JP5710031B2 - 半導体素子の温度検出システム及び半導体モジュール並びに半導体モジュールシステム - Google Patents

半導体素子の温度検出システム及び半導体モジュール並びに半導体モジュールシステム Download PDF

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Description

本発明は、主としてパワーデバイス(電力用半導体素子)の温度検出を行う半導体素子の温度検出システム及びこのシステムを用いて半導体素子の温度制御を行う半導体モジュール並びに半導体モジュールシステムに関するものである。
電力用半導体素子においては、その過熱破壊から素子を保護するために、半導体素子の温度を検出し、それにより半導体ゲートの制御を行う手段が取られている(例えば、特許文献1参照)。また検出された温度値は、外部装置に提示するために、外部とのインタフェースにより転送される。電力用半導体素子は高電圧・高電流の環境下で動作するため、外部との通信は非接触の手段が採られることが多い。特許文献1においてはアンテナを用いた非接触伝送の例が示されているが、一般的にはフォトカプラのような非接触伝送手段が用いられる。また、検出した温度が高温の場合、半導体素子の熱破壊を防止するため、半導体素子のゲート駆動を停止する手段が一般的に取られている。特許文献1においても、温度検出結果を直接判定し、ゲート駆動信号の遮断が行う例が示されている。
特開2004−87871号公報
電力用半導体素子の温度値を高精度に検出するためには、温度センサに備わるばらつきの補正を行う必要があるが、電力用半導体素子が動作している電磁環境の影響を避け、信頼性の高い補正を行うためには、電力用半導体素子部とは絶縁されている外部で補正を行う必要がある。その実現のためには、絶縁部材を挟んでの温度データの通信を行う必要があるが、高速通信が可能な絶縁部材は高価であること、また絶縁部材の信頼性は高くないため、低コスト、高信頼性で高速データ通信を行うためには、温度データのデータ量を減らす必要がある。しかしながら、単純にデータ量を減らす方法を採った場合にはデータの精度が低下するため、従来の装置では、温度データの必要となる精度を確保しながらデータ量を減らすことは考慮されていなかった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、低コスト化と高信頼性を確保することのできる半導体素子の温度検出システム及び半導体素子のモジュール並びに半導体モジュールシステムを得ることを目的とする。
この発明に係る半導体素子の温度検出システムは、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、デジタル温度データを、高温部の検出上限値を基準値とし、当該検出上限値から検出最小分解能を基本単位とした2のべき乗の値範囲毎に温度範囲領域を設定し、高温部からの温度範囲領域毎に、ビット1の前にビット0を温度範囲領域数毎に増やしながら並べていく前置符号と、高温部からの温度範囲領域毎に、その検出分解能を半分とし、1ビットずつ温度データの下位ビットを削除するデータ符号とを連接し、これを、予め定められた温度検出下限値を含むデータ範囲までを含むように規定する、所定の長さの符号化データに符号化する温度データ符号化部とを備えたものである。
また、この発明に係る半導体モジュールは、半導体素子と、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部、デジタル温度データの所定の下位ビットから、温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部、及び前置符号と有意データとを連接して符号化データを生成する連接部を具備する温度データ符号化部とを備えたものである。
さらに、この発明に係る半導体モジュールシステムは、半導体素子と、半導体素子のゲートを制御するための指令信号を出力するコントローラと、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部、デジタル温度データの所定の下位ビットから、温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部、及び前置符号と有意データとを連接して符号化データを生成する連接部とを具備する温度データ符号化部と、デジタル温度データに基づき、コントローラの指令信号の有効または無効の判断をして制御信号を生成する制御部と、制御信号に基づき半導体素子のゲートを駆動するための駆動信号を生成する駆動信号生成部とを備えたものである。
この発明によれば、温度データを高速に送信することができ、低コスト化と高信頼性を確保することができる。
この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムを示す構成図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムのゲート駆動回路部における過熱保護機能を説明するための構成図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの符号化方法の説明図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの符号化方法における単調増加を示す説明図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの温度データ送信部から温度データ受信部へのデータ転送の説明図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの温度データ補正部における補正方法を示す説明図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの温度データ閾値比較部における補正前閾値の導出方法を示す説明図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの温度データ閾値比較部における閾値比較を説明するための構成図である。 この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムの符号化部の概略構成図である。 この発明の実施の形態2による半導体モジュールの概略構成図である。 この発明の実施の形態3による半導体モジュール及び半導体モジュールシステムの概略構成図である。
以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による半導体素子の温度制御システムを示す構成図である。
