JP5691691B2 - 液体供給装置、液体噴射装置及び液体供給装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給装置、該液体供給装置を備えた液体噴射装置、及び液体供給装置の製造方法に関する。

従来、液体をターゲットに対して噴射させる液体噴射装置として、インクジェット式プリンター（以下、「プリンター」ともいう。）が広く知られている。このプリンターは、記録ヘッド（液体噴射ヘッド）に供給されるインク（液体）を記録ヘッドに形成されたノズルから噴射することにより、ターゲットとしての記録媒体に対して印刷処理を施すようになっている。

また、近年では、インクカートリッジ（液体供給源）と記録ヘッドとの間を接続するインク流路（液体供給流路）の途中位置に、インクカートリッジ側から記録ヘッド側にインクを加圧供給するためにポンプ駆動するダイアフラムポンプを備えたプリンターが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

すなわち、特許文献１に記載のプリンターにおいては、インク流路を構成する流路形成部材の一面側に凹部が形成されており、この凹部の開口を覆うように可撓性のダイアフラムが配置されることにより、ダイアフラムポンプのポンプ室が構成されている。また、インク流路におけるインクカートリッジとポンプ室との間及び記録ヘッドとポンプ室との間には、インクカートリッジ側となる上流側から記録ヘッド側となる下流側へのインクの通過のみを許容する逆止弁がそれぞれ設けられている。

そして、ポンプ室の容積を増加させるようにダイアフラムが変位すると、ポンプ室内に生成される負圧に基づいてインクカートリッジからポンプ室にインクが吸引される一方で、ポンプ室の容積を減少させるようにダイアフラムが変位すると、ポンプ室内に収容されたインクがポンプ室から記録ヘッドに向けて加圧供給される。そこで、上記のプリンターにおいては、ポンプ室の容積を増減させるようにダイアフラムを反復して変位させることにより、インクカートリッジ側から記録ヘッド側に向けてインクが脈動的に加圧供給されるようになっている。

特開２００９−１６０９１２号公報

ところで、ダイアフラムポンプからのインクの吐出圧を減衰させることなく記録ヘッド側に向けてインクを加圧供給するためには、ダイアフラムポンプから吐出されるインクがインク流路内で大きな圧力損失を受ける前段階で下流側の逆止弁を通過するように、ダイアフラムポンプと下流側の逆止弁とを近接して配置することが望ましい。

そこで、流路形成部材において、ポンプ室を構成する凹部を第１の凹部として、この第１の凹部の裏面側となる位置に、ポンプ室に連通する第２の凹部を形成すると共に、この第２の凹部内に逆止弁を収容した状態で逆止弁に対してフィルムを溶着させて逆止弁を流路形成部材に対して固定することも考えられる。

そして、かかる構成において、逆止弁に対してフィルムを溶着させるためには、この逆止弁を収容する第２の凹部の裏面側となるポンプ室を構成する第１の凹部の凹湾曲面状の内側面を支持部材によって支持し、フィルムの溶着時に加わる押圧力で流路形成部材が撓んでしまうことを抑制する必要がある。しかしながら、第１の凹部の凹湾曲面に合う正確な形状の支持面を有した支持部材を作成することは困難であり、又、もし仮に、このような複雑な形状の凹湾曲面に合うように支持部材の支持面が作成できたとしても、支持面の寸法の設計上の公差によって支持面と第１の凹部の凹湾曲面との間にはクリアランスが介在してしまう。

そのため、かかる状態で、フィルムを流路形成部材の第２の凹部に収容された逆止弁に対して熱溶着させるために、ヒーターを流路形成部材における第２の凹部が形成された面に対して押し当てると、流路形成部材が第１の凹部の凹湾曲面を支持部材の支持面に対して面接触させるように撓んでしまい、第２の凹部内の逆止弁に対してフィルムを正確に溶着させることが困難となる虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ポンプからの液体の吐出圧が減衰することを抑制しつつ下流側に向けて液体を供給することができる液体供給装置、液体噴射装置及び液体供給装置の製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の液体供給装置は、液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路が形成される流路形成部材と、前記流路形成部材の第１面に形成された第１の凹部の開口を覆うように設けられ、該第１の凹部の内側の空間域を前記液体供給流路の一部を構成するポンプ室として機能させるために該ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材と、前記流路形成部材において前記第１面の裏面側となる第２面に形成された第２の凹部に収容され、前記第２の凹部の内側の空間域を前記液体供給流路の一部を構成する弁室として機能させるために前記第１の凹部と前記第２の凹部との連通路を開閉可能に設けられたバルブと、前記第２の凹部に前記バルブを収容した状態で、前記第２の凹部の開口を覆うように前記バルブ及び前記流路形成部材の前記第２面に対して溶着されるフィルムとを備え、前記第１の凹部及び前記第２の凹部は、前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向から見て重畳して配置されると共に、前記第１の凹部の内面には前記第２面と直交する方向に対して交差する平面部が前記第１の凹部の内面と非一様な面状態で設けられている。

一般に、流路形成部材において第１の凹部が形成された第１面の裏面側となる第２面に形成された第２の凹部にバルブを収容した状態で、第２の凹部の開口を覆うようにフィルムを溶着させる場合には、第１の凹部の内面に支持部材を当接させた状態で、流路形成部材の第２面に対してフィルムを密着させるために押圧部材を押し当てる必要がある。この場合、支持部材が当接する第１の凹部は流路形成部材の第１面に陥没するように形成されたものであるため、押圧部材を流路形成部材の第２面に対して押し当てると、流路形成部材が撓んでしまい、流路形成部材の第２面と直交する方向から見て第１の凹部と重畳するように配置された第２の凹部は、流路形成部材の撓みに応じて変形する。そのため、この第２の凹部に収容したバルブが第２の凹部内で変位してしまいバルブに対してフィルムを適切に溶着させることが困難となる。

