた光ファイバであって、前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、前記クラッド部は、ドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、前記空孔の直径をd、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrout、(Δrout−Δrin)/dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kとしたとき、前記空孔は前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下である領域(但し、傾斜率kが0%/μmとなる場合を除く)に設けられた光ファイバを提供する。
また、本発明は、コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備え、前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、前記空孔の直径をd、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrout、(Δrout−Δrin)/dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kとしたとき、前記空孔は前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下である領域(但し、傾斜率kが0%/μmとなる場合を除く)に設けられた光ファイバの製造方法であって、コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、を有し、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有する光ファイバ母材製造工程と、前記ドーパント添加領域に、前記コアを中心とする同心円上に複数の空孔を形成する空孔形成工程と、前記空孔の内表面を平滑化する空孔平滑化工程と、前記空孔内を加圧しながら、前記空孔付き光ファイバ母材を線引きする線引き工程と、を含み、前記空孔形成工程において、前記クラッド部のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとしたとき、前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率Kが−0.07%/mm以上0.07%/mm以下である領域(但し、傾斜率Kが0%/mmとなる場合を除く)に、前記空孔を形成する光ファイバの製造方法を提供する。
また、本発明は、コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備え、前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、前記空孔は前記ドーパント添加領域に設けられた光ファイバ母材の製造方法であって、コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、を有し、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有する光ファイバ母材の製造工程と、前記ドーパント添加領域に、前記コアを中心とする同心円上に複数の空孔を形成する空孔形成工程と、前記空孔の内表面を平滑化する空孔平滑化工程と、を含み、前記空孔形成工程において、前記クラッド部のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとしたとき、前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率Kが−0.07%/mm以上0.07%/mm以下である領域(但し、傾斜率Kが0%/mmとなる場合を除く)に、前記空孔を形成する光ファイバ母材の製造方法を提供する。
本発明によれば、空孔の位置ズレを抑制した光ファイバを提供することができる。
光ファイバ母材の屈折率プロファイルを示し、この光ファイバ母材の屈折率プロファイルが変化している領域において、ドリルによる穿孔加工を行った場合の一例を示す模式図である。 光ファイバ母材の屈折率プロファイルを示し、この光ファイバ母材の屈折率プロファイルが変化している領域において、ドリルによる穿孔加工を行う場合の他の例を示す模式図である。 光ファイバ母材の屈折率プロファイルを示し、この光ファイバ母材の屈折率プロファイルが変化している領域において、ドリルによる穿孔加工を行う場合の他の例を示す模式図である。 本発明の一実施形態における光ファイバ母材を示す概略断面図である。 本発明の一実施形態における光ファイバ母材の屈折率プロファイルを示し、この光ファイバ母材の屈折率プロファイルが変化している領域において、ドリルによる穿孔加工を行う場合の一例を示す模式図である。 本発明の一実施形態における光ファイバ母材の屈折率プロファイルを示し、この光ファイバ母材の屈折率プロファイルが変化している領域において、ドリルによる穿孔加工を行う場合の他の例を示す模式図である。 本発明の一実施形態における空孔付き光ファイバ母材を示す概略断面図である。 ドリルツールの一例を示す概略斜視図である。 ドリルツールを、ドリルチャックによりチャッキングしたときの様子を示す概略斜視図である。 ドリルツールによる穿孔加工を示す概略斜視図である。 本発明の一実施形態における空孔付き光ファイバを示す概略断面図である。 空孔付き光ファイバ母材の空孔位置の計測方法を示す模式図であり、(a)は空孔付き光ファイバ母材の斜視図、(b)は空孔付き光ファイバ母材の加工開始端面を示す側面図、(c)は空孔付き光ファイバ母材の加工終了端面を示す側面図である。 空孔付き光ファイバ母材の空孔の位置ズレ量ΔRと、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kとの関係を示すグラフである。 空孔付き光ファイバの空孔位置の計測方法を示す模式図であり、(a)は空孔付き光ファイバの斜視図、(b)は空孔付き光ファイバの加工開始端面を示す側面図、(c)は空孔付き光ファイバの加工終了端面を示す側面図である。 空孔付き光ファイバの空孔の位置ズレ量Δrと、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kとの関係を示すグラフである。 空孔付き光ファイバ母材における屈折率プロファイルの傾斜率Kと、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kとの関係を示すグラフである。