図示の半導体素子の温度制御システムは、温度データ符号化部100、温度データ送信部110、温度データ受信部120、温度データ逆符号化部130、温度データ閾値比較部140、温度データ補正部150、補正用データ保持部160、制御回路部170、電気絶縁部180、ゲート駆動回路部190、温度データ量子化部200、温度データ標本化部210、温度データ計測部220、電力用半導体素子230を備えている。
温度データ符号化部100は、温度データ量子化部200で量子化された温度データ(量子化後温度データ430)を符号化する符号化部であり、その詳細については後述する。温度データ送信部110は、温度データ符号化部100で符号化された符号化温度データ(符号化後温度データ440)を電力用半導体素子230とは電気絶縁されている外部に送信するための送信部である。温度データ受信部120は、温度データ送信部110から送信された符号化温度データ(符号化後温度送信データ450)を電気絶縁部180を介して絶縁部通過後温度データ500として受信する受信部である。温度データ逆符号化部130は、温度データ受信部120で受信された符号化温度データ(符号化後温度受信データ510)を復号し、逆符号化温度データ520として出力する演算部である。
温度データ閾値比較部140は、温度データ受信部120で受信された符号化後温度受信データ510と補正用データ保持部160で保持されている温度データの補正用データ(温度補正用データ530)との比較を行い、その結果を過熱保護指令信号340として出力する演算部である。温度データ補正部150は、温度データ逆符号化部130で復号された温度データ(逆符号化温度データ520)を補正用データ保持部160で保持されている補正用データ(温度補正用データ530)で補正し、補正後のデータを補正後温度データ540として出力する演算部である。補正用データ保持部160は、温度データの補正用データを保持する記憶部である。制御回路部170は、補正後温度データ540を入力の1つとして使用し、必要となるゲート駆動用データを演算し、これをパワーデバイスゲート指令信号300として出力する制御回路である。電気絶縁部180は、例えばフォトカプラからなり、高電圧のパワーデバイス部と、制御データを生成する低電圧部とを電気的に絶縁するものである。
ゲート駆動回路部190は、制御回路部170から出力されるパワーデバイスゲート指令信号300を電気絶縁部180を介して受信した信号であるパワーデバイスゲート制御信号310と、温度データ閾値比較部140から出力される過熱保護指令信号340を電気絶縁部180を介して受信した信号である過熱保護制御信号330を入力し、これらの信号に基づいて電力用半導体素子230のゲート駆動電流の制御を行うためのパワーデバイスゲート駆動信号320を出力する制御部である。
温度データ量子化部200は、温度データ標本化部210から出力される温度データ(標本化後温度データ420)を量子化し、温度データ符号化部100に量子化後温度データ430として送出する演算部である。温度データ標本化部210は、温度データ(パワーデバイス検出温度データ410)を標本化し、標本化後温度データ420として温度データ量子化部200に送出する処理部である。温度データ計測部220は、電力用半導体素子230から発生する熱(パワーデバイス発生熱400)の温度を計測し、パワーデバイス検出温度データ410として温度データ標本化部210に送出する、例えばサーマルダイオード等を用いたセンシング部である。なお、温度データ量子化部200〜温度データ計測部220によって、測定対象となる半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測手段が構成されている。電力用半導体素子(パワーデバイス)230は、効率的な電力制御を行うための半導体デバイスであり、パワーMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)やIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などが一般的に使用されている。
以下、構成及びその動作を更に説明する。
電力用半導体素子230としてIGBTを元に説明すると、IGBTは数100Vから数1000Vの耐圧を持ち、ゲート(G)電圧のON/OFFのスイッチング制御により、大容量の電流を流すことが出来る。電流方向の制御のため複数個の素子によりブリッジ回路が構成されることが多く、図1中の電力用半導体素子230では、図面上側の素子と下側の素子の駆動のため、2つのゲート駆動信号(パワーデバイスゲート駆動信号320)を入力としている。
IGBTのゲート信号のスイッチングは、制御回路部170により行われるが、制御回路部170は一般的にマイクロコンピュータやゲートアレイのようなICで実現され、動作電圧は5Vや3.3Vの低電圧で動作する機能部であり、パワーデバイス部は数100Vから数1000Vの高電圧で動作するため、制御回路部170からの出力であるゲートスイッチング信号(パワーデバイスゲート指令信号300)は、電気絶縁部180を介して、ゲート駆動回路部190に伝えられ、ゲート駆動回路部190が、パワーデバイスゲート駆動信号320を駆動する形態が取られている。ここで、パワーデバイスゲート指令信号300、パワーデバイスゲート制御信号310、及びパワーデバイスゲート駆動信号320は信号的に接続されており、同じゲートスイッチング信号を伝達している。なお、このようなパワーデバイスの駆動制御については、例えば、「パワーエレクトロニクスハンドブック」((株)オーム社、ISBN978−4−274−20790−7)記載の「5編7章 ゲート駆動回路」「5編10章 制御回路」等に示されるように公知であるため、詳細な説明については省略する。
IGBTなどの電力用半導体素子230では、トランジスタそのものの定常損失やスイッチング損失や、接続されている逆並列ダイオード(FWD:Free Wheeling Diode)の定常損失やスイッチング損失等の多くの損失が発生しており、それは熱となって半導体素子の温度を上昇させる結果となる。通常は、パワーデバイスを使用する機器側で適切な熱設計を行い、適切な冷却が行われているが、環境要因や制御信号要因により、発熱量が増大し、半導体素子を熱破壊させる可能性が存在している。そのため、パワーデバイスの温度をセンサにより検出(図1では、電力用半導体素子230から発生するパワーデバイス発生熱400を温度データ計測部220にて検出)し、ある閾値温度と比較し、閾値以上となっている場合には、熱破壊を防ぐために過熱保護指令により駆動回路によるパワーデバイスの駆動が停止させる動作が取られる。
