JP5706837B2 - 洗浄方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明は、板条の金属材料の表面を洗浄する方法及び其の装置に係り、特に、洗浄後の金属表面の酸化を防止する防錆剤を塗布しながら洗浄する洗浄方法およびその装置に関する。

銅又は銅合金板条の表面に付着した微粒子をふき取りながら防錆処理を施すことに関して、特開２００６−２４７７４０号公報（特許文献１）に記載されている。この特許文献１には、要約の課題の欄に「銅又は銅合金板条に対して、有機化合物防錆処理を行いながらも、プレス加工時においてふき取りパッドに緑粉が堆積することを防止し、これにより、変色防止と防食を行うと同時に、プレス生産性を向上できる銅又は銅合金板条を提供することを目的とする。」と記載されている。さらに要約の解決手段の欄には「銅と反応してカルボン酸塩を生成する有機化合物防錆皮膜が表面に形成された銅又は銅合金板条であって、基材である銅又は銅合金板条の３次元表面粗さ測定における度数分布図の半値幅が０．２μｍ以上であることとし、銅又は銅合金板条の表面に存在する凹凸の大きさのばらつきを抑制し、銅又は銅合金板条表面と前記ふき取りパッドとの間の摩擦あるいは摩耗を低減して、ふき取りパッドに緑粉が堆積することを防止する。」と記載されている。

また、試料の表面に付着した微粒子を洗浄により除去するときに、試料の表面に付着した微粒子の洗浄液中での表面電位（ゼータ電位）をコントロールして試料の表面から微粒子を剥がれ易くすることについて、特開平６−１３２２６７号公報（特許文献２）に記載されている。

特開２００６−２４７７４０号公報 特開平６−１３２２６７号公報

前記特許文献1には、「ふき取りパッドに緑粉が付着、堆積するのは、銅又は銅合金板条の表面に付着したカルボン酸塩を有する銅が剥離するためである。」と記載されている。さらに、「基材である銅又は銅合金板条の凹凸を制御する。これによって、プレス加工における、銅又は銅合金板条の前記ふき取り作業時に使用するふき取りパッド（ふき取り布）と銅又は銅合金板条表面との間の、摩擦あるいは摩耗を低減させる。」ことが提言されている。

しかし、前記特許文献１ではふき取りパッドと銅又は銅合金板条表面との間の摩擦あるいは磨耗によって剥離する緑粉以外の銅粉に関しては考慮されていない。

銅または銅合金をはじめとする金属板条表面には、その製造工程中で金属の微粉が発生する場合がある。例えば、圧延、伸線などの塑性加工工程、研削、バフ研磨などの表面加工工程で金属の微粉が発生する場合がある。特にバフ研磨による表面加工工程では金属微粉の発生が多く、金属板条表面に再付着することがある。

研削、バフ研磨などの表面加工工程のあとには金属の微粉を除去するための洗浄が行なわれる。しかし、洗浄が不十分な場合には金属の微粉が金属板条表面に残留・付着することになる。この金属板条表面に残留・付着した金属の微粉も、プレス加工時のふき取りパッドに堆積するため、例えば、バフ研磨で発生する大量の金属の微粉を除去できる洗浄方法が必要であった。

また、特許文献２には、洗浄液中で試料の表面に付着した微粒子の表面電位を制御して微粒子を試料表面から剥がれ易くすることについては記載されているが、バフ研磨されて表面が活性化した状態の金属表面に対して防錆処理を施すことについては触れられていない。

本発明は、上記した従来技術の課題を解決して、金属板条の表面を防錆処理すると共に製造工程中で発生した金属の微粉を金属板条の表面から除去できる洗浄方法及びその装置を提供することにある。

上記した従来技術の課題を解決するために、本発明では、金属の表面を洗浄する方法であって、金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄工程と、酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨工程と、バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄工程と、ブラシで洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥工程とを含み、ブラシ洗浄工程においてでバフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するための洗浄液として防錆効果を有する液体を使用することにより、金属の表面を洗浄して金属の表面に付着した金属微粒子を防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて洗い流し易くすると共に前記バフ研磨により活性化した金属の表面に防錆処理を施すようにした。

