JP3763956B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カセット内部に水平姿勢で収納された複数の基板を外部に取り出し、その取り出した基板を垂直姿勢で保持したり、また垂直姿勢で保持された複数の基板をカセット内部に水平姿勢で収納する基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体ウエハ、プラズマディスプレイ用ガラス基板、液晶用ガラス基板、プリント基板等の各種基板の製造プロセスにおいて、複数の基板を垂直姿勢で一括して処理部に搬送し、所定の処理を施す基板処理装置が汎用されている。この基板処理装置としては、例えば図4に示すように、前工程の基板処理装置から搬送されてきたカセットCから未処理の基板を取出し、処理部1に搬送しながら処理部1で所定の処理を基板に施した後、カセットCに処理済みの基板を収納して後工程の基板処理装置に送り出す装置が知られている。この基板処理装置では、基板に対して所定の処理を施す処理部1、例えば各種処理液を貯留した複数の処理槽に垂直姿勢で順に浸漬して各種処理を順に施す処理部1が設けられるとともに、この処理部1における処理槽の配列方向と平行に移動して複数の基板を一括して搬送するメイン搬送ロボットMTRが設けられている。
【0003】
また、処理部1の両側のうち一方側(同図の左手側)には、前工程の基板処理 装置から搬送されてくるカセットCを受取るカセット搬入部2が配置されるとともに、このカセット搬入部2とメイン搬送ロボットMTRとの間に基板取出部3が介挿されており、カセット搬入部2に載置されているカセットCから未処理の基板が基板取出部3によって一括して取出され、メイン搬送ロボットMTRに受け渡されるように構成されている。そして、こうしてメイン搬送ロボットMTRに受け渡された複数の基板は処理部1に搬送され、所定の処理を受ける。
【0004】
一方、処理部1の他方側(同図の右手側)には、処理済みの基板を収納するためのカセットCを載置したカセット搬出部4が配置されるとともに、このカセット搬出部4とメイン搬送ロボットMTRとの間に基板収納部5が介挿されており、上記のようにして処理部1で所定の処理を受けた複数の基板がメイン搬送ロボットMTRから基板収納部5に受け渡され、この基板収納部5によって一括してカセット搬出部4のカセットCに収納されるように構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来では、複数の基板を垂直姿勢でカセットCに収納した状態で基板処理装置の間を搬送しており、基板取出部3は垂直姿勢のまま複数の基板をカセットCから取出し、メイン搬送ロボットMTRに受渡すとともに、基板収納部5は同じく垂直姿勢のまま複数の基板をメイン搬送ロボットMTRから受取り、カセットCに収納している。
【0006】
しかしながら、最近、基板サイズの大型化に伴って基板をカセットに水平姿勢で収納した状態で基板処理装置間で搬送する搬送形態が検討され、実用化されようとしている。この搬送形態が実用化されると、従来構成の基板取出部3および基板収納部5をそのまま使用することができなくなる。そのため、カセットに水平姿勢で基板を収納し、基板処理装置の間を搬送する場合に対応した基板取出部および基板収納部が望まれるが、従来、この種の基板搬送装置はなかった。なお、この明細書では、基板取出部の機能、基板収納部の機能、および両機能を発揮する装置を、「基板搬送装置」と総称する。
【0007】
また、1枚ずつ基板をカセットから取出し、基板姿勢を水平姿勢から垂直姿勢に変換したり、逆に垂直姿勢の基板を受け取り、水平姿勢でカセットに収納する基板搬送装置は従来より周知であるが、かかる基板搬送装置を上記基板取出部および基板収納部として使用した場合、基板の取出処理および収納処理に長時間かかってしまって、スループットが大幅に低下するという問題がある。
【0008】
なお、基板処理装置としては、上記のように処理部の両側にカセット搬入部とカセット搬出部がそれぞれ配置されるタイプの他に、処理部の一方側にのみカセット搬入出部が設けられ、このカセット搬入出部とメイン搬送ロボットとの間に介挿された基板搬送装置がカセット搬入出部から処理部への基板取出しおよび処理部からカセット搬入出部への収納を行うタイプのものがあるが、このタイプの基板処理装置における基板搬送装置においても、上記と同様の問題がある。
【0009】
従って、本発明は、カセット内部に水平姿勢で収納された複数の基板を容易に、しかも一括して外部に取り出すことのできる基板搬送装置を提供することを第1の目的とする。
【0010】
また、本発明は、カセット外部で垂直姿勢で保持された複数の基板を容易に、しかも一括してカセット内部に水平姿勢で収納することのできる基板搬送装置を提供することを第2の目的とする。
【0011】
さらに、本発明は、上記第1および第2の目的を達成することのできる基板搬送装置を提供することを第3の目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、カセットの内部における基板収納位置に水平姿勢で収納された複数の基板を外部に取り出し、その取り出した基板を前記カセットの外部の垂直保持位置において垂直姿勢で保持する基板搬送装置であって、
