JP5695883B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
この場合、レーザ光の一部を取り出して受光素子において強度を検出する際に、単に光を弱めるだけの部材を設けただけでは、図12に示すように、低いパワーに設定されている場合にはSN比が大きくなってしまう。また、高いパワーに設定されている場合には、受光素子における受光量の飽和領域に入ってしまい、正確に強度を検出することが難しくなる。
また、アパーチャ設定手段により、レーザ光出力設定手段による加工対象物へのレーザ光の出力の設定値に応じてアパーチャの開口面積を変更することができる。
さらに、レーザ光出力設定手段によって設定されたレーザ光の出力値にかかわらず受光素子によるレーザ光の受光量が一定となるようにアパーチャの開口面積が調整され、受光素子の出力特性における好ましい受光領域を使用できるアパーチャの開口面積に調整することができる。
以下、本発明をレーザマーキング装置に具体化した一実施形態を図面にしたがって説明する。
図2に示すように、コントローラ2は、レーザ発振器10(例えば、ファイバレーザ発振器)を備え、レーザ発振器10から加工対象物Wに照射するためのレーザ光Lが出力される。レーザ発振器10から出射されたレーザ光Lは、ファイバケーブル3に送られ、ファイバケーブル3を通してヘッド4に送られる(伝送される)。図1に示すように、ヘッド4においてファイバケーブル3の一端(ヘッド側端)は、ビームエキスパンダ収納部11に接続されている。ヘッド4とコントローラ2とは、ファイバケーブル3、及び電気ケーブル5の一端(ヘッド側端)をヘッド4から取り外すことで接続状態を容易に解除できる。即ち、ヘッド4は、コントローラ2に対して着脱可能に構成されている。ビームエキスパンダ収納部11には、ビームエキスパンダ12(図2参照)が収納されており、ファイバケーブル3からのレーザ光Lがビームエキスパンダ12に送られる。
コンソール7は、操作部25の操作により入力された設定情報を示す設定信号を制御装置23に出力するとともに、その設定情報を表示部24に表示させる。また、コンソール7は、印字スタートボタンの押下操作に基づき、加工開始指令信号を制御装置23に出力する。
具体的には、まず、制御装置23は、ヘッド4(A/D変換器22)から入力しているA/D変換器22の出力値(A/D変換値)をモニタ値として取得する。
図3のタイムチャートにおいて、最も上に、第1の加工対象物への「A」,「B」,「C」の印字期間、次の加工対象物である第2の加工対象物への「A」の印字期間を示す。つまり、t2〜t3の期間が第1の加工対象物への「A」の印字期間、t4〜t5の期間が第1の加工対象物への「B」の印字期間、t6〜t7の期間が第1の加工対象物への「C」の印字期間、t8〜t9の期間が第2の加工対象物への「A」の印字期間である。
レーザ発振器10の出力については、t1以後に所定の出力レベルでレーザ光を連続的に出力する。シャッタ16は、印字期間においては開いており、印字しない期間であるt1〜t2、t3〜t4、t5〜t6、t7〜t8において閉じている。アパーチャ19の開口面積については、印字期間においては閉じており(開口面積=0)、印字しない期間であるt1〜t2、t3〜t4、t5〜t6、t7〜t8において所定の開度(開口面積=D1)となっている。
モニタ期間については、印字しない期間であるt1〜t2、t3〜t4、t5〜t6、t7〜t8である。このモニタ期間において受光素子18において所定の受光量(Q1)となる。
図4において、t1のタイミングにおいて受光素子18の受光量が規定値(Q1)よりも所定量ΔQだけ低いと、制御装置23はレーザ発振器10を制御して出力をΔPだけ高くする。その結果、t11のタイミングで受光素子18の受光量が所定値(Q1)になる。
(1)ユーザがレーザ出力を設定できるとともにレーザパワーをモニタできるレーザマーキング装置において、受光素子18の前段に開口部を有するアパーチャ19を設け、アパーチャ径設定器27によりアパーチャ19の開口面積を変更可能に設定する構成とした。そして、高いパワーに設定されている場合には受光素子18での受光量が飽和しないようにアパーチャ19の開口径を小さくして光を大きく減衰し、低いパワーが設定されている場合にはアパーチャ19の開口径を大きくして光の減衰量を抑えるようにした。
(3)制御装置23により受光素子18によるレーザ光の検出結果に基づいてレーザ発振器10のレーザ光の出力を調整することができる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図5において、レーザ発振器10の出力については、t1以後に所定の出力レベルでレーザ光を連続的に出力する。シャッタ16は、印字期間においては開いており、印字しない期間であるt1〜t2、t3〜t4、t5〜t6、t7〜t8において閉じている。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図6において、レーザ発振器10の出力については、t1以後に所定の出力レベルでレーザ光を連続的に出力する。シャッタ16は、第1の加工対象物への印字開始のt2から終了のt7までの連続する期間においては開いており、第1の加工対象物への印字終了のt7から第2の加工対象物への印字開始のt8までは閉じている。
モニタ期間については、t1〜t2、t7〜t8である。このモニタ期間において受光素子18において所定の受光量(Q1)となる。
(第4の実施形態)
次に、第4の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
レーザ発振器10の出力については、印字しない期間であるt1〜t2、t3〜t4、t5〜t6、t7〜t8では出力ゼロであり、印字する期間t2〜t3、t4〜t5、t6〜t7、t8〜t9においては所定の出力レベルでレーザ光を連続的に出力する。
モニタ期間については、印字する期間であるt2〜t3、t4〜t5、t6〜t7、t8〜t9である。このモニタ期間において受光素子18において所定の受光量(Q1)となる。
(第5の実施形態)
次に、第5の実施形態を、第2の実施形態との相違点を中心に説明する。
図8において、(a)に示すように「A」を印字するとき、まず(b)に示すように「Λ」を印字し、その後の(c)においてモニタし、その後の(d)において「−」を印字して「A」とする。
(第6の実施形態)
次に、第6の実施形態を、第1〜第5の実施形態との相違点を中心に説明する。
(第7の実施形態)
次に、第7の実施形態を、第6の実施形態との相違点を中心に説明する。
図11に示す受光素子の出力特性において、レーザ出力が少ないときには受光量も少ないので、SN比が大きくなる。そこで、本実施形態では、レーザ出力が少ないときには受光量を大きくすべくアパーチャ19の開口面積を大きくする。
図10において、t1のタイミングでモニタする。このとき、アパーチャ19の開口面積(径)は小さな値(D10)となっている。制御装置23は、受光素子18によるレーザ光の受光量が一定(図10ではQ1)となるようにアパーチャ19の開口面積を調整する。図10のt20のタイミングにおいて受光素子18の受光量(アパーチャの開口面積)が一定になる。
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
