JP5713547B2 - センサ装置及びセンサ装置を製造するための方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 81
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 5
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 4
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 2
- 229910006091 NiCrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L19/14—Housings
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
- Y10T29/49103—Strain gauge making
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
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Description
Claims (11)
- センサ装置(1)であって、基板エレメント(2)と接合エレメント(3)とを有しており、前記基板エレメント(2)が、圧力感知式のダイヤフラム(5)と、該ダイヤフラム(5)の領域内に、前記基板エレメント(2)の主延在平面(100)に対して垂直な方向に配置された空洞(6)とを備えたセンサ構造部(4)を有しており、前記空洞(6)と前記接合エレメント(3)の中空室(7)とが接続されるように、前記基板エレメント(2)が前記接合エレメント(3)に接続されており、
前記基板エレメント(2)がさらに、圧力感知式の別のダイヤフラム(5′)と、該別のダイヤフラム(5′)の領域内に配置された別の空洞(6′)とを備えた少なくとも1つの別のセンサ構造部(4′)を有しており、前記別の空洞(6′)が、少なくとも1つの前記接合エレメント(3)又は別の接合エレメント(3′)の別の中空室(7′)に接続されているセンサ装置において、
前記基板エレメント(2)は、第2の側(2″)において前記空洞(6,6′)の間に溝(9)を有し、前記接合エレメント(3)は、前記中空室(7,7′)の間にウェブ(10)を有し、
前記ウェブ(10)は、前記溝(9)を受容するように設けられていることを特徴とする、センサ装置。 - 前記基板エレメント(2)と前記別の基板エレメント(2)とが、それぞれ接合エレメント(3)又は別の接合エレメント(3′)に、素材結合、摩擦結合かつ/または形状結合によって結合されている、請求項1記載のセンサ装置。
- 前記基板エレメント(2)と前記接合エレメント(3)との間に、アダプタ部材及び/又は別のアダプタ部材が配置されており、前記空洞(6)が前記中空室(7)に前記アダプタ部材によって結合され、かつ/又は前記別の空洞(6′)が前記別の中空室(7′)に前記別のアダプタ部材によって結合されている、請求項1又は2記載のセンサ装置。
- 前記センサ装置(1)が別の構造部(8)を有しており、該別の構造部(8)が前記ダイヤフラム(5)を中心にして回転対称的に、かつ/または前記別のダイヤフラム(5′)を中心にして回転対称的に配置されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサ装置。
- 前記センサ装置(1)が、前記ダイヤフラム(5)の変位運動を評価するためにも、また前記別のダイヤフラム(5′)の別の変位運動を評価するためにも設けられた評価回路を有している、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ装置。
- 請求項1から5までのいずれか1項記載のセンサ装置を製造するための方法において、
第1の製造段階で、複数の基板エレメント(2)を基板(2′)上に形成し、第2の製造段階で少なくとも1つの基板エレメント(2)を前記基板(2′)から取り出し、第3の製造段階で前記基板エレメント(2)を、前記基板エレメント(2)の主延在平面(100)に対して垂直な方向に配置された前記空洞(6)が前記接合エレメント(3)の中空室(7)と接続され、かつ前記別の空洞(6′)が前記接合エレメント(3)又は前記別の接合エレメント(3′)の別の中空室(7′)と接続されるように、接合エレメント(3)又は別の接合エレメント(3′)に結合し、
前記基板エレメント(2)は、第2の側(2″)において前記空洞(6,6′)の間に溝(9)を有し、前記接合エレメント(3)は、前記中空室(7,7′)の間にウェブ(10)を有し、前記結合は、前記ウェブ(10)が前記溝(9)を受容するように設けられていることにより、行われることを特徴とする、センサ装置を製造するための方法。 - 第1の製造段階で別の構造部(8)を前記基板(2′)上に形成し、この際に前記別の構造部(8)を前記ダイヤフラム(5)を中心にしてほぼ回転対称的にかつ/又は前記別のダイヤフラム(5′)を中心にしてほぼ回転対称的に、フライス切削、鋳造、プレス、かしめ、接着、はんだ付け及び/又は溶接によって製造する、請求項6記載の方法。
- 第2の製造段階で、レーザー切断プロセスによって前記基板エレメント(2)を個別化する、請求項6又は7記載の方法。
- 第3の製造段階を、接着、はんだ付け及び/又はかしめによって実施し、かつ/又は第3の製造段階中に、前記空洞(6)と前記中空室(7)とをアダプタ部材によって互いに接続し、かつ/又は別の空洞(6′)と別の中空室(7′)とを別のアダプタ部材によって互いに接続し、この際に、前記別の構造部(8)が前記アダプタ部材及び/又は別のアダプタ部材を有するようにする、請求項6から8までのいずれか1項記載の方法。
- 別の構造部(8)が設けられており、該別の構造部(8)が前記アダプタ部材及び/又は前記別のアダプタ部材を有している、請求項3記載のセンサ装置。
- 前記空洞(6)及び前記別の空洞(6′)は、等圧化する接続を有する、請求項1記載のセンサ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008041943.5 | 2008-09-10 | ||
DE102008041943A DE102008041943A1 (de) | 2008-09-10 | 2008-09-10 | Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010117346A JP2010117346A (ja) | 2010-05-27 |