基板を水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設されてなり、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置と、前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段を、前記基板収納位置から前記基板水平受渡位置に移動させて前記カセットから基板を取り出す水平保持移動手段と、
前記水平保持移動手段によって前記基板水平受渡位置に移動されてきた基板を、当該基板の搬送方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
前記基板水平受渡位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を前記基板水平受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変換手段によって前記垂直保持位置に姿勢が変換された状態で複数の基板を保持する前記チャック手段の内部に下方から進入し、当該チャック手段に保持されている複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持し、前記垂直保持位置と、当該垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
前記基板垂直保持手段を駆動して前記チャック手段により垂直姿勢で保持された複数の基板を前記基板垂直受渡位置に移動させる垂直移動手段と
を備えたものである。
【0013】
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の基板搬送装置であって、前記基板垂直受渡位置において移動される前記基板垂直保持手段との間で、垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板収納位置から前記基板水平受渡位置に移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所に搬送する水平移動手段とを更に備えた請求項1に記載の基板搬送装置ものである。
【0014】
また、請求項3の発明は、カセットの外部の垂直保持位置において垂直姿勢で保持された複数の基板を前記カセットの内部における基板収納位置に水平姿勢で収納する基板搬送装置であって、
垂直姿勢で複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持した状態で、前記垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
当該基板垂直保持手段により垂直姿勢で保持された複数の基板を前記基板垂直受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる垂直移動手段と、
前記基板垂直保持手段に保持されている基板を、当該基板の搬送方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、当該垂直保持位置と、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
前記垂直保持位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記垂直保持位置から前記基板水平受渡位置に移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変換手段による前記チャック手段の移動により水平姿勢とされた基板を、当該水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設され、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段で前記基板水平受渡位置に位置する基板を保持し、この基板水平保持手段を前記基板水平受渡位置から前記基板収納位置に移動させて当該基板を前記カセットに収納する水平保持移動手段と
を備えたものである。
【0015】
また、請求項4の発明は、請求項3に記載の基板搬送装置であって、前記基板垂直受渡位置において前記基板垂直保持手段との間で垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板水平受渡位置から前記基板収納位置に移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所から搬送する水平移動手段とを更に備えたものである。
【0016】
また、請求項5の発明は、カセットの内部において基板を水平姿勢で収納する基板収納位置と、前記カセットの外部において基板を垂直姿勢で保持する垂直保持位置との間で、複数の基板を一括して移動させる基板搬送装置であって、