本発明の光ファイバおよびその製造方法、光ファイバ母材の製造方法の実施の形態について説明する。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
本発明者等は、鋭意検討を重ねた結果、光ファイバ母材の長手方向に垂直な断面における屈折率プロファイルが異なることによって、穿孔加工した空孔位置が、光ファイバ母材の長手方向において、屈折率プロファイルが傾斜している領域にてずれる傾向があることを見出した。すなわち、加工条件を最適化するだけでは、空孔の位置ズレを改善するには限界があることを見出した。
ここで、光ファイバ母材の屈折率プロファイルと、光ファイバ母材における空孔の加工ズレとの関係を説明する。
例えば、図1に示すような屈折率プロファイルを有する光ファイバ母材では、コア1の周囲を囲むクラッド部2に、屈折率プロファイルが変化している領域(屈折率プロファイルが平坦でない領域)2aが存在する。この領域2aでは、図1に示すように、純粋石英ガラスに対するクラッド部2の比屈折率差Δは、光ファイバ母材の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)増加している。この領域2aに対して、ドリルによる穿孔加工により空孔を形成すると、空孔の位置が光ファイバ母材の長手方向において、屈折率が低い部分側から屈折率が高い部分側に、すなわち、光ファイバ母材の径方向において、光ファイバ母材の中心側よりも外側にずれる傾向にある。
ここで、無添加の純粋石英ガラスの屈折率をn、クラッド部2のある部分において、ドーパントが添加された領域(ドーパント添加領域)があり、その部分の屈折率をnとしたとき、比屈折率差Δは、下記の式によって定義される。
Figure 0005735468
また、図2に示すような屈折率プロファイルを有する光ファイバ母材では、コア11の周囲を囲むクラッド部12に、屈折率プロファイルが変化している領域(屈折率プロファイルが平坦でない領域)12aが存在する。この領域12aでは、図2に示すように、純粋石英ガラスに対するクラッド部12の比屈折率差Δは、光ファイバ母材の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)減少している。この領域12aに対して、ドリルによる穿孔加工により空孔を形成すると、空孔の位置が光ファイバ母材の長手方向において、屈折率が低い部分側から屈折率が高い部分側に、すなわち、光ファイバ母材の径方向において、光ファイバ母材の外側よりも中心側にずれる傾向にある。
なお、図1または図2に示すような屈折率プロファイルを有する光ファイバ母材において、クラッド部2に、屈折率プロファイルが変化している領域2aが存在する理由は、光ファイバ母材を製造する際に、クラッド部2にフッ素または塩素を添加したことによって、クラッド部2の屈折率が僅かに低下したからである。
図1や図2に示すような屈折率プロファイルを有する光ファイバ母材に対して、図3に示すような屈折率プロファイルを有する光ファイバ母材では、コア21の周囲を囲むクラッド部22は、屈折率プロファイルが平坦になっている。本発明者等は、このように屈折率プロファイルが平坦なクラッド部22に対して、ドリルによる穿孔加工により空孔を形成すると、空孔の位置が光ファイバ母材の長手方向に対して鉛直になることを見出した。
以下、本発明を利用した6個の空孔を有する光ファイバ母材の製造方法、光ファイバの製造方法、および、この製造方法によって製造された光ファイバを具体的に説明する。なお、ここでは、6個の空孔を有する光ファイバ母材および光ファイバを例示するが、本発明はこれに限定されるものではなく、空孔の数、空孔の配列は異なっていてもよい。
「光ファイバ母材の製造方法」
図4に示すような中心部分にコア31を有し、その周囲にクラッド部32を有する光ファイバ母材30を作製する。
コア31は、ゲルマニウム(Ge)などのドーパントが添加された石英ガラスから構成されている。また、クラッド部32は、フッ素(F)、塩素(Cl)などのドーパントが添加されたドーパント添加領域を有する石英ガラスから構成されている。
光ファイバ母材30では、コア31の屈折率をn、クラッド部32の屈折率をnとすると、n<nの関係をなしている。
また、光ファイバ母材30は、例えば、図5または6に示すような屈折率プロファイルを有し、コア31の周囲を囲むクラッド部32のドーパント添加領域に、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している(屈折率プロファイルが平坦でない)領域32aが存在する。
光ファイバ母材30が、図5に示すような屈折率プロファイルを有する場合、上記の領域32aでは、純粋石英ガラスに対するクラッド部32のドーパント添加領域の比屈折率差Δは、光ファイバ母材30の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)僅かに増加している。
また、光ファイバ母材30が、図6に示すような屈折率プロファイルを有する場合、上記の領域32aでは、純粋石英ガラスに対するクラッド部32のドーパント添加領域の比屈折率差Δは、光ファイバ母材30の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)僅かに減少している。
このような構造を有する光ファイバ母材30の作製には、VAD(Vapor phase Axial Deposition)法やCVD(chemical vapor deposition)法などの一般的な光ファイバ母材の製造方法を適用することができる。
次に、クラッド部32のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32aに、ドリルによる穿孔加工により、コア31を中心とする同心円上に、等間隔に6個の空孔33を形成し、図7に示すような、空孔付き光ファイバ母材30Aを得る。
図8〜10を参照して、ドリルによる穿孔加工により、光ファイバ母材30に空孔33を形成する方法を具体的に説明する。
