JP5674194B2 - 平行度測定装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 302
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 205
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 42
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 29
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 9
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 8
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
以下、本発明の第1の実施形態の平行度測定装置1について、図1乃至図10を参照しながら、具体的に説明する。なお、先ず平行度測定装置1の構成について図1乃至図4を参照しながら説明し、次に平行度測定装置1の使用方法について図5乃至図10を参照しながら説明する。
以下、本発明の第2の実施形態の平行度測定装置2について、図11を参照しながら、具体的に説明する。
以下、本発明の第3の実施形態の平行度測定装置3について、図12を参照しながら、具体的に説明する。
以下、本発明の第4の実施形態の平行度測定装置4について、図13を参照しながら、具体的に説明する。
以下、本発明の第5の実施形態の平行度測定装置5について、図14を参照しながら、具体的に説明する。
(1)平行度測定装置3は、工具の平行度を測定する装置であって、工具が離間可能に当接される測定面を設けた測定部60と、測定部60の測定面に対向した付勢面に当接し、測定部60を付勢する付勢部70と、測定部60の測定面に配設され、工具に当接された測定部60が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、測定部60の位置を検出する検出部30と、測定部60の測定面の側に設けられ、検出部30を離間可能に係留して停止させる係留部80と、検出部30と電気的に接続され、検出部30が検出した測定部60の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部50とを有することを特徴としている。この様な平行度測定装置3の構成によれば、例えば図12に示すように、図示せぬ工具を、平行度測定装置3に設けられた測定部60の測定板61の測定面61aに当接させることにより測定板61を下方に移動させ、係留部80の係留板81の係留面81aに離間可能に当接した検出部30から得られた信号により、工具の平行度を短時間で精度良く測定することができる。
(2)平行度測定装置3は、(1)に従属し、検出部30は、工具に当接された測定部60が、該測定部60の付勢面と付勢部70が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、測定部60の位置の変化量に相関した、検出部30が延伸された量、移動された距離、又は受けている圧力の減少量を検出する、係留部80に対して当接した検出手段31を2つ以上備えたことを特徴としている。この様な平行度測定装置3の構成によれば、平行度を測定する工具の形状に合わせて、例えば、検出部30に設ける検出手段31の個数、又は付勢部70と測定部60との当接箇所からの距離を決定できることから、平行度測定装置3の測定精度を最適化できる。また、検出部30には、接触式のセンサを用いることができる。ここで、検出部30に用いるセンサには、特に制約は無く、必要となる精度やコストに応じて、最適な仕様のセンサを選択することができる。
(3)平行度測定装置3は、(1)に従属し、検出部30は、工具に当接された測定部60が、該測定部60の付勢面と付勢部70が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、測定部60の位置の変化量に相関した、係留部80に対して光を照射し該係留部80からの反射光を受光するまでの時間を測定し該測定された時間から係留部80までの距離を検出する、係留部80に対して当接した状態から離間する検出手段31を2つ以上備えたことを特徴としている。この様な平行度測定装置3の構成によれば、平行度を測定する工具の形状に合わせて、例えば、検出部30に設ける検出手段31の個数、又は付勢部70と測定部60との当接箇所からの距離を決定できることから、平行度測定装置3の測定精度を最適化できる。また、検出部30の検出手段31が測定部60の測定板61の付勢面61bから離間可能に設けられていることから、検出部30には、接触式のセンサに加えて非接触式のセンサを用いることができる。ここで、検出部30に用いるセンサには、特に制約は無く、必要となる精度やコストに応じて、最適な仕様のセンサを選択することができる。
(4)平行度測定装置4は、工具の平行度を測定する装置であって、工具が離間可能に当接される測定面を設けた測定部10と、測定部10の測定面に対向した付勢面に当接し、測定部10を付勢する付勢部70と、測定部10の測定面の側に設けられ、付勢部70に付勢された測定部10を離間可能に係留して停止させた状態で、工具に当接された測定部10が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、測定部10の位置を検出する検出部90と、検出部90と電気的に接続され、検出部90が検出した測定部10の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部50とを有することを特徴としている。この様な平行度測定装置4の構成によれば、例えば図13に示すように、図示せぬ工具を、平行度測定装置4に設けられた測定部10の測定板11の測定面11aに当接させることにより測定板11を下方に移動させ、測定部10の測定板11の測定面11aに離間可能に当接した検出部90から得られた信号により、工具の平行度を短時間で精度良く測定することができる。また、平行度測定装置4の構成によれば、検出部90が、測定部10の測定板11の測定面11aの側に設けられていることから、もし、工具の動作距離が相当長く、該動作距離が可変できなくても、該工具に当接されて下方に大きく移動した測定板11の付勢面11bが、検出部90と干渉することがない。