図2は、パワーデバイスの駆動を停止させるための構成を示している。すなわち、ゲート駆動回路部190は、パワーデバイスゲート制御信号310における上側制御信号と下側制御信号をそれぞれ一方の入力とする論理積回路(AND回路)191,192と、過熱保護制御信号330を入力し、その論理反転出力を論理積回路191,192の他方の入力端子に送出する論理反転回路(インバータ)とを有しており、論理積回路191,192それぞれの出力がパワーデバイスゲート駆動信号320となる。図示例では、過熱保護制御信号330が有意(値が1)の場合に、パワーデバイスゲート制御信号310を無視し、パワーデバイスゲート駆動信号320の駆動を停止する制御を行うよう構成されている。
温度検出を行うセンサ(温度データ計測部220で使用されるサーマルダイオード等)は、個々のセンサにより検出ばらつきが大きく、その検出精度を上げるためには、検出したセンサ値に対し、検出ばらつきの特性に応じたデータの補正が必要である。その補正は、一般的に、何かしらの手段で取得、保持している補正用データを用いた値変換演算により行われるが、先述の通り、パワーデバイス周辺は高温、高電圧であるため、信頼性を持って補正用データを保持すること、また、補正演算を行うことは、その技術的の高度さからコスト的に困難である。
そのため、電気絶縁部180を挟んだ低電圧部で保持及び演算させる事が考えられるが、電気絶縁部180をデータ通信させる必要性が発生する。高速データ通信レートを有する電気絶縁部材は高価であるため、それを採用した場合には製品コストが増加するという問題が発生する。また、低速データ通信レートとなる電気絶縁部材を複数個並列に持ち、データのパラレル通信により通信を行うとしても、元々、電気絶縁部材は他の部品に比べて信頼性が低いため、それを複数個持つことは製品の信頼性を低下させる結果となる。また、電気絶縁部180を通過する際の通信時間遅れ(通信遅延)は、先述の閾値温度比較処理の遅れとなるため、パワーデバイスに損傷を与える結果となりかねない。
通信時間は通信データ量を通信速度で割ったものであるため、通信時間を短くするためには、通信速度を上げるという手段の他に、通信データ量を削減するという手段がある。ここで、通信するデータを、電力用半導体素子230の温度データだとすると、データ量を削減する方法としては、データ分解能を落とす手段や温度検出範囲を狭める手段が考えられる。データ分解能を落とす手段は、先述の過熱保護精度や、温度情報を元に制御回路側が処理内容切替を行う場合の精度に問題が発生する。一方、温度検出範囲を狭める手段の場合、例えば検出範囲を高温部だけに限定したとすると、通常動作時の半導体素子温度の状況の可視化が困難になるという問題がある。もちろん、低温部だけに限定すると、先述の過熱保護が実現困難となる。
パワーデバイスの検出温度データの使われ方として、高温度部では温度分解能が高いデータが必要であるが、低温部はさほど分解能や精度が必要ないため、高温度時の値を高分解能のデータとして扱い、低温度時の値は低分解能のデータとして扱い、全体の検出温度範囲を広く取ることが出来れば、先のデータ量削減が可能となる。そこで、本発明の温度データ符号化部100は、そのような温度データの符号化を行う機能を実現している。以下、その機能について説明する。
温度データ計測部220により検出されたパワーデバイス検出温度データ410は、通常のAD変換(アナログ/デジタル変換)で実現されている手段の通り、温度データ標本化部210による標本化、及び温度データ量子化部200による量子化が行われる。量子化後温度データ430は、温度データ符号化部100の入力として与えられる。温度データ符号化部100の内部では、高温部のデータ分解能を細かくすることで有効データ長を長く、また低温部のデータ分解能を粗くすることで有効データ長を短くしながら、温度データのデータ長を固定長とし、また、その固定長の符号値を2の補数値として数値評価した場合にも、当該符号化で温度データの増加と共に、2の補数値とした値でも単調増加している特徴を持つデータ符号化が行われる。
その符号化の具体例を示したのが図3である。ここでは、量子化後温度データ430が、0℃〜255℃の分解能1℃の値として、一般性を保ったまま、2の補数の数値符号である8ビットデータとして入力されるとする。また、半導体の一般的な物性から規定しうる、温度検出の上限値が159℃として与えられているとする(159℃以上の値の温度差異は無意な情報となるため、159℃以上であることが分かれば良い、の意味での上限値とする)。その8ビットのデータ(ここでは便宜上、生データと呼ぶ)を入力として受け、2のべき乗の温度範囲で、現在の温度がどの温度範囲領域にあるかを識別する。図3では、32℃(=2の5乗)温度範囲を1領域として認識する例を示している。
上限値を159℃とし、2の5乗の温度範囲のどの領域に存在するかは、8ビットの入力データの上位3ビット(図3では{b7、b6、b5}の上位3ビット)を見れば検出可能である。この3ビットの値が{1、0、1}、{1、1、0}、{1,1,1}のどれかである場合には、この温度は159℃以上であることが判断できるため、上限温度(159℃)以上(これを温度範囲領域0とする)という情報を一旦保持する。それ以下の場合、本3ビットデータを、温度の高い方から順番に、{1,0,0}(温度範囲領域1:159℃〜128℃)、{0、1、1}(温度範囲領域2:127℃〜96℃)、{0、1、0}(温度範囲領域3:95℃〜64℃)、{0、0、1}(温度範囲領域4:63℃〜32℃)、{0、0、0}{温度範囲領域5:31℃〜0℃}として見て、該当する値に対して、以下のような可変長の前置符号と呼称するものをあてがう。
3ビット値 前置符号
{1,0,0} {1} ・・・温度範囲領域1
{0、1、1} {0、1} ・・・温度範囲領域2
{0、1、0} {0、0、1} ・・・温度範囲領域3
{0、0、1} {0、0、0、1} ・・・温度範囲領域4
{0、0、0} {0、0、0、0、1}・・・温度範囲領域5
前置符号は、その温度範囲領域にいることを{1}で示し、また、温度範囲領域の温度範囲が下がる毎に、1つずつ{0}をデータの先頭に追加していくものである。また、その温度範囲領域の識別及び前置符号の確定と共に、その温度範囲領域内でのデータ値({b4、b3、b2、b1、b0}の5ビット値)において、温度が低い領域毎に、データ下位のビットとなる分解能のデータ分を段階的に落としていく。すなわち、温度範囲領域毎の有意なデータ値を以下で識別する。
温度範囲領域1 {b4、b3、b2、b1、b0}・・分解能1℃
温度範囲領域2 {b4、b3、b2、b1} ・・分解能2℃
温度範囲領域3 {b4、b3、b2} ・・分解能4℃
温度範囲領域4 {b4、b3} ・・分解能8℃
温度範囲領域5 {b4} ・・分解能16℃
そして、このデータの先頭に、先述の前置符号を連接させ、最終的な温度符号化値を、6ビットの固定長のデータとして以下で決定する。また、この時、先述した「温度範囲領域0」(上限温度以上)の情報が保持されている場合には、温度範囲領域1の最高温度と同じ温度符号化値(全ビットが1)を温度範囲領域0の値として出力する。
