JP5709686B2 - 磁気ノイズを補償するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Description
a.磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ、及び、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ。
b.ノイズ信号に対して180度だけ実質的にシフトした磁気ノイズ補償信号を生成するステップ。
c.磁気ノイズ測定値を約180度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ。
d.磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップ。
e.ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係評価するステップ。
f.ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ。
g.少なくとも一つのセンサを含む第1グループのセンサによって第1の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第1グループのセンサとは異なる第2グループのセンサによって、前記第1の予め決められた周波数帯とは異なる第2の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
h.粒子ビームのカラムの外側に位置するセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
i.互いに約90度だけ離間した検知領域を有する少なくもと四つのセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
j.粒子ビームのカラムを含むツールのフレームの異なる面に近接して設けられたセンサによって磁気ノイズを検知するステップ。
k.主要な磁気ノイズ源を検知し、センサをその主要な磁気ノイズ源を向くように配置するステップ。
l.センサを、主要な磁気ノイズ源のグループを向くように配置するステップ。
m.9KHzの周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
n.50Hz、60Hz、50Hzの高調波、又は60Hzの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
o.頭上ホイスト輸送(OHT)システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップ。
a.センサからのアナログ磁気ノイズ測定値をデジタル磁気ノイズ測定値に変換するステップ831。
b.ゼロ又は9KHzより高いバンドパスフィルタ、及び、ゼロ又は50Hzの信号といったバンドパスフィルタを通して(予め決められた周波数帯をフィルタリングするために)、デジタル磁気ノイズ測定値をバンドパスフィルタリングしてバンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を供給するステップ832。
c.バンドパスフィルタを通過した磁気ノイズ測定値を記憶するステップ833。
d.バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を検索するステップ834。
e.バンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を遅延して、遅延されたノイズ測定値を供給するステップ835。ここで単一のセンサからのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値はゼロ又はこれより多くの遅延されたノイズ測定値によって遅延される。
f.ゼロ又はこれより多くのバンドパスフィルタリングされた磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングし、ゼロ又はこれより多くの遅延された磁気ノイズ測定値を整合フィルタリングするステップ836。
g.補償関数を適用して出力信号を提供するステップ837。
h.出力信号を、粒子ビームスキャナを制御するのに用いる制御信号に変換するステップ838。ここでこの変換は、増幅、デジタル−アナログ変換等を含むことができる。制御信号は、磁気ノイズ補償信号と見なすことができる。
a.磁気ノイズがある場合に所望のスキャンパターンが得られるように、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップ841
b.粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けしてオブジェクトをスキャンするステップ842
3:第1フレーム
4:チャンバ
5:カラム
6:シャシ
10(1)〜10(5):OHTレール
11〜15:センサ
20:粒子ビームスキャナ
22:ノイズ補償モジュール
30:補償関数計算機
34:コントローラ
Claims (21)
- 粒子ビームのノイズ補償のための方法であって、
互いに離間して設けられた少なくもと二つのセンサによって異なる周波数帯で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を供給するステップと、
前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するステップと、
所望のビームスキャンパターン及び前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするステップと、
を有する方法。 - さらに、
磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるよう、実際のスキャンパターンを定義し又は受信するステップと、
実際のスキャンパターンに沿って粒子ビームを方向付けることによって前記オブジェクトをスキャンするステップと、
をさらに含む請求項1に記載の方法。 - 前記磁気ノイズ補償信号は、前記磁気ノイズに対して180度だけ実質的にシフトするように生成される、請求項1に記載の方法。
- 磁気ノイズ測定値を約180度遅延させて遅延信号を供給し、遅延された信号に利得関数を適用して磁気ノイズ補償信号を供給するステップ、をさらに含む請求項2に記載の方法。
- 磁気ノイズ補償信号を生成する前に、前記磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するステップを、さらに含む請求項1に記載の方法。
- ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るステップと、
前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するステップと、
をさらに含む請求項1に記載の方法。 - ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得るステップ、をさらに含む請求項6に記載の方法。
- 少なくとも一つのセンサを含む第1グループのセンサによって第1の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、前記第1グループのセンサとは異なる第2グループのセンサによって、前記第1の予め決められた周波数帯とは異なる第2の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するステップと、をさらに含む請求項1に記載の方法。
- 互いに離間して配置され、磁気ノイズを検知するよう構成され、異なる周波数帯における磁気ノイズを検知するよう割り当てられて、磁気ノイズ測定値を供給するようにされた少なくもと二つのセンサと、
磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を生成するようにされたノイズ補償モジュールと、
所望の粒子ビームのスキャンパターンと前記磁気ノイズ補償信号に応答して、粒子ビームでオブジェクトをスキャンするようにされた粒子ビームスキャナと、
を備えたシステム。 - 前記粒子ビームスキャナは、磁気ノイズが存在するときに所望の粒子ビームのスキャンパターンが得られるように実際のスキャンパターンを受信するようにされ、かつ、粒子ビームを実際のスキャンパターンに沿って方向付けてオブジェクトをスキャンするようにされている、請求項9に記載のシステム。
- 前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズに対して180度だけ実質的にシフトされた磁気ノイズ補償信号を生成するようにされている、請求項9に記載のシステム。
- 前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ測定値を約180度だけ遅延させて遅延信号を与え、前記遅延信号に利得関数を適用してノイズ補償信号を供給するようにされた、請求項11に記載のシステム。
- 前記ノイズ補償モジュールは、磁気ノイズ補償信号を生成する前に、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズの値と粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて、磁気ノイズ補償信号を計算するようにされている、請求項9に記載のシステム。
- 前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、既知の形状のパターンをスキャンして実際の画像を得るようにされ、前記ノイズ補償モジュールは、前記既知の形状と実際の画像との差異に基づいて、磁気ノイズの少なくともいくつかの値と粒子ビームの位置誤差との関係を評価するようにされている、請求項9に記載のシステム。
- 前記粒子ビームスキャナは、ノイズ補償を適用せずに、互いに直交する二つの線からなる円形のスキャンパターンに沿ってスキャンして実際の画像を得る、請求項9に記載のシステム。
- 第1の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第1グループのセンサと、前記第1の予め決められた周波数帯とは異なる第2の予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知する第2グループのセンサと、を備える請求項9に記載のシステム。
- 互いに約90度ずつ離間した検知領域を有する少なくとも四つのセンサを含む、請求項9に記載のシステム。
- 少なくとも一つのセンサが、50Hz、60Hz、50Hzの高調波、又は60Hzの高調波の周波数成分を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされている、請求項9に記載のシステム。
- 少なくとも一つのセンサが、頭上ホイスト輸送(OHT)システムによって生成されるノイズの周波数を含む予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知するようにされた、請求項9に記載のシステム。
- 互いに離間して配置された少なくもと二つのセンサによって少なくとも一つの予め決められた周波数帯の中で磁気ノイズを検知して磁気ノイズ測定値を提供するという命令、磁気ノイズ測定及び磁気ノイズと粒子ビームの位置誤差との関係に基づいて磁気ノイズ補償信号を生成するという命令、所望の粒子ビームスキャンパターン及び磁気ノイズ補償信号に応答して粒子ビームによってオブジェクトをスキャンするという命令、を記憶する非一時的なコンピュータ読取可能な媒体。
- 前記少なくとも2つのセンサの数は、磁気ノイズ源の数よりも少なくない、請求項9乃至19のいずれか一項に記載のシステム。
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