JP5711749B2 - 絶縁体上半導体の高速でコンパクトな光変調器 - Google Patents
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Description
本発明は、シリコンフォトニクスの分野にあり、主として、集積回路における光通信及び光インターコネクションの分野での利用を対象としている。
最新世代の素子及びオプトエレクトロニクスシステムは10Gbit/sより高速であることができる速度で動作し、そして、その典型的な適用はシリコンで色彩チャネル(canal chromatique)ごとに1秒間当たり40Gbit/sまでの速度を目標としている。
所定のタイプの変調器について得られる性能は、例えば対照的に、現在では1ミリメートル以上のオーダーにおける長さに達することのある、充分に大きい変調長さを用いることに大きく依存している。
この長さは、集積回路及び/又は小さな素子内の集積の可能性を制限するので、特に、コンパクト性の点で不都合を生じさせる。
長さは変調速度の点でも不都合を有している。実際に、光は所定の速度で導波路内を伝播するが、この速度は変調ダイオードの電極における変調電気信号の伝播速度とは異なる。一定の長さを超えて、変調信号の周波数をあまりに増加させると伝送速度を改善することができない場合には、伝播速度のこの差が障害となる。
このように、所定の伝送速度に対して、一定の変調長さを超えることができないことが多く、そうでなければ、信号は劣化が激しくなりそのアナログ形態からの後続のデジタル再構成が妨げられるか又は阻止される。
この問題は、現在のところ、信号品質に対する変調長さと、情報速度に対する変調周波数との間での釣合選択を行うことを余儀なくさせる。これは、現在、変調長さで数ミリメートルの構成において10Gbit/sそして更に40Gbit/sの伝送速度に達する又はそれを超える上での制限となっている。
− 変調領域において光束が進む経路が一方の制御要素から他方の制御要素まで少なくとも2回通るように、前記導波路を配置し;及び
− 前記導波路は、変調領域の少なくとも一部において、それ自体巻かれた形状であって、これらの制御要素の少なくとも2つから出ている相互に挿置された少なくとも2つの鋸歯状突出部(indentations)を連続的に通過する前記形状を備えている。
− 一方では大部分が前記螺旋の内側に位置した一方の制御要素から、及び
− 他方では大部分が前記螺旋の外側で且つ周囲に位置した他方の制御要素から
延長している。
− 図1は、WO2005/093480に示されるような、その真性領域に垂直なドープ面を備えた側面構成のPIN型ダイオードを含む従来技術の一例を示す斜視断面図であり;
− 図2は、WO2005/093480に示されるような、非対称マッハ・ツェンダー干渉計内に埋め込まれた、図1のダイオードのような横方向ダイオードから変調器を形成する従来技術の一例を示す上面図であり;
− 図3〜図5は、制御要素が導波路のレイアウトを完全に囲む、本発明のまっすぐな(droit)実施態様を示す縮尺通りではない上面図であり;
− 図3は、PN型ダイオードを形成する制御要素の変調領域の部分を示し、そして
− 図4は、PIN型ダイオードを形成する制御要素の変調領域の部分を示し、
− 図5は、非対称変調器のマッハ・ツェンダー干渉計内に対称的に設けられたPNダイオードを備えた2つの変調領域を示し;
− 図6〜図9はPNダイオードが巻かれた実施態様の種々の変形態様を示し、ここでは、制御要素が、導波路の螺旋状のレイアウトと交差する実質的に放射状の相互にかみ合った構造を有するものとする;
− 図6は、同心性の制御要素を備えた変形態様を示し、ここで、導波路は入力螺旋の中で巻かれ、そして、ターンして入力螺旋に挟まれた出力螺旋の中を通って出て行くものであり;
− 図7は、同心性の制御要素を備えた変形態様を示し、ここで、導波路は中心を通って来てそして外側へと螺旋を描くものであり;
− 図8は、図6及び図8の例に対する制御要素及びそれらの電極の構造を示し;
− 図9は、並置された制御要素を備えた変形態様を示し、ここで、導波路は中心を通って来てそして外側へと交互に繰り返される螺旋の部分を描くものであり;
− 図10〜図12は、挟まれた鋸歯状突出部の一部における、巻かれた実施態様の制御要素内の電荷密度分布を示し:
− 図10は、制御電位の差が0Vの場合の測定写真を示し;
− 図11は、制御電位の差が5Vの場合の測定写真を示し;
− 図12は、制御要素の構造内の図10及び図11の測定位置をより広範囲に示す図面である。
制御要素が導波路のレイアウトを完全に囲む、いわゆるまっすぐな実施態様を図3〜図5を参照して説明する。本明細書に記載のこの実施態様の例において、導波路の長手方向のレイアウトはうねった形状を有しており、前記形状は、伝播速度の差を低減又は補正することを可能にする長さを有するように計算される。
先行する実施態様に対するそれらの相違について記載しようとするだけである図6〜図9を参照して、いわゆる巻かれた実施態様を説明する。この巻かれている実施態様においては、導波路のレイアウトが数回通過する、実質的に放射状の相互にかみ合った構造を有する制御要素によってPNダイオードを形成する。本明細書に記載したこの実施態様の例において、導波路のレイアウトは、伝播速度の差を低減又は補正することを可能にする長さを有するように計算された、螺旋形状の全て又は一部を備えている。
− 一方では、大部分が前記螺旋の内側に位置した制御要素の一方622,922から延長し;及び
− 他方では、大部分が前記螺旋の外側で且つ周囲に位置した制御要素の他方621,921から延長する。
− 一方では、大部分が前記螺旋の内側に位置した制御要素の一方622から延び;そして
− 大部分が前記螺旋の外側で且つ周囲に位置した制御要素の他方621から延びている。
− 「o(t)」は時間「t」の関数として螺旋の各点の座標を表す複素数であり、
− 「neff」は導波路における有効屈折率であり、そして
− 「neff,com」は電気制御要素における有効屈折率である]
で表される螺旋の形成経路を提供する。
Claims (14)
- 変調領域(630,730,930)を含み、制御電気信号に応じて光束を変調する電気光学素子であって、
前記光束(611,711,911)は、導波路(610,710,910)内を伝播し、そして、前記制御電気信号(609)を受ける1対の電気制御要素を形成する半導電性材料の少なくとも1つの第一電気制御要素(621)及び少なくとも1つの第二電気制御要素(622)の作用に付され、