この点、上記構成によれば、流路形成部材において第１の凹部の内面には流路形成部材の第２面と直交する方向に対して交差すると共に第１の凹部の内面とは非一様な面状態となる平面部が設けられており、この平面部に対して支持部材を当接させることになる。そして、流路形成部材の第２面に対して該第２面と直交する方向に押圧部材から押圧力が作用したとしても、このような押圧力が作用した流路形成部材は支持部材によって平面部を介して安定に支持される。そのため、流路形成部材の無用な撓みが抑制され、第２の凹部に収容されたバルブに対してフィルムを好適に溶着させることができる。その結果、第１の凹部と第２の凹部とを流路形成部材の第２面と直交する方向から見て重畳して配置することにより、第１の凹部が構成するポンプ室と第２の凹部に収容されるバルブとを近接して配置することが可能となる。したがって、ポンプ室からバルブを通じて第２の凹部に至るまでの間に液体に対して作用する圧力損失が低減されるため、ポンプからの液体の吐出圧が減衰することを抑制しつつ下流側に向けて液体を供給することができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記平面部は、前記流路形成部材の前記第２面と平行である。
上記構成によれば、流路形成部材の第２面に対して該第２面と直交する方向に押圧力が作用したとしても、このような押圧力が作用した流路形成部材は、第２面と直交する方向に変位することなく支持部材によって平面部を介して更に安定に支持される。そのため、第２の凹部に収容されたバルブに対してフィルムを更に好適に溶着させることができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記第１の凹部の内底面は凹湾曲面状をなすと共に、該内底面には溝部が形成されており、前記平面部は、前記溝部の内底面である。
上記構成によれば、変位部材を第１の凹部の内底面に対して隙間なく密着させてポンプ室内に液体が残留することを抑制するために、ポンプ室の内面の一部を構成する第１の凹部の内底面を凹湾曲面状に形成した場合であっても、この第１の凹部の内底面に形成された溝部における平面状の内底面に対して支持部材を押し当てることにより、流路形成部材が安定に支持される。そのため、第２の凹部に収容されたバルブに対してフィルムを好適に溶着させることができる。

また、本発明の液体供給装置において、前記溝部の内側面は、前記第１の凹部の内底面から前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向に延びるように形成されている。
上記構成によれば、第１の凹部の内底面に形成された溝部に対して支持部材を当該溝部の内側面をガイドとして容易に挿入して流路形成部材を支持することができるため、第２の凹部に収容されたバルブに対してフィルムをより簡便に溶着させることができる。

また、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体供給装置と、ターゲットに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドとを備えた。
上記構成によれば、上記液体供給装置の発明と同様の効果が得られる。

また、本発明の液体供給装置の製造方法は、液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路が形成された流路形成部材において、前記液体供給流路の一部となるポンプ室を構成する第１の凹部が形成された第１面の裏面側となる第２面に対して該第２面と直交する方向から見て前記第１の凹部と重畳するように形成された第２の凹部に対し、前記液体供給流路を開閉可能とするバルブを収容するバルブ収容ステップと、前記第２の凹部に前記バルブを収容した状態で、前記第１の凹部の内面に設けられた前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向に対して交差すると共に前記第１の凹部の内面とは非一様な面状態の平面部に対して支持部材を当接させる当接ステップと、前記平面部に前記支持部材を当接させた状態で、前記バルブを収容した前記第２の凹部の開口を覆うように前記バルブ及び前記流路形成部材の前記第２面に対してフィルムを溶着させる溶着ステップと、前記第２の凹部の開口を覆うように前記フィルムを溶着させた状態で、前記ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材を前記第１の凹部の開口を覆うようにして設けることにより前記ポンプ室を形成するポンプ室形成ステップとを備えた。

上記構成によれば、上記液体供給装置の発明と同様の効果が得られる。

本発明に係る液体噴射装置を背面側から見た断面図。 本発明に係る液体供給装置の前側部分の分解斜視図。 本発明に係る液体供給装置の後側部分の分解斜視図。 吐出側一方向弁を説明するための分解斜視図。 流路形成部材の背面図。 流路形成部材の正面図。 ポンプの吸引動作を説明するための断面図。 ポンプの吐出動作を説明するための断面図。 （ａ）は吐出側一方向弁を取り付ける前の流路形成部材の断面図、（ｂ）は吐出側一方向弁を収容した状態の流路形成部材の断面図、（ｃ）は支持部材によって流路形成部材を支持した状態の流路形成部材の断面図。 （ａ）は第３フィルム部材を熱溶着させている状態の流路形成部材の断面図、（ｂ）はダイアフラムポンプの取り付けが完了した状態の流路形成部材の断面図。

以下、本発明に係る液体噴射装置をインクジェット式プリンターに具体化した実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、各図中に矢印で示すように、鉛直方向Ｚにおける重力方向を下方向、反重力方向を上方向とする。また、鉛直方向Ｚと交差する装置の奥行き方向Ｙにおいて用紙が搬送される搬送方向を前方向、その搬送方向の反対方向を後方向とする。さらに鉛直方向Ｚおよび奥行き方向Ｙの双方と交差する方向であって液体噴射ヘッドが往復移動する方向すなわち主走査方向Ｘを、前方から見て、それぞれ右方向、左方向と呼ぶものとする。また、図面中の上方向、右方向及び前方向を示す矢印において、丸印の中に点が記載されたもの（矢の先端を前から見た図）は紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、丸印の中にバツが記載されたもの（矢の羽根を後ろから見た図）は紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。

図１に示すように、本実施形態のプリンター１１においては、フレーム１２内に配設された支持部材１３上に、フレーム１２の長手方向となる主走査方向Ｘ及び鉛直方向Ｚと交差する搬送方向（本実施形態では前後方向）に沿って用紙Ｐが搬送される。

フレーム１２の長手方向における左端側に配設されたカートリッジホルダー１４には、液体の一例としてのインクを収容する液体供給源の一例としての複数のインクカートリッジ１５（１５Ｂ，１５Ｃ）が着脱可能に装着される。なお、本実施形態においては、ブラックインクを収容する１つのブラック用インクカートリッジ１５Ｂ及び互いに異なる色のカラーインクを収容する３つのカラー用インクカートリッジ１５Ｃがカートリッジホルダー１４に装着されるようになっている。

フレーム１２内には鉛直方向Ｚと交差する主走査方向Ｘに延びるガイド軸１６が架設されているとともに、このガイド軸１６にはキャリッジ１７が摺動可能に支持されている。キャリッジ１７は、図示しないキャリッジモーターの駆動によりガイド軸１６に沿って主走査方向Ｘに往復移動されるようになっている。

キャリッジ１７の下面側には、インクを噴射する複数のノズル１８が設けられた液体噴射ヘッド１９が支持されている。なお、搬送方向に並ぶ複数のノズル１８は同じ色のインクを噴射するノズル列を構成する。また、液体噴射ヘッド１９には異なる色のインクに対応するノズル列が主走査方向Ｘに沿って複数（本実施形態では４列）配列されている。