基板を水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設されてなり、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置と、前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段を、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間で往復移動させる水平保持移動手段と、
前記水平保持移動手段によって前記基板水平受渡位置に移動されてきた基板を、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間における往復移動方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
基板を前記基板水平受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる場合には、前記基板水平受渡位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記チャックによって保持されていない基板部分が下側となるようにし、一方、基板を前記垂直保持位置から前記基板水平受渡位置に移動させる場合には、前記垂直保持位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記チャックによって保持されていない基板部分が、前記基板水平受渡位置から記基板収納位置への基板搬送方向上に位置するようにして、前記チャック手段を前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変更手段によって前記垂直保持位置に姿勢が変更された状態で複数の基板を保持する前記チャック手段の内部に下方から進入し、当該チャック手段に保持されている複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持する構成とされ、前記垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
前記基板垂直保持手段を基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間で移動させる垂直移動手段と
を備えたものである。
【0017】
さらに、請求項6の発明は、請求項5に記載の基板搬送装置であって、前記垂直移動手段によって前記基板垂直受渡位置と前記垂直保持位置との間で移動される前記基板垂直保持手段との間で、垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間で往復移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所との間で搬送する水平移動手段とを更に備えたものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の一実施形態にかかる基板搬送装置が適用された基板処理装置の要部を示す平面図であり、この基板搬送装置である基板取出部の近傍を示している。また、図2は、図1の基板処理装置の内部側面図である。なお、ここでは、各構成要素間の方向関係を明確にするため、XYZ直角座標軸を併せて示している。
【0019】
この発明にかかる基板搬送装置である基板取出部10は、基板処理装置12の筐体121の上面に固定されたカセット搬入部14に載置されるカセットCから未処理の基板Wを一括して取出し、メイン搬送ロボットMTRに受渡すものであり、カセット搬入部14の後方(−Y方向)に配置された基板水平保持部16と、カセット搬入部14の手前(+Y方向)に配置されたチャック部18と、チャック部18の手前(+Y方向)に配置された基板垂直保持部20と、を備えている。
【0020】
カセット搬入部14は、例えば、図3に示すような構成のカセットCを載置可能に構成されたものである。このカセットCは、左右両側の立直部H1,H2に縦方向に沿って複数の溝M1,M2が対向形成され、この対向形成された各溝M1,M2に跨って複数の円板状の半導体ウエハ等の基板Wを縦方向に沿って水平姿勢で収納するようにしたものであり、カセット搬入部14に載置されたカセットCの各溝の位置が基板収納位置HP1に相当する。なお、各溝M1,M2のピッチは基板Wの厚さよりも大きくなるように形成されており、各溝M1,M2に基板Wを差し込んだ状態で各基板W間に基板水平保持部16の後述するアーム162が挿入可能となっている。このカセットCは、立直部H1,H2と交差する側が両側とも開口状に形成され、いずれの側からも基板Wが挿脱自在となっており、一方の開口を基板水平保持部16側に向け、他方の開口をチャック部18側に向けてカセット搬入部14上に取り付けられる。
【0021】