温度範囲領域0 {1、 1、 1、 1、 1、 1}
温度範囲領域1 {1、b4、b3、b2、b1、b0}
温度範囲領域2 {0、 1、b4、b3、b2、b1}
温度範囲領域3 {0、 0、 1、b4、b3、b2}
温度範囲領域4 {0、 0、 0、 1、b4、b3}
温度範囲領域5 {0、 0、 0、 0、 1、b4}
なお、この符号化では、一般的なコンピュータシステムで使用される“2の補数”の数値表現として見た場合、すなわち、温度範囲領域1では、
1×2+b4×2+b3×2+b2×2+b1×2+b0
の10進数として見た場合、元データ(先述の生データ)と比例関係にはなっていないが、元データの数値列に対して「単調増加」となっていることは明白である(それを説明したものが図4である)。
このように温度データ符号化部100にて符号化された温度データ(符号化後温度データ440)は、電気絶縁部180を挟んで通信するために、温度データ送信部110に送られる。
温度データ送信部110が、電気絶縁部180を挟んで、温度データ受信部120と通信するためには、何かしらの通信規約の取り決めが事前に必要である。この時、もし、符号化後温度データ440の符号長が固定長でなかった場合には、例えば、データ通信用ポート以外に別途データ有効信号(一般的にデータVALID信号と呼ばれる)用のポートを必要とし、電気絶縁部180が増えることによるコスト増加や信頼性低下が問題となる。また例えば、データ通信用ポート単体でデータ送信するとした場合にも、データ転送開始信号やデータ転送終了信号を受信側とやりとりする必要が発生し、通信機構(データ送信機構やデータ受信機構)の複雑さによるコスト増加や信頼性低下の問題がある。しかしながら、温度データ符号化部100が行う温度符号化は固定長の符号化であるため、単純なスタートビットとストップビットによるデータ転送制御のみでデータ転送が可能な、いわゆる調歩同期通信方式でデータ転送が可能であり、コスト低減や信頼性確保が可能となる。
なお、図5には、調歩同期通信方式にて上記の6ビットデータを転送する際の、信号線の動作を示している。温度データ送信部110と温度データ受信部120の間では、図5中の送信データ信号(温度データ受信部120から見れば受信データ信号)を通すだけの1つの通信ポートさえあれば、通信が可能である(図5中の基準クロックは、温度データ送信部110、及び温度データ受信部120の各々の内部では必要となるが、このクロック信号を、電気絶縁部180を介して通信する必要はない)。
温度データ受信部120により受信された温度データ(符号化後温度受信データ510)は、温度データ逆符号化部130により、符号化後温度データ440と同じデジタルデータとして復号化される。すなわち、受信された符号化後温度受信データ510は、符号化後温度データ440と同じものである。
受信した符号化後温度受信データ510は、制御回路部170が、パワーデバイス温度を元にした各種制御処理を行うために、温度データ逆符号化部130にて、コンピュータシステムにおける通常の数値符号である2の補数表現に変換される。その変換は、図3に示した温度データ符号化部100における符号化方式の逆変換であるため、その詳細は割愛する。なお、温度データ符号化部100の符号化では、元々の量子化後の情報を一部削除してあるため、以下の制約が発生する。
・159℃を超える温度値は存在せず最大で159℃(ビットフォーマットで、10011111)である。
・温度範囲領域2〜5に相当する領域の下位ビットが欠落している。
このため、欠落した下位ビットに関しては、以下のように逆符号化する。
「欠落した(分解能を落とした)部分のビットはすべて1とする(要するに、その分解能の範囲の中で最大の温度値とする」
このように生成した逆符号化温度データ520は、先述の通り、温度センサのばらつきにより誤差を含んだ値となっている。そのため、既知の手段により規定している温度センサ値に対する補正演算を行うことにより、温度センサ値の精度を上げることが可能となる。温度データ補正部150が、その補正処理を行っている部分であり、予め温度データ補正用データ保持部160に保持している温度補正用データ530を元に、補正演算を行い、その結果の温度データ値である補正後温度データ540を、制御回路部170に出力する。
なお、温度データ補正部150の補正演算内容は、図6に示すような内容となっている。多くの温度センサにおいて、線形補正により高精度化は可能であり、その演算内容を示している。具体的には、
補正前温度データtに対し、補正用データ保持部160から取得した補正用データ(補正用データ1:aと補正用データ2:b)により、
補正後温度データt’は、
t’=a×t+b
として演算される。
このようにして、制御回路部170が使用する補正後温度データ540は導出されるが、パワーデバイスがある温度閾値を超えている状態において、過熱保護信号を生成する必要がある。この閾値比較も、上記の通り、補正後温度データ540により比較を行った方が高精度な判定が行える。しかし、温度データ受信部120が温度データを受信後、温度データ逆符号化部130による逆符号化及び温度データ補正部150による補正演算後のデータに対する閾値比較演算となるため、多くの時間遅れが発生する。半導体素子の熱破壊や熱暴走から保護するための過熱保護処理であり、半導体素子も、温度依存特性上の損傷を受け易い状態で動作しているため、温度閾値を超える程の高温状態であれば、高速に過熱保護信号を生成し、ゲート駆動回路部190に伝えるのが望ましい。それを実現しているのが、温度データ閾値比較部140である。以下、温度データ閾値比較部140の機能について説明する。
図6で示したような補正演算を行う場合、補正後温度データにおける補正後温度閾値s’は、簡単に補正前温度データにおける補正前温度閾値sに変換可能である。その具体的な変換内容を示したものが図7である。
図7に示す通り、
s=(s’―b)/a
の演算にて、補正前温度閾値sに変換可能である。また、図7から明らかなように、温度補正演算が線形変換であるため、補正後温度データt’が補正後温度閾値s’を超えているかどうかの評価(比較)結果は、補正前温度データtが補正前温度閾値sを超えているかの評価(比較)結果と同一である。そのことから、s’とaとbの値があれば、sの事前導出が可能で、温度データ補正部150の処理内容を行わなくても高精度な温度閾値比較を行うことが出来る。
また、上述したように、温度データ符号化部100で行う符号化は、元のデータに対し「単調増加」となる符号化であるため、その大小比較の評価結果は、符号化前と符号化後のどちらの値同士で比較しても同一である。そのため、補正前温度閾値sに対し、温度データ符号化部100で実施する符号化(図3参照)と同じ符号化を実施し、その符号化後補正前閾値と符号化後温度受信データ510とを、通常のコンピュータシステムで使用される2の補数数値符号と見なして比較を行えばよい。それを説明したものが図8である。
