JP5709600B2 - 吸着用部材の製造方法 - Google Patents
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Description
らなる支持部と、該凹部の内部に設けられた、対象物を吸着するための吸着部とを有する吸着用部材の製造方法であって、前記支持部として、凹部を有するセラミック焼結体を準備する準備工程と、前記凹部の内部に、セラミック粒子と第1ガラス粒子とを含む第1原料を供給して下部層を形成する下部層形成工程と、前記凹部の内部に、前記セラミック粒子と前記第1ガラス粒子よりも軟化点の低い第2ガラス粒子とを含む第2原料を供給して上部層を形成する上部層形成工程と、前記下部層および前記上部層を加圧することにより、前記凹部の内部において成形体を形成する成形工程と、前記成形体を前記第1ガラス粒子の軟化点よりも高い温度で加熱することにより前記第1ガラス粒子および前記第2ガラス粒子を軟化させるとともに、前記第1ガラス粒子を前記第2ガラス粒子よりも高い粘度で軟化させる熱処理工程とを有し、前記熱処理工程において、前記上部層の前記セラミック粒子同士が前記第2ガラス粒子によって結合され、前記下部層の前記セラミック粒子と前記凹部の底面とが前記第1のガラス粒子によって接合されて、前記吸着部が作製されることを特徴とする。
下部に集中し、その白色部分の上縁部分を境界として上部多孔質層10と下部多孔質層11とをそれぞれ個別に認識することができる。上部多孔質層10と下部多孔質層11に含まれるセラミック粒子8は同じ材質であることが好ましい。
とができるので、セラミック粒子とガラスの結合力が向上する。その結果、セラミック粒子の脱粒をさらに抑制できる吸着用部材1を製造することができる。
セラミック粒子は、この熱処理によって焼結せず、粒成長することもないため、熱処理しても、得られる熱処理体の体積が熱処理前後で実質的に変化しない。熱処理後は、図7(d)に示すように成形体22は吸着部3となる。
る。具体的には、次のように測定する。
2:吸着面
3:吸着部
5:支持部
6:吸引孔
7:取り付け穴
8:セラミック粒子
9:ガラス
10:上部多孔質層
11:下部多孔質層
12:連通孔
15:凹部
16:第1原料
17:第2原料
18:原料
19:成形用治具
20:金型
21:振動体
22:成形体
23:砥石
W:対象物
Claims (3)
- 凹部が設けられたセラミック焼結体からなる支持部と、該凹部の内部に設けられた、対象物を吸着するための吸着部とを有する吸着用部材の製造方法であって、
前記支持部として、凹部を有するセラミック焼結体を準備する準備工程と、
前記凹部の内部に、セラミック粒子と第1ガラス粒子とを含む第1原料を供給して下部層を形成する下部層形成工程と、
前記凹部の内部に、前記セラミック粒子と前記第1ガラス粒子よりも軟化点の低い第2ガラス粒子とを含む第2原料を供給して上部層を形成する上部層形成工程と、
前記下部層および前記上部層を加圧することにより、前記凹部の内部において成形体を形成する成形工程と、
前記成形体を前記第1ガラス粒子の軟化点よりも高い温度で加熱することにより前記第1ガラス粒子および前記第2ガラス粒子を軟化させるとともに、前記第1ガラス粒子を前記第2ガラス粒子よりも高い粘度で軟化させる熱処理工程と
を有し、
前記熱処理工程において、前記上部層の前記セラミック粒子同士が前記第2ガラス粒子によって結合され、前記下部層の前記セラミック粒子と前記凹部の底面とが前記第1のガラス粒子によって接合されて、前記吸着部が作製されることを特徴とする吸着用部材の製造方法。 - 前記下部層形成工程の前に前記凹部の底面に、前記第1ガラス粒子を含むガラスペースト塗布する塗布工程を有することを特徴とする請求項1に記載の吸着用部材の製造方法。
- 前記成形工程における加圧は、前記凹部の内部における前記第1原料および前記第2原料を振動させながら行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の吸着用部材の製造方法。
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