基板水平保持部16は、垂直に配置された支持体161に複数のロッド状のアーム162が手前側(+Y方向)に伸びるように取り付けられて構成されている。このアーム162は、それぞれ基板Wの直径の少なくとも2倍の長さ寸法を有しており、カセットCの溝M1,M2と同一のピッチで縦方向(Z方向)に沿ってカセットCに収納可能な基板Wの数に対応する数だけ取り付けられると共に、各基板Wに対応して横方向(X方向)に2本ずつ取り付けられている。
【0022】
また、基板水平保持部16は、支持体161の下部が水平移動機構24に取り付けられ、アーム162をカセットCに対して進退可能にするべく前後方向(Y方向)に移動可能となっている。すなわち、水平移動機構24は、取付板241に前後方向(Y方向)に取り付けられた一対のプーリ242,243と、このプーリ242,243に架け渡されたタイミングベルト244と、一方のプーリ242を回転駆動させるモータ245とを備えており、基板水平保持部16の支持体161の下部に位置する取付部163がタイミングベルト244に取り付けられている。この結果、基板水平保持部16は、モータ245が正逆両方向に回転してタイミングベルト244が駆動されることにより前後方向に移動する。
【0023】
また、基板水平保持部16は、アーム162を昇降可能にするべく垂直移動機構26により縦方向(Z方向)に移動可能となっている。すなわち、垂直移動機構26は、水平移動機構24の取付板241を支持するボールねじ261と、このボールねじ261を回転駆動させるモータ262とを備えている。この結果、基板水平保持部16は、モータ262が正逆両方向に回転してボールねじ261が駆動されることにより縦方向に移動する。
【0024】
このため、後の動作説明で詳述するように、水平移動機構24および垂直移動機構26により基板水平保持部16を移動させることで、カセットCから複数の基板Wを一括して、カセットCの外部でしかも基板収納位置HP1と水平方向(+Y方向)に隣接する基板水平受渡位置HP2に取出すことができる。このように、水平移動機構24および垂直移動機構26で本発明の水平保持移動手段が構成されている。
【0025】
チャック部18は、基板Wを両側から挟持し得るように左右方向(X方向)に対向配置された一対の挟持板(チャック)181,182と、これらの挟持板181,182の下部位置を螺合状態で貫通するボールねじ183と、このボールねじ183を回転駆動させるモータ184とを備えている。
【0026】
挟持板181,182は、各対向面にそれぞれカセットCの溝M1,M2と同一のピッチでカセットCに収納可能な基板Wの数に対応する数の湾曲状の溝181a,182aが刻設されており、カセットC内部から取り出された複数の基板Wを一括して挟持可能となっている。
【0027】
ボールねじ183は、その両端側で筐体121に固定された支持板185,186に支持されると共に、一方の挟持板181の螺合箇所のねじと、他方の挟持板182の螺合箇所のねじとが互いに逆方向となるように刻設されている。この結果、挟持板181,182は、モータ184が正逆両方向に回転することによって互いに接離する方向に移動される。
【0028】
また、チャック部18は、その挟持板181,182が回動機構28によりボールねじ183を回動中心として直角に回動するようになっている。すなわち、回動機構28は、一方が取付板281に取り付けられ、他方がモータ184の背面に取り付けられて縦方向に配置された一対のプーリ282,283と、これらのプーリ282,283に架け渡されたタイミングベルト284と、一方のプーリ282を回転駆動させるモータ285とを備えている。この結果、モータ285が正逆両方向に回転することにより、挟持板181,182が図2の実線で示す位置(垂直位置)と、手前側(+Y方向)に90°傾倒した二点鎖線で示す位置(水平位置)との間を回動する。これにより、水平姿勢で挟持した基板Wが垂直姿勢に変更される。
【0029】
このように、この実施形態では、挟持板181,182を互いに近接する方向に移動させることで、基板水平受渡位置HP2に位置する水平姿勢の基板Wを一括して挟持し、さらに回動機構28によって基板Wを挟持したままの挟持板181,182を回動させて基板水平受渡位置HP2から垂直保持位置VP1に移動させている(姿勢変換手段)。
【0030】
基板垂直保持部20は、複数の基板Wの周面に当接するヘッド部30を備えており、このヘッド部30が昇降機構32により昇降可能となっている。ヘッド部30は、筐体121の上面側に回動不能の状態で配置されると共に、その上面に、カセットCに収納可能な基板Wの数に対応する数の湾曲状の溝301が前後方向(Y方向)に沿ってカセットCの溝M1,M2と同一のピッチで刻設されている。昇降機構32は、縦方向(Z方向)に配置されたボールねじ321と、このボールねじ321を正逆両方向に回転駆動するモータ322とを備えており、ヘッド部30の底面に取り付けられた支持体302がボールねじ321に螺合されている。この結果、モータ322が正逆両方向に回転することによって昇降可能となり、上昇時には傾倒された挟持板181,182に挟持されている基板Wの下方端縁をヘッド部30の溝301で支持した状態で下方から突き上げて、基板Wを垂直保持位置と垂直方向(+Z方向)に隣接する基板垂直受渡位置VP2に移動させる。なお、ヘッド部30による基板Wの突き上げ時には、挟持板181,182による基板Wの挟持が解除される。