・上記実施形態において、異なるレーザ加工装置に具体化してもよい。例えば、レーザ溶接機、レーザ穴あけ機、及びレーザ切断機などに具体化してもよい。
Claims (5)
- 加工対象物に照射するためのレーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ光の光路に設けられ、前記レーザ光の一部を分岐して取り出すための分岐手段と、
前記分岐手段により取り出されたレーザ光を検出する受光素子と、
前記加工対象物への前記レーザ光の出力を設定するレーザ光出力設定手段と、
前記分岐手段と前記受光素子との間のレーザ光の光路に設けられる開口部を有するアパーチャと、
前記レーザ光出力設定手段による前記加工対象物への前記レーザ光の出力の設定値に応じて前記アパーチャの開口面積を変更するアパーチャ設定手段と、
前記レーザ光出力設定手段によって設定されたレーザ光の出力値にかかわらず前記受光素子によるレーザ光の受光量が一定となるように前記アパーチャの開口面積を調整する制御手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記制御手段は、前記受光素子によるレーザ光の受光量を増やすことにより前記受光素子によるレーザ光の受光量が一定となるように前記アパーチャの開口面積を調整することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御手段は、前記受光素子によるレーザ光の受光量を減らすことにより前記受光素子によるレーザ光の受光量が一定となるように前記アパーチャの開口面積を調整することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御手段において前記受光素子によるレーザ光の受光量が一定とならないとき異常として異常検出信号を出力する異常信号出力手段を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- ヘッド部に前記分岐手段、前記受光素子が配設されるとともに、
本体部に前記レーザ発振器、及び前記ヘッド部に配設された制御対象機器を制御する機器制御手段が配設され、
前記レーザ発振器から出力されたレーザ光は、前記ヘッド部と前記本体部とを接続する光ファイバにより前記ヘッド部に伝送されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010244729A JP5695883B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010244729A JP5695883B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012096256A JP2012096256A (ja) | 2012-05-24 |
JP5695883B2 true JP5695883B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=46388796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010244729A Expired - Fee Related JP5695883B2 (ja) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5695883B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013207379A1 (de) * | 2013-04-23 | 2014-10-23 | Bundesdruckerei Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Lasermarkierung mit Graustufenkalibrierung |
JP6430814B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2018-11-28 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | レーザ加工装置の設定装置、これを備えるレーザ加工装置、および、レーザ加工装置の設定プログラム |
WO2019014290A1 (en) * | 2017-07-12 | 2019-01-17 | 3D Systems, Inc. | SENSOR SYSTEM FOR DIRECT CALIBRATION OF HIGH ENERGY DENSITY LASERS USED IN DIRECT METAL LASER FUSION PROCESS |
WO2019203161A1 (ja) * | 2018-04-16 | 2019-10-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ光出力モニター装置及びそれを用いたレーザ装置、レーザ加工装置 |
CN112352358A (zh) * | 2018-05-15 | 2021-02-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 激光装置和使用了该激光装置的激光加工装置 |
JP2022098586A (ja) * | 2020-12-22 | 2022-07-04 | 大船企業日本株式会社 | プリント基板レーザ加工装置に装着されるアパーチャにおける加工点パワーの調整方法と、該プリント基板レーザ加工装置に装着されるアパーチャにおける加工点パワーの調整方法を実施してなるプリント基板レーザ加工装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159917A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Toshiba Corp | レーザ強度連続モニタ装置 |
JPH10113779A (ja) * | 1996-10-14 | 1998-05-06 | Nikon Corp | レーザ加工装置 |
JP3456945B2 (ja) * | 2000-04-26 | 2003-10-14 | サンクス株式会社 | レーザマーキング装置 |
JP5118866B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2013-01-16 | 株式会社キーエンス | レーザマーカ及びレーザパワーの表示調整方法 |
JP2009262224A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
-
2010
- 2010-10-29 JP JP2010244729A patent/JP5695883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012096256A (ja) | 2012-05-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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