カートリッジホルダー１４の背面側には、各インクカートリッジ１５に収容されたインクを液体噴射ヘッド１９に供給するための液体供給装置２０が配置されている。また、液体供給装置２０には接続部２１が設けられているとともに、液体供給装置２０の接続部２１には可撓性を有するインク供給チューブ２２の上流端が接続されている。そして、各インクカートリッジ１５は、液体供給装置２０及びインク供給チューブ２２を介して液体噴射ヘッド１９と接続されている。

すなわち、プリンター１１は、フレーム１２側に設けられたインクカートリッジ１５からキャリッジ１７に搭載された液体噴射ヘッド１９にインクを供給する所謂オフキャリッジタイプのプリンターである。そして、プリンター１１は、液体噴射ヘッド１９内に設けられた図示しない圧電素子の駆動によってノズル１８から用紙Ｐに対してインクを噴射することで、用紙Ｐに印刷処理を施すようになっている。

フレーム１２内においてキャリッジ１７の主走査方向Ｘに沿う移動範囲における右端側はホーム位置ＨＰとなっている。そして、フレーム１２内においてホーム位置ＨＰと対応する位置には、液体噴射ヘッド１９に対して各種メンテナンス処理を行うためのメンテナンス装置２３が配設されている。

メンテナンス装置２３は、液体噴射ヘッド１９に対応する大きさに形成された有底箱状のキャップ２４と、キャップ２４を昇降移動させるための昇降機構２５と、キャップ２４内を吸引するための吸引ポンプ２６とを備えている。

キャップ２４は、上昇移動してホーム位置ＨＰに配置された液体噴射ヘッド１９のインクを噴射するノズル１８の開口を囲うように液体噴射ヘッド１９に当接することにより、液体噴射ヘッド１９のノズル１８が開口する下面側との間に閉空間域を囲み形成する。そして、この状態で吸引ポンプ２６を駆動することにより、閉空間域に負圧を発生させ、ノズル１８を通じて液体噴射ヘッド１９内のインクを排出させる吸引クリーニングが実行されるようになっている。

次に、液体供給装置２０の概略構成について説明する。
図１の部分拡大図に示すように、液体供給装置２０には、インクカートリッジ１５側となる上流側から液体噴射ヘッド１９側となる下流側に向けてインクを供給するための液体供給流路の一例としての液体供給路２７がインクの色毎に設けられている。また、各液体供給路２７の上流端は、それぞれ対応する色のインクカートリッジ１５内に挿入される接続部２８となっている。また、各液体供給路２７の下流端は、それぞれ対応する色のインク供給チューブ２２の上流端に接続されている。

各液体供給路２７の途中には、インクカートリッジ１５に収容されたインクを吸引する吸引動作と吸引したインクを液体噴射ヘッド１９側に向けて吐出する吐出動作とを行うダイアフラム式のポンプ２９がそれぞれ設けられている。また、各液体供給路２７においてポンプ２９の下流側には、ポンプ２９から吐出されたインクを一時貯留するバッファ３０（３０Ｂ，３０Ｃ）がそれぞれ設けられている。すなわち、本実施形態において、液体供給装置２０にはそれぞれ４つずつポンプ２９及びバッファ３０が設けられている。

ブラックインクを貯留するためのバッファ３０であるブラック用バッファ３０Ｂは、カラーインクを貯留するためのバッファ３０であるカラー用バッファ３０Ｃよりも貯留容量が大きくなっている。また、ブラック用バッファ３０Ｂはカラー用バッファ３０Ｃの上方に配置されているとともに、複数（本実施形態では３つ）のカラー用バッファ３０Ｃは主走査方向Ｘに並ぶように配置されている。

各液体供給路２７においてインクカートリッジ１５につながる接続部２８とポンプ２９との間には、ポンプ２９が吸引動作を行う場合に開弁するとともにポンプ２９が吐出動作を行う場合に閉弁する吸引側一方向弁３１が設けられている。また、各液体供給路２７においてポンプ２９とバッファ３０との間には、ポンプ２９が吸引動作を行う場合に閉弁するとともにポンプが吐出動作を行う場合に開弁するバルブの一例としての吐出側一方向弁３２が設けられている。なお、吸引側一方向弁３１とポンプ２９とは、液体供給路２７を構成する第１流路２７ａを通じて連通している。また、吐出側一方向弁３２とバッファ３０とは、液体供給路２７を構成する第２流路２７ｂを通じて連通している。

さらに、各液体供給路２７においてバッファ３０と液体噴射ヘッド１９につながるインク供給チューブ２２との間にはチョーク弁３３が設けられている。チョーク弁３３は、バッファ３０側となる上流側の加圧力よりも液体噴射ヘッド１９側となる下流側の負圧力が大きくなった場合に閉弁して液体供給路２７を閉塞するようになっている。なお、バッファ３０とチョーク弁３３とは液体供給路２７を構成する第３流路２７ｃを通じて連通しているとともに、チョーク弁３３と接続部２１とは液体供給路２７を構成する第４流路２７ｄを通じて連通している。

したがって、吸引クリーニングが実行されるとチョーク弁３３が液体供給路２７を閉塞することで液体噴射ヘッド１９内の負圧が高まり、その後ポンプ２９が吐出動作を行うことで、インクとともに液体噴射ヘッド１９内に滞留している気泡や増粘したインクなどがノズル１８を通じて勢いよく排出されるようになっている。すなわち、メンテナンス装置２３及びチョーク弁３３によって、排出クリーニングの一種であるチョーククリーニングが実行されるようになっている。

なお、カートリッジホルダー１４は、主走査方向Ｘに沿うキャリッジ１７の移動領域と対応する位置（詳しくは、移動領域の左端側の上方）に配置されている。また、ポンプ２９、吸引側一方向弁３１、吐出側一方向弁３２及びチョーク弁３３は、主走査方向Ｘ及び鉛直方向Ｚと交差する装置の奥行き方向Ｙ（本実施形態では前後方向）においてカートリッジホルダー１４と並ぶように、カートリッジホルダー１４の背面側となる第１領域３４Ｌに配置されている。一方、各バッファ３０は、主走査方向Ｘにおいてカートリッジホルダー１４と並ぶように、第１領域３４Ｌの右側に位置する第２領域３４Ｒに配置されている。

次に、液体供給装置２０の構造について説明する。
図２に示すように、液体供給装置２０は、主走査方向Ｘ及び鉛直方向Ｚと交差（本実施形態では直交）する装置の奥行き方向Ｙにおいて、カートリッジホルダー１４の後方に配置される板状をなす流路形成部材３５を備えている。