【0031】
なお、以上のように基板垂直受渡位置VP2に保持された複数の基板Wは、メイン搬送ロボットMTRのチャック部22によって挟持され、処理部に搬送される。
【0032】
すなわち、チャック部22は、基板Wを両側から挟持し得るように左右方向(X方向)に対向配置された一対の挟持板221,222と、挟持板221,222を支持する横方向の支持棒223,224と、支持棒223,224を支持すると共に、挟持板221,222の下端側が互いに内側に移動するように支持棒223,224を軸心回りに回動させるロボット回動機構225とを備えており、ロボット水平移動機構40により基板処理装置12の前端側(+Y方向)で左右方向(X方向)に伸びる移動溝122に沿って移動可能となっている。
【0033】
挟持板221,222は、各対向面にそれぞれカセットCの溝M1,M2と同一のピッチでカセットCに収納可能な基板Wの数に対応する数の湾曲状の溝221a,222aが刻設されており、基板垂直保持部20により突き上げられた基板Wを溝221a,222a内に挿入した状態で挟持可能となっている。
【0034】
ロボット回動機構225は、ボックス225a内の中央に配置されたモータ225bと、このモータ225bの回転軸に取り付けられたギア225cと、支持棒223,224に取り付けられ、ギア225cとそれぞれ噛合するギア225d,225eとを備えており、モータ225bが正逆両方向に回転することによって挟持板221,222を基板Wを挟持する方向と挟持を解除する方向とに回動させる。
【0035】
ロボット水平移動機構40は、図略のモータにより回転駆動される図略のプーリに架け渡されたタイミングベルト401を備えており、ロボット回動機構225の底面に取り付けられた支柱226の下部に位置する取付部227がタイミングベルト401に係止されている。この結果、このタイミングベルト401が回転駆動されることによりチャック部22が移動溝122に沿って移動され、挟持板221,222により挟持した基板Wを右方(+X方向)に設置されている図略の処理槽に搬送する。
【0036】
次に、上記のように構成された基板取出部10の概略動作について説明する。今、カセット搬入部14上に、複数の基板Wが水平姿勢で収納されたカセットCが前工程の基板処理装置から送られ載置された後、図略のスタートスイッチがONされると、基板水平保持部16が前方(+Y方向)に移動して各アーム162 の前半分側がカセットC内部の基板W間に挿入されると共に、この状態で基板水平保持部16が僅かに上昇する。この結果、基板Wは、各アーム162によりカセットCの溝M1,M2面から持ち上げられる。
【0037】
この状態で、基板水平保持部16がさらに前方(+Y方向)に移動し、基板Wがアーム162上に保持された状態でカセットCの内部の基板収納位置HP1から基板水平受渡位置HP2に取り出される。このとき、カセットCの前方(+Y方向)には、チャック部18が挟持板181,182を開放状態にした姿勢で配置されており、カセットCから外部に取り出された基板Wはそのまま挟持板181,182間に搬送されることになる。
【0038】
その後、挟持板181,182が基板Wを挟持する方向に移動され、これにより基板Wが溝181a,182bに支持された状態で挟持される。次いで、チャック部18がボールねじ183を中心に90°前方(+Y方向)に回動されて基板水平受渡位置HP2から垂直保持位置VP1に移動されることで、基板Wが水平姿勢から垂直姿勢に変更される。
【0039】
この状態で、ヘッド部30が上昇して基板Wの底面に当接し、基板Wの下方端縁がヘッド部30の溝301内に挿入されて支持されると同時に挟持板181,182が互いに離反される。これにより、挟持板181,182による基板Wの挟持が解除され、ヘッド部30がさらに上昇して基板Wが挟持板181,182の上方の基板垂直受渡位置VP2に突き上げられる。その後、右方(+X方向)に退避していたメイン搬送ロボットMTR22が左方(−X方向)に移動してヘッド部30で突き上げられた基板Wを挟持板221,222で挟持し、同時にヘッド部30は降下する。
【0040】
なお、メイン搬送ロボットMTRは、基板Wを挟持した状態で右方に移動され、基板Wを処理用のカセットに移し替える必要があるときには基板Wを移替部にまで搬送する。処理用のカセットに移し替える必要がないときには基板Wを直接 、処理部の処理槽にまで搬送する。
【0041】
本発明に係る基板取出部10は、上記のように構成されるので、カセットC内部に水平姿勢で収納された複数の基板を容易に、しかも一括して外部に取り出すことができ、スループットを向上させることが可能となるが、以下のような種々の変形例が可能である。
【0042】