図8は、温度データ閾値比較部140の内部構成を示しており、図示のように、温度データ閾値比較部140は、補正前温度閾値算出部141、符号化部142、符号化後閾値データ保持部143、符号化後温度データ閾値比較部144を備えている。ここで、補正前温度閾値算出部141は、上述したs=(s’―b)/aの演算にて、補正前温度閾値sを算出する演算部であり、符号化部142は、この補正前温度閾値sに対して温度データ符号化部100と同様の符号化を行い、符号化後補正前閾値を生成する演算部、符号化後閾値データ保持部143は、この符号化後補正前閾値を保持するための記憶部である。また、符号化後温度データ閾値比較部144は、符号化後補正前閾値と符号化後温度受信データ510とを比較し、符号化後温度受信データ510が上回っていた場合に過熱保護指令信号340を有意とする比較部である。
図8中に示した通り、符号化後補正前閾値は、比較演算の際、毎回導出する必要はなく、事前に導出して、内部保持しておけばよい(これを保持するのが、符号化後閾値データ保持部143である)。また、比較演算を2の補数数値符号として行えるため、通常のコンピュータシステムで使用されている比較演算用の演算回路が使用可能であり、それらは十分に回路実装として最適化され、不具合対応も十分行われているものが使用可能であるため、高速性及び高信頼性を確保することが可能となる。
以上説明したように、実施の形態1の半導体素子の温度検出システムによれば、
半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、デジタル温度データを、高い温度範囲領域よりも低い温度範囲領域のデータ分解能が低く、かつ2の補数の数値として評価した場合に、デジタル温度データの増加と共に単調増加する、所定の長さの符号化データに符号化する温度データ符号化部とを備えたので、温度データの検出範囲を広く持ちながら、その温度データの値を元に特殊処理を行うことが必要となる高温時における温度データ分解能を細かく持つことが可能となり、また固定長データであるため、本温度データを通信するのに必要となる機構が簡単となると共に、データビット長が圧縮されているため、高速な温度データ通信が可能となる。また、符号化した温度データに対し特定の演算を行う際に、一般的なコンピュータが扱う数値符号(2の補数)に変換する処理を行わなくても、そのままの値で演算が可能となるため、温度データに関連する処理の高速化が可能となる。
また、実施の形態1の半導体素子の温度検出システムによれば、符号化データは、高温部の検出上限値を基準値とし、検出上限値から検出最小分解能を基本単位とした2のべき乗の値範囲毎に温度範囲領域を設定し、高温部からの温度範囲領域毎に、ビット1の前にビット0を温度範囲領域数毎に増やしながら並べていく前置符号と、高温部からの温度範囲領域毎に、その検出分解能を半分とし、1ビットずつ温度データの下位ビットを削除するデータ符号とを連接し、これを、予め定められた温度検出下限値を含むデータ範囲までを含むように規定するようにしたので、固定長の符号値を具体的に実現することができ、低コスト化と高信頼性を確保することができる。
また、実施の形態1の半導体素子の温度検出システムによれば、温度データ符号化部が符号化した温度データと、予め定められた温度閾値を符号化した符号化後閾値とを比較して、温度データと閾値との比較結果を得る温度データ閾値比較部を備えたので、高精度な温度データの閾値比較を高速に行うことができる。
また、実施の形態1の半導体素子の温度検出システムによれば、温度データ符号化部が生成した符号化データを受信する温度データ受信部との通信方法を調歩同期方式とするようにしたので、絶縁材を通した通信を行う際に、絶縁材の個数を減らすことができ、低コスト化が可能となる。
また、実施の形態1の半導体素子の温度制御システムによれば、半導体素子の温度検出システムで検出した比較結果に基づいて半導体素子における過熱保護のための駆動制御を行う駆動回路部を備えたので、温度データに含まれるアナログ温度センサの特性ばらつきを補正し、その補正値と、過熱保護に必要となる温度閾値を比較する場合に、検出した温度データに関する補正処理が必要なくなるため、高応答な過熱保護信号生成が可能となる。
また、実施の形態1の半導体素子の温度制御システムによれば、半導体素子の温度検出システムで検出した符号化データを用いて半導体素子の温度制御を行うようにしたので、取得した温度データを用いて制御内容を変更したい場合に、通常のコンピュータシステムとして実現されている制御装置で、直接データを扱うことが可能となる。
例えば本実施の形態において、温度データ量子化部200で量子化された8ビットの量子化後温度データ430を温度データ符号部100で符号化し、符号化後温度データ440を温度データ送信部110によりパワーデバイス部と電気的に絶縁されている低電圧部に送信する例を示したが、必ずしもこの限りではない。例えば温度データ符号化部100は、図9に示すように、前置符号変換部101、有意データ取得部102、及び連接部103を具備する構成としてもよい。以下、図9の動作を説明する。温度データ量子化部200で量子化されたAビットの量子化後温度データ430が前置符号変換部101に入力される。前置符号変換部101はAビットのうち上位Bビットを、図3で示した方法で前置符号に変換する。
すなわち、前置符号変換部101は、所定の温度範囲領域を基準としてN番目(Nは正の整数)に高い温度範囲領域に対して、N−1個のビット0に続く1個のビット1からなる前置符号を生成する(図3)。
一方、Aビットの量子化後温度データ430のうち下位(A−B)ビットが有意データ取得部102に入力される。有意データ取得部102は、下位の(A−B)ビットの分解能を段階的に落として有意データ取得部102に格納する。すなわち、有意データ取得部102は、所定の温度範囲領域を基準としてN番目に高い温度範囲領域に対して、最下位のN−1個ビットを削除して右詰めした有意データを取得する(図3)。
さらに、前置符号変換部101で変換された前置符号と、有意データ取得部102で取得された有意データとを連接部103で連接させて、固定長の符号化後温度データ440を形成する。温度データ符号化部100にて符号化された符号化後温度データ440は、通信するために温度データ送信部110に送られる。