まず、クラッド部32のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32aに空孔33を形成するためのドリルツールを準備し、穿孔装置(図示略)のドリルチャックにチャッキングする。
図8は、ドリルツールの一例を示す概略斜視図である。
ドリルツール40は、パイプ41と、パイプ41の先端に設けられ、貫通孔を有する切削部42とから概略構成されている。
パイプ41は、円筒状の形状をしており、パイプ41の外径は、光ファイバ母材30に形成する空孔の直径よりも僅かに小さくなっている。
また、パイプ41の貫通孔と切削部42の貫通孔は繋がっており、そのためドリルツール40には、パイプ41の貫通孔と切削部42の貫通孔からなる貫通孔43が形成されている。
図9は、ドリルツール40を、ドリルチャック50によりチャッキングしたときの様子を示す概略斜視図である。
ドリルチャック50は、ドリルツール40を挿通するための貫通孔51と、フランジ52と、フランジ52に固定されたシャンク53とから概略構成されている。
シャンク53は、締め付け機構(図示略)により、シャンク53(ドリルチャック50)の先端側において、貫通孔51の大きさを変化させることができるように構成されている。したがって、締め付け機構により、貫通孔51の大きさを小さくすることにより、シャンク53の先端側において、貫通孔51に挿通されているドリルツール40がチャッキングされる。
次いで、ドリルツール40により、クラッド部32のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32aにおいて、光ファイバ母材30の長手方向に沿在するとともに、コア31を中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように6個の空孔33を形成する。
図10は、ドリルツールによる穿孔加工を示す概略斜視図である。
この穿孔加工においては、回転手段(図示略)により、ドリルチャック50を回転させながらクラッド部32に向かって進めることにより、ドリルツール40を回転させながらクラッド部32(光ファイバ母材30)の長手方向に沿って押し進めて、光ファイバ母材30の一端側からクラッド部32に空孔33を形成する。このとき、ドリルツール40の貫通孔43の後端側(切削部42が設けられているのとは反対側)から液体を導入する。この液体としては、例えば、水溶性切削液が用いられる。
貫通孔43内に導入された液体は、貫通孔43を通り、切削部42の先端から流出する。切削部42がクラッド部32の途中まで進んでいる状態では、クラッド部32の空孔33が貫通していないため、切削部42の先端から流出する液体は、行き場を失って、切削部42とクラッド部32の内壁面との間を逆流して、空孔33におけるドリルツール40が挿入されている側(すなわち、光ファイバ母材30の一端側)から排出される。したがって、空孔33がクラッド部32を貫通するまでは、切削部42とクラッド部32との摩擦により、クラッド部32の温度が過度に上昇することが、この液体の流れにより防止され、さらに穿孔により生じるガラス屑が液体と共にドリルツール40が挿入されている側から排出される。
このようにドリルツール40により、クラッド部32に対する穿孔加工を行い、クラッド部32(光ファイバ母材30)を長手方向に貫通する空孔33を形成する。
同様にして、他の空孔33も形成することにより、クラッド部32のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32aに、コア31を中心とする同心円上にほぼ等間隔に、6個の空孔33を形成する。
本実施形態では、光ファイバ母材30が、例えば、図5または6に示すような屈折率プロファイルを有している場合、以下のようにして、クラッド部32のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32aに空孔33を形成する。
この場合において、クラッド部32のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、空孔33とドーパント添加領域との境界部のうち、コア31に近い内側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、空孔33とドーパント添加領域との境界部のうち、コア31から遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dをドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとしたとき、ドーパント添加領域における、傾斜率Kが所定の範囲内の領域(屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域32a)に、空孔33を形成する。
傾斜率Kは−0.07%/mm以上0.07%/mm以下であることが好ましく、−0.03%/mm以上0.03%/mm以下であることがより好ましい。
クラッド部32のドーパント添加領域における傾斜率Kが所定の範囲内の領域、好ましくは傾斜率Kが上記の範囲内である領域に空孔33を形成すれば、ドリルによる穿孔加工により、光ファイバ母材30の長手方向に対して鉛直に(光ファイバ母材30の一端面と他端面における位置ズレ量が少なく)、空孔33を形成することができる。すなわち、図5に示すように、上記の領域32aにおいて、コア31に対するクラッド部32のドーパント添加領域の比屈折率差Δが、光ファイバ母材30の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)僅かに増加している場合、あるいは、図6に示すように、上記の領域32aにおいて、純粋石英ガラスに対するクラッド部32のドーパント添加領域の比屈折率差Δが、光ファイバ母材30の中心側から外側に向かって(径方向に向かって)僅かに減少している場合であっても、クラッド部32のドーパント添加領域における傾斜率Kが所定の範囲内の領域に空孔33を形成すれば、ドリルによる穿孔加工により、光ファイバ母材30の長手方向に対して鉛直に、空孔33を形成することができる。
次に、空孔33の内表面に対して、公知の方法により、研磨やエッチング加工を施すことにより、空孔33の内表面を平滑化し、図7に示すような、空孔付き光ファイバ母材30Aを得る。
「光ファイバおよびその光ファイバの製造方法」