また、上記した従来技術の課題を解決するために、本発明では、金属の表面を洗浄する方法であって、金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄工程と、酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨工程と、バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄工程と、ブラシ洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥工程とを含み、バフ研磨工程において、金属の表面をバフ研磨するときに研磨液として防錆効果を有する液体を使用することにより、金属の表面をバフ研磨すると共にバフ研磨により活性化した金属の表面に防錆処理を施し、更に金属の表面に付着した金属微粒子を防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて洗い流し易くするようにした。

更に、上記した従来技術の課題を解決するために、本発明では、金属の表面を洗浄する装置を、金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄手段と、酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨手段と、バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄手段と、ブラシで洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥手段とを備えて構成し、ブラシ洗浄手段は、バフ研磨手段でバフ研磨した金属の表面を洗浄液で洗浄するためのブラシと、洗浄液をブラシと金属の表面との間に供給する洗浄液供給ノズルとを備え、洗浄液供給ノズルから洗浄液として防錆効果を有する液体を供給することにより、金属の表面を洗浄して金属の表面に付着した金属微粒子を防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて洗い流し易くすると共にバフ研磨により活性化した金属の表面に防錆処理を施すようにした。

更に、上記した従来技術の課題を解決するために、本発明では、金属の表面を洗浄する装置を、金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄手段と、酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨手段と、バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄手段と、ブラシ洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥手段とを備えて構成し、バフ研磨手段は、金属の表面をバフ研磨するバフロール部と、研磨液を供給する研磨液供給ノズル部とを有し、研磨液供給ノズル部から研磨液として防錆効果を有する液体をバフロール部と金属の表面との間に供給し、研磨液供給ノズル部から研磨液を供給しながら金属の表面をバフ研磨することにより、バフ研磨により活性化した金属の表面に防錆処理を施すと共に、バフ研磨により発生した金属微粒子が防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて金属の表面に付着しにくくした状態でバフ研磨するようにした。

本発明によれば、金属板条の製造工程中で発生する金属の微粉を除去できる洗浄方法が提供される。例えばバフ研磨で発生する大量の金属の微粉を除去できる洗浄方法が提供される。

本発明の第１の実施例に基づく洗浄装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第２の実施例に基づく洗浄装置の構成を示すブロック図である。

帯鋼材を製造するプロセスにおいて、帯鋼材の表面をバフで研磨した後の洗浄処理において、洗浄残渣を低減し、帯鋼材の表面品質を向上させる方法の実施例について、以下、図面を用いて説明する。

本実施例では、バフ研磨後の銅又は銅合金板条（以下、銅合金板条と記す）の活性な表面の酸化を防止し、かつ、洗浄工程で、銅合金板条及びバフ研磨により生成された銅粉の表面電位が同じ極性で差が大きくなるように銅粉の表面電位（ゼータ電位）をコントロールする（銅粉の表面電位の絶対値を大きくする）ことで、同じ極性で帯電した銅合金板条から銅粉を離れ易くした。これにより、バフ研磨により発生した銅粉がバフ研磨された銅合金板条に付着して汚れとして残る量を低減するものである。

本実施例においては、銅合金板条の表面を防錆処理するための処理液が銅合金板条の表面に付着した金属微粒子の表面電位（ゼータ電位）をコントロールする作用を有することに着目した。銅合金板条と銅粉との表面電位（ゼータ電位）をコントロールする方法としては、以下の３つの方法が考えられる。（１）バフ研磨前に防錆処理を行う。（２）バフ研磨直後に防錆処理を行う。（３）バフ研磨後に防錆処理液中で洗浄を行う。

実施例１においては、上記（３）のバフ研磨後に防錆処理液中で洗浄を行う方法について具体的に説明する。

以下に、本実施例により銅合金板条に付着した銅合金板条の微粉をブラシ洗浄で除去するときのブラシ洗浄液４４として防錆剤を使用する例を説明する。
図１は、本実施例に基づく銅合金板条製造ラインの構成の一部である洗浄装置１００の例である。即ち、図１には、銅合金板条製造ラインの一部の構成として、図示していない銅合金板条を形成する工程を経て形成された銅合金板状１０の上下面に付着した付着物を酸性の液体で酸洗浄するための酸洗浄手段２０、酸洗浄された銅合金板条１０の上下面をバフ研磨するためのバフ研磨手段３０、バフ研磨された銅合金板条１０の上下面をブラシ洗浄するためのブラシ洗浄手段４０、上下面をブラシ洗浄された銅合金板条１０を乾燥させる乾燥手段５０が順次配置されている構成を示している。本実施例では、酸洗浄手段２０、バフ研磨手段３０、ブラシ洗浄手段４０、乾燥手段５０を含めて洗浄装置１００と記す。以下に、洗浄装置１００を構成する各手段の構成と作用について説明する。