すなわち、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部220と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部101と、デジタル温度データの所定の下位ビットから、前記温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部102と、前置符号と有意データとを連接して符号化データを生成する連接部103を具備する温度データ符号化部100を備えることにより、本発明に係る半導体素子の温度検出システムを構成することができる。
半導体モジュールとしては、電力用半導体素子230と、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部220と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、前記所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部101、デジタル温度データの所定の下位ビットから、温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部102、及び前置符号と有意データとを連接して符号化データを生成する連接部103を具備する温度データ符号化部100とを備えることにより実現できる。
実施の形態2.
図10は、実施の形態2による半導体モジュールの概略構成図であり、特にIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)とFWDi(フリーホイールダイオード)とIGBTを動作させる制御ICと温度計測部220と温度データ符号化部100と、これらを半導体モジュールにより駆動される負荷(モータなど)または基板、コントローラに接続するためのインタフェースVcc、GND、IN、Fo、C、Eとを備える。ここで、Vccは電源、GNDはグランド、INはIGBTのゲート信号を駆動するための入力、Foはエラー発生時にコントローラ側に出力するエラーを示している。CはIGBTのコレクタ、EはIGBTのエミッタ側となり、駆動する負荷側へ接続される。
温度データ計測部220は、実施の形態1と同様の、半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するものであり、温度データ符号化部100は、実施の形態1と同様の、デジタル温度データを、高い温度範囲領域よりも低い温度範囲領域のデータ分解能が低く、かつ2の補数の数値として評価した場合に、前記デジタル温度データの増加と共に単調増加する、所定の長さの符号化データに符号化するものである。
この半導体モジュールは、インタフェースからの情報に基づきIGBTを動作させた時の温度データを高速に送信することができ、低コスト化と高信頼性を確保することができる。
実施の形態3.
図11は、実施の形態3による半導体モジュール及び半導体モジュールシステムの概略構成図であり、図において、IPMは半導体モジュール(インテリジェントパワーモジュール)を示し、IPM700は、温度データ符号化部100、温度データ送信部110、温度データ受信部120、温度データ逆符号化部130、温度データ閾値比較部140、温度データ補正部150、補正用データ保持部160、電気絶縁部180、温度データ量子化部200、温度データ標本化部210、温度データ計測部220、電力用半導体素子230、制御IC701、絶縁前制御回路部702、コントローラ通信回路部704を備えている。すなわち、本実施の形態のIPM700は、実施の形態1における制御回路部170に代えて絶縁前制御回路部702を設けると共に、ゲート駆動回路部190を制御IC701とし、かつ、コントローラ通信回路部704を設けたものである。
ここで、制御IC701、絶縁前制御回路部702、コントローラ通信回路部704以外の構成は図1に示した実施の形態1と同様であるため、それらの構成の説明は省略する。
制御IC701は、パワーデバイスゲート制御信号310を入力とし、パワーデバイスゲート駆動信号320を生成する。この制御IC701は、実施の形態1の図2で説明しているゲート駆動回路部190が保有する、過熱保護機能(過熱保護制御信号330を入力として取り、またそれを信号反転させ、上側制御信号及び下側制御信号に対し論理積を行い、結果、過熱保護制御信号330がHigh(1)の場合に、出力となるパワーデバイスゲート駆動信号320を遮断(Low(0))する)は有しておらず、パワーデバイスゲート制御信号310の電圧レベル(例として5V)と、パワーデバイスゲート駆動信号320(例として15V)の電圧レベル合わせをするような機能を有しており、その電圧レベルを合わせた上側制御信号と下側制御信号を、直接、パワーデバイスゲート駆動信号320として伝える機能を有している(すなわち、図2での説明を元にすると過熱保護制御信号330が常時L(0)であることと同じである)。
パワーデバイスゲート制御信号310は、実施の形態1と同様に電気絶縁部180を介してパワーデバイスゲート指令信号300を伝達している。また、パワーデバイスゲート指令信号300は、実施の形態1の制御回路部170とは異なり、絶縁前制御回路部702から出力されている。
絶縁前制御回路部702は、IPM700を使用するシステムにおけるコントローラ706からの制御信号であるコントローラゲート指令信号703と、温度データ閾値比較部140からの過熱保護指令信号340とを受け、図2に示すゲート駆動回路部190と同様の機能により、電力用半導体素子230の駆動制御信号としてのパワーデバイスゲート指令信号300を生成している(図2におけるパワーデバイスゲート制御信号310がコントローラゲート指令信号703となり、パワーデバイスゲート駆動信号320がパワーデバイスゲート指令信号300となった機能構成となっている)。また、コントローラ706は、IPM700を制御するコントローラであり、マイコンやASICによって構成されている。
また、本実施の形態では、温度データ閾値比較部140で生成した過熱保護指令信号340を、電力用半導体素子230の温度保護実施状態情報としてコントローラ706に通知する機能も有している。
すなわち、温度データ閾値比較部140での比較判定により過熱保護を行う状況が発生した場合、過熱保護指令信号340により絶縁前制御回路部702の中でコントローラ706からのコントローラゲート指令信号703を無効化し、パワーデバイスゲート指令信号300に伝えると共に、その無効化の状態が発生していることを、直接、過熱保護指令信号340によりコントローラ706に伝えるよう構成されている。
また、本実施の形態では、コントローラ通信回路部704が存在している。コントローラ通信回路部704は、温度データ補正部150が生成する補正後温度データ540を内部で保持し、コントローラ通信信号705から温度データ読出し要求により、補正後温度データ540の値を、電力用半導体素子230の温度データとしてコントローラ706で取得することを可能にするものである。