次に、上記の方法で製造された空孔付き光ファイバ母材30Aを線引きすることにより、図11に示すような空孔付き光ファイバ60が得られる。
空孔付き光ファイバ母材30Aを線引きする方法としては、特に限定されるものではなく、公知の方法が用いられる。
また、線引き後の空孔付き光ファイバ60は、公知の手法により、各種樹脂で被覆することが好ましい。
空孔付き光ファイバ60は、中心部分にコア61を有し、その周囲にクラッド部62を有し、クラッド部62内に、コア61と平行に設けられた6個の空孔63とから概略構成されている。
6個の空孔63は、コア61を中心とする同心円上に、等間隔に配置されている。
また、クラッド部62は、ドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、クラッド部62のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域において、光ファイバ60の長手方向に沿在するとともに、コア61を中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、空孔63が設けられている。
空孔付き光ファイバ60では、空孔付き光ファイバ母材30Aの屈折率プロファイルが維持されるので、コア61の屈折率をn11、クラッド部62の屈折率をn12とすると、n12<n11の関係をなしている。
また、空孔付き光ファイバ60は、クラッド部62が、ドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、空孔63がドーパント添加領域に設けられ、空孔63の直径をd、空孔63とドーパント添加領域との境界部のうち、コア61に近い内側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、空孔63とドーパント添加領域との境界部のうち、コア61から遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔrout、(Δrout−Δrin)/dをドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kとしたとき、空孔63はドーパント添加領域における、傾斜率kが所定の範囲内の領域(屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域)に設けられている。
傾斜率kは−0.05%/μm以上0.05%/μm以下であることが好ましく、−0.04%/μm以上0.04%/μm以下であることがより好ましい。
クラッド部62のドーパント添加領域における傾斜率kが所定の範囲内の領域、好ましくは傾斜率Kが上記の範囲内である領域に空孔63が設けられていれば、空孔付き光ファイバ60は、空孔63の位置ズレ量(空孔付き光ファイバ60の一端面と他端面における空孔63の位置ズレ量)が少なく、波長分散特性に優れたものとなる。
以下、実施例および比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
[実施例1]
中心部分にコアを有し、その周囲にクラッド部を有する光ファイバ母材を作製した。
光ファイバ母材の外径は100mm、長さは1000mmであった。
また、コアは、ゲルマニウム(Ge)が添加された石英ガラスから構成され、クラッド部は、フッ素(F)が添加されたドーパント添加領域を有する石英ガラスから構成されていた。
次に、ドーパント添加領域に、ドリルによる穿孔加工により、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に6個の空孔を形成した。このとき、ドリルツールの先端の外径を3.0mmとし、穿孔加工による加工長を1000mmとし、光ファイバ母材の長手方向に沿って、直径3.0mmの貫通孔を形成し、空孔付き光ファイバ母材を得た。
クラッド部のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、空孔とドーパント添加領域との境界部のうち、コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、空孔とドーパント添加領域との境界部のうち、コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dをドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとし、傾斜率Kを算出した。
ここでは、空孔の直径Dを3.0mm、比屈折率差ΔRinを−0.0295%、比屈折率差ΔRoutを−0.0066%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kは0.008%/mmであった。
[比較例1]
実施例1と同様にして、空孔付き光ファイバ母材を得た。
実施例1と同様にして、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kを算出した。ここでは、空孔の直径Dを3.0mm、比屈折率差ΔRinを−0.2825%、比屈折率差ΔRoutを0.0485%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kは0.11%/mmであった。
[比較例2]
実施例1と同様にして、空孔付き光ファイバ母材を得た。
実施例1と同様にして、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kを算出した。ここでは、空孔の直径Dを3.0mm、比屈折率差ΔRinを−0.5043%、比屈折率差ΔRoutを0.0572%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kは0.187%/mmであった。
[比較例3]
実施例1と同様にして、空孔付き光ファイバ母材を得た。
実施例1と同様にして、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kを算出した。ここでは、空孔の直径Dを3.0mm、比屈折率差ΔRinを−0.2810%、比屈折率差ΔRoutを−0.5229%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kは−0.081%/mmであった。
[比較例4]
実施例1と同様にして、空孔付き光ファイバ母材を得た。