前記変調領域(630,730,930)において、前記光束(611,711,911)と前記1対の電気制御要素(621,622)との間の相互作用の少なくとも1つの第一領域(R1a)から少なくとも1つの第二領域(R2a)まで、前記光束(611,711,911)の進む経路の長さ(L611a,L711a,L911a)が前記制御電気信号(609)の進む経路の長さ(L609a,L709a,L909a)とは異なるように、前記導波路(610)を配置し、
ここで、前記長さの差は、前記相互作用の第一領域(R1a)と第二領域(R2a)との間の電気制御要素(621,622)において、光束の伝播速度(V611)と電気信号の伝播速度(V609)との間の差によって生じる伝達結果の差を低減又は補正するように決定されるものとする、
前記電気光学素子において、
− 前記変調領域において光束の進む経路が、少なくとも2つの異なる領域(R1a,R2a)において、前記1対の第一及び第二電気制御要素から選んだ一方の電気制御要素(622)から、その同じ1対の第一及び第二電気制御要素から選んだ他方の電気制御要素(621)へ通過するように、前記導波路(610,710,910)を配置すること;及び
− 前記導波路が、前記変調領域(630,730,930)の少なくとも一部において、それ自体巻かれた形状であって、前記電気制御要素(621,622)の少なくとも2つから出ている相互に挿置された少なくとも2つの鋸歯状突出部(601,602,901,902)を連続的に通過する前記形状を備えていること;
を特徴とする、前記電気光学素子。 - 互いに対向する少なくとも2つの電気制御要素(621,622)が、それらの輪郭部が相互に挿置された鋸歯状突出部を含む形状を有していること、そして、導波路(610)が、前記鋸歯状突出部を連続的に通過し、前記変調領域(630)の少なくとも一部においてそれ自体巻かれた形状を有することを特徴とする、請求項1に記載の素子。
- 光束(611)の進む経路が実質的に放射状の電気制御要素放射部を連続的に通過する螺旋状に巻かれた部分(790)を備えているように、導波路を配置すること、そして、前記電気制御要素放射部は、相互に挿置され、そして、その挿置された電気制御要素放射部は、一方では大部分が前記螺旋の内側に位置した電気制御要素の一方(622)から、及び、他方では大部分が前記螺旋の外側で且つ周囲に位置した電気制御要素の他方(621)から放射状に延長していることを特徴とする、請求項1又は2に記載の素子。
- 光束(611)の進む経路が実質的に放射状の電気制御要素放射部を連続的に通過する細長く且つ螺旋状に巻かれたループを備えているように、導波路(610,690)を配置すること、そして、前記電気制御要素放射部は、相互に挿置され、そして、その挿置された電気制御要素放射部は、一方では大部分が前記螺旋の内側に位置した電気制御要素の一方(622)から、及び、他方では大部分が前記螺旋の外側で且つ周囲に位置した電気制御要素の他方(621)から放射状に延長していることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の素子。
- 導波路が、螺旋状導波路のひと巻きである渦巻状導波路の1つ以上と交差することによって、前記螺旋状導波路の内側に貫通する部分(710)を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の素子。
- 交互に繰り返される方向に且つ連続的に同じ扇形部分(A900)を通る、実質的に同心性の螺旋形の一連の曲線部分(9102,9103,9104,9105)を導波路(910)のレイアウトが備えていること、そして、前記導波路が、一方では大部分が前記曲線部分の内部に位置した電気制御要素の一方(922)から、及び、他方では大部分が前記曲線部分の外側で且つ周囲に位置した電気制御要素の他方(921)から放射状に延長している、相互に挿置された実質的に放射状の電気制御要素放射部(901,902)を連続的に横切ることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の素子。
- 導波路の経路を計算して、最も接近して10%まで伝播速度の差を補正することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の素子。
- 末端に印加された電気信号(609)に応じてその屈折率が変化するPN型(621,622)又はPIN型(421,422)ダイオードを形成するようにドープされた、IV型半導体の、少なくとも1対の電気制御要素を含む活性領域に形成された導波路(610)を、前記変調領域(630,730,930)が含むことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の素子。
- 前記変調領域が、半導体の少なくとも1対の電気制御要素によって囲まれた活性領域内に形成される導波路を含むこと、そして、1対のバンドギャップ半導体を形成するように選択され且つこのように前記電気制御要素に印加された電気信号に応じて前記活性領域における有効屈折率又は有効吸収率の変化を得るように選択された、III−V型の2種類の異なった半導電性材料から形成される1つ以上の量子井戸を備えた少なくとも1つの構造を前記活性領域が含むことを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の素子。
- 前記変調領域が、制御電気信号に応じて前記変調領域を通過する光束の位相を変化させるように配置されたアーキテクチャを備えていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の素子。
- 少なくとも1つの前記変調領域を干渉計内に挿入して、前記変調領域を通過する光束の位相変調から、前記変調領域を通過する光束の強度変調を得ることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の素子。
- 制御信号を処理することによって伝播速度の差を補正する電気回路又は電子素子のいずれも含んでいないことを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の素子を用いる又は含むデバイス。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の素子を含むデバイス又はシステム。
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