酸洗浄手段２０には、酸洗浄槽２１が設けられている。酸洗浄槽２１には銅合金板条１０の上下面に付着した付着物を酸性の液体で溶解するために硫酸５ｗｔ％と過酸化水素２ｗｔ％と残余の水からなる酸洗浄液２２が満たされている。酸洗浄液２２は酸洗浄液循環配管（図示しない)及び酸洗浄液循環ポンプ（図示しない)によって循環されている。酸洗浄槽２１には酸洗浄液２２を加温するためのヒーター（図示しない)及びヒーターを制御する酸洗浄液温度コントローラ（図示しない)が設けられ、酸洗浄液２２は液温度３０℃前後に保持されている。

バフ研磨手段３０には銅合金板条１０の上下面をそれぞれバフ研磨するためのバフロール３１が設けられている。銅合金板条１０を挟んでバフロール３１の反対面にはバフロール用バックアップロール３２が設けられている。バフロール３１の上流側及下流側にはそれぞれ銅合金板条１０及びバフロール３１にバフ研磨液３４を供給するためのバフ研磨液供給ノズル３５が設けられている。バフ研磨液３４はバフ研磨液タンク（図示しない）から循環ポンプ（図示しない)によって送り出され、バフ研磨液配管（図示しない)を通って、バフ研磨液供給ノズル３５から銅合金板条１０及びバフロール３１に供給される。バフ研磨後のバフ研磨液３４はバフ研磨液回収配管（図示しない）によって、バフ研磨液タンク（図示しない）へと戻される。バフ研磨液３４としてイオン交換水を用いている。

ブラシ洗浄手段４０には銅合金板条１０の上下面をそれぞれブラシ洗浄するためのブラシロール４１が設けられている。銅合金板条１０を挟んでブラシロール４１の反対面にはブラシロール用バックアップロール４２が設けられている。ブラシロール４１の下流側には銅合金板条１０及びブラシロール４１にブラシ洗浄液４４を供給するためのブラシ洗浄液供給ノズル４５が設けられている。ブラシ洗浄液４４は洗浄液タンク（図示しない）から循環ポンプ（図示しない)によって送り出され、洗浄液配管（図示しない)を通って、ブラシ洗浄液供給ノズル４５から銅合金板条１０及びブラシロール４１に供給される。ブラシ洗浄後のブラシ洗浄液４４はブラシ洗浄液回収配管（図示しない）によって、ブラシ洗浄液タンク（図示しない）へと戻される。ブラシ洗浄液タンク（図示しない）にはブラシ洗浄液を加温するためのヒーター（図示しない)及びヒーターを制御するブラシ洗浄液温度コントローラ（図示しない)が設けられ、ブラシ洗浄液４４は液温度５０℃前後に保持されている。ブラシ洗浄液４４として、銅合金板条の防錆効果を有するベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いている。

乾燥手段５０には、内部に１対のエアノズル５１が配置されており、１対のエアノズル５１から乾燥した高温に加熱された空気５２がブラシ洗浄された銅合金板条１０に吹き付けられる。銅合金板条１０は１対のエアノズル５１から上下両面に乾燥した高温に加熱された空気が吹き付けられた状態で一定の速度で連続的に送り出されてブラシ洗浄により上下両面に付着した洗浄液が蒸発されて乾燥される。

銅合金板条１０は払い出し機（図示しない）によって一定の速度で連続的に送り出され、酸洗浄手段２０の内部で銅合金板条１０が酸洗浄液２２に浸漬された状態で酸洗浄液２２の内部を一定の速度で連続的に通過することにより上下面が酸洗浄液２２により酸洗浄される。

次に、酸洗浄手段２０を通過して酸洗浄された銅合金板条１０はバフ研磨手段３０に送られ、研磨液供給ノズル３５から研磨液３４が供給された状態で一定の速度で連続的に移動しながら図示していない駆動部により回転駆動されたバフロール３１により上下面をバフ研磨される。

バフ研磨手段３０を通過してバフ研磨された銅合金板条１０はブラシ洗浄手段４０に送られ、ブラシ洗浄手段４０の内部で下流側に配置された供給ノズル４５からブラシ洗浄液４４が供給された状態で一定の速度で連続的に移動しながら図示していない駆動部により回転駆動されたブラシロール４１により上下面をブラシ洗浄される。