(1)上記実施形態では、基板水平保持部16は、アーム162が基板Wを保持した状態でカセットCの内部を貫通して前方のチャック部18にまで基板Wを搬送するようにしているが、例えば、アーム162が基板Wを保持した状態で後退するようにしてもよい。この場合には、アーム162の長さ寸法を短くすることができて材料を節約することが可能となる。このように構成する場合は、例えば、カセット搬入部14を左右方向(X方向)に移動可能にしておき、アーム162を後退させたときにカセット搬入部14をアーム162の手前から退避させ、その後にアーム162をチャック部18の位置にまで前進させるようにすればよい。
【0043】
(2)上記実施形態では、基板水平保持部16は、アーム162が基板Wを保持した状態でカセットCの内部を貫通して前方のチャック部18にまで基板Wを搬送するようにしているが、例えば、カセット搬入部14を左右方向(X方向)及び前後方向(Y方向)に移動可能にしておき、カセット搬入部14を後退させてアーム162がカセットCの内部に挿入されるようにしてアーム162上に基板Wを保持させ、その後にカセット搬入部14を前進させると共に、アーム162の前方から退避させ、この状態で基板Wを保持したアーム162をチャック部18の位置にまで前進させるようにしてもよい。
【0044】
(3)上記実施形態では、基板水平保持部16は、基板水平保持部16を移動させることによりカセットCに対して昇降するように構成されているが、基板水平保持部16を静止させた状態でカセットCを移動させるようにすることも可能 である。要は、基板水平保持部16がカセットCに対して相対的に昇降するように構成されていればよい。
【0045】
(4)上記実施形態では、チャック部18は、一対の挟持板181,182を備えた構成とされているが、挟持板181,182に代えてロッド状の挟持体で構成する等、種々の変更が可能である。チャック部22についても、ロッド状の挟持体等で構成することが可能である。
【0046】
(5)上記実施形態では、チャック部18は、一対の挟持板181,182を備え、モータ184により互いに接離して基板Wを挟持するように構成されているが、挟持板181,182の代わりに、挟持板181,182と同様に溝181a,182aが刻設されてはいるが、接離せず基板Wを出し入れ自在な間隔に固定された一対の側板を使用して構成するようにしてもよい。ただし、この場合、図2にて2点鎖線で示された状態で、上方側の開口からのみ基板Wを出し入れでき、下方側の開口は、ヘッド部30は挿通するが、基板Wは通さずに受け止めて支持するように構成する。このように構成する場合には、アーム162によって基板Wを前記一対の側板間に移動後、アーム162を少し下降するだけで、前記一対の側板にて挟持しない状態で保持させることができる。
【0047】
(6)上記実施形態では、カセットCとチャック部18と基板水平保持部16を一列に配置したが、基板水平保持部16におけるアーム162を水平に回転可能に構成し、基板水平保持部16を中心にして、カセットCとチャック部18を円周状に配置してもよい。
【0048】
なお、上記においては、基板取出部10について詳述したが、基板処理装置の基板収納部も基板取出部10と同様に構成されており、基板取出部10における基板Wの取出動作と全く逆の動作でメイン搬送ロボットMTRから処理済みの複数の基板Wを一括して受取り、カセットCに収納する。このため、カセット外部で垂直姿勢で保持された複数の基板Wを容易に、しかも一括してカセットCに収納することができ、スループットを向上させることが可能となる。
【0049】
また、本発明にかかる基板搬送装置の適用対象は、上記のように処理部の両側にカセット搬入部とカセット搬出部がそれぞれ配置されるタイプの基板処理装置に限定されるものではなく、処理部の一方側にのみカセット搬入出部が設けられた基板処理装置にも適用することができる。この場合も、カセット搬入出部と処理部との間に介挿される基板搬送装置を基板取出部10と同様に構成し、カセットからの基板の取出しに際しては上記実施形態における取出動作と同様に動作させる一方、基板のカセットへの収納に際しては取出動作と全く逆に動作させるようにすればよく、この基板搬送装置によれば、カセットC内部に水平姿勢で収納された複数の基板を容易に、しかも一括して外部に取り出すことができ、またカセット外部で垂直姿勢で保持された複数の基板Wを容易に、しかも一括してカセットCに収納することができ、スループットを向上させることが可能となる。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1および2の発明にかかる基板搬送装置によれば、基板水平保持手段を基板収納位置から基板水平受渡位置に移動させてカセットから基板を取り出し、この基板水平受渡位置に位置する基板をチャック手段で保持し、その保持状態のままチャック手段を基板水平受渡位置から垂直保持位置に移動させるように構成しているので、カセット内部に水平姿勢で収納された複数の基板を容易に、しかも一括して外部に取り出すことができる。
【0051】
また、請求項3および4の発明にかかる基板搬送装置によれば、チャック手段のチャックで垂直保持位置に位置する基板を保持し、その保持状態のままチャック手段を基板水平受渡位置に移動させた後、基板水平保持手段で基板水平受渡位置に位置する基板を保持し、この基板水平保持手段を基板水平受渡位置から基板収納位置に移動させて当該基板をカセットに収納するように構成しているので、カセット外部で垂直姿勢で保持された複数の基板を容易に、しかも一括してカセット内部に水平姿勢で収納することができる。
