JP5692099B2 - 半導体圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
最初に本発明の実施の形態1における半導体圧力センサの構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態1における半導体圧力センサ100の構成を示す上面図である。図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。
第1の半導体基板1は、主表面(おもて面とも言う。)1aと裏面1bとを有する半導体基板で、主表面1a側に凹部4が形成されている。凹部4が形成された第1の半導体基板1の表面は、熱酸化絶縁層3で被覆されている。つまり、凹部4の内面にも熱酸化絶縁層3が形成されている。第1の半導体基板1は、例えば、シリコン基板からなる。第1の半導体基板1を形成するシリコンは、単結晶シリコンであってもよいが、特にこれに限定されるものではなく、多結晶のものや非晶質のものであってもよい。熱酸化絶縁層3は、絶縁性を有していれば、いかなる材料からなっていてもよいが、本実施の形態においては、第1の半導体基板1をシリコン基板としたため、熱酸化絶縁層3はシリコン酸化膜からなっている。
まず、図3(a)に示すように、例えば、単結晶シリコンから成る第1の半導体基板1の表面に熱酸化法によって酸化シリコンの熱酸化絶縁層8が形成される(工程1)。熱酸化法とは、例えば、水分を含む雰囲気中で単結晶シリコンから成る第1の半導体基板1を1000℃程度に加熱し、シリコンを酸化させてボトムアップで第1の半導体基板1の表面にシリコンの酸化膜を形成するものである。
なお、第1の半導体基板1の少なくとも主表面1aは、熱酸化絶縁層8を形成する前に面粗さ(算術平均粗さ)Raが1nm以下になるように研磨しておいたほうが好ましい。
また、熱酸化絶縁層8を形成する前に、第1の半導体基板1の主表面1a、および第2の半導体基板2の裏面2bの面粗さ(算術平均粗さ)Raが1nm以下になるように予め研磨しておくことが好ましい。
また、第2の半導体基板2についても、貼り合せの直前に、硫酸と過酸化水素水とを容積比4:1で混合した液で、第2の半導体基板の裏面2bを洗浄することが好ましい。これにより、接合面の汚染物除去と接合面の親水化が可能となるので、室温での仮貼り合せが容易となる。
シリコンが熱酸化されて熱酸化シリコンとなるとき、その体積は約2.3倍に膨張する。この値は、シリコンと酸化シリコンとを1モル当たりの体積で比較することにより導き出される。まず、シリコンの密度は2.33g/cm3、1モル相当のシリコン質量は28gなので、シリコンの1モルあたりの体積は次式で求められる。
一方、第1の半導体基板1の面内方向の歪みは、第1の半導体基板1の表面に沿って広がり、異なる方向から歪みが集まる第1の半導体基板1の角部に集中する。特に、第1の半導体基板1の主平面1a側に設けた凹部4の開口端部に集中する歪みが大きい。
図9は、従来の半導体圧力センサ400の上面図である。図10(a)は、図9の半導体圧力センサ400を構成する第1の半導体基板401のC−C線の位置における断面図、図10(b)は、図10(a)に示す第1の半導体基板401に第2の半導体基板2を接合した状態を示す断面図である。図10に示した第1の半導体基板401は、表面に熱酸化絶縁層403が形成されている。なお、図9は、説明をわかりやすくするために、第2の半導体基板の上の絶縁膜と電気配線を除いた状態を示している。
本発明の実施の形態2における半導体圧力センサの構成について説明する。図4(a)は、本発明の実施の形態2における半導体圧力センサ200の構成を示す上面図である。図4(b)は、図4(a)のB−B線に沿う断面図である。
この実施の形態においては、実施の形態1と比較して、第1の半導体基板201の主表面201aに形成した凹部204の上面視における開口形状が異なる。本実施の形態のこれ以外の構成は上述した実施の形態1と同様であるので、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
まず、実施の形態1の工程1と同様に、単結晶シリコンから成る第1の半導体基板201の表面に熱酸化法によって熱酸化絶縁層208が形成される(図5(a)参照)。