次に、ブラシ洗浄手段４０を通過してブラシ洗浄された銅合金板条１０は、乾燥手段５０で乾燥された後、巻取り機（図示しない）で巻き取られる。

本実施例に基づいて図１に示した洗浄装置１００で銅合金板条１０を洗浄処理したときの、銅合金板条１０の表面に付着した銅合金の微粉の付着量を、以下の方法で測定した。

先ず、バフ研磨手段３０で上下面をバフ研磨されて、ブラシ洗浄手段４０でブラシ洗浄される前の銅合金板条１０の表面を拭取りクロスを用いて幅０．１ｍで銅合金板条の進行方向に１００ｍを拭取った。この拭取りクロスに付着した銅合金微粉量をリガク製蛍光Ｘ線測定装置Ｓｙｓｔｅｍ３２７２で測定した。測定結果をＦＰ（Fundamental Parameter）法により半定量分析した。このときの半定量分析結果を洗浄前付着量Ａ（単位μｇ／ｃｍ^２)とした。

次に、バフ研磨手段３０で上下面をバフ研磨され、ブラシ洗浄手段４０でブラシ洗浄され、乾燥手段５０で乾燥された銅合金板条１０の表面を拭取りクロスを用いて幅０．１ｍで銅合金板条の進行方向に１００ｍを拭取った。この拭取りクロスに付着した銅合金微粉量をリガク製蛍光Ｘ線測定装置で測定した。測定結果をＦＰ法により半定量分析した。このときの半定量分析結果を洗浄後付着量Ｂ（単位μｇ／ｃｍ^２)とした。
洗浄前付着量Ａと洗浄後付着量Ｂから、下記（数１）によって微粉除去率（単位％）を求めた。

微粉除去率（％）＝１００×（Ａ−Ｂ）／Ａ ・・・（数１）
ブラシ洗浄装置で用いるブラシ洗浄液４４として、ベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合（本実施例）と、比較例としてイオン交換水を用いた場合の結果を表１に示す。評価は各２回ずつ行なった。

表１から明らかなように、ブラシ洗浄液４４としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合の微粉除去率は９３％と９５％であった。一方、比較例としてブラシ洗浄液４４にイオン交換水を用いた場合の微粉除去率は７５％と７７％であった。ブラシ洗浄液４４としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合の微粉除去率は、ブラシ洗浄液４４としてイオン交換水を用いた場合よりも２０％前後も高くなっており、ブラシ洗浄液４４としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いることで、銅合金板条に付着した微粉除去率が向上することが明らかになった。

即ち、ブラシ洗浄液４４として用いたベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液は、防錆剤としての機能をもつと同時に、バフ研磨後の銅合金板条に付着したバフ研磨により発生した銅合金微粒粉と銅合金板条との表面電位（ゼータ電位）をコントロールして銅合金板条に付着した銅合金微粒粉を洗い流し易くする機能も有することがわかる。

なお、ブラシ洗浄液４４として供給されるベンゾトリアゾール水溶液は、本実施例に示した濃度に限定されるものではなく、通常一般に用いられる濃度に希釈したものが好適に使用される。また、水溶液に限定されるものでもなく、アルコールなどの溶剤で希釈したものも好適に使用される。さらに、アミン系溶剤やグリコール系溶剤などの添加剤を添加したものも好適に使用される。

ブラシ洗浄液４４の液温度は本実施例に示した温度に限定されるものではなく、通常一般に用いられる液温度が好適に使用される。

また、ブラシ洗浄液４４はベンゾトリアゾールに限定されるものではなく、ベンゾトリアゾール誘導体及びチアゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体など、銅合金板条表面に皮膜を形成するものも好適に使用される。さらにアミン系溶剤やグリコール系溶剤などの添加剤を添加したものも好適に使用される。

酸洗浄液循環配管（図示しない)途中に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。

バフ研磨液配管（図示しない)及び／もしくはバフ研磨液回収配管（図示しない）及び／もしくはバフ研磨液タンク（図示しない）に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。

ブラシ洗浄液配管（図示しない) 及び／もしくはブラシ洗浄液回収配管（図示しない）及び／もしくはブラシ洗浄液タンク（図示しない）に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。

