JP5709698B2 - ダイヤモンド工具の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)ダイヤモンド工具の刃先を収束イオンビーム加工により形成するFIB加工工程。
(2)ダイヤモンド工具の刃先加工面にアルミニウムを蒸着し、アルミニウム膜を形成する膜形成工程。
(3)アルミニウム膜形成後、ダイヤモンド工具を加熱する加熱工程。
(4)加熱後、アルミニウム膜を除去する膜除去工程。
以下の実験を行い、本発明のダイヤモンド工具の製造方法におけるFIB加工による刃先加工面の不純物の低減方法について評価した。
試料として、薄板形状の単結晶CVDダイヤモンド(株式会社イーディーピー製、製品番号:TN3310、サイズ(mm):3×3×1.0)を用意した。この単結晶ダイヤモンドの薄板は、3mm×3mmの平面が(100)面に配向している。そして、単結晶ダイヤモンドの薄板の成長面(3mm×3mm)に対して、Gaをイオン源とするFIB加工装置(日本電子株式会社製、型式:JEM-9320FIB)を使用してFIB加工を行った。FIB加工の条件は、10kV、20kV、30kVの各加速電圧の場合について、(100)面に垂直な方向から200μm×150μmの領域に対して1nC/μm2のドーズ量でイオンビームを照射した。
各加速電圧でFIB加工した試料について、加工面にRFスパッタ装置により膜厚100nmのAl膜を形成した。Al膜の形成は、ヒータにより試料を373K(100℃)に加熱保持して、0.5Paのアルゴンガス雰囲気中で、純度99.99%のAlターゲットに150Wの電力を供給することで行った。Al膜形成後、加熱せずそのままとした試料と、約1kPaの圧力で573K(300℃)、673K(400℃)、773K(500℃)の各温度にそれぞれ1時間加熱保持した後、同じ圧力状態を維持して室温まで徐冷した試料とを作製した。そして、全ての試料を80〜90℃に加熱した濃度10mass%の水酸化ナトリウム(NaOH)水溶液に浸漬し、Al膜をエッチングして除去した。Al膜除去後、試料を洗浄するため、脱イオン水、イソプロピルアルコール(IPA)、アセトン中で5分間ずつ順に超音波洗浄を行った。
Al膜除去後の試料について、加工面を分析した。加工面の分析は、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)(日本電子株式会社製、型式:JED-2200)を内蔵する走査型二次電子顕微鏡(日本電子株式会社製、型式:JSM-6701F)を用い、200μm×150μmの加工領域内の64μm×48μmの領域に対して行った。
Claims (4)
- 保持具に鑞付けされたダイヤモンド原石の刃先を加工するダイヤモンド工具の製造方法であって、
前記ダイヤモンド工具の刃先を収束イオンビーム加工により形成するFIB加工工程と、
前記ダイヤモンド工具の刃先加工面にアルミニウムを蒸着し、アルミニウム膜を形成する膜形成工程と、
前記アルミニウム膜形成後、前記ダイヤモンド工具を加熱する加熱工程と、
加熱後、前記アルミニウム膜を除去する膜除去工程と、
を備えることを特徴とするダイヤモンド工具の製造方法。 - 前記FIB加工工程において、前記収束イオンビーム加工の加速電圧を2kV以上10kV以下とすることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド工具の製造方法。
- 前記加熱工程において、前記ダイヤモンド工具を400℃以上600℃以下に加熱することを特徴とする請求項1又は2に記載のダイヤモンド工具の製造方法。
- 前記膜除去工程において、前記アルミニウム膜を酸又はアルカリによりエッチングして除去することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のダイヤモンド工具の製造方法。
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