流路形成部材３５の第１面となる前面３５Ａには、第１領域３４Ｌと対応する位置に、溝状をなす１本の流体流路形成凹部３７と、溝状をなす４本の第２流路形成凹部３８と、平面視略円状をなす４つの第１の凹部の一例としてのポンプ用凹部３９と、平面視略円状をなす４つのチョーク弁用凹部４０とが、上側から下側に向けて並ぶように形成されている。また、各チョーク弁用凹部４０の上端付近には溝状の導入凹部４０ａの下流端がそれぞれ接続されている。なお、各４つのポンプ用凹部３９及びチョーク弁用凹部４０は、それぞれ主走査方向Ｘに並ぶように配置されている。

また、流路形成部材３５の前面３５Ａにおいて第２領域３４Ｒと対応する位置には、第１領域３４Ｌから続く溝状の第２流路形成凹部３８と、同じく溝状をなす４本の第３流路形成凹部４１とが形成されている。

流路形成部材３５の前面３５Ａからは、鉛直方向Ｚにおいてポンプ用凹部３９とチョーク弁用凹部４０との間となる位置から円筒形状をなす４つの接続部２８が主走査方向Ｘに並ぶように突設されている。また、流路形成部材３５の前面３５Ａにおいて各ポンプ用凹部３９の開口の外周部にあたる位置には、前方に向けて突設される位置決め突起３９ａ，３９ｂがそれぞれ形成されている。

流路形成部材３５の前面３５Ａ側には、流体流路形成凹部３７、第２流路形成凹部３８及び第３流路形成凹部４１を覆うように第１フィルム部材４２が溶着される。そして、第２流路形成凹部３８及び第１フィルム部材４２によって第２流路２７ｂ（図１参照）が囲み形成されるとともに、第３流路形成凹部４１及び第１フィルム部材４２によって第３流路２７ｃ（図１参照）の上流側部分が囲み形成される。

また、流路形成部材３５の前面３５Ａ側には、チョーク弁用凹部４０及び導入凹部４０ａを覆うように第２フィルム部材４３が溶着される。さらに、流路形成部材３５の左下部分からは、下方に向けて延設部３５ｂが延設されているとともに、延設部３５ｂの先端側には接続部２１が前方に向けて突設されている。

流路形成部材３５とカートリッジホルダー１４との間において各ポンプ用凹部３９と対応する位置には、平面視略円状をなす変位部材の一例としてのダイアフラム４５と、略円筒形状をなすばね座４６と、第１コイルばね４７とが、後側から前側に向けて並ぶようにそれぞれ設けられている。なお、各ダイアフラム４５の前面側において中央付近からは突部４８が突設されている。そして、この突部４８とばね座４６の内周面とが係合するとともに、ばね座４６の外周面と第１コイルばね４７とが係合するようになっている。

各ダイアフラム４５の外縁部には、流路形成部材３５の位置決め突起３９ａ，３９ｂにそれぞれ対応する位置決め孔４５ａ，４５ｂが形成されている。また、各ダイアフラム４５の外縁部において位置決め孔４５ａの近くには、それぞれ貫通孔４５ｃが形成されている。そして、ダイアフラム４５は、流路形成部材３５の位置決め突起３９ａ，３９ｂに位置決め孔４５ａ，４５ｂが挿通されて位置決めがなされた場合に、ポンプ用凹部３９を覆蓋する態様となる。

図３に示すように、流路形成部材３５の第１面とは反対側の第２面となる後面３５Ｂにおいて第１領域３４Ｌと対応する位置には、溝状をなす流体流路形成凹部４９と、平面視略円状をなす４つの第２の凹部の一例としての吐出側凹部５０とが形成されている。また、流路形成部材３５の後面３５Ｂにおいて吐出側凹部５０の下方には、溝状をなす４本の第１流路形成凹部５１と、平面視略円状をなす４つの吸引側凹部５２と、溝状をなす４本の第３流路形成凹部５３とが、上側から下側に向けて並ぶように形成されている。なお、各４つの吐出側凹部５０、第１流路形成凹部５１及び吸引側凹部５２は、それぞれ主走査方向Ｘに並ぶように配置されている。

また、流路形成部材３５の後面３５Ｂにおいて第２領域３４Ｒと対応する位置には、第１領域３４Ｌから続く溝状の第３流路形成凹部５３と、平面視略円状をなす４つのバッファ用凹部５４（５４Ｂ，５４Ｃ）とが形成されている。なお、カラーインクに対応する３つのバッファ用凹部５４Ｃは主走査方向Ｘに並ぶように配置されているとともに、ブラックインクに対応する１つのバッファ用凹部５４Ｂはバッファ用凹部５４Ｃの上方に配置されている。そして、バッファ用凹部５４Ｂの開口面積は、３つのバッファ用凹部５４Ｃの開口面積よりも大きくなっている。

流路形成部材３５の後面３５Ｂにおいて左上部分からは、流路形成部材３５の背面側から前面３５Ａ側に向けて空気などの流体を供給するための１本の供給部３５ａが後方に向けて突設されている。また、流路形成部材３５の後面３５Ｂにおいて左下部分には、延設部３５ｂに向かって延びる４本の溝状をなす接続流路形成凹部３５ｃが形成されている。

流路形成部材３５の後面３５Ｂ側には、流体流路形成凹部４９、吐出側凹部５０、第１流路形成凹部５１、吸引側凹部５２、第３流路形成凹部５３及び接続流路形成凹部３５ｃを覆うように第３フィルム部材５５が溶着される。また、流路形成部材３５の後面３５Ｂ側には、バッファ用凹部５４（５４Ｂ，５４Ｃ）を覆うように、それぞれ第４フィルム部材５６（５６Ｂ，５６Ｃ）が溶着される。

そして、第１流路形成凹部５１及び第３フィルム部材５５によって第１流路２７ａ（図１参照）が囲み形成されるとともに、第３流路形成凹部５３及び第３フィルム部材５５によって第３流路２７ｃ（図１参照）の下流側部分が囲み形成される。また、接続流路形成凹部３５ｃ及び第３フィルム部材５５によって第４流路２７ｄ（図１参照）が囲み形成される。

流路形成部材３５と第３フィルム部材５５との間において各吐出側凹部５０と対応する位置には、平面視略円状をなす吐出側弁体５７と略円盤形状の第１固定部材５８とが前側から後側に向けて並ぶようにそれぞれ設けられている。

