JP5680656B2 - 物質の一部の熱物性測定方法 - Google Patents
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Description
(a)前記第2物質部分の温度Tの関数として前記第2物質部分の電気抵抗値Rの変化に応じた前記第2物質部分の熱物性R(T)を測定する過程と、
(b)前記第2物質部分の端部間に角振動数ωの電流を流し、かつ、さまざまな値のωについて当該端部間の電圧の3ω高調波成分を測定する過程と、
(c)3ω高調波成分及び熱物性R(T)のそれぞれの当該測定値に基づいて前記第1物質部分の熱伝導係数を計算する過程と、を含み、
前記第2物質部分の幅Lに対して前記第1物質部分の幅が0.9〜1.1Lである。断熱要素により前記第1物質部分が包囲されている。
前記第2物質部分の抵抗温度係数αR=(1/R)(dR(T)/R)を計算する過程と、
角振動数ωの電流により生成される温度波の振幅ΔT0=2V3ω/(R0I0αR)(「V3ω」は前記第2物質部分の前記端部間の電圧の3ω高調波成分を表わす。「R0」は雰囲気温度における前記第2物質部分の電気抵抗値を表わす。「I0」は角振動数ωの電流振幅を表わす。)を計算する過程と、
前記第1物質部分が前記第2物質部分と前記基板との間に配置されている状態で、前記基板の温度上昇分ΔTS=(Pl/πλS)[−(1/2)ln(2ω)+(1/2)ln{λS/(ρScpSb2)}+ln(2)−iπ/4](「Pl」は前記第2物質部分の単位長さあたりの加熱量を表わす。「λS」は前記基板の熱伝導係数を表わす。「cpS」は前記基板(102)の比熱容量を表わす。「2b」は前記第2物質部分の幅を表わす。)を計算する過程と、
前記第1物質部分の熱伝導係数λF=dF/(ΔTF2b)Pl(「dF」は前記第1物質部分の厚さを表わす。「ΔTF」はΔT0−ΔTSを表わす。)を計算する過程と、を含む。
Claims (12)
- 細長形状の電気伝導性の第2物質の少なくとも一部である第2物質部分(106)が上に配置されている細長形状の第1物質の一部である第1物質部分(104)の熱物性を測定する方法であって、
(a)前記第2物質部分(106)の温度Tの関数として前記第2物質部分の電気抵抗値Rの変化に応じた前記第2物質部分の熱物性R(T)を測定する過程と、
(b)前記第2物質部分の端部間に角振動数ωの電流を流し、かつ、さまざまな値のωについて当該端部間の電圧の3ω高調波成分を測定する過程と、
(c)3ω高調波成分及び熱物性R(T)のそれぞれの当該測定値に基づいて前記第1物質部分(104)の熱伝導係数を計算する過程と、を含み、
前記第2物質部分(106)の幅Lに対して前記第1物質部分(104)の幅が0.9〜1.1Lであり、断熱要素(112)(114)により前記第1物質部分(104)が包囲され、
基板(102)の上に第1物質からなる第1物質層を堆積させる過程と、
電気伝導性の第2物質からなる第2物質層を前記第1物質層に堆積させる過程と、
細長形状パターンを有するエッチングマスクを形成する過程と、
前記エッチングマスクのパターンにしたがった前記第1物質層及び前記第2物質層のフォトリソグラフィ及びエッチング処理により前記第1物質部分(104)及び前記第2物質部分(106)を形成する過程と、
前記エッチングマスクを除去する過程と、を経て前記第1物質部分(104)及び前記第2物質部分(106)が構成されることを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記第2物質部分(106)の厚さが0.1L以上であり、付加的又は代替的に前記第2物質部分(106)の長さが10L以上であることを特徴とする方法。 - 請求項1又は2記載の方法において、
前記第1物質部分(104)の長さが幅の10倍以上であり、付加的又は代替的に前記第1物質部分(104)の厚さが前記(b)過程において前記第1物質部分(104)に生じる熱流(108)の浸透深さより小さいことを特徴とする方法。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質部分(104)及び前記第2物質部分(106)のうち一方又は両方が平行六面体形状であることを特徴とする方法。 - 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質部分(104)が前記第2物質部分(106)と基板(102)との間に配置されていることを特徴とする方法。 - 請求項5記載の方法において、
前記基板(102)の厚さが前記(b)過程において前記基板(102)に生じる熱流(108)の浸透深さの10倍以上であり、付加的又は代替的に前記第1物質部分(104)の幅の10倍以上であることを特徴とする方法。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第2物質が金属であることを特徴とする方法。 - 請求項1〜7のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質が電気伝導性である場合、前記第1物質部分(104)と前記第2物質部分(106)との間に誘電物質が配置されていることを特徴とする方法。 - 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質部分(104)の熱伝導係数を計算する過程が、
前記第2物質部分(106)の抵抗温度係数αR=(1/R)(dR(T)/R)を計算する過程と、
角振動数ωの電流により生成される温度波の振幅ΔT0=2V3ω/(R0I0αR)(「V3ω」は前記第2物質部分(106)の前記端部間の電圧の3ω高調波成分を表わす。「R0」は雰囲気温度における前記第2物質部分(106)の電気抵抗値を表わす。「I0」は角振動数ωの電流振幅を表わす。)を計算する過程と、
前記第1物質部分(104)が前記第2物質部分(106)と前記基板(102)との間に配置されている状態で、前記基板(102)の温度上昇分ΔTS=(Pl/πλS)[−(1/2)ln(2ω)+(1/2)ln{λS/(ρScpSb2)}+ln(2)−iπ/4](「Pl」は前記第2物質部分(106)の単位長さあたりの加熱量を表わす。「λS」は前記基板(102)の熱伝導係数を表わす。「cpS」は前記基板(102)の比熱容量を表わす。「2b」は前記第2物質部分(106)の幅を表わす。)を計算する過程と、
前記第1物質部分(104)の熱伝導係数λF=dF/(ΔTF2b)Pl(「dF」は前記第1物質部分(104)の厚さを表わす。「ΔTF」はΔT0−ΔTSを表わす。)を計算する過程と、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質が電気伝導性である場合に前記第1物質層の上に誘電物質からなる誘電物質層が堆積され、
前記誘電物質層の上に前記第2物質層が堆積され、
前記誘電物質層も前記第1物質層及び前記第2物質層と同様に、前記エッチングマスクのパターンにしたがってエッチング処理されることを特徴とする方法。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質部分(104)を包囲する前記断熱要素(112)の熱伝導係数の値が前記第1物質部分(104)の熱伝導係数の値の1/10以下であることを特徴とする方法。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の方法において、
前記第1物質部分(104)を包囲する前記断熱要素(114)の熱伝導係数の値が前記第1物質部分(104)の熱伝導係数の値以下であり、前記断熱要素(114)の厚さが前記第1物質部分(104)の厚さの1/10以下であることを特徴とする方法。
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