JP5668056B2 - 走査方法 - Google Patents
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Description
上述の実施形態では、単一の倍率レベルで試料の一部を走査して取得した画像を接合する方法であったが、いくつかの実施形態では、走査方法及び画像取得方法は、複数の倍率レベルで画像を取得するステップを含むことができる。いくつかの実施形態では、システム100は、以前の取得画像に関するユーザによる移動に基づき、ユーザがその時点で観察している画像の倍率レベルよりも高い倍率レベルで画像を断定的に取得する。概して、試料のうち高倍率画像を生成する総面積量を減らすために、ユーザが第1倍率レベルで撮影した画像をナビゲートして、ユーザが関心を示す可能性がある領域でより高い倍率レベルの画像を取得できるようにすることが望ましい。倍率レベルを上げて画像を事前に取得することにより、高倍率画像を利用可能にしておく(例えば、メモリに記憶する)ことで、ユーザが低倍率レベルで取得した画像においてその領域にズームインする際に画像を早く表示できると言う利点が得られる。
上記例のいくつかでは、システムがユーザによる記憶画像の移動に基づき試料の追加画像を取得すべき領域を判定したが、いくつかの実施形態では、ユーザが関心領域を選択することができ、システムがユーザの選択領域に基づき追加の高倍率画像を収集することができる。
取得画像を表示する種々の方法が可能である。いくつかの例では、システムが画像を表示し、ユーザが画像内で積極的にパン又はズームを行うことができる。ユーザが試料のうち画像をまだ取得していない領域にパンした場合、システムは、試料のうち画像をまだ取得していない部分のためにユーザインタフェース上に空間ホルダ(例えば、ブランク領域、陰影領域、及び/又は倍率レベルを下げた画像)を配置し得る。システムがこれらの領域の低速走査を完了すると、画像がオペレータの観察用にユーザインタフェースに追加される。
上述の実施形態では、イオン顕微鏡を用いた画像の取得に用いるものとして走査方法を説明したが、同様の方法を他のタイプの顕微鏡システムと共に用いることができる。例えば、本明細書に記載の方法を、走査型電子顕微鏡(SEM)システム、走査型透過電子顕微鏡(STEM)システム、走査型プローブ顕微鏡法(SPM)システム、レーザ走査顕微鏡(LSM)システム等と共に用いることができる。
この節では、イオンビームを生成し、試料にイオンビームを照射することにより関心試料を離れる二次電子を含む粒子を検出する、システム及び方法を開示する。このシステム及び方法の使用により、試料の1つ又は複数の画像を、例えば本明細書に開示した走査技術の1つ又は複数を用いて取得することができる。
Claims (22)
- 試料の第1部分に荷電粒子ビームを照射して前記試料の前記第1部分の第1画像を生成するステップと、
制御システムにおいて方向入力を受け取るステップと、
前記方向入力に基づく方向で前記試料の前記第1部分に隣接する前記試料の第2部分を以前に照射して該第2部分の画像を生成したか否かを判定するステップと、
前記第2部分を以前に照射した場合、該第2部分の前記画像をメモリから検索するステップと、
前記第2部分を以前に照射していない場合、前記方向入力に基づく方向で前記試料の前記第1部分に隣接する前記試料の第2部分に荷電粒子ビームを照射して、第2画像を生成するステップと、
前記第1画像の少なくとも一部を前記第2画像又は前記第2部分の前記検索画像と合成して、第3画像を生成するステップと、
該第3画像をユーザインタフェースに表示するステップと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記試料の前記第1部分に前記荷電粒子ビームを照射して前記第1画像を生成するステップは、低速走査技術を用いるステップを含み、
前記試料の前記第2部分に前記荷電粒子ビームを照射して前記第2画像を生成するステップは、低速走査技術を用いるステップを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記第2画像は、前記第1画像よりも少数の画素を含む、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記試料の前記第2部分は、前記試料の前記第1部分よりも前記試料の小さな面積を含む、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記方向入力は、移動方向の指示及び移動速度の指示を含む、方法。
- 請求項5に記載の方法において、
前記移動速度の指示に基づき、前記粒子ビームを照射する前記試料の前記第2部分のサイズを決定するステップと、