また、流路形成部材３５と第３フィルム部材５５との間において各吸引側凹部５２と対応する位置には、吸引側凹部５２を覆蓋する吸引側弁体５９と、第２コイルばね６０と、略円盤形状の第２固定部材６１とが、前側から後側に向けて並ぶようにそれぞれ設けられている。そして、各第２コイルばね６０は前端が吸引側弁体５９に当接する一方で後端が第２固定部材６１に当接することで、対応する吸引側弁体５９を吸引側凹部５２の内底面側に向けて付勢するようになっている。

流路形成部材３５の後面３５Ｂ側において第２領域３４Ｒと対応する位置には、間に第４フィルム部材５６を挟むようにカバー部材６２が組み付けられる。そして、第４フィルム部材５６とカバー部材６２との間には、バッファ用凹部５４（５４Ｂ，５４Ｃ）とそれぞれ対応する位置に配置される受圧部材６３（６３Ｂ，６３Ｃ）と第３コイルばね６４（６４Ｂ，６４Ｃ）とが、前側から後側に向けて並ぶように設けられている。

各受圧部材６３の前側は平面状に形成されて、それぞれ対応する第４フィルム部材５６の後面側における中央付近に固定される。また、各受圧部材６３（６３Ｂ，６３Ｃ）の中央付近からは後方に向けて係止部６５（６５Ｂ，６５Ｃ）が突設されている。そして、この係止部６５（６５Ｂ，６５Ｃ）に第３コイルばね６４（６４Ｂ，６４Ｃ）が係止されるようになっている。また、各第３コイルばね６４は前端が受圧部材６３に当接する一方で後端がカバー部材６２に当接することで、対応する第４フィルム部材５６をバッファ用凹部５４の内底面側に向けて付勢するようになっている。

図４に示すように、吐出側一方向弁３２を構成する吐出側弁体５７の中央付近は撓み変位可能な当接部５７ａになっているとともに、当接部５７ａの周囲には正面視略円弧状の２つの連通孔５７ｂが形成されている。また、吐出側一方向弁３２を構成する第１固定部材５８の吐出側弁体５７側となる前面側には、円柱状の第１突部５８ａと正面視略円弧状の２つの第２突部５８ｂとが形成されている。そして、第１固定部材５８の第２突部５８ｂが吐出側弁体５７の外縁部分に当接することで、吐出側弁体５７が固定されるようになっている。

図５に示すように、流路形成部材３５において各吸引側凹部５２の内底面には、それぞれ接続部２８と対応する位置に貫通孔６６が形成されている。また、流路形成部材３５において、各ポンプ用凹部３９の下端付近と対応する位置にはそれぞれ貫通孔６７が形成されているとともに、各ポンプ用凹部３９の上端付近と対応する位置にはポンプ用凹部３９と吐出側凹部５０とを連通する連通路の一例としての貫通孔６８がそれぞれ形成されている。そして、第１流路形成凹部５１の上流端は吸引側凹部５２の上端部分に接続されているとともに、第１流路形成凹部５１の下流端は貫通孔６７と連通している。なお、流路形成部材３５において、ポンプ用凹部３９と吐出側凹部５０とは上下方向において部分的に重畳するように設けられるとともに、貫通孔６８は、ポンプ用凹部３９の内底面の周縁付近と吐出側凹部５０の内底面の中央付近とを連通するように設けられている。

流路形成部材３５において各吐出側凹部５０の上端付近にはそれぞれ貫通孔６９が形成されている。また、流路形成部材３５において、各バッファ用凹部５４の下端付近にはそれぞれ貫通孔７０が形成されているとともに、各バッファ用凹部５４の上端付近にはそれぞれ貫通孔７１が形成されている。

さらに、流路形成部材３５には各吐出側凹部５０と並ぶ位置に、それぞれ流体流路形成凹部４９の下流端と連通する貫通孔７２が形成されているとともに、流路形成部材３５の左上部分には流体流路形成凹部４９の上流端と連通する１つの貫通孔７３が形成されている。

図６に示すように、流路形成部材３５の前面３５Ａにおいて、第２流路形成凹部３８の上流端は貫通孔６９と連通しているとともに、第２流路形成凹部３８の下流端は貫通孔７０と連通している。また、第３流路形成凹部４１の上流端は貫通孔７１と連通している。

流路形成部材３５において各第３流路形成凹部４１の下流端と対応する位置には、第３流路形成凹部４１の下流端と第３流路形成凹部５３の上流端とを連通させるための貫通孔７６がそれぞれ形成されている。また、流路形成部材３５において各導入凹部４０ａの上流端と連通する位置には、それぞれ貫通孔７７が形成されている。そして、第３流路形成凹部５３の上流端は貫通孔７６と連通しているとともに、第３流路形成凹部５３の下流端は貫通孔７７と連通している。

流路形成部材３５において各チョーク弁用凹部４０の内底面の中央付近にはそれぞれ貫通孔７８が形成されている。また、流路形成部材３５において接続部２１と対応する位置には、上下方向に並ぶ４つの貫通孔７９が形成されている。そして、接続流路形成凹部３５ｃの上流端は貫通孔７８と連通しているとともに、接続流路形成凹部３５ｃの下流端は貫通孔７９と連通している。

なお、本実施形態において、貫通孔６６〜７１，７６〜７９は液体供給路２７（図１参照）を構成する。また、貫通孔６７は第１流路２７ａ（図１参照）を構成するとともに、貫通孔６９，７０は第２流路２７ｂ（図１参照）を構成する。また、貫通孔７１，７６，７７及び導入凹部４０ａは第３流路２７ｃ（図１参照）を構成するとともに、貫通孔７８，７９は第４流路２７ｄ（図１参照）を構成する。

また、ポンプ用凹部３９の内底面には、前方から見て吐出側凹部５０の輪郭形状と対応する溝部の一例としての凹溝８０が貫通孔６８を中心とした円弧状をなすように形成されている。この凹溝８０は、その内側面がポンプ用凹部３９の内底面から流路形成部材３５の後面３５Ｂと直交する方向（前後方向）に延びるように形成されると共に、該凹溝８０の内底面８０ａは流路形成部材３５の後面３５Ｂと平行な平面部を構成している。すなわち、凹溝８０は、その溝内面がポンプ用凹部３９の内底面と非一様な面状態にて形成されている。また、この凹溝８０は、流路形成部材３５の後面３５Ｂに形成された吐出側凹部５０に対して、流路形成部材３５の後面３５Ｂと直交する方向（前後方向）から見て互いの形成領域が重畳するように配置されている。