実施例1と同様にして、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kを算出した。ここでは、空孔の直径Dを3.0mm、比屈折率差ΔRinを0.0398%、比屈折率差ΔRoutを−0.4182%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kは−0.153%/mmであった。
[評価]
実施例1と比較例1〜4について、以下の方法により、空孔の位置ズレ量の評価を行った。
「空孔付き光ファイバ母材の空孔位置の計測による空孔の位置ズレ量の評価」
実施例1と比較例1〜4で得られた空孔付き光ファイバ母材について、図12に示すように、空孔付き光ファイバ母材100の加工開始端面101と加工終了端面102において、空孔103の位置を計測した。
ここで、加工開始端面101において、空孔付き光ファイバ母材100の中心(コア104の中心)から、6つの空孔103の中心までの距離をそれぞれRs1、Rs2、Rs3、Rs4、Rs5、Rs6とし、それぞれの距離を計測した。そして、これらの距離の平均値を加工開始端面101における空孔位置Rsとした。
同様に、加工終了端面102において、空孔付き光ファイバ母材100の中心(コア104の中心)から、6つの空孔103の中心までの距離をそれぞれRe1、Re2、Re3、Re4、Re5、Re6とし、それぞれの距離を計測した。そして、これらの距離の平均値を加工終了端面102における空孔位置Reとした。
そして、空孔付き光ファイバ母材100における空孔の位置ズレ量ΔRを|Rs−Re|とした。実施例1と比較例1〜4における空孔の位置ズレ量ΔRを測定した。結果を表1に示す。
ここで、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲は、下記式(1)のように定義される。
ΔR≦Δr/d×D (1)
上記式(1)において、Dは空孔付き光ファイバ母材の直径、dは空孔付き光ファイバ母材を線引きして得られた空孔付き光ファイバの直径を表す。ここでは、空孔付き光ファイバの直径dを、一般的な光ファイバの外径と同様に125μmとした。
また、上記式(1)において、Δrは光ファイバ化後の空孔位置の設計位置に対する位置ズレ量の許容範囲を表し、ここでは、後述するように、−0.4μm以上0.4μm以下とした。Δrが0.4μmを超えるか、あるいは、−0.4μm未満では、空孔付き光ファイバの波長分散特性および遮断波長特性などの光学特性が設計より外れる。
実施例1と比較例1〜4における空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが、後述する許容範囲内であれば「OK」と判定し、上記の許容範囲外であれば「NG」と判定した。結果を表1に示す。
Figure 0005735468
実施例1では、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kが0.008%/mmであった。また、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが0.13mmであり、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲内であった。
比較例1では、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kが0.11%/mmであった。また、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが0.45mmであり、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲を超えていた。
比較例2では、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kが0.187%/mmであった。また、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが0.99mmであり、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲を超えていた。
比較例3では、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kが−0.081%/mmであった。また、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが−0.38mmであり、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲を超えていた。
比較例4では、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kが−0.153%/mmであった。また、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRが−0.63mmであり、空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲を超えていた。
このように、屈折率プロファイルの傾斜率Kと、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRとが密接に関係していることが確認された。
また、表1に示した空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRと空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kとをプロットし、図13に示すようなグラフを作成し、空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRと空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kとの関係を示す下記の近似式(2)を得た。
ΔR=4.7K (2)
空孔付き光ファイバ母材における空孔の位置ズレ量ΔRの許容範囲は、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δr、および、空孔付き光ファイバ母材と空孔付き光ファイバの比例式(下記式(3))により算出される。
ΔR=(Δr/d)×D (3)