上記に説明した本実施例においては、ブラシ洗浄液４４として防錆剤を使用してバフ研磨後の銅合金板条に付着したバフ研磨により発生した銅合金微粒粉と銅合金板条との表面電位をコントロールして銅合金板条に付着した銅合金微粒粉を洗い流す例を説明したが、防錆処理を施す手段を別途設けても良い。すなわち、上記（１）で説明した酸洗浄手段２０とバフ研磨手段３０との間、又は上記（２）で説明したバフ研磨手段３０とブラシ洗浄手段４０との間、又はブラシ洗浄手段４０と乾燥手段５０の間に防錆処理手段を設け、銅合金板条１０の上下面を防錆処理することを追加しても良い。
防錆液の種類、組成、温度は特に規定されるものではなく、通常一般に使用されている防錆液を好適に使用できる。また、防錆液としてブラシ洗浄液４４と同じ種類、組成、温度のものを使用することも出来る。また異なる種類、組成、温度のものを使用することも出来る。

本実施例では、バフ研磨液３４として防錆液を使用してバフ研磨した後に、銅合金板条に付着した銅合金板条の微粉をブラシ洗浄で除去する例を説明する。

本実施例２を実施するための洗浄装置２００の構成を図２に示す。図２に示した洗浄装置２００の構成は、実施例１で説明した図１に示した洗浄装置１００の構成と基本的には同じであり、銅合金板条１０、酸洗浄手段２０、バフ研磨手段３００、ブラシ洗浄手段４００、乾燥手段５０を備えて構成される。既に説明した図１に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。

本実施例では、酸洗浄手段２０、バフ研磨手段３００、ブラシ洗浄手段４００、乾燥手段５０を含めて洗浄装置２００と記す。以下に、洗浄装置２００を構成する各手段の構成と作用について説明する。

バフ研磨手段３００では、バフ研磨液３４０はバフ研磨液タンク（図示しない）から循環ポンプ（図示しない)によって送り出され、洗浄液配管（図示しない)を通って、バフ研磨液供給ノズル３５０から銅合金板条１０及びバフロール３１に供給される。バフ研磨後のバフ研磨液３４０はバフ研磨液回収配管（図示しない）によって、バフ研磨液タンク（図示しない）へと戻される。バフ研磨液タンク（図示しない）にはバフ研磨液３４０を加温するためのヒーター（図示しない)及びヒーターを制御するバフ研磨液温度コントローラ（図示しない)が設けられ、バフ研磨液３４０は液温度５０℃前後に保持されている。バフ研磨液３４０として銅合金板条の防錆液として使用されるベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いている。

ブラシ洗浄手段４００では、ブラシ洗浄液４４０としてイオン交換水を用いている。

銅合金板条１０は払い出し機（図示しない）によって送り出され、酸洗浄手段２０で上下面が酸洗浄される。次に、バフ研磨手段３００で上下面をバフ研磨され、ブラシ洗浄手段４００でブラシ洗浄される。次に、乾燥手段５０で乾燥された後、巻取り機（図示しない）で巻き取られる。

本実施例に基づく洗浄装置２００によって銅合金板条１０を洗浄処理したときの、銅合金板条１０の表面に付着した銅合金の微粉の付着量の測定方法は、実施例１で示した方法と同様である。

バフ研磨液３４０としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合と、比較例としてイオン交換水を用いた場合の結果を表２に示す。評価は各２回ずつ行なった。

表２から明らかなように、バフ研磨液３４０としてとしてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合の微粉除去率は８５％、８６％であった。一方、バフ研磨液３４０としてイオン交換水を用いた場合の微粉除去率７５％、７７％であった。バフ研磨液３４０としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いた場合の微粉除去率は、バフ研磨液３４０としてイオン交換水を用いた場合よりも１０％前後も高くなっており、バフ研磨液３４０としてベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いることで、ブラシ洗浄での銅合金板条に付着した微粉除去率が向上することが明らかになった。

なお、バフ研磨液３４０として供給されるベンゾトリアゾール水溶液は、本実施例に示した濃度に限定されるものではなく、通常一般に用いられる濃度に希釈したものが好適に使用される。また、水溶液に限定されるものでもなく、アルコールなどの溶剤で希釈したものも好適に使用される。さらに、アミン系溶剤やグリコール系溶剤などの添加剤を添加したものも好適に使用される。
バフ研磨液３４０の液温度は本実施例に示した温度に限定されるものではなく、通常一般に用いられる液温度が好適に使用される。