コントローラ通信信号705としては、例えば、マイクロコントローラ(いわゆるマイコンと呼ばれるIC)と他のICとの間で一般的に使われている通信仕様であるI2C(Inter−Integrated Circuit:フィリップス社が開発したシリアルバス規格)やSPI(Serial Peripheral Interface:モトローラ社が開発したシリアルバス規格)などが考えられる。
本実施の形態で実現するIPM700は、電気絶縁部180により、電力用半導体素子230や制御IC701が存在する電源領域(高電圧領域)と、絶縁前制御回路部702やコントローラ通信回路部704が存在する電源領域(低電圧領域)とを、情報的には接続しながら電気的には絶縁することが可能となっている。
通常、電力用半導体素子230は数100V、制御IC701は数10Vの電源により動作しており、またIPM700に対しコントローラゲート指令信号703を与えるコントローラ706は、3.3Vや5Vの電源で動作している。
本構成により、一般に発生する高電圧領域からの電気ノイズを低電圧領域に伝播させずに済むため、絶縁前制御回路部702やコントローラ通信回路部704は、コントローラ706と同一の電源にて動作させることが可能となり、コントローラ706とIPM700とを搭載する基板開発において煩雑な作業となるノイズ対策の設計作業を簡単化し、IPM700が保持する電力用半導体素子230の温度情報と温度保護状態に関する情報を簡単に取得することが可能となっている。
なお、ここで、温度データ量子化部200、温度データ標本化部210、温度データ符号化部100、温度データ送信部110、温度データ受信部120、温度データ逆符号化部130、温度データ閾値比較部140、温度データ補正部150、補正用データ保持部160、絶縁前制御回路部702、コントローラ通信回路部704は、ディスクリート部品で実現する形態、専用のASIC(Application Specific Integrated Circuit)により実現する形態、FPGA(Field−Programmable Gate Array)を用いて実現する形態、マイコンやDSP(Digital Signal Processor)により実現する形態など、様々な形態が考えられるが、特定の実現形態に限定するものではない。
また、温度データ符号化部100の実現機能に関し、実施の形態1において、8ビットのデータを6ビットに削減する方式を例示したが、7ビットや5ビットに削減してもよい(ビット数が少なければ何ビットでも差し支えない)。
また、コントローラ通信回路部704がコントローラ706との間でデータ通信を行うコントローラ通信信号705を、I2CやSPIのシリアルバス仕様にて説明を行ったが、別のシリアルバス仕様でも問題はなく、パラレルバス仕様でも問題ない。
以上説明したように、実施の形態3の半導体モジュールによれば、温度データ閾値比較部の比較結果と、自システムを制御するためのコントローラからの制御信号とに基づいて、半導体素子の駆動制御信号を出力する制御回路部と、実施の形態1の半導体素子の温度検出システムで検出した符号化データを半導体素子の温度データとしてコントローラに出力する通信回路部とを備え、温度データ閾値比較部の比較結果を半導体素子の温度保護実施状態情報としてコントローラに出力するようにしたので、コントローラに対して、温度制御システムを制御するためのインタフェースを提供することができる。
さらに、本実施の形態においてIPM700にコントローラ706を備えた半導体モジュールシステムとすることができる。コントローラ706に複雑な指令をさせる場合には、コントローラ706からの指令信号に対しIGBTの温度が高くなる。そこで温度データを予め決めた温度データ閾値等と比較させてコントローラ706からの指令を有効または無効と判断してIGBTを停止させ、さらに現在の温度データをコントローラ706に提示しておけば、コントローラ706はその温度データに基づき複雑な制御を実現することができる。
そこで、図11に示す半導体モジュールシステムにおいては、電力用半導体素子230と、電力用半導体素子230のゲートを制御するための指令信号を出力するコントローラ706と、コントローラ706からの指令信号に対し、温度データ閾値等と比較させた結果から、指令信号を有効または無効と判断して指令信号である制御信号を生成する絶縁前制御回路部702と、制御信号に基づき電力用半導体素子230のゲートを駆動するための駆動信号を生成する駆動信号生成手段である制御IC701と、電力用半導体素子230の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部220と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部101、デジタル温度データの所定の下位ビットから、温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部102、及び前記前置符号と前記有意データとを連接して符号化データを生成する連接部103を具備する温度データ符号化部とを備える。
特に、コントローラ706からの指令信号に対し、温度データ閾値等と比較させた結果から、指令信号を有効または無効と判断して指令信号である制御信号を生成する絶縁前制御回路部702と、制御信号に基づき電力用半導体素子230のゲートを駆動するための駆動信号を生成する駆動信号生成手段である制御IC701は、半導体素子の温度データに基づき、コントローラ706の指令信号の有効または無効の判断をして指令信号を生成する制御部702と、制御信号に基づき電力用半導体素子230のゲートを駆動するための駆動信号を生成する駆動信号生成部であればよい。
この半導体モジュールシステムにより、高温動作時のIGBTから検出した温度データから、IGBTを制御する制御信号を高速に停止することができると共に、現在のIGBTの温度データをコントローラ706に提示することにより、コントローラ706はその温度データに基づき半導体モジュールの複雑な指令をさせることができる。