但し、上記の式(3)において、Dは空孔付き光ファイバ母材の直径、dは空孔付き光ファイバの直径(=125μm)を表す。
空孔付き光ファイバ母材の直径Dを100mmとし、Δrの許容範囲を後述するように−0.4μm以上0.4μm以下とした場合、上記の式(3)から、ΔRの許容範囲が−0.32mm以上0.32mm以下となる。また、上記の式(2)から、空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率Kの許容範囲は−0.07%/mm以上0.07%/mm以下となる。すなわち、光ファイバ母材のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルの傾斜率Kが−0.07%/mm以上0.07%/mm以下である領域に空孔を形成することにより、空孔の位置ズレ量ΔRが許容範囲内となることが確認された。
[実施例2]
実施例1で得られた空孔付き光ファイバ母材を線引きすることにより、中心部分にコアを有し、その周囲にクラッド部を有し、クラッド部のドーパント添加領域における、屈折率プロファイルが平坦あるいは僅かに変化している領域において、光ファイバの長手方向に沿在するとともに、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、6個の空孔が設けられた空孔付き光ファイバを得た。
得られた空孔付き光ファイバにおいて、空孔の直径をd、空孔とドーパント添加領域との境界部のうち、コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、空孔とドーパント添加領域との境界部のうち、コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対するドーパント添加領域の比屈折率差をΔroutとしたとき、(Δrout−Δrin)/dで表されるドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kを算出した。
ここでは、空孔の直径dを6.0μm、比屈折率差Δrinを−0.0017%、比屈折率差Δroutを0.0112%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率kは0.002%/μmであった。
[比較例5]
実施例2と同様にして、比較例1で得られた空孔付き光ファイバ母材を線引きすることにより、クラッド部のドーパント添加領域において、光ファイバの長手方向に沿在するとともに、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、6個の空孔が設けられた空孔付き光ファイバを得た。
実施例2と同様にして、得られた空孔付き光ファイバについて、屈折率プロファイルの傾斜率kを算出した。ここでは、空孔の直径dを3.5μm、比屈折率差Δrinを−0.2176%、比屈折率差Δroutを0.0803%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率kは0.085%/μmであった。
[比較例6]
実施例2と同様にして、比較例2で得られた空孔付き光ファイバ母材を線引きすることにより、クラッド部のドーパント添加領域において、光ファイバの長手方向に沿在するとともに、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、6個の空孔が設けられた空孔付き光ファイバを得た。
実施例2と同様にして、得られた空孔付き光ファイバについて、屈折率プロファイルの傾斜率kを算出した。ここでは、空孔の直径dを4.1μm、比屈折率差Δrinを−0.4776%、比屈折率差Δroutを0.0681%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率kは0.133%/μmであった。
[比較例7]
実施例2と同様にして、比較例3で得られた空孔付き光ファイバ母材を線引きすることにより、クラッド部のドーパント添加領域において、光ファイバの長手方向に沿在するとともに、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、6個の空孔が設けられた空孔付き光ファイバを得た。
実施例2と同様にして、得られた空孔付き光ファイバについて、屈折率プロファイルの傾斜率kを算出した。ここでは、空孔の直径dを4.3μm、比屈折率差Δrinを−0.1770%、比屈折率差Δroutを−0.4861%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率kは−0.072%/μmであった。
[比較例8]
実施例2と同様にして、比較例4で得られた空孔付き光ファイバ母材を線引きすることにより、クラッド部のドーパント添加領域において、光ファイバの長手方向に沿在するとともに、コアを中心とする同心円上に、ほぼ等間隔に配置されるように、6個の空孔が設けられた空孔付き光ファイバを得た。
実施例2と同様にして、得られた空孔付き光ファイバについて、屈折率プロファイルの傾斜率kを算出した。ここでは、空孔の直径dを3.9μm、比屈折率差Δrinを0.0592%、比屈折率差Δroutを−0.3620%とした。その結果、得られた空孔付き光ファイバ母材の屈折率プロファイルの傾斜率kは−0.108%/μmであった。
[評価]
実施例2と比較例5〜8について、以下の方法により、空孔の位置ズレ量の評価を行った。
「空孔付き光ファイバの空孔位置の計測による空孔の位置ズレ量の評価」
実施例2と比較例5〜8で得られた空孔付き光ファイバについて、図14に示すように、空孔付き光ファイバ110の加工開始端面111と加工終了端面112において、光学顕微鏡により、空孔113の位置を計測した。
ここで、加工開始端面111において、空孔付き光ファイバ110の中心(コア114の中心)から、6つの空孔113の中心までの距離をそれぞれrs1、rs2、rs3、rs4、rs5、rs6とし、それぞれの距離を計測した。そして、これらの距離の平均値を加工開始端面111における空孔位置rsとした。
同様に、加工終了端面112において、空孔付き光ファイバ110の中心(コア114の中心)から、6つの空孔113の中心までの距離をそれぞれre1、re2、re3、re4、re5、re6とし、それぞれの距離を計測した。そして、これらの距離の平均値を加工終了端面112における空孔位置reとした。