【0052】
さらに、請求項5および6の発明にかかる基板搬送装置によれば、基板を水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設されてなる基板水平保持手段を、基板水平受渡位置と基板収納位置との間で往復移動させるとともに、基板を周縁部で保持するための一対のチャックを有し、当該チャックを前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動させて基板姿勢を変更するように構成しているので、カセット内部に水平姿勢で収納された複数の基板を容易に、しかも一括して外部に取り出すことができ、しかも、カセット外部で垂直姿勢で保持された複数の基板を容易に、しかも一括してカセット内部に水平姿勢で収納することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態にかかる基板搬送装置が適用された基板処理装置の要部を示す平面図である。
【図2】 図1に示す基板処理装置の基板取出部側の側面図である。
【図3】 水平姿勢で基板Wを収納するカセットの斜視図である。
【図4】 この発明にかかる基板搬送装置が適用される基板処理装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
2,14…カセット搬入部
3,10…基板取出部
4…カセット搬出部
5…基板収納部
12…基板処理装置
14…カセット搬入部
16…基板水平保持部
18…チャック部(チャック手段)
20…基板垂直保持部
24…水平移動機構(水平保持移動手段)
26…垂直移動機構(水平保持移動手段)
28…回動機構
30…ヘッド部
32…昇降機構
40…ロボット水平移動機構
181,182…挟持板(チャック)
183…ボールねじ
184…モータ
185,186…支持板
C…カセット
HP1…基板収納位置
HP2…基板水平受渡位置
MTR…メイン搬送ロボット
VP1…垂直保持位置
VP2…基板垂直受渡位置
W…基板
Claims (6)
- カセットの内部における基板収納位置に水平姿勢で収納された複数の基板を外部に取り出し、その取り出した基板を前記カセットの外部の垂直保持位置において垂直姿勢で保持する基板搬送装置であって、
基板を水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設されてなり、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置と、前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段を、前記基板収納位置から前記基板水平受渡位置に移動させて前記カセットから基板を取り出す水平保持移動手段と、
前記水平保持移動手段によって前記基板水平受渡位置に移動されてきた基板を、当該基板の搬送方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
前記基板水平受渡位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を前記基板水平受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変換手段によって前記垂直保持位置に姿勢が変換された状態で複数の基板を保持する前記チャック手段の内部に下方から進入し、当該チャック手段に保持されている複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持し、前記垂直保持位置と、当該垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
前記基板垂直保持手段を駆動して前記チャック手段により垂直姿勢で保持された複数の基板を前記基板垂直受渡位置に移動させる垂直移動手段と
を備えた基板搬送装置。 - 前記基板垂直受渡位置において移動される前記基板垂直保持手段との間で、垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板収納位置から前記基板水平受渡位置に移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所に搬送する水平移動手段とを更に備えた請求項1に記載の基板搬送装置。 - カセットの外部の垂直保持位置において垂直姿勢で保持された複数の基板を前記カセットの内部における基板収納位置に水平姿勢で収納する基板搬送装置であって、
垂直姿勢で複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持した状態で、前記垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
当該基板垂直保持手段により垂直姿勢で保持された複数の基板を前記基板垂直受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる垂直移動手段と、