本発明の実施の形態3における半導体圧力センサの構成について説明する。図6は、本発明の実施の形態3における半導体圧力センサ300の構成を示す断面図であって、図1に示すA−A線に対応する位置の断面図である。
この実施の形態においては、実施の形態1と比較して、第1の半導体基板301の主表面301aに形成した凹部304の断面形状が異なる。本実施の形態のこれ以外の構成は上述した実施の形態1と同様であるので、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図11(a)は、図9の半導体圧力センサ400を構成する第1の半導体基板401の凹部404の開口形状の向かい合う2辺をとおるD−D線の位置における断面図、図11(b)は、図11(a)に示す第1の半導体基板401に第2の半導体基板2を接合した状態を示す断面図である。
Claims (7)
- 主表面および前記主表面に形成された凹部の内面に熱酸化絶縁層を有する第1の基板と、
配線および歪みゲージを有するダイヤフラムが前記凹部に対向して設けられた第2の基板とを積層した半導体圧力センサであって、
前記凹部の開口形状は上面視で角部に丸みを有する矩形形状であることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 主表面および前記主表面に形成された凹部の内面に熱酸化絶縁層を有する第1の基板と、
配線および歪みゲージを有するダイヤフラムが前記凹部に対向して設けられた第2の基板とを積層した半導体圧力センサであって、
前記凹部の開口形状は上面視で鈍角の角部を有する多角形状であることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 主表面および前記主表面に形成された凹部の内面に熱酸化絶縁層を有する第1の基板と、
配線および歪みゲージを有するダイヤフラムが前記凹部に対向して設けられた第2の基板とを積層した半導体圧力センサであって、
前記主表面と前記凹部の内壁面とで形成される角部は面取り形状であることを特徴とする半導体圧力センサ。 - 上面視で角部に丸みを有する矩形形状の開口部を備えたマスクを第1の基板の主表面に形成するマスク工程と、
前記マスクを用いて前記第1の基板に凹部を形成するエッチング工程と、
前記第1の基板の主表面および前記凹部の内面に熱酸化絶縁層を形成する成膜工程と、
前記第1の基板の主表面に前記凹部を覆って第2の基板を積層する積層工程と、
ダイヤフラムを形成するダイヤフラム形成工程と、
前記ダイヤフラムに歪みゲージを形成する素子形成工程と、
前記歪みゲージに接続された配線を形成する配線工程とを有する半導体圧力センサの製造方法。 - 鈍角の角部を有する多角形状の開口部を備えたマスクを第1の基板の主表面に形成するマスク工程と、
前記マスクを用いて前記第1の基板に凹部を形成するエッチング工程と、
前記第1の基板の主表面および前記凹部の内面に熱酸化絶縁層を形成する成膜工程と、
前記第1の基板の主表面に前記凹部を覆って第2の基板を積層する積層工程と、
ダイヤフラムを形成するダイヤフラム形成工程と、前記ダイヤフラムに歪みゲージを形成する素子形成工程と、
前記歪みゲージに接続された配線を形成する配線工程とを有する半導体圧力センサの製造方法。 - 第1の基板の主表面に、前記第1の基板に近づくにつれて開口面積が小さくなる形状の開口部を備えたマスクを形成するマスク工程と、
前記マスクを用いて前記第1の基板に凹部を形成するエッチング工程と、
前記第1の基板の主表面および前記凹部の内面に熱酸化絶縁層を形成する成膜工程と、
前記第1の基板の主表面に前記凹部を覆って第2の基板を積層する積層工程と、
ダイヤフラムを形成するダイヤフラム形成工程と、前記ダイヤフラムに歪みゲージを形成する素子形成工程と、
前記歪みゲージに接続された配線を形成する配線工程とを有する半導体圧力センサの製造方法。 - マスク工程のマスクは、所定形状の開口パターン、および前記開口パターンの外側に隣接する領域に前記開口パターンから離れるにつれて密度が減少するように配置された複数の微小開口パターンを備えたフォトマスクを用いて形成されることを特徴とする請求項6に記載の半導体圧力センサの製造方法。
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