そして、空孔付き光ファイバ110における空孔の位置ズレ量Δrを|rs−re|とした。実施例2と比較例5〜8における空孔の位置ズレ量Δrを測定した。結果を表2に示す。
ここで、後述するように、Δr(光ファイバ化後(空孔付き光ファイバ)の空孔位置の設計位置に対する位置ズレ量の許容範囲)を、−0.4μm以上0.4μm以下とした。
実施例2と比較例5〜8における空孔付き光ファイバの空孔の位置ズレ量Δrが、後述する許容範囲内であれば「OK」と判定し、上記の許容範囲外であれば「NG」と判定した。結果を表2に示す。
Figure 0005735468
実施例2では、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kが0.002%/μmであった。また、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが0.16μmであり、空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲内であった。
比較例5では、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kが0.085%/μmであった。また、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが0.56μmであり、空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲を超えていた。
比較例6では、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kが0.133%/μmであった。また、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが1.24μmであり、空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲を超えていた。
比較例7では、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kが−0.072%/μmであった。また、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが−0.48μmであり、空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲を超えていた。
比較例8では、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kが−0.108%/μmであった。また、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが−0.78μmであり、空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲を超えていた。
また、表2に示した空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrと空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kとをプロットし、図15に示すようなグラフを作成し、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrと空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kとの関係を示す下記の近似式(4)を得た。
Δr=7.9k (4)
Δrの許容範囲を後述するように−0.4μm以上0.4μm以下とした場合、上記の式(4)から、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kの許容範囲は−0.05%/μm以上0.05%/μm以下となる。すなわち、光ファイバのドーパント添加領域における、屈折率プロファイルの傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下である領域に空孔が形成されていれば、空孔の位置ズレ量Δrが許容範囲内となることが確認された。
また、図16に示すように、実施例1における傾斜率Kと実施例2における傾斜率kの関係、比較例2における傾斜率Kと比較例6における傾斜率kの関係、および、比較例4における傾斜率Kと比較例8における傾斜率kの関係をプロットしたところ、空孔付き光ファイバ母材における屈折率プロファイルの傾斜率Kと、空孔付き光ファイバの屈折率プロファイルの傾斜率kとの間には、高い相関があることが分かった。
[空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrの許容範囲について]
高屈折率コアの周囲のクラッド部に空孔を配置した空孔付き光ファイバの場合、空孔位置の変化によって、導波路分散に影響し、その結果、波長分散特性が変化する。空孔付き光ファイバは、波長分散特性が変化すると、通信波長において幾らかの波長分散を有するようになり、その結果、信号波形が劣化する。実施例2のような空孔付き光ファイバは、空孔を設けたことにより曲げ損失低減を実現した低曲げ損失型光ファイバに分類される。このような低曲げ損失型光ファイバには、国際規格ITU−T G657が適用される。この規格のなかで、波長分散特性の範囲が明記されており、具体的には、零分散波長が1300〜1324nmの範囲、かつ、零分散Slopeが0.092ps/nm/kmという規格がある。
また、実施例1の空孔付き光ファイバ母材を線引きして作製した、実施例2の空孔付き光ファイバの波長分散特性を測定した。結果を表3に示す。
また、比較例9として、空孔の位置ズレ量ΔRが0.33mmの空孔付き光ファイバ母材を作製し、その空孔付き光ファイバ母材を線引きして、空孔の位置ズレ量Δrが0.41μmの空孔付き光ファイバを作製した。この比較例9の空孔付き光ファイバの波長分散特性を測定した。結果を表3に示す。
さらに、比較例10として、空孔の位置ズレ量ΔRが−0.33mmの空孔付き光ファイバ母材を作製し、その空孔付き光ファイバ母材を線引きして、空孔の位置ズレ量Δrが−0.41μmの空孔付き光ファイバを作製した。この比較例10の空孔付き光ファイバの波長分散特性を測定した。結果を表3に示す。
Figure 0005735468