さらに、電力用半導体素子230と、半導体素子のゲートを制御するための指令信号を出力するコントローラと、指令信号に基づき電力用半導体素子230の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、電力用半導体素子230の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部220と、デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、前記所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部101、デジタル温度データの所定の下位ビットから、温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部102、及び前置符号と有意データとを連接して符号化データを生成する連接部103を具備する温度データ符号化部100とを備えることにより、コントローラの指令信号が複雑であっても温度検出が可能で温度検出から駆動指令制御が即座にできる半導体モジュールシステムを実現できる。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
以上のように、この発明に係る半導体素子の温度検出システム及び半導体素子モジュール並びに半導体モジュールシステムは、半導体素子の温度データの符号化データとして高温部と低温部でデータ分解能を異なるものとし、かつ、温度データのデータ長は固定長としたものであり、パワーデバイス(電力用半導体素子)の温度検出や温度制御を行うシステムに用いるのに適している。
100 温度データ符号化部、101 前置符号変換部、102 有意データ取得部、103 連接部、110 温度データ送信部、120 温度データ受信部、130 温度データ逆符号化部、140 温度データ閾値比較部、150 温度データ補正部、160 補正用データ保持部、170 制御回路部、180 電気絶縁部、190 ゲート駆動回路部、200 温度データ量子化部、210 温度データ標本化部、220 温度データ計測部、230 電力用半導体素子、300 パワーデバイスゲート指令信号、310 パワーデバイスゲート制御信号、320 パワーデバイスゲート駆動信号、330 過熱保護制御信号、340 過熱保護指令信号、400 パワーデバイス発生熱、410 パワーデバイス検出温度データ、420 標本化後温度データ、430 量子化後温度データ、440 符号化後温度データ、450 符号化後温度送信データ、500 絶縁部通過後温度データ、510 符号化後温度受信データ、520 逆符号化温度データ、530 温度補正用データ、540 補正後温度データ、700 IPM(インテリジェントパワーモジュール)、701 制御IC、702 絶縁前制御回路部、703 コントローラゲート指令信号、704 コントローラ通信回路部、705 コントローラ通信信号、706 コントローラ。

Claims (8)

  1. 半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、
    前記デジタル温度データを、高温部の検出上限値を基準値とし、当該検出上限値から検出最小分解能を基本単位とした2のべき乗の値範囲毎に温度範囲領域を設定し、前記高温部からの温度範囲領域毎に、ビット1の前にビット0を温度範囲領域数毎に増やしながら並べていく前置符号と、前記高温部からの温度範囲領域毎に、その検出分解能を半分とし、1ビットずつ温度データの下位ビットを削除するデータ符号とを連接し、これを、予め定められた温度検出下限値を含むデータ範囲までを含むように規定する、所定の長さの符号化データに符号化する温度データ符号化部とを備えたことを特徴とする半導体素子の温度検出システム。
  2. 半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、前記所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットから、前記温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部、及び
    前記前置符号と前記有意データとを連接して符号化データを生成する連接部
    を具備する温度データ符号化部と
    を備えることを特徴とする半導体素子の温度検出システム。
  3. 前記前置符号変換部は、
    所定の温度範囲領域を基準としてN番目(Nは正の整数)に高い温度範囲領域に対して、N−1個のビット0に続く1個のビット1からなる前置符号を生成する
    ことを特徴とする、請求項2に記載の半導体素子の温度検出システム。
  4. 前記有意データ取得部は、
    所定の温度範囲領域を基準としてN番目(Nは正の整数)に高い温度範囲領域に対して、最下位のN−1個ビットを削除して有意データを取得する
    ことを特徴とする、請求項2に記載の半導体素子の温度検出システム。
  5. 前記温度データ符号化部が符号化した温度データと、予め定められた温度閾値を符号化した符号化後閾値とを比較して、前記温度データと前記閾値との比較結果を得る温度データ閾値比較部を備えたことを特徴とする、請求項1記載の半導体素子の温度検出システム。
  6. 前記温度データ符号化部が生成した符号化データを受信する温度データ受信部との通信方法を調歩同期方式とすることを特徴とする、請求項1記載の半導体素子の温度検出システム。
  7. 半導体素子と、
    前記半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、前記所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットから、前記温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部、及び
    前記前置符号と前記有意データとを連接して符号化データを生成する連接部
    とを具備する温度データ符号化部と
    を備えたことを特徴とする半導体モジュール。
  8. 半導体素子と、
    前記半導体素子のゲートを制御するための指令信号を出力するコントローラと、
    前記半導体素子の温度をデジタル温度データとして検出するデジタル温度データ計測部と、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットに基づき複数の温度範囲領域を決定し、前記所定の下位ビットを除く上位ビットから前置符号を生成する前置符号変換部、
    前記デジタル温度データの所定の下位ビットから、前記温度範囲領域に応じた有意データを取得する有意データ取得部、及び
    前記前置符号と前記有意データとを連接して符号化データを生成する連接部
    とを具備する温度データ符号化部と、
    前記デジタル温度データに基づき、前記コントローラの指令信号の有効または無効の判断をして制御信号を生成する制御部と、前記制御信号に基づき前記半導体素子のゲートを駆動するための駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
    を備えたことを特徴とする半導体モジュールシステム。
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