また、バフ研磨液３４０はベンゾトリアゾールに限定されるものではなく、ベンゾトリアゾール誘導体及びチアゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体など、銅合金板条表面に皮膜を形成するものも好適に使用される。さらにアミン系溶剤やグリコール系溶剤などの添加剤を添加したものも好適に使用される。

酸洗浄液循環配管（図示しない)途中に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。
バフ研磨液配管（図示しない)及び／もしくはバフ研磨液回収配管（図示しない）及び／もしくはバフ研磨液タンク（図示しない）に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。
ブラシ洗浄液配管（図示しない)及び／もしくはブラシ洗浄液回収配管（図示しない）及び／もしくはブラシ洗浄液タンク（図示しない）に、フィルターなどの異物除去手段（図示しない）を設置することも出来る。

本実施例において、ブラシ洗浄手段４００と乾燥手段５０の間に防錆処理手段を設け、ブラシ洗浄後の銅合金板条１０の上下面を防錆処理することを追加しても良い。防錆液の種類、組成、温度は特に規定されるものではなく、通常一般に使用されている防錆液を好適に使用できる。また、防錆液としてバフ研磨液３４と同じ種類、組成、温度のものを使用することも出来る。また異なる種類、組成、温度のものを使用することも出来る。
また、本実施例２と実施例１とを組合せて、バフ研磨手段３００のバフ研磨液３４０とブラシ洗浄手段４００の洗浄液４４０との両方にベンゾトリアゾール０．２ｗｔ％水溶液を用いるようにしても良い。このように構成することにより、微粉除去率をより向上させることができる。

銅合金板条としては、純銅、ベリリウム銅、黄銅（銅と亜鉛の合金）、青銅（銅、すずの合金)、洋白（銅、亜鉛、ニッケル、マンガンの合金）、その他の銅と他金属との合金などが好適に適用できる。また、銅及び銅合金以外の金属材料にも適用できる。
銅合金板条としては、板形状、条形状、線形状、棒形状などにも好適に使用できる。

金属板状の洗浄方法は、ブラシ洗浄に限定されるものではなく、高圧ポンプを用いて洗浄液を高圧で吐出する高圧洗浄、洗浄液を槽中に溜めて超音波を照射する超音波洗浄、洗浄液に超音波を印加して吐出する超音波スプレー洗浄、不織布や織布などで金属板条表面を拭き洗浄するワイプ洗浄、などの表面付着異物を除去する洗浄法であれば、いずれも好適に使用できる。

なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。例えば、脱脂洗浄手段を追加する、酸洗浄手段を省略する、バフ研磨手段を省略することも可能である。

また、上記した実施例の変形例として、例えば、酸洗浄の後に防錆処理を行なう、バフ研磨の前に防錆処理を行なう、バフ研磨の後に防錆処理を行なう、ブラシ洗浄の前に防錆処理を行なう、ブラシ洗浄の後に防錆処理を行なうことも好適に行なわれる。

また、上記した実施例に示したバフ研磨液及びブラシ洗浄液の種類、濃度、温度は必ずしも上記した実施例に限定されるものではなく、さまざまな種類、濃度、温度が含まれる。

１０…銅合金板条 ２０…酸洗浄手段 ２１…酸洗浄液 ３０、３００…バフ研磨手段 ３１…バフロール ３２…バフロール用バックアップロール ３４，３４０…バフ研磨液 ３５，３５０…バフ研磨液供給ノズル ４０，４００…ブラシ洗浄手段 ４１…ブラシロール ４２…ブラシロール用バックアップロール ４４，４４０…ブラシ洗浄液 ４５，４５０…ブラシ洗浄液供給ノズル ５０…乾燥手段

Claims (11)

