JP5730226B2 - 磁気ヘッド及びその製造方法、及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
[実施例1]
図1は、本発明の一実施例における磁気記録再生ヘッドのトラック方向に沿った断面模式図である。磁気記録再生ヘッド(以下、単に磁気ヘッドという)は、記録ヘッド部100と再生ヘッド部200から構成される記録再生分離ヘッドであり、磁気ディスクのような回転する磁気記録媒体300に対して記録再生を行う。記録ヘッド部100は、高周波磁界を発生するための発振器110、記録磁界を発生するための主磁極120、主磁極に磁場を励磁するためのコイル160、及び副磁極130aを有する。図示の例では、主磁極120のトレーリング方向にトレーリングシールド130bを設けているが、これは必ずしも必須な構成というわけではない。なおここで、磁気ヘッドの磁気ディスク300に対する進行方向と反対の方向をトレーリング方向、磁気ヘッドの磁気ディスクに対する進行方向をリーディング方向と定義する。
本実施例は、実施例1の磁気トラック幅狭小化の効果に加えて、酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜の形成によって発振器の高周波磁界の発振周波数を高める例である。
図7A〜図7Eの工程図を参照して、記録ヘッド部の発振器110の製造方法について説明する。本実施例は実施例2で示した酸化膜140の形成によって発振器110の形状を半円型とする場合の例である。図7A〜図7Eにおいて、上の図は、磁気ヘッドの製造過程における発振器110部分を媒体対向面から見た、基板上面に垂直な断面の模式図であり、下の図は、発振器110部分を、媒体対向面を下にしてトレーリング方向から見た、模式図である。図中のABSは、最終的なヘッドでの浮上面位置を表している。図7A〜図7Eでは、主磁極120よりも基板側の部分を図示省略している。
図8A〜図8Eの工程図を参照して、記録ヘッド部の発振器110の製造方法の他の例について説明する。本実施例は、実施例3と異なり、窒化膜190の形成によって発振器110の形状を半円型とする場合の例である。図8A〜図8Eにおいて、上の図は、磁気ヘッドの製造過程における発振器110部分を媒体対向面から見た、基板上面に垂直な断面の模式図であり、下の図は、発振器110部分を、媒体対向面を下にしてトレーリング方向から見た模式図である。図中のABSは、最終的なヘッドでの浮上面位置を表している。図8A〜図8Eでは、主磁極120よりも基板側の部分を図示省略している。
図9A〜図9Jの工程図を参照して、記録ヘッド部の発振器110の別の製造方法について説明する。本実施例は、実施例3又は実施例4の製造方法に対し、発振器110の形状を半円型にしない場合の例である。具体的には、トラック幅方向のパターン形成と素子高さ方向のパターン形成を別々に分けて形成する方法である。本実施例では、トラック幅方向、素子高さ方向の順で発振器の形成を行ったが、逆に素子高さ方向、トラック幅方向の順に発振器の形成を行ってもよい。図9A〜図9Jにおいて、上の図は、磁気ヘッドの製造過程における発振器110部分を媒体対向面から見た、基板上面に垂直な断面の模式図であり、下の図は、発振器110部分を、媒体対向面を下にしてトレーリング方向から見た、模式図である。図中のABSは、最終的なヘッドでの浮上面位置を表している。図9A〜図9Jでは、主磁極120よりも基板側の部分を図示省略している。
図10A〜図10Eの工程図を参照して、記録ヘッド部の発振器110の別の製造方法について説明する。本実施例は、発振器の一つの側面のみに酸化膜もしくは窒化膜、酸窒化膜を形成する場合の例である。発振器110のトラック幅方向の酸化層もしくは窒化膜、酸窒化膜を形成する側面を一つとしても、発振器のトラック幅方向の幅を狭小化するという本発明の目的を達成できる。図10A〜図10Eにおいて、上の図は、磁気ヘッドの製造過程における発振器110部分を媒体対向面から見た、基板上面に垂直な断面の模式図であり、下の図は、発振器110部分を、媒体対向面を下にしてトレーリング方向から見た、模式図である。図中のABSは、最終的なヘッドでの浮上面位置を表している。図10A〜図10Eでは、主磁極120よりも基板側の部分を図示省略している。
図11は、本発明の磁気記録再生ヘッドを搭載した磁気記録再生装置の構成例を示す概略図である。磁気記録再生ヘッドは実施例3に記載した製造方法で作製し、ヘッドスライダー600に搭載される。図11に示した磁気記録再生装置は、磁気記録媒体300をスピンドルモータ400にて回転させ、アクチュエータ500によってヘッドスライダー600を磁気記録媒体300の所望トラック上に誘導する。即ち、磁気ディスク装置においてはヘッドスライダー600上に形成した再生ヘッド、及び記録ヘッドがこの機構に依って磁気記録媒体300上の所定の記録位置に近接して相対運動し、信号を順次書き込み、及び読み取るのである。アクチュエータ500はロータリーアクチュエータであることが望ましい。磁気記録媒体300は各ビットが連続して存在する所謂連続媒体でも良いし、複数のトッラク間に記録ヘッドにより書き込み不可能な非磁性である領域が設けられている所謂ディスクリートトラックメディアでも良い。また、基板上に、凸状の磁性パターンと磁性パターン間の凹部を充填する非磁性体とを含む所謂パターンド媒体でもよい。