JP2010117346A5 JP2010117346A5 (ja) | 2012-10-25 |
JP5713547B2 true JP5713547B2 (ja) | 2015-05-07 |
Family
ID=41650625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009206599A Active JP5713547B2 (ja) | 2008-09-10 | 2009-09-08 | センサ装置及びセンサ装置を製造するための方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8375796B2 (ja) |
JP (1) | JP5713547B2 (ja) |
DE (1) | DE102008041943A1 (ja) |
FR (1) | FR2935794B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140057501A1 (en) * | 2012-08-27 | 2014-02-27 | GM Global Technology Operations LLC | Electrical-mechanical fastening device for motor vehicles |
DE102016225652A1 (de) | 2016-12-20 | 2018-06-21 | Piezocryst Advanced Sensorics Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorgehäuses für einen Kraft- oder Drucksensor sowie Sensorgehäuse, Kraft- oder Drucksensor und Verwendung einer additiven Fertigungsvorrichtung |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS583081Y2 (ja) * | 1978-02-09 | 1983-01-19 | 富士電機株式会社 | 拡散形半導体圧力センサ |
US4222277A (en) * | 1979-08-13 | 1980-09-16 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Media compatible pressure transducer |
GB9321398D0 (en) * | 1993-10-16 | 1993-12-08 | Lucas Ind Plc | Differential pressure transducer |
DE10260105A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor |
US7055392B2 (en) * | 2003-07-04 | 2006-06-06 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical pressure sensor |
DE102004006201B4 (de) * | 2004-02-09 | 2011-12-08 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor mit Siliziumchip auf einer Stahlmembran |
JP2005233953A (ja) * | 2004-02-17 | 2005-09-02 | Robert Bosch Gmbh | マイクロメカニカル式の高圧センサを製造するための方法及びマクロメカニカル式の圧力センサ |
JP2006047190A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Denso Corp | 圧力センサ |
DE102005027365A1 (de) | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Robert Bosch Gmbh | Hochdrucksensoreinrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE102009002004A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung zum Erfassen von hohen Drücken |
US8074521B2 (en) * | 2009-11-09 | 2011-12-13 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Enhanced static-dynamic pressure transducer suitable for use in gas turbines and other compressor applications |
-
2008
- 2008-09-10 DE DE102008041943A patent/DE102008041943A1/de active Pending
-
2009
- 2009-09-08 JP JP2009206599A patent/JP5713547B2/ja active Active
- 2009-09-08 US US12/555,587 patent/US8375796B2/en active Active
- 2009-09-08 FR FR0956090A patent/FR2935794B1/fr active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8375796B2 (en) | 2013-02-19 |
US20100058873A1 (en) | 2010-03-11 |
JP2010117346A (ja) | 2010-05-27 |
DE102008041943A1 (de) | 2010-03-11 |
FR2935794A1 (fr) | 2010-03-12 |
FR2935794B1 (fr) | 2019-07-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
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