また、各貫通孔７２は、流路形成部材３５の前面３５Ａにおいてはポンプ用凹部３９の開口の外周部であって位置決め突起３９ａの近くに位置している。さらに、流体流路形成凹部３７の上流端は供給部３５ａと連通しているとともに、流体流路形成凹部３７の下流端は貫通孔７３と連通している。

次に、ポンプ２９の構成及び動作について説明する。
図７に示すように、ポンプ２９は、ダイアフラム４５、ばね座４６及び第１コイルばね４７を備えている。また、ポンプ２９は、カートリッジホルダー１４の後面に形成された流体室用凹部８２とダイアフラム４５とによって囲み形成される作動流体室８４を備えている。また、ポンプ２９は、流路形成部材３５の前面３５Ａに形成されたポンプ用凹部３９とポンプ用凹部３９の開口部を覆蓋するように流路形成部材３５に取り付けられたダイアフラム４５とによって囲み形成されるポンプ室８５を備えている。なお、ポンプ室８５は液体供給路２７の一部を構成する。

作動流体室８４には、ダイアフラム４５をポンプ室８５側に向けて付勢する第１コイルばね４７と、第１コイルばね４７とダイアフラム４５との間に配置されるばね座４６とが収容されている。また、作動流体室８４には、流体流路８３を通じて減圧ポンプ等からなる圧力調整装置（図示略）及び大気開放機構（図示略）が接続されている。圧力調整装置は作動流体室８４内に負圧を発生させ得るように構成されているとともに、大気開放機構は作動流体室８４内を大気に開放して負圧状態を解消するように構成されている。

そして、圧力調整装置の駆動に伴って作動流体室８４内に負圧が発生すると、ダイアフラム４５が第１コイルばね４７の付勢力に抗してポンプ室８５の容積を拡大する方向（本実施形態では前方）に変位することで、ポンプ２９が吸引動作を行う。また、吸引動作の後に大気開放機構が駆動して作動流体室８４内を大気に開放すると、図８に示すようにダイアフラム４５が第１コイルばね４７の付勢力によってポンプ室８５の容積を縮小する方向（本実施形態では後方）に変位することで、ポンプ２９が吐出動作を行う。

次に、吸引側一方向弁３１の構成及び動作について説明する。
吸引側一方向弁３１は、吸引側弁体５９、第２コイルばね６０及び第２固定部材６１を備えている。また、吸引側一方向弁３１は、流路形成部材３５の後面３５Ｂに形成された吸引側凹部５２と第３フィルム部材５５とによって囲み形成される吸引側弁室８６を備えている。なお、吸引側弁室８６は液体供給路２７の一部を構成する。吸引側弁室８６は、液体供給路２７を閉塞可能な吸引側弁体５９によって上流側部分（本実施形態では前側）と中央部分とに区画されているとともに、第２固定部材６１によって中央部分と下流側部分（本実施形態では後側）とに区画されている。

吸引側弁室８６の区画された上流側部分と中央部分とは吸引側弁体５９に形成された貫通孔５９ａを通じて連通可能となっているとともに、吸引側弁室８６の区画された中央部分と下流側部分とは第２固定部材６１に形成された連通孔６１ａ，６１ｂ，６１ｅを通じて連通可能となっている。なお、第２コイルばね６０は前後方向において吸引側弁体５９と第２固定部材６１との間に配置されて、環状突部５９ｂが吸引側凹部５２の内底面に当接して吸引側弁室８６の上流側部分と中央部分とが連通不能となるように、すなわち液体供給路２７を閉塞する方向に吸引側弁体５９を付勢している。

そして、ポンプ２９が吸引動作を行うと、第１流路２７ａを通じて吸引側弁室８６内のインクがポンプ室８５内に吸引されて吸引側弁室８６内に負圧が生じる。すると、図７に示すように吸引側弁体５９の環状突部５９ｂが第２コイルばね６０の付勢力に抗して吸引側凹部５２の内底面から離間し、吸引側弁室８６の上流側部分と中央部分とが連通する。すなわち、吸引側一方向弁３１が開弁して液体供給路２７を開放する。これにより、接続部２８を通じてインクカートリッジ１５内のインクがポンプ室８５側に向けて供給される。

一方、ポンプ２９が吐出動作を行うと、第１流路２７ａを通じてポンプ室８５内のインクが吸引側弁室８６内に流入する。これにより、吸引側弁室８６内の負圧が解消されて、図８に示すように吸引側弁体５９の環状突部５９ｂが第２コイルばね６０の付勢力によって吸引側凹部５２の内底面に当接する。すなわち、吸引側一方向弁３１が閉弁して液体供給路２７を閉塞する。

次に、吐出側一方向弁３２の構成及び動作について説明する。
吐出側一方向弁３２は、吐出側弁体５７及び第１固定部材５８を備えている。また、吐出側一方向弁３２は、流路形成部材３５の後面３５Ｂに形成された吐出側凹部５０と吐出側凹部５０の開口部を覆蓋するように流路形成部材３５に取り付けられた第３フィルム部材５５とによって囲み形成される吐出側弁室８７を備えている。なお、吐出側弁室８７は液体供給路２７の一部を構成する。

吐出側弁室８７とポンプ室８５とは貫通孔６８を通じて連通可能となっているが、貫通孔６８の吐出側弁室８７に対する開口は、常時は吐出側弁体５７の当接部５７ａによって閉塞されている。また、吐出側弁体５７の当接部５７ａは、ポンプ２９側となる上流側とバッファ３０側となる下流側との圧力差に応じて変位することで液体供給路２７を構成する貫通孔６８を閉塞及び開放する。

具体的には、ポンプ２９が吐出動作を行うと、貫通孔６８を通じてポンプ室８５内のインクが加圧状態で吐出されるので、このインクの加圧力によって当接部５７ａが第１固定部材５８側に変位する。すなわち、吐出側一方向弁３２が開弁して液体供給路２７を開放する。すると、連通孔５７ｂを通じて吐出側弁室８７内にインクが流入するとともに、流入したインクが第２流路２７ｂを通じて下流側に位置するバッファ３０に供給される。