本発明のスピントルク発振器は、MAMR方式としての磁気記録ヘッドに限らず、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)の磁気情報書換えにも適用することができる。例えば、本発明の高周波磁界発振器を記憶セルの磁性トンネル接合の近傍に形成し、発振器から得られる高周波磁界を用いることで従来に比較してより低電流で磁化反転を行うことができる。
110:発振器
111:高周波磁界発生層
112:中間層
113:スピン注入固定層
120:主磁極
130a:副磁極
130b:トレーリングシールド
140:酸化膜
150:埋め戻し絶縁膜
160:コイル
170:レジスト
180:保護膜
190:窒化膜
200:再生ヘッド部
210:再生センサ
220:下部磁気シールド
230:上部磁気シールド
300:磁気記録媒体
400:スピンドルモータ
500:アクチュエータ
600:ヘッドスライダー
700:信号処理回路
800:記憶部
810:磁化固定層
820:磁化自由層
830:トンネル層
840:ビット線
850:ワード線
860:MOS FET
Claims (10)
- 記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極に近接して設けられた高周波磁界を発生する発振器とを有する磁気ヘッドであって、
前記発振器は、トラック幅方向の側面に、当該発振器の構成材料の酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を有していることを特徴とする磁気ヘッド。 - 前記酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜はトラック幅方向の幅が0.5nm以上であり、当該酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を除いた前記発振器のトラック幅方向の幅が、10nm以上60nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド。
- 前記酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜に囲まれた前記発振器の形状が、媒体対向面から素子高さ方向に向かって凸の半円型であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッド。
- 記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極に近接して設けられた高周波磁界を発生する発振器とを有する磁気ヘッドの製造方法において、
前記発振器をパターニングする工程と、
前記パターニングされた発振器のトラック幅方向の少なくとも一つの側面を酸化、窒化又は酸窒化する処理工程と
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 前記処理工程によって厚さ0.5nm以上の酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を形成することを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記処理工程によって、媒体対向面から素子高さ方向に向かって凸の半円型の領域を残して前記発振器のトラック幅方向両側及び素子高さ方向上部に前記酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を形成することを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記処理はオゾン酸化による酸化処理、プラズマ酸化による酸化処理、又は酸素イオンをイオン注入し、その後、熱処理を行う処理であることを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記処理はプラズマ窒化による窒化処理、又は窒素イオンをイオン注入する処理を含むことを特徴とする請求項4に記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を駆動する媒体駆動部と、前記磁気記録媒体に対して記録再生動作を行う磁気ヘッドと、前記ヘッドスライダーを前記磁気記録媒体の所望トラックに位置づけるためのアクチュエータとを有する磁気記録再生装置において、
前記磁気ヘッドは、記録磁界を発生する主磁極と、前記主磁極に近接して設けられた高周波磁界を発生する発振器とを有し、前記発振器は、トラック幅方向の側面に、当該発振器の構成材料の酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を有していることを特徴とする磁気記録再生装置。 - 高周波磁界を発生する発振器と、
前記発振器から発生する高周波磁界を利用して、情報を記録する情報記録部とを有し、
前記発振器は、側面に、当該発振器の構成材料の酸化膜、窒化膜又は酸窒化膜を有していることを特徴とする磁気メモリ。
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