JP5733333B2 - エネルギー線照射システム - Google Patents
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Description
このような問題点は、イオン注入装置のみならず、ワークにエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置全般に共通することである。
上記構成においても異なる寸法のワークを取り扱えるようにするには、前記各搬送部材が互いに大きさの異なるワークを搬送可能なものであることが望ましい。
本発明の効果が特に顕著に奏される実施態様としては、前記エネルギー線がイオンビームであり、ワークにイオンを注入するものを挙げることができる。
以下、本発明の第1実施形態に係るエネルギー線照射システムたるイオン注入システム100につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明や図面において、同種の部材や構造が複数存在し、これらを区別する必要があるときは、符号の末尾に(1)、(2)などを付すとともに、部材や構造名に第1、第2などを冠することとする。
このワーク搬送装置20の各部を説明する。
しかしてこの実施形態では、前記外部搬送機構5を前記仮想直線Cを中心として相対する位置に一対設け、それぞれを各ワーク出入機構1に対応させている。
説明の都合上、図3(i)に示す状態から説明する。
図3(i)の状態においては、第2プラテン21(2)は、2列の大径ワークW(2)を保持しながら鉛直姿勢(前記ビーム照射姿勢)にあるとともに、前記照射領域ARに位置しており、該ワークW(2)にはイオンビームIBが照射されている。
この間に第1プラテン21(1)は、直線進退機構23によってx方向におおよそワークW(1)の保持列間の距離分だけ移動し、待機する。
このようにして2列のワークW(1)を保持した第1プラテン21(1)は、図3(iv)に示すように、鉛直なビーム照射姿勢となって待機する。
この間に、第2プラテン21(2)は、直線進退機構23によってx方向におおよそワークW(2)の保持列間の距離分だけ移動し、待機する。
その後、図4(x)に示すように、2列のワークW(2)を保持した第2プラテン21(2)は、鉛直なビーム照射姿勢となり待機する。
そして、図3(i)に戻って、同様の工程が繰り返される。
この第2実施形態のイオン注入システムは、図7に示すように、中間移送機構3として、前記第1搬送アーム31(1)及び第2搬送アーム31(2)に加え、第3搬送アーム31(3)及び第4搬送アーム31(4)が設けられている。
また、ワーク出入機構1として、前記第1ワーク出入機構1(1)と第2ワーク出入機構1(2)との中間に、第3ワーク出入機構1(3)が設けられている。
説明の都合上、図8(i)に示す状態から説明する。
一方、第1プラテン21(1)は、第1ワーク授受領域において前記受け渡し姿勢(水平姿勢)で待機している。
ワークW(1)を渡した第1搬送アーム31(1)及び第3搬送アーム31(3)は、図8(ii)に示すように第1ワーク授受領域から退避旋回する。
次に、2列のワークW(1)を保持した第1プラテン21(1)は、図8(iii)に示すように、鉛直なビーム照射姿勢となって待機する。
退避した第2プラテン21(2)は、ビーム照射姿勢から受け渡し姿勢となって前記第2ワーク授受領域において待機する。
一方、2列のワークW(2)を保持した第2プラテン21(2)は、図9(vii)に示すように、鉛直なビーム照射姿勢となり待機する。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
ワークホルダに保持させるワークの列数は1列でも良いし、3列以上でも良い。
ワークの搬送シーケンスも前記実施形態に限られず、種々考えられる。
ワークのツイスト角調整用のツイスト機構を設けてもよいし、ワークのツイスト調整を真空予備室に入る前あるいは後に行ってもよい。
ワークはウェハに限られず、金属基板や所定素材のブロック体などでも構わないし、その形状も円形に限られず、矩形状のものでもよい。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
W・・・ワーク
21・・・プラテン(ワークホルダ)
AR・・・照射領域
12・・・ワーク載置台(ワーク載置部)
31・・・搬送アーム
C・・・仮想直線
Claims (4)
- エネルギー線を所定の照射領域に向かって射出するエネルギー線射出機構と、
前記エネルギー線が照射される対象物であるワークを所定のワーク授受領域と前記照射領域との間で搬送するワークホルダとを具備したものであって、
前記ワーク授受領域が、前記エネルギー線の照射領域を通り、イオンビームIBの進行方向と平行な仮想直線を挟んで相対する2箇所に設けてあるとともに、
前記ワークホルダとして、一方のワーク授受領域(以下、第1ワーク授受領域とも言う。)と前記照射領域との間でワークを搬送する第1ワークホルダと、他方のワーク授受領域(以下、第2ワーク授受領域とも言う。)と前記照射領域との間でワークを搬送する第2ワークホルダとが設けてあり、
前記第1ワークホルダと前記第2ワークホルダは、それぞれ複数のワークを保持でき、
前記ワークホルダが、前記ワーク授受領域において搬送部材からワークを受け取った後、所定距離移動して、当該搬送部材から別のワークを受け取ることで、移動方向に複数列のワークを搭載可能に構成してあることを特徴とするエネルギー線照射システム。 - 前記第各ワークホルダが、互いに大きさの異なるワークを搬送可能なものである請求項
1記載のエネルギー線照射システム。 - 前記仮想直線を挟んで相対する2箇所に設けられた第1ワーク載置部及び第2ワーク載置部と、
前記第1ワーク授受領域と前記第1ワーク載置部との間でワークを搬送する第1搬送部材と、
前記第2ワーク授受領域と前記第2ワーク載置部との間でワークを搬送する第2搬送部材とをさらに具備していることを特徴とする請求項1又は2記載のエネルギー線照射システム。 - 前記エネルギー線がイオンビームであり、ワークにイオンを注入するものである請求項1乃至3いずれか記載のエネルギー線照射システム。
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