一方、ポンプ２９が吸引動作を行うと、貫通孔６８を通じて吐出側弁室８７内のインクがポンプ室８５側に吸引されるので、図７に示すように当接部５７ａが貫通孔６８側に変位して貫通孔６８を閉塞する。すなわち、吐出側一方向弁３２が閉弁して液体供給路２７を閉塞する。

次に、上記のように構成されたプリンター１１の作用について、特に、流路形成部材３５の吐出側凹部５０に対して吐出側一方向弁３２を組み付ける際の作用に着目して以下説明する。

さて、図９（ａ）に示すように、本実施形態のプリンター１１においては、流路形成部材３５の前面３５Ａに形成されたポンプ用凹部３９と、流路形成部材３５の後面３５Ｂに形成された吐出側凹部５０とが前方から見て重畳するように配置されている。

こうした流路形成部材３５の吐出側凹部５０に対して吐出側一方向弁３２を組み付ける際には、まず、図９（ｂ）に示すように、バルブ収容ステップとして、第１固定部材５８の第２突部５８ｂに固定された吐出側弁体５７の前面を吐出側凹部５０の内底面に対して当接させるようにして、吐出側弁体５７及び第１固定部材５８が吐出側凹部５０内に収容される。この場合、第１固定部材５８の後面は、流路形成部材３５の後面３５Ｂに対して面一となるように配置される。

そして次に、図９（ｃ）に示すように、当接ステップとして、ポンプ用凹部３９の内底面に形成された凹溝８０内に支持部材８８を前方から挿入し、凹溝８０の内底面８０ａに対して支持部材８８の先端面（図９（ｃ）に示す右端面）８８ａを当接させる。この支持部材８８は、凹溝８０の深さ方向でもある前後方向と直交する断面の形状及びその先端面８８ａの形状が凹溝８０の円弧状をなす内底面８０ａの形状と略同一形状をなすように構成されている。

なお、支持部材８８における凹溝８０の内底面８０ａに対する当接面となる先端面８８ａは、該凹溝８０の内底面８０ａと平行な平面状をなすように構成されている。すなわち、支持部材８８の先端面８８ａは、流路形成部材３５の後面３５Ｂと平行な平面状をなすように構成されている。そのため、支持部材８８の先端面８８ａが流路形成部材３５の凹溝８０の内底面８０ａに当接した状態において、流路形成部材３５に対して後面３５Ｂと直交する前後方向（例えば前方）に力が加わったとしても、流路形成部材３５の姿勢が傾く方向に変位することはほとんどない。すなわち、支持部材８８は、流路形成部材３５が前後方向と交差する方向に位置ずれを生じることを抑制しつつ、流路形成部材３５を前方から支持する。

続いて、図１０（ａ）に示すように、溶着ステップとして、吐出側凹部５０内に収容された吐出側一方向弁３２の後面（第１固定部材５８の後面）及び流路形成部材３５の後面３５Ｂに対して、吐出側凹部５０の開口を覆うようにして可撓性の第３フィルム部材５５が熱溶着される。このように吐出側一方向弁３２に対して第３フィルム部材５５を熱溶着する際には、第３フィルム部材５５に対して熱を加えるためのヒーター９０から吐出側一方向弁３２に対して後方から押圧力が作用する。そのため、吐出側一方向弁３２が密着している吐出側凹部５０の内底面に対しても後方から押圧力が作用する。

この場合、流路形成部材３５において吐出側凹部５０の裏面側に位置する凹溝８０の内底面８０ａが支持部材８８によって前方から支持されているため、吐出側凹部５０の内底面が後方からのヒーター９０の押圧力に従って変形することが抑制される。そのため、この吐出側凹部５０の内底面に収容されている吐出側一方向弁３２の後面が前後方向と交差する方向に変位することが抑制される。したがって、吐出側凹部５０内に収容された吐出側一方向弁３２の後面及び流路形成部材３５の後面３５Ｂに対して第３フィルム部材５５が正確に熱溶着される。そして、吐出側一方向弁３２は、熱溶着された第３フィルム部材５５によって吐出側凹部５０内において位置決めがなされるように固定される。

その後、吐出側一方向弁３２に対する第３フィルム部材５５の熱溶着が完了すると、凹溝８０内から支持部材８８を取り外す。そして、流路形成部材３５の前面３５Ａに対して第１フィルム部材４２及び第２フィルム部材４３を熱溶着させる。さらに、ポンプ室形成ステップとして、図１０（ｂ）に示すように、ポンプ室の内面の一部を構成するダイアフラム４５を、ポンプ用凹部３９の開口を覆うようにして流路形成部材３５に対して取り付ける。その結果、流路形成部材３５には、前後両面のフィルム部材４２，４３，５５，５６によって封止された液体供給路２７が形成される。

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）流路形成部材３５においてポンプ用凹部３９の内面には流路形成部材３５の後面３５Ｂと直交する方向に対して交差すると共にポンプ用凹部３９の内底面とは非一様な面状態となる凹溝８０の内底面８０ａが設けられており、この凹溝８０の内底面８０ａに対して支持部材８８を当接させることになる。そして、流路形成部材３５の後面３５Ｂに対して該後面３５Ｂと直交する方向にヒーター９０から押圧力が作用したとしても、このような押圧力が作用した流路形成部材３５は支持部材８８によって凹溝８０の内底面８０ａを介して安定に支持される。そのため、流路形成部材３５の無用な撓みが抑制され、吐出側凹部５０に収容された吐出側一方向弁３２に対して第３フィルム部材５５を好適に溶着させることができる。その結果、ポンプ用凹部３９と吐出側凹部５０を流路形成部材３５の後面３５Bと直交する方向から見て重畳して配置することにより、ポンプ用凹部３９が構成するポンプ室と吐出側凹部５０に収容される吐出側一方向弁３２とを近接して配置することが可能となる。したがって、ポンプ室から吐出側一方向弁３２を通じて吐出側凹部５０に至るまでの間にインクに対して作用する圧力損失が低減されるため、ポンプ２９からのインクの吐出圧が減衰することを抑制しつつ下流側に向けて液体を供給することができる。

（２）流路形成部材３５の後面３５Ｂに対して該後面３５Ｂと直交する方向に押圧力が作用したとしても、このような押圧力が作用した流路形成部材３５は、後面と直交する方向に変位することなく支持部材８８によって凹溝８０の内底面８０ａを介して安定に支持される。そのため、吐出側凹部５０に収容された吐出側一方向弁３２に対して第３フィルム部材５５を好適に溶着させることができる。