(5)平行度測定装置4は、(4)に従属し、検出部90は、工具に当接された測定部10が、該測定部10の付勢面と付勢部70が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、測定部10の位置の変化量に相関した、検出部90が延伸された量、移動された距離、又は受けている圧力の減少量を検出する、測定部10の測定面に対して当接した検出手段91を2つ以上備えたことを特徴としている。この様な平行度測定装置4の構成によれば、平行度を測定する工具の形状に合わせて、例えば、検出部90に設ける検出手段91の個数、又は付勢部70と測定部10との当接箇所からの距離を決定できることから、平行度測定装置4の測定精度を最適化できる。また、検出部90には、接触式のセンサを用いることができる。ここで、検出部90に用いるセンサには、特に制約は無く、必要となる精度やコストに応じて、最適な仕様のセンサを選択することができる。
(6)平行度測定装置4は、(4)に従属し、検出部90は、工具に当接された測定部10が、該測定部10の付勢面と付勢部70が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、測定部10の位置の変化量に相関した、測定部10の測定面に対して光を照射し該測定面からの反射光を受光するまでの時間を測定し該測定された時間から測定部10の測定面までの距離を検出する、測定部10の測定面に対して当接した状態から離間する検出手段91を2つ以上備えたことを特徴としている。この様な平行度測定装置4の構成によれば、平行度を測定する工具の形状に合わせて、例えば、検出部90に設ける検出手段91の個数、又は付勢部70と測定部10との当接箇所からの距離を決定できることから、平行度測定装置4の測定精度を最適化できる。また、検出部90の検出手段91が測定部10の測定板11の測定面11aから離間可能に設けられていることから、検出部90には、接触式のセンサに加えて非接触式のセンサを用いることができる。ここで、検出部90に用いるセンサには、特に制約は無く、必要となる精度やコストに応じて、最適な仕様のセンサを選択することができる。
10,60 測定部
11,12,13,14,61 測定板
11a,12a,13a,61a 測定面
11b,12b,13b,14b,61b 付勢面
11c,12c,14c,61c 当接部位
11d,61d 切欠部
11e 当接基準目印
20,70 付勢部
21,25,26,27,28,29,71 付勢部材
21a,25a,26a,27a,28a,29a,71a 付勢部位
21b,28b,29b,71b 伸縮部材収納部
21c,28c,29c,71c 底面
21d,71d 外周面
22,72 伸縮部材
22a,72a 一端部
22b,72b 他端部
23 支持側板
23a 内周面
23b 固定部
24,74 支持筒
24a,74a 付勢部材収納穴
24b,74b 支持部
24c,74c 内周面
30,90 検出部
31,91 検出手段
31a,91a 測定部材
31b,91b 保護部材
31c,91c 支持部材
31d,91d 検出部材
32,92 固定部材
33,93 配線
40,80 係留部
41,81,96 係留板
41a,81a,96a 係留面
42,82,97 支柱
42a,82a,97a 一端
42b,82b,97b 他端
43,83,98 支持台
43a,83a,98a 一面
43b,83b,98b 伸縮部材収納穴
43c,83c,98c 他面
50 報知部
51 表示ユニット
52 報知手段
53 電源スイッチ
54 リセットスイッチ
100 移動部
101 付勢板
102 当接板
103 伸縮手段
G 基準台
T,T1,T2,T3,T4 工具
1000 超音波加工装置
1010 筐体部
1020 加工台部
1030 移動機構部
1031 X軸レール部材
1032 Y軸レール部材
1033 Z軸レール部材
1034 昇降ステージ
1034a,1035e,1035j,1037b ネジ溝
1034b 連結棒
1035 第1の傾き調整ステージ
1035a,1035c,1035g 貫通穴
1035b 係合部
1035d 固定プレート
1035f 支持プレート
1035h 長穴
1035i L字状固定プレート
1035k 付勢バネ
1036 第1の回動基準ネジ
1037 第2の傾き調整ステージ
1037a 当接部
1037c 連結部
1038 第2の回動基準ネジ
1040 超音波加工部
1041 支持部材
1042 超音波加工用ホーン
1042a 振動子
1042b 先端部
1050 制御部
1100 導光板基材
C1 第1のマイクロメータ
C2 第2のマイクロメータ
Claims (10)
- 工具の平行度を測定する装置であって、
前記工具が離間可能に当接される測定面を設けた測定部と、
前記測定部の前記測定面に対向した付勢面に当接し、前記測定部を付勢する付勢部と、
前記測定部の前記付勢面に当接した状態で設けられ、前記工具に当接された前記測定部が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、前記測定部の位置を検出する検出部と、
前記測定部の前記測定面の側に設けられ、前記付勢部に付勢された前記測定部を離間可能に係留して停止させる係留部と、
前記検出部と電気的に接続され、前記検出部が検出した前記測定部の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部と、を有し、
前記測定部は、前記工具が当接する前記測定面の位置に対向した前記付勢面の位置に凹状部又は凸状部が形成され、
前記付勢部は、突起部又は窪み部が形成され、
該突起部又は該窪み部が、前記測定部に形成された前記凹状部又は前記凸状部に一点で当接していること
を特徴とする平行度測定装置。 - 前記検出部は、
前記工具に当接された前記測定部が、該測定部の前記付勢面と前記付勢部が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、
前記測定部の位置の変化量に相関した、前記検出部が圧縮された量、移動された距離、又は受けた圧力の増加量を検出する、前記測定部の前記付勢面に対して当接した検出手段を2つ以上備えたこと
を特徴とする請求項1に記載の平行度測定装置。 - 工具の平行度を測定する装置であって、
前記工具が離間可能に当接される測定面を設けた測定部と、
前記測定部の前記測定面に対向した付勢面に当接し、前記測定部を付勢する付勢部と、
前記測定部の前記付勢面から離間した状態で設けられ、前記工具に当接された前記測定部が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、前記測定部に当接して又は当接せずに該測定部の位置を検出する検出部と、