1. 金属の表面を洗浄する方法であって、
   金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄工程と、
   該酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨工程と、
   該バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄工程と、
   該ブラシで洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥工程と
   を含み、前記ブラシ洗浄工程において、前記バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄する
   ための洗浄液として防錆効果を有する液体を使用することにより、前記金属の表面を洗浄
   して前記金属の表面に付着した金属微粒子を前記防錆効果を有する液体を使用しない場合
   と比べて洗い流し易くすると共に前記バフ研磨により活性化した前記金属の表面に防錆処
   理を施すことを特徴とする洗浄方法。
2. 前記バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するための洗浄液として防錆効果を有する
   液体を使用することにより、前記洗浄液中における前記金属の表面に付着した微粒子の表面電位の絶対値を大きくして、前記洗浄液中で前記前記金属の表面に付着した前記微粒子を洗い落とし易くした状態で前記ブラシ洗浄を行うことを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
3. 金属の表面を洗浄する方法であって、
   金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄工程と、
   該酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨工程と、
   該バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄工程と、
   該ブラシ洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥工程と
   を含み、前記バフ研磨工程において、前記金属の表面をバフ研磨するときに研磨液として
   防錆効果を有する液体を使用することにより、前記金属の表面をバフ研磨すると共に該バ
   フ研磨により活性化した前記金属の表面に防錆処理を施し、更に前記金属の表面に付着し
   た金属微粒子を前記防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて洗い流し易くするこ
   とを特徴とする洗浄方法。
4. 前記バフ研磨するための研磨液として防錆効果を有する液体を使用することにより、前
   記バフ研磨中の前記金属の表面に付着した微粒子の表面電位の絶対値を大きくして、前記研磨液中で前記金属の表面に付着した前記微粒子を洗い落とし易くしたことを特徴とする請求項３記載の洗浄方法。
5. 前記防錆効果を有する液体は、ベンゾトリアゾールの水溶液であることを特徴とする請
   求項１乃至４の何れかに記載の洗浄方法。
6. 前記防錆効果を有する液体は、５０℃に液温が保持されていることを特徴とする請
   求項１乃至４の何れかに記載の洗浄方法。
7. 金属の表面を洗浄する装置であって、
   金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄手段と、
   該酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨手段と、
   該バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄手段と、
   該ブラシで洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥手段と
   を備え、前記ブラシ洗浄手段は、前記バフ研磨手段でバフ研磨した金属の表面を洗浄液で
   洗浄するためのブラシと、前記洗浄液を前記ブラシと前記金属の表面との間に供給する洗
   浄液供給ノズルとを備え、該洗浄液供給ノズルから洗浄液として防錆効果を有する液体を
   使用することにより、前記金属の表面を洗浄して前記金属の表面に付着した金属微粒子を
   前記防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて洗い流し易くすると共に前記バフ研
   磨により活性化した前記金属の表面に防錆処理を施すことを特徴とする洗浄装置。
8. 前記洗浄液供給ノズルから洗浄液として防錆効果を有する液体を供給することにより、
   前記ブラシ洗浄手段の洗浄液中における前記金属の表面に付着した微粒子の表面電位の絶対値を大きくして、前記洗浄液供給ノズルから供給された洗浄液中で前記前記金属の表面に付着した前記微粒子を洗い落とし易くした状態で前記ブラシで洗浄することを特徴とする請求項７記載の洗浄装置。
9. 金属の表面を洗浄する装置であって、
   金属の表面を酸性の液体で洗浄する酸洗浄手段と、
   該酸洗浄した金属の表面をバフ研磨するバフ研磨手段と、
   該バフ研磨した金属の表面をブラシで洗浄するブラシ洗浄手段と、
   該ブラシ洗浄した金属の表面を乾燥させる乾燥手段と
   を備え、前記バフ研磨手段は、前記金属の表面をバフ研磨するバフロール部と、研磨液を
   供給する研磨液供給ノズル部とを有し、該研磨液供給ノズル部から研磨液として防錆効果
   を有する液体を前記バフロール部と前記金属の表面との間に供給し、該研磨液供給ノズル
   部から研磨液を供給しながら前記金属の表面をバフ研磨することにより、該バフ研磨によ
   り活性化した前記金属の表面に防錆処理を施すと共に、前記バフ研磨により発生した金属
   微粒子が前記防錆効果を有する液体を使用しない場合と比べて前記金属の表面に付着しに
   くくした状態でバフ研磨することを特徴とする洗浄装置。
10. 前記研磨液供給ノズル部から研磨液として防錆効果を有する液体を使用することにより
    、前記バフロール部でバフ研磨中の前記金属の表面に付着した微粒子の表面電位の絶対値を大きくして、前記バフ研磨により発生した金属微粒子が前記金属の表面に付着しにくくした状態でバフ研磨することを特徴とする請求項９記載の洗浄装置。
11. 前記防錆効果を有する液体は、ベンゾトリアゾールの水溶液であることを特徴とする請
    求項７乃至１０の何れかに記載の洗浄装置。

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