（３）ダイアフラム４５をポンプ用凹部３９の内底面に対して隙間なく密着させてポンプ室内にインクが残留することを抑制するために、ポンプ室の内面の一部を構成するポンプ用凹部３９の内底面を凹湾曲面状に形成した場合であっても、このポンプ用凹部３９の内底面に形成された凹溝８０における平面状の内底面８０ａに対して支持部材８８を押し当てることにより、流路形成部材３５が安定に支持される。そのため、吐出側凹部５０に収容された吐出側一方向弁３２に対して第３フィルム部材５５を好適に溶着させることができる。

（４）ポンプ用凹部３９の内底面に形成された凹溝８０に対して支持部材８８を当該凹溝８０の前後方向に沿う内側面をガイドとして容易に挿入して流路形成部材３５を支持することができるため、吐出側凹部５０に収容された吐出側一方向弁３２に対して第３フィルム部材５５をより簡便に溶着させることができる。

なお、上記実施形態は、以下のような別の実施形態に変更してもよい。
・上記実施形態において、支持部材８８が挿入される凹溝８０は、ポンプ用凹部３９の内底面に対して第３フィルム部材５５の溶着方向（流路形成部材３５の後面３５Bと直交する方向）と交差する方向に傾斜して延びるように形成してもよい。

・上記実施形態において、ポンプ用凹部の内底面の形状は凹湾曲面状に限定されるものではなく、ダイアフラム４５の変位に伴って容積を増減させるポンプ室を構成可能な形状であれば、任意の形状を採用することができる。

・上記実施形態において、支持部材８８が当接する凹溝８０の内底面８０ａは、流路形成部材３５の後面３５Ｂと交差する平面状をなすように構成してもよい。
・上記実施形態において、支持部材８８が挿入される凹溝８０は、吐出側一方向弁３２が収容される吐出側凹部５０に対して第３フィルム部材５５の溶着方向（流路形成部材３５の後面３５Bと直交する方向）から見て重畳しない構成としてもよい。

・上記実施形態において、支持部材８８が挿入される凹溝８０は、ポンプ用凹部３９と吐出側凹部５０とを連通する貫通孔６８を包囲するように形成する必要は必ずしもなく、ポンプ用凹部３９の内底面における任意の位置に任意の形状をなすように形成してもよい。

・上記実施形態において、ポンプ用凹部３９の内底面に対して平面状の段差面を設けると共に、この段差面に対して支持部材を当接させることにより流路形成部材３５を前方から支持するようにしてもよい。

・上記実施形態において、吐出側凹部５０内に収容されるバルブとして、制御部からの制御指令に基づいて開閉する電磁弁を採用してもよい。
・なお、本明細書における「液体」には、インク以外の他の液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体も含むものとする。そして、こうした「液体」を噴射したり吐出したりする液体噴射装置としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。

１１…液体噴射装置の一例としてのインクジェット式プリンター、１９…液体噴射ヘッド、２０…液体供給装置、２７…液体供給路（液体供給流路）、３５…流路形成部材、３５Ａ…前面（第１面）、３５B…後面（第２面）、３９…第１の凹部の一例としてのポンプ用凹部、４５…変位部材の一例としてのダイアフラム、５０…第２の凹部の一例としての吐出側凹部、５５…第３フィルム部材（フィルム）、６８…連通路の一例としての貫通孔、８０ａ…平面部の一例としての内底面、８５…ポンプ室、８８…支持部材。

Claims (6)

1. 液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路が形成される流路形成部材と、
   前記流路形成部材の第１面に形成された第１の凹部の開口を覆うように設けられ、該第１の凹部の内側の空間域を前記液体供給流路の一部を構成するポンプ室として機能させるために該ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材と、
   前記流路形成部材において前記第１面の裏面側となる第２面に形成された第２の凹部に収容され、前記第２の凹部の内側の空間域を前記液体供給流路の一部を構成する弁室として機能させるために前記第１の凹部と前記第２の凹部との連通路を開閉可能に設けられたバルブと、
   前記第２の凹部に前記バルブを収容した状態で、前記第２の凹部の開口を覆うように前記バルブ及び前記流路形成部材の前記第２面に対して溶着されるフィルムと
   を備え、
   前記第１の凹部の内底面は凹湾曲面状に形成されており、
   前記第１の凹部及び前記第２の凹部は、前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向から見て重畳して配置されると共に、
   前記第１の凹部の内面には前記第２面と直交する方向に対して交差する平面部が前記第１の凹部の内面と非一様な面状態で設けられていることを特徴とする液体供給装置。
2. 請求項１に記載の液体供給装置において、
   前記平面部は、前記流路形成部材の前記第２面と平行であることを特徴とする液体供給装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液体供給装置において、
   前記内底面には溝部が形成されており、
   前記平面部は、前記溝部の内底面であることを特徴とする液体供給装置。
4. 請求項３に記載の液体供給装置において、
   前記溝部の内側面は、前記第１の凹部の内底面から前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向に延びるように形成されていることを特徴とする液体供給装置。
5. 請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の液体供給装置と、
   ターゲットに対して液体を噴射する液体噴射ヘッドと
   を備えたことを特徴とする液体噴射装置。
6. 液体供給源側となる上流側から液体が消費される下流側に向けて液体を供給する液体供給流路が形成された流路形成部材において、前記液体供給流路の一部となるポンプ室を構成する第１の凹部が形成された第１面の裏面側となる第２面に対して該第２面と直交する方向から見て前記第１の凹部と重畳するように形成された第２の凹部に対し、前記液体供給流路を開閉可能とするバルブを収容するバルブ収容ステップと、
   前記第２の凹部に前記バルブを収容した状態で、前記第１の凹部の内面に設けられた前記流路形成部材の前記第２面と直交する方向に対して交差すると共に凹湾曲面状に形成された前記第１の凹部の内面とは非一様な面状態の平面部に対して支持部材を当接させる当接ステップと、
   前記平面部に前記支持部材を当接させた状態で、前記バルブを収容した前記第２の凹部の開口を覆うように前記バルブ及び前記流路形成部材の前記第２面に対してフィルムを溶着させる溶着ステップと、
   前記第２の凹部の開口を覆うように前記フィルムを溶着させた状態で、前記ポンプ室の容積を増減させるように変位する変位部材を前記第１の凹部の開口を覆うようにして設けることにより前記ポンプ室を形成するポンプ室形成ステップと
   を備えたことを特徴とする液体供給装置の製造方法。

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