前記移動方向に基づき、前記粒子ビームを照射する前記試料の前記第2部分の場所を決定するステップと、
をさらに含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記第1画像の少なくとも一部を前記第2画像と合成して前記第3画像を生成するステップは、前記第1画像全体よりも小さなサブセクションを前記第2画像の少なくとも一部と合成するステップを含む、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記方向入力を受け取るステップは、
前記第1画像をユーザインタフェースに表示するステップと、
ユーザ入力に応答して前記ユーザインタフェース上で前記第1画像を移動させるステップと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記ユーザインタフェース上で前記第1画像を移動させるステップは、前記試料を移動させずに前記第1画像を移動させるステップを含む、方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記方向入力に基づく方向で前記試料の前記第1部分に隣接する前記試料の第2部分を照射するステップは、
前記第2部分を照射して低分解能画像を生成するステップと、
続いて前記第2部分を照射して高分解能画像を生成するステップと、
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記第2部分を以前に照射した場合、該方法は、前記第2部分の前記検索画像の分解能を判定するステップをさらに含む、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記第1画像の少なくとも一部を前記第2画像の前記検索画像と合成して前記第3画像を生成するステップは、前記第2部分の前記検索画像からの画像データを凝集して前記第1画像の分解能に一致させるステップを含む、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記第1画像の少なくとも一部を前記第2部分の前記検索画像と合成して前記第3画像を生成するステップは、前記第2部分の前記検索画像からの画像データを補間して前記第1画像の分解能に一致させるステップを含む、方法。
- 請求項1に記載の方法において、
前記試料の前記第2部分は、前記第1部分に含まれない非重複領域及び該第1部分に含まれる重複領域を含み、前記第2画像は、前記試料の前記重複領域に前記荷電粒子ビームを照射せずに前記非重複領域に前記荷電粒子ビームを照射することにより生成した画像を含む、方法。 - 請求項14に記載の方法において、前記粒子ビームシステムはイオン顕微鏡である、方法。
- ユーザインタフェースに第1倍率レベルで試料の第1部分の低速走査画像を表示するステップと、
前記第1倍率レベルとは異なる第2倍率レベルで観察することが望まれる前記試料の第2部分を示す入力を受け取るステップと、
前記第2部分を前記第2倍率レベルで以前に照射して前記第2部分の画像を生成したか否かを判定するステップと、
前記第2部分を前記第2倍率レベルで以前に照射した場合、前記第2部分の前記画像をメモリから検索するステップと、
前記第2部分を前記第2倍率レベルで以前に照射していない場合、低速走査技術を用いて前記第2倍率レベルで前記試料の前記第2部分を走査し、前記試料の前記第2部分の低速走査画像を前記ユーザインタフェースに表示するステップと、
を含む、方法。 - 請求項16に記載の方法において、前記入力はユーザからの入力を含む、方法。
- 請求項16に記載の方法において、前記入力は命令プログラムの入力を含む、方法。
- 請求項16に記載の方法において、前記第2部分は、前記第1部分のサブセクションを含み、前記第2倍率レベルは、前記第1倍率レベルよりも高い倍率レベルである、方法。
- 請求項1に記載の方法において、
前記試料の前記第1部分は、第1倍率レベルで前記荷電粒子ビームを照射され、前記試料の前記第1部分の前記第1画像を生成し、前記第1画像における1つ又は複数の関心領域の識別が受け取られ、前記識別された関心領域は、前記第1倍率レベルよりも高い第2倍率レベルで前記荷電粒子ビームを照射され前記関心領域の画像を生成する、方法。 - 請求項20に記載の方法において、前記1つ又は複数の関心領域の識別を受け取るステップは、前記1つ又は複数の関心領域の前記識別をユーザから受け取るステップを含む、方法。
- 請求項20に記載の方法において、前記1つ又は複数の関心領域の識別を受け取るステップは、前記1つ又は複数の関心領域の前記識別を命令プログラムから受け取るステップを含む、方法。
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