前記測定部の前記測定面の側に設けられ、前記付勢部に付勢された前記測定部を離間可能に係留して停止させる係留部と、
前記検出部と電気的に接続され、前記検出部が検出した前記測定部の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部と、を有し、
前記測定部は、前記工具が当接する前記測定面の位置に対向した前記付勢面の位置に凹状部又は凸状部が形成され、
前記付勢部は、突起部又は窪み部が形成され、
該突起部又は該窪み部が、前記測定部に形成された前記凹状部又は前記凸状部に一点で当接していること
を特徴とする平行度測定装置。 - 前記検出部は、
前記工具に当接された前記測定部が、該測定部の前記付勢面と前記付勢部が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、
前記測定部の位置の変化量に相関した、前記検出部が圧縮された量、移動された距離、又は受けた圧力の増加量を検出する、前記測定部の前記付勢面に対して離間した状態から当接する検出手段を2つ以上備えたこと
を特徴とする請求項3に記載の平行度測定装置。 - 前記検出部は、
前記工具に当接された前記測定部が、該測定部の前記付勢面と前記付勢部が当接している位置を中心として平行又は傾斜した状態で移動した場合に、
前記測定部の位置の変化量に相関した、前記測定部の前記付勢面に対して光を照射し該付勢面からの反射光を受光するまでの時間を測定し該測定された時間から前記付勢面までの距離を検出する、前記測定部の前記付勢面に対して離間した検出手段を2つ以上備えたこと
を特徴とする請求項3に記載の平行度測定装置。 - 前記係留部を支持する支柱と前記支柱を支持する支持台とから成り、前記測定部、前記付勢部、及び前記検出部を内部に備える筐体と、
前記支持台に設けられた移動部とを有し、
前記移動部は、前記筐体を前記工具に向けて移動させ、前記測定部の前記測定面を前記工具に当接させること
を特徴とする請求項1、又は請求項3のいずれか一項に記載の平行度測定装置。
- 前記検出部は、前記測定部の前記付勢面と前記付勢部が当接している位置を中心として4方向に等しい距離だけ離れて配設される前記検出手段を4つ設けていること
を特徴とする請求項2、請求項4、又は請求項5のいずれか一項に記載の平行度測定装置。 - 前記報知部は、前記工具が前記測定部に当接する前に、前記2つ以上の検出手段の値をそれぞれゼロにリセットするリセットスイッチを備えたこと
を特徴とする請求項2に記載の平行度測定装置。 - 前記報知部は、前記測定部の位置の変化量に相関する、前記2つ以上の検出手段でそれぞれ検出された値を報知する報知手段を備えたこと
を特徴とする請求項2、請求項4、又は請求項5のいずれか一項に記載の平行度測定装置。 - 前記報知部は、前記測定部の位置の変化量に相関する、前記2つ以上の検出手段でそれぞれ検出された値の差分を算出し、前記差分が所定の値以下である場合と所定の値を超えている場合とで、異なる情報を報知する報知手段を備えたこと
を特徴とする請求項2、請求項4、又は請求項5のいずれか一項に記載の平行度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231326A JP5674194B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 平行度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010231326A JP5674194B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 平行度測定装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014078298A Division JP5775619B2 (ja) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | 平行度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012083290A JP2012083290A (ja) | 2012-04-26 |
JP5674194B2 true JP5674194B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=46242300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010231326A Active JP5674194B2 (ja) | 2010-10-14 | 2010-10-14 | 平行度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5674194B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5775619B2 (ja) * | 2014-04-07 | 2015-09-09 | 株式会社エス・ケー・ジー | 平行度測定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01113607A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-02 | Mazda Motor Corp | 自動車のトー測定装置 |
US5377236A (en) * | 1993-04-15 | 1994-12-27 | General Electric Company | Method and apparatus for measuring rod end squareness |
JP2008014925A (ja) * | 2005-10-20 | 2008-01-24 | Takahashi Keisei:Kk | 上下定盤面平行度測定用ボード、上下定盤面平行度測定システムおよび上下定盤面間距離調整方法 |
-
2010
- 2010-10-14 JP JP2010231326A patent/JP5674194B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012083290A (ja) | 2012-04-26 |
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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