JP2016012600A - 吸着用部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
平面状の吸着面を有する多孔質セラミック体と、前記多孔質セラミック体の外周面を囲んだ外壁部、および前記多孔質セラミック体の前記吸着面と反対側の面と当接するベース面を有する緻密質セラミック体とを備え、前記外壁部は、前記外周面と対向する内周面と、前記吸着面と略面一な上面とを備え、前記吸着面と前記上面とを有して構成された載置面に載置した対象体を、前記多孔質セラミック体を介して真空吸着するための吸着用部材であって、前記多孔質セラミック体は、前記外周面近傍における密度が、前記載置面の重心位置近傍の密度に比べて大きいことを特徴とする吸着用部材を提供する。
【選択図】 図1
Description
、中心部分から外側(すなわち外壁部51に近づく側)に向かって移動するように圧力がかかる。外壁部51にぶつかることでセラミック粒子の移動は止まるので、外壁部51の近傍では、凹部85の中央部分に比べて、セラミック粒子の密度が大きくなる。
近傍の密度は約2.40〜2.45(g/cm3)であり、重心位置近傍の密度に比べて
、外周面3α近傍の密度が高いことが確認できた。
とで原料74に含まれるそれぞれのセラミック粒子は、より充填率が高くなる位置に移動
していく。この結果、この掻き混ぜた処理の後の原料74では、外壁部51の近傍におけるセラミック粒子の密度が比較的高くなっている。図8(b)に示す工程の後、図6(c)〜図7(c)に対応する工程を施すことで、外周面3α近傍における密度が、載置面7の重心位置近傍の密度に比べて大きくなっている吸着部3を備える吸着用部材1aを得ることができる。
2 吸着面
3 多孔質セラミック体(吸着部)
3α 外周面
5 緻密質セラミック体(支持部材)
6α 内周面
7 載置面
8 上面
11 セラミック粒子
12 ガラス
13 連通孔
51 外壁部
Claims (5)
- 平面状の吸着面を有する多孔質セラミック体と、
前記多孔質セラミック体の外周面を囲んだ外壁部、および前記多孔質セラミック体の前記吸着面と反対側の面と当接するベース面を有する緻密質セラミック体とを備え、
前記外壁部は、前記外周面と対向する内周面と、前記吸着面と略面一な上面とを備え、前記吸着面と前記上面とを有して構成された載置面に載置した対象体を、前記多孔質セラミック体を介して真空吸着するための吸着用部材であって、
前記多孔質セラミック体は、前記外周面近傍における密度が、前記載置面の重心位置近傍の密度に比べて大きいことを特徴とする吸着用部材。 - 前記多孔質セラミック体は、複数のセラミック粒子と、前記セラミック粒子同士を結合するガラスとを含んで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の吸着用部材。
- 前記外周面と前記内周面とが直接当接していることを特徴とする請求項1または2記載の吸着用部材。
- 前記多孔質セラミック体は、前記外周面近傍に、前記載置面の重心位置の側から前記外周面の側に近づくにしたがって前記密度が大きくなる密度漸増領域を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の吸着用部材。
- 前記多孔質セラミック体は、前記外周面近傍におけるヤング率が、前記載置面の重心位置近傍のヤング率に比べて大きいことを特徴とする請求項1〜4のいずれに記載の吸着用部材。
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- 2014-06-27 JP JP2014132386A patent/JP2016012600A/ja active Pending
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