前記基板垂直保持手段に保持されている基板を、当該基板の搬送方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、当該垂直保持位置と、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
前記垂直保持位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記垂直保持位置から前記基板水平受渡位置に移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変換手段による前記チャック手段の移動により水平姿勢とされた基板を、当該水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設され、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段で前記基板水平受渡位置に位置する基板を保持し、この基板水平保持手段を前記基板水平受渡位置から前記基板収納位置に移動させて当該基板を前記カセットに収納する水平保持移動手段と
を備えた基板搬送装置。 - 前記基板垂直受渡位置において前記基板垂直保持手段との間で垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板水平受渡位置から前記基板収納位置に移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所から搬送する水平移動手段とを更に備えた請求項3に記載の基板搬送装置。 - カセットの内部において基板を水平姿勢で収納する基板収納位置と、前記カセットの外部において基板を垂直姿勢で保持する垂直保持位置との間で、複数の基板を一括して移動させる基板搬送装置であって、
基板を水平姿勢で保持可能なアームが垂直方向に複数段に配設されてなり、前記カセットの外部でしかも前記基板収納位置と水平方向に隣接する基板水平受渡位置と、前記基板収納位置との間を移動自在に構成された基板水平保持手段と、
前記基板水平保持手段を、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間で往復移動させる水平保持移動手段と、
前記水平保持移動手段によって前記基板水平受渡位置に移動されてきた基板を、前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間における往復移動方向に直交する方向における基板周縁部で保持する一対のチャックを有し、前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動自在に構成されたチャック手段と、
基板を前記基板水平受渡位置から前記垂直保持位置に移動させる場合には、前記基板水平受渡位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記チャックによって保持されていない基板部分が下側となるようにし、一方、基板を前記垂直保持位置から前記基板水平受渡位置に移動させる場合には、前記垂直保持位置に位置する基板を前記チャックで保持した保持状態の前記チャック手段を、前記チャックによって保持されていない基板部分が、前記基板水平受渡位置から記基板収納位置への基板搬送方向上に位置するようにして、前記チャック手段を前記基板水平受渡位置と前記垂直保持位置との間で往復移動させる姿勢変換手段と、
前記姿勢変更手段によって前記垂直保持位置に姿勢が変更された状態で複数の基板を保持する前記チャック手段の内部に下方から進入し、当該チャック手段に保持されている複数の基板の下方端縁を支持して垂直姿勢で保持する構成とされ、前記垂直保持位置と垂直方向に隣接する基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間を往復移動自在に設けられた基板垂直保持手段と、
前記基板垂直保持手段を基板垂直受渡位置と、前記垂直保持位置との間で移動させる垂直移動手段と
を備えた基板搬送装置。 - 前記垂直移動手段によって前記基板垂直受渡位置と前記垂直保持位置との間で移動される前記基板垂直保持手段との間で、垂直姿勢の基板の受け渡しを行う基板受渡手段と、
前記基板受渡手段を、前記水平保持移動手段によって前記基板水平保持手段が前記基板水平受渡位置と前記基板収納位置との間で往復移動される方向に直交する水平方向に移動させて、基板を基板処理部配置箇所との間で搬送する水平移動手段とを更に備えた請求項5に記載の基板搬送装置。
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-
1997
- 1997-12-18 JP JP34926497A patent/JP3763956B2/ja not_active Expired - Lifetime
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