表3の結果から、実施例においては、加工曲がりを抑制できており、加工終了端面側での零分散波長および零分散Slopeはいずれも、上記の規格内であった。
これに対して、比較例9の空孔付き光ファイバでは、加工終了端面側における零分散波長が上記の規格よりも長波長側にシフトしていた。
また、比較例10の空孔付き光ファイバでは、加工終了端面側における零分散Slopeが上記の規格値を超えていた。
このように、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量Δrが上記の−0.4μm以上0.4μm以下の範囲内にない場合、空孔付き光ファイバの波長分散特性が国際規格ITU−T G657を満たさないことが分かった。
すなわち、空孔付き光ファイバのドーパント添加領域における、屈折率プロファイルの傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下の領域に空孔が設けられていれば、空孔付き光ファイバにおける空孔の位置ズレ量が上記の−0.4μm以上0.4μm以下の範囲内となり、空孔付き光ファイバの波長分散特性が国際規格ITU−T G657を満たすことが確認された。
21,31,61・・・コア、22,32,62・・・クラッド部、30・・・光ファイバ母材、30A・・・空孔付き光ファイバ母材、33,63・・・空孔、60・・・空孔付き光ファイバ。

Claims (3)

  1. コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備えた光ファイバであって、
    前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、
    前記クラッド部は、ドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、
    前記空孔の直径をd、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrout、(Δrout−Δrin)/dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kとしたとき、前記空孔は前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下である領域(但し、傾斜率kが0%/μmとなる場合を除く)に設けられたことを特徴とする光ファイバ。
  2. コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備え、前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、前記空孔の直径をd、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔrout、(Δrout−Δrin)/dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率kとしたとき、前記空孔は前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率kが−0.05%/μm以上0.05%/μm以下である領域(但し、傾斜率kが0%/μmとなる場合を除く)に設けられた光ファイバの製造方法であって、
    コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、を有し、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有する光ファイバ母材製造工程と、
    前記ドーパント添加領域に、前記コアを中心とする同心円上に複数の空孔を形成する空孔形成工程と、
    前記空孔の内表面を平滑化する空孔平滑化工程と、
    前記空孔内を加圧しながら、前記空孔付き光ファイバ母材を線引きする線引き工程と、を含み、
    前記空孔形成工程において、前記クラッド部のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとしたとき、前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率Kが−0.07%/mm以上0.07%/mm以下である領域(但し、傾斜率Kが0%/mmとなる場合を除く)に、前記空孔を形成することを特徴とする光ファイバの製造方法。
  3. コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、前記クラッド部内に、前記コアと平行に設けられた複数の空孔と、を備え、前記複数の空孔は前記コアを中心とする同心円上にあり、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有し、前記空孔は前記ドーパント添加領域に設けられた光ファイバ母材の製造方法であって、
    コアと、前記コアの周囲を囲むクラッド部と、を有し、前記クラッド部はドーパントが添加されたドーパント添加領域を有する光ファイバ母材の製造工程と、
    前記ドーパント添加領域に、前記コアを中心とする同心円上に複数の空孔を形成する空孔形成工程と、
    前記空孔の内表面を平滑化する空孔平滑化工程と、を含み、
    前記空孔形成工程において、前記クラッド部のドーパント添加領域に形成する空孔の直径をD、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアに近い内側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRin、前記空孔と前記ドーパント添加領域との境界部のうち、前記コアから遠い外側部分における、純粋石英ガラスに対する前記ドーパント添加領域の比屈折率差をΔRout、(ΔRout−ΔRin)/Dを前記ドーパント添加領域における屈折率プロファイルの傾斜率Kとしたとき、前記ドーパント添加領域における、前記傾斜率Kが−0.07%/mm以上0.07%/mm以下である領域(但し、傾斜率Kが0%/mmとなる場合を除く)に、前記空孔を形成することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
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